晶粒分選裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種分選裝置，特別是涉及一種晶粒分選裝置，晶粒分選技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著信息、通信及光電產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，電子產(chǎn)品逐漸走向高階化及輕薄化，在高速度、高頻率及小型化的需求下，晶圓線路更加細(xì)致、微小化。晶粒(Dice)為一般半導(dǎo)體組件的基本原料，體積極為細(xì)小，在加工之前必須先經(jīng)測(cè)試篩選以確保半導(dǎo)體組件的良好率。
[0003]然而，現(xiàn)有技術(shù)中的晶粒分選機(jī)，在實(shí)現(xiàn)分選過程中，存在結(jié)構(gòu)復(fù)雜、傳送機(jī)構(gòu)的傳送速度慢、檢測(cè)后的傳送動(dòng)作繁雜、整體效能較低等諸多問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的主要目的在于，克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種晶粒分選裝置，特別適用于高效分選。
[0005]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、拆裝方便、成本較低、質(zhì)量可靠、實(shí)用性強(qiáng)的晶粒分選裝置，不僅分選有效、精度高，而且簡(jiǎn)化了檢測(cè)后獨(dú)立的傳送機(jī)構(gòu)、分選直接高效、沒有多余傳送動(dòng)作、大幅提升分選效率，同時(shí)動(dòng)作銜接順暢、能耗較低，極具有產(chǎn)業(yè)上的利用價(jià)值。
[0006]為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是:
一種晶粒分選裝置，包括依次相連并相同水平面設(shè)置的晶粒輸入帶和晶粒檢測(cè)承臺(tái)，所述晶粒輸入帶將待分選晶粒逐顆送入晶粒檢測(cè)承臺(tái)；所述晶粒檢測(cè)承臺(tái)的臺(tái)面正上方設(shè)置有檢測(cè)裝置，所述檢測(cè)裝置用于將晶粒檢測(cè)承臺(tái)的待分選晶粒進(jìn)行分選檢測(cè)。
[0007]其中，所述晶粒檢測(cè)承臺(tái)的臺(tái)面四周以臺(tái)面中點(diǎn)為中心、并與臺(tái)面相同水平面至少分布有兩個(gè)分選收集單元，所述分選收集單元僅圍繞晶粒檢測(cè)承臺(tái)中不與晶粒輸入帶相連的臺(tái)面四周。
[0008]同時(shí)，所述分選收集單元包括收集吸嘴和分選收集盒；所述分選收集盒與晶粒檢測(cè)承臺(tái)的臺(tái)面周沿相連、且頂面敞口、并保持頂面與臺(tái)面齊平；所述收集吸嘴正對(duì)著晶粒檢測(cè)承臺(tái)臺(tái)面上的待分選晶粒、用于將分選檢測(cè)后的晶粒吸取并落入分選收集盒中。
[0009]本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為:所述分選收集單元均勻分布有三個(gè)，依次為分選收集單元一、分選收集單元二和分選收集單元三，所述分選收集單元二和晶粒輸入帶同軸設(shè)置，所述分選收集單元一和分選收集單元三同軸設(shè)置。
[0010]本發(fā)明更進(jìn)一步設(shè)置為:所述分選收集單元一和分選收集單元二的軸線相交夾角為直角；所述分選收集單元二和分選收集單元三的軸線相交夾角也為直角。
[0011]本發(fā)明更進(jìn)一步設(shè)置為:所述分選收集盒通過掛鉤懸掛在晶粒檢測(cè)承臺(tái)的臺(tái)面周沿。
[0012]本發(fā)明更進(jìn)一步設(shè)置為:所述分選收集盒的橫截面為扇形。
[0013]本發(fā)明更進(jìn)一步設(shè)置為:所述分選收集盒的盒內(nèi)底面鋪設(shè)有軟墊層。
[0014]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有的有益效果是:
通過晶粒輸入帶將待分選晶粒送入晶粒檢測(cè)承臺(tái)進(jìn)行檢測(cè)，檢測(cè)后通過圍繞晶粒檢測(cè)承臺(tái)臺(tái)面四周的分選收集單元進(jìn)行直接收集，省略了檢測(cè)后繁雜的傳送收集機(jī)構(gòu)，根據(jù)分選需求通過啟動(dòng)不同分選收集單元中的收集吸嘴將分選檢測(cè)后的晶粒吸取并落入對(duì)應(yīng)的分選收集盒中，分選直接高效、沒有多余傳送動(dòng)作，從而大幅提升了分選效率，整體動(dòng)作銜接順暢，整機(jī)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、拆裝方便、成本較低、能耗也較低，可實(shí)現(xiàn)有效分選、高精度分選。
