本發(fā)明涉及一種雜質(zhì)吸收器件，具體涉及一種立體結(jié)構(gòu)的雜質(zhì)吸收器件。

背景技術(shù)：
采用MEMS工藝制造的智能傳感器，如：加速度、陀螺儀、諧振壓力、光電圖像等，這些智能傳感器需要工作在高真空、高潔凈的環(huán)境下，才能保障其指標(biāo)Q值和壽命。為了滿足智能傳感器工作環(huán)境需求，通常將智能傳感器封裝于密閉腔體內(nèi)并在密閉腔體內(nèi)設(shè)置雜質(zhì)吸附器件，例如吸氣材料，用來(lái)吸收封裝腔體內(nèi)部緩慢釋放的氣體、水分等污染物，維持內(nèi)部高真空環(huán)境。傳統(tǒng)吸氣材料普遍采用薄膜、柱狀、片狀等形態(tài)，吸附能力有限并且無(wú)法吸附固體雜質(zhì)，例如粉塵顆粒等，影響智能傳感器的使用壽命，亟待出現(xiàn)能夠滿足智能傳感器需求的高性能雜質(zhì)吸收器件。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明的目的在于提供一種新型立體結(jié)構(gòu)的雜質(zhì)吸收器件，對(duì)傳統(tǒng)吸氣材料的結(jié)構(gòu)及功能進(jìn)行了突破性的改進(jìn)，顯著提高吸附效果。本發(fā)明采用的技術(shù)方案為：一種立體結(jié)構(gòu)的雜質(zhì)吸收器件，包括多個(gè)支撐橋面，所述多個(gè)支撐橋面通過(guò)橋墩逐層搭建在基底上形成多個(gè)側(cè)面具有開(kāi)口的功能吸附腔，在每個(gè)功能吸附腔的上表面和/或下表面上設(shè)置有吸氣材料層。優(yōu)選地，所述功能吸附腔中還設(shè)置有用于吸附固體雜質(zhì)的靜電吸附裝置，所述橋墩的形狀構(gòu)成靜電吸附裝置的反鎖機(jī)構(gòu)。優(yōu)選地，所述靜電吸附裝置是導(dǎo)電極板，設(shè)置在功能吸附腔的上表面和/或下表面上，所述支撐橋面和橋墩采用絕緣材料制成，在導(dǎo)電極板所在功能吸附腔中至少有一個(gè)橋墩內(nèi)部具有金屬導(dǎo)線，所述金屬導(dǎo)線延伸至導(dǎo)電極板上，形成導(dǎo)電極板的供電通路。優(yōu)選地，所述橋墩的形狀是內(nèi)扣的支架形或者圓弧形。優(yōu)選地，所述支撐橋面的形狀為方形、多邊形或圓形。優(yōu)選地，所述吸氣材料層是合金或者石墨烯。優(yōu)選地，在最上層支撐橋面的上表面上設(shè)置吸氣材料層。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果在于：1）本發(fā)明提供一種立體結(jié)構(gòu)的雜質(zhì)吸收器件，將多個(gè)支撐橋面和橋墩逐層搭建，形成多個(gè)立體結(jié)構(gòu)的功能吸附腔，在每個(gè)立體結(jié)構(gòu)的功能吸附腔中均設(shè)置有吸氣材料層，能夠在有限的空間內(nèi)顯著增大吸氣材料接觸面積，提高吸氣效果，延長(zhǎng)智能傳感器使用壽命；2）本發(fā)明提供的一種立體結(jié)構(gòu)的雜質(zhì)吸收器件，將多個(gè)支撐橋面和橋墩逐層搭建，形成多個(gè)立體結(jié)構(gòu)的功能吸附腔，在多個(gè)立體結(jié)構(gòu)的功能吸附腔中設(shè)置有吸氣材料層和靜電吸附裝置，不僅可以顯著提高吸氣效果，還能夠進(jìn)一步吸附固體雜質(zhì)，同時(shí)，由于橋墩的反鎖機(jī)構(gòu)作用可以防止固體雜質(zhì)溢出，滿足智能傳感器對(duì)雜質(zhì)吸附器件提出的高性能需求，進(jìn)一步延長(zhǎng)智能傳感器使用壽命。本發(fā)明的另一目的是提供一種新型立體結(jié)構(gòu)的雜質(zhì)吸收器件，能夠吸附固體雜質(zhì)，防止雜質(zhì)溢出。