微機電系統(tǒng)的可動載具結(jié)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種微機電系統(tǒng)的可動載具結(jié)構(gòu)，應(yīng)用微機電系統(tǒng)技術(shù)于一硅基板形成的可動載具結(jié)構(gòu)，包括框架部、可動承載部，及二組彈簧結(jié)構(gòu)分別設(shè)于可動承載部直線移動方向的二側(cè)用以連接可動承載部于框架部內(nèi)；透過可動承載部上的導(dǎo)電線圈回路及組彈簧結(jié)構(gòu)設(shè)計，通過線圈回路導(dǎo)入電流后與外界的鐵磁性材料相互作用而產(chǎn)生的作用力使可動承載部直線移動。該可動載具結(jié)構(gòu)具有體積微小化、系統(tǒng)整合性佳、高光軸精度、批量化制造能力等優(yōu)點。
【專利說明】微機電系統(tǒng)的可動載具結(jié)構(gòu)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明有關(guān)一種利用微機電制程技術(shù)制作的可動載具結(jié)構(gòu)，特別是一種以電流與磁場產(chǎn)生作用力磁力做為動力來源的可動載具結(jié)構(gòu)，組裝應(yīng)用上易于整合于現(xiàn)行的生產(chǎn)流程中，在商品化的過程中提高產(chǎn)能、減低生產(chǎn)成本。

【背景技術(shù)】
[0002]目前市面上的手機以及手提電腦等產(chǎn)品，多已廣泛配置微型數(shù)字鏡頭。為了提升產(chǎn)品競爭力，對于微型鏡頭的需求已不僅只用于定焦鏡頭，自動對焦以及光學(xué)變焦功能成為重要的要求。以自動對焦功能為例，則需要對于鏡片產(chǎn)生約十微米的位移量，雖然數(shù)字相機已是十分成熟的產(chǎn)品，但由于產(chǎn)品取向不同，手機、個人數(shù)字助理(Personal DigitalAssistant, PDA)與手提電腦并不能將一般數(shù)字相機所采用的步進馬達(dá)以及齒輪機構(gòu)等體積較大的致動組件整合其中。
[0003]在多種可使用于小型微機電系統(tǒng)的可動載具結(jié)構(gòu)的動力來源中，音圈馬達(dá)(VoiceCoil Motor, VCM)是一種理想的選擇,利用線圈產(chǎn)生的磁力與外部的磁性部件產(chǎn)生相互作用力，此作用力與結(jié)構(gòu)上的彈簧相互作用后達(dá)到一個平衡狀態(tài)，即可達(dá)到定位的功效。由于音圈馬達(dá)的技術(shù)已使用于硬盤中的循軌動作許久，是一種相當(dāng)成熟的技術(shù)?，F(xiàn)行市售用于微型數(shù)字鏡頭的外部微機電系統(tǒng)的可動載具結(jié)構(gòu)，將裝有鏡片的鏡筒固定于該微機電系統(tǒng)的可動載具結(jié)構(gòu)內(nèi)，并于后方裝置感光組件后整合成一個具有對焦能力的微型相機模塊。
[0004]目前已有實際商品化的VCM微機電系統(tǒng)的可動載具結(jié)構(gòu)產(chǎn)品,但由于其相對較大的體積，使得產(chǎn)品不易輕巧化，且組裝過程以及零件數(shù)量亦較為繁瑣，使組裝成本高且良率不易提升。此外，傳統(tǒng)機械制程的精密度限制亦影響光學(xué)成像質(zhì)量。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的是在提供一種微機電系統(tǒng)的可動載具結(jié)構(gòu)，透過微機電系統(tǒng)(Microelectromechanical System, MEMS)技術(shù)生產(chǎn)的可動載具結(jié)構(gòu)，以電流與磁場產(chǎn)生作用力的原理驅(qū)動載具，載具也帶動置于其上的負(fù)載，應(yīng)用可整合于微型相機模塊的光學(xué)系統(tǒng)內(nèi)以達(dá)到調(diào)焦功能，與過去的傳統(tǒng)的可動載具結(jié)構(gòu)相比，本微機電系統(tǒng)的可動載具結(jié)構(gòu)具有體積微小化、系統(tǒng)整合性佳、高光軸精度、批量化制造能力等優(yōu)點。