[0015]上述內(nèi)容僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了更清楚的了解本發(fā)明的技術(shù)手段，下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的描述。
【附圖說明】
[0016]圖1為本發(fā)明晶粒分選裝置的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2為本發(fā)明晶粒分選裝置的正視結(jié)構(gòu)剖示圖。
【具體實(shí)施方式】
[0017]下面結(jié)合說明書附圖，對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的說明。
[0018]如圖1及圖2所示，一種晶粒分選裝置，包括依次相連并相同水平面設(shè)置的晶粒輸入帶I和晶粒檢測(cè)承臺(tái)2，所述晶粒輸入帶I將待分選晶粒逐顆送入晶粒檢測(cè)承臺(tái)2 ;所述晶粒檢測(cè)承臺(tái)2的臺(tái)面正上方設(shè)置有檢測(cè)裝置3，所述檢測(cè)裝置3用于將晶粒檢測(cè)承臺(tái)2的待分選晶粒21進(jìn)行分選檢測(cè)。
[0019]所述晶粒檢測(cè)承臺(tái)2的臺(tái)面四周以臺(tái)面中點(diǎn)為中心、并與臺(tái)面相同水平面均勻分布有三個(gè)分選收集單元，所述分選收集單元僅圍繞晶粒檢測(cè)承臺(tái)2中不與晶粒輸入帶I相連的臺(tái)面四周。
[0020]所述均勾分布的三個(gè)分選收集單元，依次為分選收集單元一 4、分選收集單元二 5和分選收集單元三6，所述分選收集單元二 5和晶粒輸入帶I同軸設(shè)置，所述分選收集單元一 4和分選收集單元三6同軸設(shè)置。
[0021]如圖1所示，所述分選收集單元一 4和分選收集單元二 5的軸線相交夾角為直角，所述分選收集單元二 5和分選收集單元三6的軸線相交夾角也為直角。
[0022]所述分選收集單元一 4、分選收集單元二 5和分選收集單元三6均包括收集吸嘴41和分選收集盒42 ;所述分選收集盒42的橫截面為扇形、其盒內(nèi)底面鋪設(shè)有軟墊層(圖中未示出)，扇形設(shè)置可擴(kuò)大收集容腔，軟墊層可防止落入的晶粒受損、確保晶粒質(zhì)量；所述分選收集盒42與晶粒檢測(cè)承臺(tái)2的臺(tái)面周沿相連、且頂面敞口、并保持頂面與臺(tái)面齊平；所述收集吸嘴41正對(duì)著晶粒檢測(cè)承臺(tái)2臺(tái)面上的待分選晶粒、用于將分選檢測(cè)后的晶粒吸取并落入分選收集盒42中。所述收集吸嘴41的吸取通過開啟其上的通氣閥實(shí)現(xiàn)、放氣落入分選收集盒通過關(guān)閉通氣閥完成，通氣閥與外界氣路控制系統(tǒng)相連。
[0023]如圖2所示，所述分選收集盒42通過掛鉤43懸掛在晶粒檢測(cè)承臺(tái)2的臺(tái)面周沿。
[0024]本發(fā)明的創(chuàng)新點(diǎn)在于，通過晶粒輸入帶將待分選晶粒送入晶粒檢測(cè)承臺(tái)進(jìn)行檢測(cè)，檢測(cè)后通過圍繞晶粒檢測(cè)承臺(tái)臺(tái)面四周的分選收集單元進(jìn)行直接收集，省略了檢測(cè)后繁雜的傳送收集機(jī)構(gòu)，根據(jù)分選需求通過啟動(dòng)不同分選收集單元中的收集吸嘴將分選檢測(cè)后的晶粒吸取并落入對(duì)應(yīng)的分選收集盒中，可以根據(jù)實(shí)際分選需要更換不同分布排列的分選收集單元，如果分選項(xiàng)目較多通過增加分選收集單元來實(shí)現(xiàn)，如果分選項(xiàng)目較少則可以直接暫停分選收集單元使之處于不啟用狀態(tài)，不需要拆除或更換，方便實(shí)用；更重要的是分選直接高效、沒有多余傳送動(dòng)作，可大幅提升分選效率，而且動(dòng)作銜接順暢，整機(jī)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、拆裝方便、成本較低、能耗也較低，可實(shí)現(xiàn)有效分選、高精度分選。