本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：一種立體結(jié)構(gòu)的雜質(zhì)吸收器件，包括多個(gè)支撐橋面，所述多個(gè)支撐橋面通過(guò)橋墩逐層搭建在基底上形成多個(gè)側(cè)面具有開(kāi)口的功能吸附腔，在每個(gè)功能吸附腔中均設(shè)置有用于吸附固體雜質(zhì)的靜電吸附裝置，所述橋墩的形狀構(gòu)成靜電吸附裝置的反鎖機(jī)構(gòu)。優(yōu)選地，所述靜電吸附裝置是導(dǎo)電極板，設(shè)置在功能吸附腔的上表面和/或下表面上，所述支撐橋面和橋墩采用絕緣材料制成，在每個(gè)功能吸附腔中至少一個(gè)橋墩內(nèi)部具有金屬導(dǎo)線，所述金屬導(dǎo)線延伸至導(dǎo)電極板上，形成導(dǎo)電極板的供電通路。優(yōu)選地，所述橋墩的形狀是內(nèi)扣的支架或者圓弧形。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果在于：本發(fā)明提供的一種立體結(jié)構(gòu)的雜質(zhì)吸收器件，將多個(gè)支撐橋面和橋墩逐層搭建，形成多個(gè)立體結(jié)構(gòu)的功能吸附腔，在每個(gè)立體結(jié)構(gòu)的功能吸附腔中均設(shè)置有靜電吸附裝置，能有效吸附固體雜質(zhì)，同時(shí)，由于橋墩的反鎖機(jī)構(gòu)作用可以防止固體雜質(zhì)溢出，延長(zhǎng)智能傳感器使用壽命。附圖說(shuō)明圖1是本發(fā)明雜質(zhì)吸收器件的立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2（a）是實(shí)施例1中提供的雜質(zhì)吸收器件側(cè)視圖1；圖2（b）是實(shí)施例1中提供的雜質(zhì)吸收器件側(cè)視圖2；圖2（c）是實(shí)施例1中提供的雜質(zhì)吸收器件側(cè)視圖3；圖3（a）是實(shí)施例2中提供的雜質(zhì)吸收器件側(cè)視圖4；圖3（b）是實(shí)施例2中提供的雜質(zhì)吸收器件側(cè)視圖5；圖3（c）是實(shí)施例2中提供的雜質(zhì)吸收器件側(cè)視圖6；圖3（d）是實(shí)施例2中提供的雜質(zhì)吸收器件側(cè)視圖7；圖3（e）是實(shí)施例2中提供的雜質(zhì)吸收器件側(cè)視圖8；圖4（a）是實(shí)施例2提供的靜電吸附裝置俯視圖1；圖4（b）是實(shí)施例2提供的靜電吸附裝置俯視圖2；圖4（c）是實(shí)施例2提供的靜電吸附裝置俯視圖3；圖4（d）是實(shí)施例2提供的靜電吸附裝置俯視圖4；圖4（e）是實(shí)施例2提供的靜電吸附裝置俯視圖5；圖5（a）是實(shí)施例3中提供的雜質(zhì)吸收器件側(cè)視圖9；圖5（b）是實(shí)施例3中提供的雜質(zhì)吸收器件側(cè)視圖10；圖5（c）是實(shí)施例3中提供的雜質(zhì)吸收器件側(cè)視圖11。具體實(shí)施方式以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步描述。本發(fā)明所有附圖是上述立體結(jié)構(gòu)雜質(zhì)吸收器件的簡(jiǎn)略示意圖，只為清楚描述本方案體現(xiàn)了與發(fā)明點(diǎn)相關(guān)的結(jié)構(gòu)，對(duì)于其他的與發(fā)明點(diǎn)無(wú)關(guān)的結(jié)構(gòu)是現(xiàn)有結(jié)構(gòu)，在附圖中并未體現(xiàn)或只體現(xiàn)部分。實(shí)施例1：參見(jiàn)圖1，一種立體結(jié)構(gòu)的雜質(zhì)吸收器件，包括多個(gè)支撐橋面20，所述多個(gè)支撐橋面20通過(guò)橋墩30逐層搭建在基底10上形成多個(gè)側(cè)面具有開(kāi)口的功能吸附腔，在每個(gè)功能吸附腔的上表面和/或下表面上均設(shè)置有吸氣材料層40，用于吸附氣體及水分等污染物。