[0006]本發(fā)明另一目的在提供一種微機電系統(tǒng)的可動載具結(jié)構(gòu)，透過微機電系統(tǒng)技術(shù)生產(chǎn)的可動載具結(jié)構(gòu)，以電流與磁場產(chǎn)生作用力的原理驅(qū)動載具，使載具在兩軸位移，整合載具結(jié)構(gòu)與影像傳感器，使影像傳感器做兩軸運動，達(dá)到光學(xué)影像防震(Optical ImageStabilizat1n, 0IS)的功能。
[0007]為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供了一種微機電系統(tǒng)的可動載具結(jié)構(gòu)，應(yīng)用微機電系統(tǒng)技術(shù)于一硅基板形成的可動載具結(jié)構(gòu)，該可動載具結(jié)構(gòu)包括:
一框架部；
一可動承載部，該可動承載部設(shè)置于該框架部內(nèi)，且該可動承載部上設(shè)有一導(dǎo)電線圈回路；及
二組彈性結(jié)構(gòu)，二組該彈性結(jié)構(gòu)分別設(shè)于該可動承載部在直線移動方向的二側(cè)并用以連接該可動承載部于該框架部內(nèi)，且在該可動承載部直線移動時提供彈性回復(fù)力。
[0008]進一步地，其中，該導(dǎo)電線圈回路設(shè)置于該可動承載部的一表面。
[0009]進一步地，其中，該導(dǎo)電線圈回路內(nèi)嵌設(shè)置于該可動承載部的一表面。
[0010]進一步地，其中，該導(dǎo)電線圈回路設(shè)置于該可動承載部的上、下表面。
[0011]進一步地，其中，該導(dǎo)電線圈回路內(nèi)嵌設(shè)置于該可動承載部的上、下表面。
[0012]進一步地，其中，該導(dǎo)電線圈回路環(huán)繞設(shè)置于該可動承載部。
[0013]本發(fā)明還提供一種微機電系統(tǒng)的可動載具結(jié)構(gòu),應(yīng)用微機電系統(tǒng)技術(shù)于一娃基板形成的可動載具結(jié)構(gòu)，該可動載具結(jié)構(gòu)包括:
一第一框架部；
一第二框架部，該第二框架部設(shè)置于第一框架部內(nèi)，且該第二框架部上設(shè)有一第一導(dǎo)電線圈回路；
二組第一彈簧結(jié)構(gòu)，二組該第二框架部分別設(shè)于該第二框架部在第一直線移動方向的二側(cè)，用以連接該第二框架部于該第一框架部內(nèi)，且在該第二框架部直線移動時提供彈性回復(fù)力；
一可動承載部，該可動承載部設(shè)置于該第二框架部內(nèi)，且該可動承載部上設(shè)有一第二導(dǎo)電線圈回路；及
二組第二彈簧結(jié)構(gòu)，二組該第二彈簧結(jié)構(gòu)分別設(shè)于該可動承載部在第二直線移動方向的二側(cè)，用以連接該可動承載部于該第二框架部內(nèi)，且在該可動承載部直線移動時提供彈性回復(fù)力。
[0014]進一步地，其中，該第一直線移動與該第二直線移動的方向互相垂直。
[0015]進一步地，其中，該第一導(dǎo)電線圈回路設(shè)置于該第二框架部的一表面，該第二導(dǎo)電線圈回路設(shè)置于該可動承載部的一表面。
