技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種微機械傳感器裝置的制造方法和一種相應(yīng)的微機械傳感器裝置。該方法包括下述步驟：提供具有至少第一至第四槽的基底，所述至少第一至第四槽從基底的正面出發(fā)平行地延伸并且彼此隔開間距；將一個層沉積到正面上，其中，所述至少第一至第四槽被封閉，并且使所述層結(jié)構(gòu)化，其中，在所述層中在第二和第四槽的上方構(gòu)造接觸結(jié)構(gòu)；將接觸結(jié)構(gòu)以及第二和第四槽的向外暴露的側(cè)面至少部分地氧化；使第一金屬接觸材料沉積并且結(jié)構(gòu)化，其中，將所述接觸結(jié)構(gòu)至少部分地以第一金屬接觸材料填充；打開第二槽和第四槽；將第二金屬接觸材料電沉積到所述第二和第四槽中，由此，形成壓敏電容性的電容器結(jié)構(gòu)；并且從所述基底的正面打開所述第一槽。

技術(shù)研發(fā)人員：武震宇
受保護的技術(shù)使用者：羅伯特·博世有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.09
技術(shù)公布日：2017.07.28