專利名稱：一種模塊化雙臺分離機硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
一種模塊化雙臺分離機硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實用新型涉及機電一體化設(shè)備領(lǐng)域，特別涉及了一種模塊化雙臺分離機硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備。
背景技術(shù)：
[0002]目前，硅片線切割工藝的現(xiàn)狀，為了保證切割質(zhì)量，切割工藝中使用的砂漿基本都是極少的重復(fù)使用，切割使用后的廢棄砂漿直接作為工業(yè)廢棄物堆積處理，或者委托專業(yè)處理廠對使用過的砂漿進行處理，無論以上那種方式，都會造成極大浪費，產(chǎn)生較大成本， 因此，實現(xiàn)砂漿的回收再利用是硅片生產(chǎn)企業(yè)降低生產(chǎn)成本的有效途徑，需要合理的設(shè)備， 現(xiàn)有設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜，布局松散，占地面積大，同時由于整體結(jié)構(gòu)固化單一，導(dǎo)致客戶必須同時購買所有罐體。實用新型內(nèi)容[0003]本實用新型的目的是為了減小設(shè)備占地面積，實現(xiàn)設(shè)備模塊化，特提供了一種模塊化雙臺分離機硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備。[0004]本實用新型提供了一種模塊化雙臺分離機硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備，其特征在于所述的模塊化雙臺分離機硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備，包括一次液處理設(shè)備1，五號罐2,六號罐3,第一分離機4,四號罐5, 二號罐6,電控柜7,第二分離機8, —號罐9,三號 iip 10 ；[0005]其中第一分離機4、第二分離機8、一號罐9、二號罐6和三號罐10共同構(gòu)成模塊化雙臺分離機硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備的大的功能模塊，第一分離機4和第二分離機 8平行布置在整個設(shè)備上；四號罐5、五號罐2和六號罐3擺放在整個大的功能模塊的側(cè)面， 三號罐內(nèi)裝聚乙二醇；電控柜7分別與第二分離機8和一次液處理設(shè)備I相連，三號罐10 與一次液處理設(shè)備I相連，一次液處理設(shè)備I再與三號罐11相連，四號罐5與第二分離機8 及一號罐9相連,五號罐2與一號罐9相連,六號罐3與一號罐9相連,二號罐6與四號罐 5和六號罐3相連。[0006]所述的第一分離機4和第二分離機8均為臥式螺旋沉降離心機。[0007]所述的四號罐5為存儲罐，所述的五號罐2為調(diào)和罐。[0008]所述的單臺分離機硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備中除了四號罐5和六號罐3之外的部分，整體作為一個大的功能單元模塊，四號罐5和六號罐3能夠單獨擺放在一起，由生產(chǎn)設(shè)備的企業(yè)提供或使用設(shè)備的企業(yè)自行提供。[0009]工作原理[0010]切片機產(chǎn)生的廢舊砂漿，經(jīng)分離機的分離后，形成一次分離液和回收的粗粉；一次分離液經(jīng)一次液處理設(shè)備的分離后，產(chǎn)生回收的液相和回收固相，對回收固相進行再處理。[0011]本實用新型的優(yōu)點[0012]本實用新型所述的模塊化雙臺分離機硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備，用于分離和回收硅片切割工藝中所產(chǎn)生的廢砂漿，同時亦適用于半導(dǎo)體芯片、水晶、鉆石等行業(yè)的廢液回收利用。硅片切割廢液中，PEG、SiC的回收率可達80%以上，硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備與線切割機可采用1:4或1:5配置。有效地避免了浪費。模塊化的設(shè)備，使設(shè)備的使用企業(yè)可自行準備存儲罐，降低采購成本。


[0013]
以下結(jié)合附圖及實施方式對本實用新型作進一步詳細的說明[0014]圖1為模塊化雙臺分離機硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備的原理結(jié)構(gòu)示意圖；[0015]圖2為模塊化雙臺分離機硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備的原理結(jié)構(gòu)俯視方向示意圖。
具體實施方式