[0016]進一步地，其中，該第一導(dǎo)電線圈回路內(nèi)嵌設(shè)置于該第二框架部的一表面，該第二導(dǎo)電線圈回路內(nèi)嵌設(shè)置于該可動承載部的一表面。
[0017]進一步地，其中，該第一導(dǎo)電線圈回路設(shè)置于該第二框架部的上、下表面，該第二導(dǎo)電線圈回路設(shè)置于該可動承載部的上、下表面。
[0018]進一步地，其中，該第一導(dǎo)電線圈回路內(nèi)嵌設(shè)置于該第二框架部的上、下表面，該第二導(dǎo)電線圈回路內(nèi)嵌設(shè)置于該可動承載部的上、下表面。
[0019]進一步地，其中，該第一導(dǎo)電線圈回路環(huán)繞設(shè)置于該第二框架部，該第二導(dǎo)電線圈回路環(huán)繞設(shè)置于該可動承載部。
[0020]本發(fā)明的優(yōu)點在于，通過可動承載部上的導(dǎo)電線圈回路，及二組彈簧結(jié)構(gòu)分別設(shè)于該可動承載部直線移動的二側(cè)，因此設(shè)計一種通過線圈加電流后與外界的鐵磁性材料的磁場相互作用而產(chǎn)生的作用力，以電磁原理驅(qū)動可動承載部；且進一步可通過二框架部與不同方向連接的組彈簧結(jié)構(gòu)可使該可動承載部進行X與Y軸兩軸方向的直線移動。本微機電系統(tǒng)的可動載具結(jié)構(gòu)可應(yīng)用整合于微型相機模塊的光學(xué)系統(tǒng)內(nèi)以達(dá)到調(diào)焦功能，與過去的傳統(tǒng)微機電系統(tǒng)的可動載具結(jié)構(gòu)相比，本可動載具結(jié)構(gòu)具有體積微小化、系統(tǒng)整合性佳、批量化制造能力等優(yōu)點，且本發(fā)明應(yīng)用組裝后產(chǎn)品不因受外力搖晃或制程公差導(dǎo)致光軸發(fā)生偏差。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0021]圖1為本發(fā)明實施例的示意圖。
[0022]圖2為本發(fā)明實施應(yīng)用的示意圖一。
[0023]圖3為圖2的平面示意圖。
[0024]圖4為本發(fā)明實施應(yīng)用的示意圖二。
[0025]圖5為本發(fā)明實施應(yīng)用的示意圖三。
[0026]圖6為本發(fā)明實施應(yīng)用的示意圖四。
[0027]圖7為本發(fā)明另一實施例的示意圖。
[0028]圖8為圖7實施應(yīng)用的示意圖。
[0029]圖9為本發(fā)明再一實施例的示意圖。
[0030]圖中，100:硅基板 110:框架部
120:可動承載部 130:彈黃結(jié)構(gòu) 200:導(dǎo)電線圈回路 210:連接部 310:第一框架部 320:第二框架部 330:第一彈簧結(jié)構(gòu) 340:可動承載部 350:第二彈簧結(jié)構(gòu) 410:第一導(dǎo)電線圈回路 420:第二導(dǎo)電線圈回路 500、510:磁鐵 600:影像傳感器 1:電流 F:勞侖茲力。

【具體實施方式】
[0031]下面結(jié)合附圖和具體實施例對本發(fā)明作進一步說明，以使本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以更好的理解本發(fā)明并能予以實施，但所舉實施例不作為對本發(fā)明的限定。