[0025]以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非對(duì)本發(fā)明作任何形式上的限制，雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上，然而并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍內(nèi)，當(dāng)可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容做出些許更動(dòng)或修飾為等同變化的等效實(shí)施例，但凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何的簡(jiǎn)單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種晶粒分選裝置，其特征在于:包括依次相連并相同水平面設(shè)置的晶粒輸入帶和晶粒檢測(cè)承臺(tái)，所述晶粒輸入帶將待分選晶粒逐顆送入晶粒檢測(cè)承臺(tái)； 所述晶粒檢測(cè)承臺(tái)的臺(tái)面正上方設(shè)置有檢測(cè)裝置，所述檢測(cè)裝置用于將晶粒檢測(cè)承臺(tái)的待分選晶粒進(jìn)行分選檢測(cè)； 所述晶粒檢測(cè)承臺(tái)的臺(tái)面四周以臺(tái)面中點(diǎn)為中心、并與臺(tái)面相同水平面至少分布有兩個(gè)分選收集單元，所述分選收集單元僅圍繞晶粒檢測(cè)承臺(tái)中不與晶粒輸入帶相連的臺(tái)面四周； 所述分選收集單元包括收集吸嘴和分選收集盒；所述分選收集盒與晶粒檢測(cè)承臺(tái)的臺(tái)面周沿相連、且頂面敞口、并保持頂面與臺(tái)面齊平；所述收集吸嘴正對(duì)著晶粒檢測(cè)承臺(tái)臺(tái)面上的待分選晶粒、用于將分選檢測(cè)后的晶粒吸取并落入分選收集盒中。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶粒分選裝置，其特征在于:所述分選收集單元均勻分布有三個(gè)，依次為分選收集單元一、分選收集單元二和分選收集單元三，所述分選收集單元二和晶粒輸入帶同軸設(shè)置，所述分選收集單元一和分選收集單元三同軸設(shè)置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶粒分選裝置，其特征在于:所述分選收集單元一和分選收集單元二的軸線相交夾角為直角；所述分選收集單元二和分選收集單元三的軸線相交夾角也為直角。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶粒分選裝置，其特征在于:所述分選收集盒通過掛鉤懸掛在晶粒檢測(cè)承臺(tái)的臺(tái)面周沿。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶粒分選裝置，其特征在于:所述分選收集盒的橫截面為扇形。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶粒分選裝置，其特征在于:所述分選收集盒的盒內(nèi)底面鋪設(shè)有軟墊層。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種晶粒分選裝置，包括依次相連并相同水平面設(shè)置的晶粒輸入帶和晶粒檢測(cè)承臺(tái)，晶粒輸入帶將待分選晶粒逐顆送入晶粒檢測(cè)承臺(tái)；晶粒檢測(cè)承臺(tái)的臺(tái)面正上方設(shè)置有用于將晶粒檢測(cè)承臺(tái)的待分選晶粒進(jìn)行分選檢測(cè)的檢測(cè)裝置；晶粒檢測(cè)承臺(tái)的臺(tái)面四周至少分布有兩個(gè)分選收集單元；分選收集單元包括收集吸嘴和分選收集盒；收集吸嘴正對(duì)著晶粒檢測(cè)承臺(tái)臺(tái)面上的待分選晶粒、用于將分選檢測(cè)后的晶粒吸取并落入分選收集盒中。省略了檢測(cè)后繁雜的傳送收集機(jī)構(gòu)，根據(jù)分選需求通過啟動(dòng)不同收集吸嘴將晶粒吸取收集，分選直接高效、沒有多余傳送動(dòng)作，大幅提升分選效率，動(dòng)作銜接順暢，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、拆裝方便、成本較低、可實(shí)現(xiàn)有效分選、高精度分選。
【IPC分類】B07C5-02, B07C5-36
【公開號(hào)】CN104550054
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201410835408
【發(fā)明人】劉思佳
【申請(qǐng)人】蘇州凱锝微電子有限公司
【公開日】2015年4月29日
【申請(qǐng)日】2014年12月29日