技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開了一種單個微納米結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)移裝置。本實(shí)用新型的轉(zhuǎn)移裝置包括：顯微鏡、微納操縱器固定架、微納操縱器、轉(zhuǎn)移探針和微納結(jié)構(gòu)中轉(zhuǎn)基片；微納結(jié)構(gòu)中轉(zhuǎn)基片具有周期性凸起平臺和坐標(biāo)標(biāo)記，通過顯微鏡實(shí)時觀察以及原位操縱微納操縱器，實(shí)現(xiàn)單個微納米結(jié)構(gòu)的精確定點(diǎn)轉(zhuǎn)移；在微納結(jié)構(gòu)中轉(zhuǎn)基片上能夠完成對微納米結(jié)構(gòu)的初步表征分析；并且在顯微鏡的原位觀察下，通過坐標(biāo)標(biāo)記原位查找待轉(zhuǎn)移的單個微納米結(jié)構(gòu)，并通過微納操縱器的轉(zhuǎn)移探針將其從微納結(jié)構(gòu)中轉(zhuǎn)基片上提取出來，再精確轉(zhuǎn)移至目標(biāo)襯底基片上的指定位置，轉(zhuǎn)移定位精度能夠優(yōu)于1微米；采用靜電吸附的原理，在保證轉(zhuǎn)移探針的尖頭探針清潔的情況下，不會在轉(zhuǎn)移過程中引入不明雜質(zhì)。

技術(shù)研發(fā)人員：朱瑞;徐軍;劉亞琪
受保護(hù)的技術(shù)使用者：北京大學(xué)
文檔號碼：201621241534
技術(shù)研發(fā)日：2016.11.18
技術(shù)公布日：2017.06.27