[0032]請參閱圖f圖3，為本發(fā)明實施例的示意圖。本為一種微機電系統(tǒng)的可動載具結(jié)構(gòu)，應(yīng)用微機電系統(tǒng)技術(shù)于一娃基板100形成的可動載具結(jié)構(gòu),其包括:一框架部110 ;—可動承載部120設(shè)置于該框架部110內(nèi)，且該可動承載部120上設(shè)有一導(dǎo)電線圈回路200 ;及二組彈簧結(jié)構(gòu)130分別設(shè)于該可動承載部120在直線移動方向的二側(cè)，用以連接該可動承載部120于該框架部110內(nèi)，且在該可動承載部120直線移動時提供彈性回復(fù)力。
[0033]實施上硅基板100可采用應(yīng)力幾乎為零且結(jié)構(gòu)較厚的SOI (Silicon OnInsulator)基板,透過微機電系統(tǒng)技術(shù)的面型微加工(Surface Micro-machining)技術(shù)與體型微加工(Bulk Micro- machining)技術(shù),即是利用半導(dǎo)體制程的薄膜沉積、微影技術(shù)與蝕刻技術(shù)來得到薄膜推疊的機械結(jié)構(gòu)，而體型微加工技術(shù)則是利用蝕刻技術(shù)，再對硅基材本身移除，使微結(jié)構(gòu)達(dá)到懸浮或是得到高深寬比(Aspect Rat1)的結(jié)構(gòu)，分別形成前述框架部110、可動承載部120、彈簧結(jié)構(gòu)130及設(shè)置該導(dǎo)電線圈回路200。
[0034]其中，當(dāng)該導(dǎo)電線圈回路200設(shè)置于該可動承載部120的一表面(圖中實施以上表面為說明實施例)。實施應(yīng)用上于該可動承載部120兩側(cè)的上下方且沿直線移動方向分別設(shè)有不同磁性的磁鐵500，用以分別形成垂直于該可動承載部120，且方向相反的磁場(例如圖3所示的Θ及? ) ο當(dāng)導(dǎo)電線圈回路200通以電流I時(圖中以順時針方向的電流為說明實施例)，導(dǎo)電線圈回路200上的電流I與磁鐵500相互作用而產(chǎn)生勞侖茲力F(如圖3所示)，產(chǎn)生的勞侖茲力F可動力源帶動該可動承載部120于直線方向的位移，且可透過彈簧結(jié)構(gòu)130使該可動承載部120得以輕易的回復(fù)原位，同時具備較強的支撐性。
[0035]應(yīng)用上通過調(diào)整該導(dǎo)電線圈回路200上電流I的方向以及大小可改變該可動承載部120致動的方向以及位移量，如整合于微型相機模塊的光學(xué)系統(tǒng)內(nèi)以達(dá)到調(diào)焦功能。且該導(dǎo)電線圈回路200的電流I可由框架部110與彈簧結(jié)構(gòu)130上的形成導(dǎo)電層由外界導(dǎo)入。
[0036]請再參閱圖4及圖5，本案在實施上該導(dǎo)電線圈回路200可內(nèi)嵌設(shè)置于該可動承載部120的一表面?；蛟搶?dǎo)電線圈回路200設(shè)置或內(nèi)嵌設(shè)置于該可動承載部120的上、下表面，實施上該可動承載部120上、下表面的導(dǎo)電線圈回路200可通過一連接部210電性連接。當(dāng)該導(dǎo)電線圈回路200通以電流I時，導(dǎo)電線圈回路200與磁鐵500相互作用而產(chǎn)生勞侖茲力F，產(chǎn)生的勞侖茲力F可帶動該可動承載部120的直線位移。
[0037]本案在實施上該導(dǎo)電線圈回路200也可圈繞于該可動承載部120上(如圖6所示)，此時應(yīng)用上在該可動承載部120兩側(cè)沿直線移動方向分別設(shè)有不同磁性的磁鐵500。當(dāng)導(dǎo)電線圈回路200通以電流I時，導(dǎo)電線圈回路200與磁鐵500相互作用而產(chǎn)生交互作用所產(chǎn)生的勞侖茲力F，產(chǎn)生的勞侖茲力F可帶動該可動承載部120于直線方向位移，且透過彈簧結(jié)構(gòu)130可使該可動承載部120得以輕易的回復(fù)原位。
