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靜電吸附裝置制造方法

文檔序號:5091620閱讀:277來源:國知局
靜電吸附裝置制造方法
【專利摘要】一種靜電吸附裝置,包括正靜電片和負(fù)靜電片,正靜電片中設(shè)置有第一碳電極,負(fù)靜電片中設(shè)置有第二碳電極。正靜電片上設(shè)置有第一齒尖,負(fù)靜電片上設(shè)置有第二齒尖,第一齒尖與第二齒尖相向設(shè)置。正靜電片和負(fù)靜電片構(gòu)成空氣通道,第一齒尖與第二齒尖位于空氣通道中。正靜電片和負(fù)靜電片分別為添加有半導(dǎo)體的塑料制成。本實(shí)用新型中的正靜電片中設(shè)置有第一碳電極,負(fù)靜電片中設(shè)置有第二碳電極;正靜電片和負(fù)靜電片分別為添加有半導(dǎo)體的塑料制成;通過第一齒尖和第二齒尖的相向靠攏,會產(chǎn)生均勻的電磁場;這樣產(chǎn)生的電磁場的吸附面積通過第一齒尖和第二齒尖的微電流的作用,不但能夠讓電磁場產(chǎn)生的更均勻,而且大大增加了吸附面積。
【專利說明】靜電吸附裝置【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種靜電吸附裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]中國專利文獻(xiàn)號CN201996881U于2011年10月05日公開了一種高壓靜電裝置,包括沖壓成型的正靜電片和負(fù)靜電片,正靜電片和負(fù)靜電片的邊緣位置上開設(shè)有齒尖;正靜電片、負(fù)靜電片設(shè)置于同一平面上,且齒尖與齒尖為對應(yīng)。齒尖為正靜電片和/或負(fù)靜電片上彎折成型;該齒尖為上下排列設(shè)置或左右排列設(shè)置,各齒尖之間保持一定的距離。正靜電片和負(fù)靜電片為呈平板狀,齒尖與正靜電片及負(fù)靜電片的板面相互垂直;正靜電片、負(fù)靜電片的材質(zhì)為金屬材料制件。這種高壓靜電裝置工作電壓高、穩(wěn)定性越差、安全系數(shù)越小;且吸附面積小,令人不太滿意。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型的目的旨在提供一種結(jié)構(gòu)簡單合理、操作靈活、吸附面積大、工作電壓小、制作成本低的靜電吸附裝置,以克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足之處。
[0004]按此目的設(shè)計(jì)的一種靜電吸附裝置,包括正靜電片和負(fù)靜電片,其結(jié)構(gòu)特征是正靜電片中設(shè)置有第 一碳電極,負(fù)靜電片中設(shè)置有第二碳電極。
[0005]所述正靜電片上設(shè)置有第一齒尖,負(fù)靜電片上設(shè)置有第二齒尖,第一齒尖與第二齒尖相向設(shè)置。
[0006]所述正靜電片和負(fù)靜電片構(gòu)成空氣通道,第一齒尖與第二齒尖位于空氣通道中。
[0007]所述正靜電片和負(fù)靜電片分別為添加有半導(dǎo)體的塑料制成。
[0008]所述正靜電片與負(fù)靜電片之間設(shè)置有中間件;該中間件的一端與正靜電片相接,中間件的另一端與負(fù)靜電片相接觸;或者,中間件的一端與負(fù)靜電片相接,中間件的另一端與正靜電片相接觸。
[0009]本實(shí)用新型中的正靜電片中設(shè)置有第一碳電極,負(fù)靜電片中設(shè)置有第二碳電極;正靜電片和負(fù)靜電片分別為添加有半導(dǎo)體的塑料制成;通過第一齒尖和第二齒尖的相向靠攏,會產(chǎn)生均勻的電磁場;這樣產(chǎn)生的電磁場的吸附面積通過第一齒尖和第二齒尖的微電流的作用,不但能夠讓電磁場產(chǎn)生的更均勻,而且大大增加了吸附面積。另外,可以降低輸入的直流電壓,從而降低制作成本。