作為優(yōu)選的方案，在最上層支撐橋面的上表面上同樣設(shè)置吸氣材料，以便增強(qiáng)吸氣效果。具體地，所述吸氣材料層40可以設(shè)置在功能吸附腔的下表面，如圖2（a）所示；或者是設(shè)置在功能吸附腔的上表面，如圖2（b）所示；又或者同時(shí)設(shè)置在上表面和下表面，如圖2（c）所示。在本發(fā)明中，所述支撐橋面的個(gè)數(shù)決定立體結(jié)構(gòu)的層數(shù)，可以根據(jù)需要進(jìn)行設(shè)定。在本實(shí)施例中，所述支撐橋面的個(gè)數(shù)為3，與基底共形成3個(gè)功能吸附腔，很明顯地，多個(gè)立體結(jié)構(gòu)的功能吸附腔為吸氣材料提供更多安置空間，能夠在有限的空間內(nèi)顯著增大吸氣材料接觸面積，提高吸氣效果，延長(zhǎng)智能傳感器使用壽命。具體地，所述吸氣材料可以選用市場(chǎng)上通用的吸氣材料，例如鋯、釩、鐵、鋁、錸或鈦中的兩種或兩種以上元素形成的合金，采用化學(xué)沉積CVD或蒸鍍法沉積在支撐橋面上；又或者可以是石墨烯材料，采用納米工藝制作而成；所述基底可以但不限于硅基、鍺基、玻璃、金屬或陶瓷等材料。實(shí)施例2：參見(jiàn)圖3，在實(shí)施例1的基礎(chǔ)上，進(jìn)一步地，在所述功能吸附腔中還設(shè)置有靜電吸附裝置50，用于吸附固體雜質(zhì)，所述橋墩10的形狀構(gòu)成靜電吸附裝置50的反鎖機(jī)構(gòu)。具體地，所述靜電吸附裝置是導(dǎo)電極板50，設(shè)置在功能吸附腔的上表面和/或下表面上。示例的，所述吸氣材料層40和導(dǎo)電極板50可以分別設(shè)置在功能吸附腔的下表面和上表面，如圖3（a）所示；或者是分別設(shè)置在功能吸附腔的上表面和下表面，如圖3（b）所示；又或者同時(shí)設(shè)置在功能吸附腔的上表面和下表面上，如圖3（c）、3（d）、3（e）所示。在本實(shí)施例中，以方形支撐橋面為例對(duì)靜電吸附裝置進(jìn)行說(shuō)明。參見(jiàn)圖4（a），所述支撐橋面20為方形，在方形橋面的四個(gè)頂點(diǎn)位置設(shè)置橋墩10，為了盡量增大吸附面積，所述導(dǎo)電極板50也為方形，設(shè)置在支撐橋面20的中央位置上。所述支撐橋面和四個(gè)橋墩整體采用絕緣材料制成，但其中至少一個(gè)橋墩內(nèi)部具有金屬導(dǎo)線32，所述金屬導(dǎo)線32在支撐橋面20上延伸至導(dǎo)電極板，形成導(dǎo)電極板的供電通路，延伸至橋墩外的金屬導(dǎo)線32也可以采用絕緣材料31包裹。同時(shí)，為了實(shí)現(xiàn)吸附雜質(zhì)的反鎖，所述橋墩10設(shè)計(jì)成夾角為90°的支架狀，支架末端內(nèi)扣，所述橋墩的支架沿著支撐橋面的邊上延伸，優(yōu)選的，其長(zhǎng)度應(yīng)當(dāng)使所述支撐橋面四周留下的開(kāi)口長(zhǎng)度小于等于橋面邊長(zhǎng)的1/3，以便提高固體雜質(zhì)的反鎖效果。如上所述，導(dǎo)電極板50在通電狀態(tài)下能夠有效吸附固體雜質(zhì)，例如粉塵顆粒等，當(dāng)固體雜質(zhì)吸附進(jìn)入類(lèi)似“網(wǎng)魚(yú)箱”的功能吸附腔中，橋墩的反鎖機(jī)構(gòu)可以有效防止固體雜質(zhì)溢出，滿足智能傳感器對(duì)雜質(zhì)吸附器件提出的高性能需求，進(jìn)一步延長(zhǎng)智能傳感器使用壽命。這里，所述支撐橋面、導(dǎo)電極板和橋墩的形狀還可以有多種選擇。示例的，所述支撐橋面的形狀為多邊形，例如六邊形，所述導(dǎo)電極板也設(shè)計(jì)為六邊形，所述橋墩的個(gè)數(shù)為6，設(shè)置在支撐橋面的6個(gè)頂角上，其形狀為夾角120°的內(nèi)扣支架狀，所述導(dǎo)電極板50通過(guò)橋墩內(nèi)的金屬導(dǎo)線32實(shí)現(xiàn)供電，如圖4（b）所示。