[0038]請參閱圖7所示，在X、Y兩軸方向的位移方面，本案微機電系統(tǒng)的可動載具結(jié)構(gòu)如前述結(jié)構(gòu)形成技術(shù)，其包括一第一框架部310,—第二框架部320設(shè)置于第一框架部310內(nèi)，且第二框架部320上設(shè)有一第一導(dǎo)電線圈回路410 ;二組第一彈簧結(jié)構(gòu)330分別設(shè)于該第二框架部320第一直線移動方向的二側(cè)，用以連接該第二框架部320于該第一框架部310內(nèi)，且在該第二框架部320直線移動時提供彈性回復(fù)力；一可動承載部340設(shè)置于該第二框架部320內(nèi)，且該可動承載部340上設(shè)有一第二導(dǎo)電線圈回路420 ;及二組第二彈簧結(jié)構(gòu)350分別設(shè)于該可動承載部340第二直線移動方向的二側(cè)，用以連接該可動承載部340于該第二框架部320內(nèi)且在該可動承載部340直線移動時提供彈性回復(fù)力。其中，該第一直線移動方向(例如Y軸方向)與該第二直線移動方向(例如X軸方向)互相垂直。
[0039]當(dāng)然，如前述實施結(jié)構(gòu)，該第一導(dǎo)電線圈回路410設(shè)置或內(nèi)嵌設(shè)置于該第二框架部320的一表面,該第二導(dǎo)電線圈回路420設(shè)置或內(nèi)嵌設(shè)置于該可動承載部340的一表面；或該第一導(dǎo)電線圈回路410設(shè)置或內(nèi)嵌設(shè)置于該第二框架部320的上、下表面，該第二導(dǎo)電線圈回路420設(shè)置或內(nèi)嵌設(shè)置于該可動承載部340的上、下表面；或該第一導(dǎo)電線圈回路410環(huán)繞設(shè)置于該第二框架部320，該第二導(dǎo)電線圈回路420環(huán)繞設(shè)置于該可動承載部340上。
[0040]如圖8所示，本發(fā)明在X、Y兩軸方向的位移實施應(yīng)用上，該可動承載部340處的磁場方向(類似如圖3所示)，用以在該可動承載部340的二側(cè)分別形成垂直且方向相反的磁場，當(dāng)?shù)诙?dǎo)電線圈回路420通以電流I時(圖中以順時針方向的電流為說明實施例)，第二導(dǎo)電線圈回路420與磁場相互作用而產(chǎn)生勞侖茲力F，產(chǎn)生的勞侖茲力F可帶動該可動承載部340在第二直線位移方向的位移(X軸上的直線位移)，且透過第二彈簧結(jié)構(gòu)350可使該可動承載部340得以輕易的回復(fù)原位，同時具備支撐性。
[0041]相同的也是利用特定路徑的電流I與外加永久磁場交互作用所產(chǎn)生的勞侖茲力F原理，在該第二框架部320兩側(cè)也分別由磁鐵510形成垂直于第二框架部320且方向相反的磁場(例如圖8所示的Θ及? ),當(dāng)?shù)谝粚?dǎo)電線圈回路410通以電流I時(圖中以順時針方向的電流為說明實施例)，第一導(dǎo)電線圈回路410與磁場相互作用而產(chǎn)生勞侖茲力F，產(chǎn)生的勞侖茲力F可帶動該第二框架部320在第一直線位移方向的位移(Y軸上的直線位移)，而該第二框架部320透過第二彈簧結(jié)構(gòu)350連接帶動該可動承載部340在第一直線位移方向的位移(Y軸上的直線位移)。且通過第一彈簧結(jié)構(gòu)330可使該第二框架部320得以輕易的回復(fù)原位，同時具備較強的支撐性。
[0042]應(yīng)用上通過調(diào)整該第一導(dǎo)電線圈回路410與第二導(dǎo)電線圈回路410上電流I的方向以及大小可改變該可動承載部340致動的方向以及在兩軸上的位移量，如整合于微型相機模塊的光學(xué)系統(tǒng)內(nèi)以達(dá)到兩軸方向的調(diào)焦功能。
