技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
一種安裝用于保護(hù)微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)裝置的開放端口的排氣件的方法，該排氣件是包括附接到載體的環(huán)境屏障膜的類型，并且排氣件進(jìn)一步附接到襯里，該方法包括以下步驟：(a)利用晶粒排出器以及真空頭和夾持器頭中的至少一者將排氣件進(jìn)給到晶粒附接機(jī)；(b)使用晶粒排出器將排氣件與所述襯里分離；(c)利用晶粒附接機(jī)的真空頭和夾持器頭中的至少一者拾取排氣件；(d)將排氣件設(shè)置在MEMS裝置的開放端口上；以及(e)將排氣件固定到MEMS裝置的開放端口上。

技術(shù)研發(fā)人員：A·霍利達(dá);W·金德
受保護(hù)的技術(shù)使用者：W.L.戈?duì)柤巴使煞萦邢薰?br/>技術(shù)研發(fā)日：2015.12.15
技術(shù)公布日：2017.08.29