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芯片封裝結構及MEMS環(huán)境傳感器的制作方法

文檔序號:12001133閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種芯片封裝結構,其特征在于,包括線路板(3)、MEMS芯片(4)和ASIC芯片(1),所述ASIC芯片(1)通過多個彼此之間存在間隙的導電支撐焊件(2)焊接于所述線路板(3)上,所述ASIC芯片(1)與所述線路板(3)之間具有間距,所述MEMS芯片(4)位于由所述ASIC芯片(1)、所述線路板(3)和所述導電支撐焊件(2)形成的封裝結構內且連接于所述ASIC芯片(1)上。

2.根據權利要求1所述的芯片封裝結構,其特征在于,所述導電支撐焊件(2)為焊球或柱狀金屬焊點,所述焊球或所述柱狀金屬焊點將所述ASIC芯片(1)支撐焊接于所述線路板(3)上。

3.根據權利要求2所述的芯片封裝結構,其特征在于,所述焊球為錫球或銅球。

4.根據權利要求1所述的芯片封裝結構,其特征在于,所述MEMS芯片(4)倒裝焊接導電連接于所述ASIC芯片(1)上。

5.根據權利要求1所述的芯片封裝結構,其特征在于,所述MEMS芯片(4)正裝粘貼于所述ASIC芯片(1)上,且所述MEMS芯片(4)通過導線與所述ASIC芯片(4)導電連接。

6.根據權利要求1所述的芯片封裝結構,其特征在于,所述線路板為PCB板。

7.一種MEMS環(huán)境傳感器,包括封裝結構,其特征在于,所述封裝結構為如權利要求1-6任一項所述的芯片封裝結構。

8.根據權利要求7所述的MEMS環(huán)境傳感器,其特征在于,所述MEMS環(huán)境傳感器為MEMS麥克風、MEMS氣壓計、MEMS溫濕度計或MEMS氣體傳感器。

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