[0043]請再參閱圖9，在兩軸(X、Y兩軸方向)的位移應(yīng)用上，在該可動承載部340的中間區(qū)域可用于設(shè)置一影像傳感器600 (例如CMOS影像傳感器)，整合本發(fā)明微機電系統(tǒng)的可動載具結(jié)構(gòu)與影像傳感器600，使該可動承載部340可以乘載該影像傳感器600做兩軸運動，達(dá)到光學(xué)影像防震(Optical Image Stabilizat1n, 0IS)的功能；應(yīng)用上可達(dá)到具微小化、無聲、防震性、且低功耗解決方案的快速自動對焦和光學(xué)影像穩(wěn)定的微型相機模塊。
[0044]本發(fā)明的優(yōu)點在于，透過可動承載部上的導(dǎo)電線圈回路，及彈簧結(jié)構(gòu)分別設(shè)于該可動承載部直線移動的二側(cè)，設(shè)計一種通過電流與外界磁場相互作用而產(chǎn)生產(chǎn)生勞侖茲力F，以電磁場原理驅(qū)動置于可動承載部；且進一步可通過二框架部與彈簧結(jié)構(gòu)可使該可動承載部在垂直兩軸方向的直線移動。
[0045]微機電所發(fā)展出來的各項技術(shù)，出其制造精度可小于I微米，遠(yuǎn)超過一般機械加工所能制作出來的精度，這些微機電技術(shù)所制作出來的組件具有微小化、輕量化、高精度、動態(tài)響應(yīng)快等等優(yōu)點。如果將本微機電系統(tǒng)的可動載具結(jié)構(gòu)應(yīng)用整合于微型相機模塊的光學(xué)系統(tǒng)內(nèi)，將可以達(dá)到調(diào)焦功能，與目前市場的音圈馬達(dá)(VCM)的可動載具結(jié)構(gòu)相比，本微機電系統(tǒng)的可動載具結(jié)構(gòu)具有體積微小化、系統(tǒng)整合性佳、高光軸精度、批量化制造能力等優(yōu)點。
[0046]以上所述實施例僅是為充分說明本發(fā)明而所舉的較佳的實施例，本發(fā)明的保護范圍不限于此。本【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員在本發(fā)明基礎(chǔ)上所作的等同替代或變換，均在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。本發(fā)明的保護范圍以權(quán)利要求書為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種微機電系統(tǒng)的可動載具結(jié)構(gòu)，應(yīng)用微機電系統(tǒng)技術(shù)于一娃基板形成的可動載具結(jié)構(gòu)，其特征在于，該可動載具結(jié)構(gòu)包括: 一框架部； 一可動承載部，該可動承載部設(shè)置于該框架部內(nèi)，且該可動承載部上設(shè)有一導(dǎo)電線圈回路；及 二組彈性結(jié)構(gòu)，二組該彈性結(jié)構(gòu)分別設(shè)于該可動承載部在直線移動方向的二側(cè)并用以連接該可動承載部于該框架部內(nèi)，且在該可動承載部直線移動時提供彈性回復(fù)力。
2.如權(quán)利要求1所述的微機電系統(tǒng)的可動載具結(jié)構(gòu)，其特征在于，其中，該導(dǎo)電線圈回路設(shè)置于該可動承載部的一表面。
3.如權(quán)利要求1所述的微機電系統(tǒng)的可動載具結(jié)構(gòu)，其特征在于，其中，該導(dǎo)電線圈回路內(nèi)嵌設(shè)置于該可動承載部的一表面。