[0010]本實(shí)用新型中的正靜電片與負(fù)靜電片之間設(shè)置有中間件;該中間件的一端與正靜電片相接,中間件的另一端與負(fù)靜電片相接觸;或者,中間件的一端與負(fù)靜電片相接,中間件的另一端與正靜電片相接觸;由于中間件的另一端與負(fù)靜電片僅僅是相接觸或者中間件的另一端與正靜電片僅僅是相接觸,而不直接連接在一起,.正負(fù)高電壓通過添加有半導(dǎo)體的塑料時(shí),由第一齒尖和第二齒尖的尖端靠攏,會產(chǎn)生均勻的電磁場,將從空氣通道中通過的小分子顆粒物瞬間吸附在固定正靜電片或負(fù)靜電片的安裝板的平面上,從而達(dá)到去除空氣中的灰塵顆粒的目的。[0011]本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)簡單合理、操作靈活、吸附面積大、工作電壓小、制作成本低的特點(diǎn)。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]圖1為本實(shí)用新型一實(shí)施例的局部剖切結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]圖2為圖1中的A處放大示意圖。
[0014]圖中:1為正靜電片,1.1為第一齒尖,2為負(fù)靜電片,2.1為第二齒尖,3為第一碳電極,4為第二碳電極,5為空氣通道,6為中間件。
【具體實(shí)施方式】
[0015]下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述。
[0016]參見圖1-圖2,本靜電吸附裝置,包括正靜電片I和負(fù)靜電片2,正靜電片I中設(shè)置有第一碳電極3,負(fù)靜電片2中設(shè)置有第二碳電極4。
[0017]在本實(shí)施例中,正靜電片I上設(shè)置有第一齒尖1.1,負(fù)靜電片2上設(shè)置有第二齒尖
2.1,第一齒尖1.1與第二齒尖2.1相向設(shè)置。
[0018]正靜電片I和負(fù)靜電片2構(gòu)成空氣通道5,第一齒尖1.1與第二齒尖2.1位于空氣通道5中。
[0019]正靜電片I和負(fù)靜電片2分別為添加有半導(dǎo)體的塑料制成。制作時(shí),作為半導(dǎo)體的添加可以是硅或鉛的添加,將硅或鉛添加到PP等有韌性的塑料中。第一碳電極3和第二碳電極4可以采用石墨制成。
[0020]正靜電片I和負(fù)靜電片2之間的空氣通道5的距離d在I毫米以上,在兩側(cè)的分別被塑料包裹的第一碳電極3和第二碳電極4上分別通入直流正負(fù)極高壓電,就能產(chǎn)生10000伏左右的電壓。
[0021]正靜電片I與負(fù)靜電片2之間設(shè)置有中間件6 ;該中間件6的一端與正靜電片I相接,中間件6的另一端與負(fù)靜電片2相接觸;或者,中間件6的一端與負(fù)靜電片2相接,中間件6的另一端與正靜電片I相接觸。換句話說就是,正靜電片I與負(fù)靜電片2之間分開。
【權(quán)利要求】
1.一種靜電吸附裝置,包括正靜電片(I)和負(fù)靜電片(2),其特征是正靜電片(I)中設(shè)置有第一碳電極(3 ),負(fù)靜電片(2 )中設(shè)置有第二碳電極(4 )。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電吸附裝置,其特征是所述正靜電片(I)上設(shè)置有第一齒尖(1.1),負(fù)靜電片(2)上設(shè)置有第二齒尖(2.1),第一齒尖(1.1)與第二齒尖(2.1)相向設(shè)置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電吸附裝置,其特征是所述正靜電片(I)和負(fù)靜電片(2)構(gòu)成空氣通道(5),第一齒尖(1.1)與第二齒尖(2.1)位于空氣通道(5)中。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一所述的靜電吸附裝置,其特征是所述正靜電片(I)和負(fù)靜電片(2)分別為添加有半導(dǎo)體的塑料制成。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的靜電吸附裝置,其特征是所述正靜電片(I)與負(fù)靜電片(2)之間設(shè)置有中間件(6);該中間件(6)的一端與正靜電片(I)相接,中間件(6)的另一端與負(fù)靜電片(2)相接觸;或者,中間件(6)的一端與負(fù)靜電片(2)相接,中間件(6)的另一端與正靜電片(I)相接觸。
【文檔編號】B03C3/40GK203791055SQ201420064864
【公開日】2014年8月27日 申請日期:2014年2月14日 優(yōu)先權(quán)日:2014年2月14日
【發(fā)明者】王健 申請人:王健
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