[0016]實施例[0017]本實施例提供了一種模塊化雙臺分離機硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備，其特征在于所述的模塊化雙臺分離機硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備，包括一次液處理設(shè)備1，五號罐2,六號罐3,第一分離 機4,四號罐5, 二號罐6,電控柜7,第二分離機8, —號罐9,三號罐 10 ；[0018]其中第一分離機4、第二分離機8、一號罐9、二號罐6和三號罐10共同構(gòu)成模塊化雙臺分離機硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備的大的功能模塊，第一分離機4和第二分離機 8平行布置在整個設(shè)備上；四號罐5、五號罐2和六號罐3擺放在整個大的功能模塊的側(cè)面， 三號罐內(nèi)裝聚乙二醇；電控柜7分別與第二分離機8和一次液處理設(shè)備I相連，三號罐10 與一次液處理設(shè)備I相連，一次液處理設(shè)備I再與三號罐11相連，四號罐5與第二分離機8 及一號罐9相連,五號罐2與一號罐9相連,六號罐3與一號罐9相連,二號罐6與四號罐 5和六號罐3相連。[0019]所述的第一分離機4和第二分離機8均為臥式螺旋沉降離心機。[0020]所述的四號罐5為存儲罐，所述的五號罐2為調(diào)和罐。[0021]所述的單臺分離機硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備中除了四號罐5和六號罐3之外的部分，整體作為一個大的功能單元模塊，四號罐5和六號罐3能夠單獨擺放在一起，由生產(chǎn)設(shè)備的企業(yè)提供或使用設(shè)備的企業(yè)自行提供。[0022]工作原理[0023]切片機產(chǎn)生的廢舊砂漿，經(jīng)分離機的分離后，形成一次分離液和回收的粗粉；一次分離液經(jīng)一次液處理設(shè)備的分離后，產(chǎn)生回收的液相和回收固相，對回收固相進行再處理。
權(quán)利要求1.一種模塊化雙臺分離機硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備，其特征在于所述的模塊化雙臺分離機硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備，包括一次液處理設(shè)備(1)，五號罐(2)，六號罐(3),第一分離機(4),四號罐(5), 二號罐(6),電控柜(7),第二分離機(8), —號罐(9),三號罐(10);其中第一分離機(4)、第二分離機(8)、一號罐(9)、二號罐(6)和三號罐(10)共同構(gòu)成模塊化雙臺分離機硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備的大的功能模塊，第一分離機(4)和第二分離機(8)平行布置在整個設(shè)備上；四號罐(5)、五號罐(2)和六號罐(3)擺放在整個大的功能模塊的側(cè)面，三號罐(10 )內(nèi)裝聚乙二醇；電控柜(7 )分別與第二分離機(8 )和一次液處理設(shè)備(I)相連，三號罐(10)與一次液處理設(shè)備(I)相連,一次液處理設(shè)備(I)再與三號罐(11)相連，四號罐(5)與第二分離機(8)及一號罐(9)相連,五號罐(2)與一號罐(9)相連，六號罐(3)與一號罐(9)相連,二號罐(6)與四號罐(5)和六號罐(3)相連。
2.按照權(quán)利要求1所述的模塊化雙臺分離機硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備，其特征在于所述的第一分離機(4)和第二分離機(8)均為臥式螺旋沉降離心機。
3.照權(quán)利要求1所述的模塊化雙臺分離機硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備，其特征在于所述的四號罐(5)為存儲罐。
4.權(quán)利要求1所述的模塊化雙臺分離機硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備，其特征在于所述的五號罐(2)為調(diào)和罐。
專利摘要一種模塊化雙臺分離機硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備，包括一次液處理設(shè)備，五號罐，六號罐，第一分離機，四號罐，二號罐，電控柜，第二分離機，一號罐，三號罐；第一分離機、第二分離機、一號罐、二號罐和三號罐共同構(gòu)成模塊化雙臺分離機硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備的大的功能模塊，第一分離機和第二分離機平行布置在整個設(shè)備上；四號罐、五號罐和六號罐擺放在整個大的功能模塊的側(cè)面，三號罐內(nèi)裝聚乙二醇；電控柜分別與第二分離機和一次液處理設(shè)備相連，三號罐與一次液處理設(shè)備相連。本實用新型的優(yōu)點用于分離和回收硅片切割工藝中所產(chǎn)生的廢砂漿，有效地避免了浪費。模塊化的設(shè)備，使設(shè)備的使用企業(yè)可自行準備存儲罐，降低采購成本。
文檔編號C10M175/00GK202829987SQ20122021745
公開日2013年3月27日 申請日期2012年5月15日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月15日
發(fā)明者張磊 申請人:沈陽光遠新能源科技有限公司