4.如權(quán)利要求1所述的微機電系統(tǒng)的可動載具結(jié)構(gòu)，其特征在于，其中，該導(dǎo)電線圈回路設(shè)置于該可動承載部的上、下表面。
5.如權(quán)利要求1所述的微機電系統(tǒng)的可動載具結(jié)構(gòu)，其特征在于，其中，該導(dǎo)電線圈回路內(nèi)嵌設(shè)置于該可動承載部的上、下表面。
6.如權(quán)利要求1所述的微機電系統(tǒng)的可動載具結(jié)構(gòu)，其特征在于，其中，該導(dǎo)電線圈回路環(huán)繞設(shè)置于該可動承載部。
7.一種微機電系統(tǒng)的可動載具結(jié)構(gòu)，應(yīng)用微機電系統(tǒng)技術(shù)于一娃基板形成的可動載具結(jié)構(gòu)，其特征在于，該可動載具結(jié)構(gòu)包括: 一第一框架部； 一第二框架部，該第二框架部設(shè)置于第一框架部內(nèi)，且該第二框架部上設(shè)有一第一導(dǎo)電線圈回路； 二組第一彈簧結(jié)構(gòu)，二組該第二框架部分別設(shè)于該第二框架部在第一直線移動方向的二側(cè)，用以連接該第二框架部于該第一框架部內(nèi)，且在該第二框架部直線移動時提供彈性回復(fù)力； 一可動承載部，該可動承載部設(shè)置于該第二框架部內(nèi)，且該可動承載部上設(shè)有一第二導(dǎo)電線圈回路；及 二組第二彈簧結(jié)構(gòu)，二組該第二彈簧結(jié)構(gòu)分別設(shè)于該可動承載部在第二直線移動方向的二側(cè)，用以連接該可動承載部于該第二框架部內(nèi)，且在該可動承載部直線移動時提供彈性回復(fù)力。
8.如權(quán)利要求7所述的微機電系統(tǒng)的可動載具結(jié)構(gòu),其特征在于,其中，該第一直線移動與該第二直線移動的方向互相垂直。
9.如權(quán)利要求7所述的微機電系統(tǒng)的可動載具結(jié)構(gòu),其特征在于,其中，該第一導(dǎo)電線圈回路設(shè)置于該第二框架部的一表面，該第二導(dǎo)電線圈回路設(shè)置于該可動承載部的一表面。
10.如權(quán)利要求7所述的微機電系統(tǒng)的可動載具結(jié)構(gòu),其特征在于,其中，該第一導(dǎo)電線圈回路內(nèi)嵌設(shè)置于該第二框架部的一表面，該第二導(dǎo)電線圈回路內(nèi)嵌設(shè)置于該可動承載部的一表面。
11.如權(quán)利要求7所述的微機電系統(tǒng)的可動載具結(jié)構(gòu)，其特征在于，其中，該第一導(dǎo)電線圈回路設(shè)置于該第二框架部的上、下表面，該第二導(dǎo)電線圈回路設(shè)置于該可動承載部的上、下表面。
12.如權(quán)利要求7所述的微機電系統(tǒng)的可動載具結(jié)構(gòu),其特征在于,其中，該第一導(dǎo)電線圈回路內(nèi)嵌設(shè)置于該第二框架部的上、下表面，該第二導(dǎo)電線圈回路內(nèi)嵌設(shè)置于該可動承載部的上、下表面。
13.如權(quán)利要求7所述的微機電系統(tǒng)的可動載具結(jié)構(gòu),其特征在于,其中，該第一導(dǎo)電線圈回路環(huán)繞設(shè)置于該第二框架部，該第二導(dǎo)電線圈回路環(huán)繞設(shè)置于該可動承載部。
【文檔編號】B81B7/00GK104348326SQ201410346693
【公開日】2015年2月11日 申請日期:2014年7月21日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月26日
【發(fā)明者】林素貞, 吳名清 申請人:智動全球股份有限公司