或者，所述支撐橋面的形狀為圓形，所述導(dǎo)電極板也為圓形，所述橋墩的個(gè)數(shù)為4，其形狀為圓弧形，所述導(dǎo)電極板50通過(guò)橋墩內(nèi)的金屬導(dǎo)線32實(shí)現(xiàn)供電，如圖4（c）所示，這里，所述橋墩的個(gè)數(shù)還可以為3或5等。對(duì)應(yīng)于如圖3（c）、3（d）、3（e）所示的情況，所述吸氣材料層40和導(dǎo)電極板50可以但不限于按照?qǐng)D4（d）和圖4（e）的方式設(shè)置在功能吸附腔的上表面和下表面上。另外，所述吸氣材料層和導(dǎo)電極板在每個(gè)功能吸附腔內(nèi)的設(shè)置方式也可以不同，本發(fā)明不做限定?？傊?，在滿足吸附功能及制造工藝的前提下，所述支撐橋面、導(dǎo)電極板以及橋墩的個(gè)數(shù)和形狀有多種選擇，本發(fā)明不能窮舉。實(shí)施例3：參見(jiàn)圖5（a）,一種立體結(jié)構(gòu)的雜質(zhì)吸收器件，包括多個(gè)支撐橋面20，所述多個(gè)支撐橋面20通過(guò)橋墩30逐層搭建在基底10上形成多個(gè)側(cè)面具有開(kāi)口的功能吸附腔，在每個(gè)功能吸附腔均設(shè)置有用于吸附固體雜質(zhì)的靜電吸附裝置50，所述橋墩30的形狀構(gòu)成靜電吸附裝置的反鎖機(jī)構(gòu)。具體地，所述靜電吸附裝置是導(dǎo)電極板50，設(shè)置在功能吸附腔的上表面和/或下表面上。示例的，所述導(dǎo)電極板50可以設(shè)置在功能吸附腔的上表面，如圖5（a）所示；或者是設(shè)置在功能吸附腔的下表面，如圖5（b）所示；又或者同時(shí)設(shè)置在功能吸附腔的上表面和下表面上，如圖5（c）所示。在本實(shí)施例中，導(dǎo)電極板的供電原理以及橋墩的反鎖機(jī)構(gòu)形狀同實(shí)施例2，本發(fā)明不再贅述。本實(shí)施例提供的是一種立體結(jié)構(gòu)的雜質(zhì)吸收器件，將多個(gè)支撐橋面和橋墩逐層搭建，形成多個(gè)立體結(jié)構(gòu)的功能吸附腔，在每個(gè)立體結(jié)構(gòu)的功能吸附腔中均設(shè)置有靜電吸附裝置，能夠吸附固體雜質(zhì)，同時(shí)，由于橋墩的反鎖機(jī)構(gòu)作用可以防止固體雜質(zhì)溢出，延長(zhǎng)智能傳感器的使用壽命，同時(shí)，也可以應(yīng)用于其他有固體雜質(zhì)吸附需求的領(lǐng)域中。本發(fā)明優(yōu)選是采用MEMS工藝制成的微結(jié)構(gòu)器件，應(yīng)用于集成電路芯片和MEMS器件中，在此應(yīng)用范圍內(nèi)，考慮到MEMS釋放工藝無(wú)死角的要求，對(duì)于方形或多邊形支撐橋面形成的功能吸附腔，其側(cè)面開(kāi)口個(gè)數(shù)應(yīng)當(dāng)?shù)扔谄溥厰?shù)，即方形支撐橋面需要有4個(gè)開(kāi)口，六邊形支撐橋面需要有6個(gè)開(kāi)口，以此類(lèi)推；對(duì)于圓形支撐橋面形成的功能吸附腔，其側(cè)面開(kāi)口個(gè)數(shù)可以不低于3，例如3、4、5等。除此之外，本發(fā)明還可以是采用傳統(tǒng)機(jī)械方法制作的大型結(jié)構(gòu)器件，應(yīng)用于其他領(lǐng)域中?？傊?，以上僅為本發(fā)明較佳的實(shí)施例，并非用于限定本發(fā)明的保護(hù)范圍，在本發(fā)明的精神范圍之內(nèi)，對(duì)本發(fā)明所做的等同變換或修改均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。