一種SiC研磨液中鐵屑的分離裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種SiC研磨液中鐵屑的分離裝置。其結(jié)構(gòu)包括第一空腔（1）、弧形凹槽（2）、磁輥（3）和第二空腔（4），所述第一空腔（1）一側(cè)開有進(jìn)料口（11），另一側(cè)與弧形凹槽（2）一側(cè)連通，磁輥（3）在弧形凹槽（2）上方配合設(shè)置，弧形凹槽（2）的另一側(cè)與第二空腔（4）直接連通，第二空腔（4）底部設(shè)有出料口（41），所述磁輥（3）遠(yuǎn)離弧形凹槽（2）的一側(cè)沿轉(zhuǎn)動方向依次設(shè)置有膠輥（8）和刮刀（5），膠輥（8）與磁輥（3）擠壓接觸，刮刀（5）抵觸在磁輥（3）上。本實用新型有效地解決了研磨料液因為含有鐵屑而影響其重復(fù)利用的問題，避免了加工過程中鐵屑對加工晶片的損害，同時回收的鐵屑可以重新利用，保護(hù)了環(huán)境。
【專利說明】—種S i C研磨液中鐵屑的分離裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種分離裝置，尤其涉及一種SiC研磨液中鐵屑的分離裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在SiC晶體的加工過程中，對晶體表面進(jìn)行精細(xì)加工，需要用到研磨液。出于成本考慮一般都會循環(huán)使用研磨液，但是由于研磨盤的材質(zhì)為鐵質(zhì)，所以在研磨料液使用后，研磨料液中會殘留一些鐵屑，這些鐵屑會直接影響晶體的研磨效果，在加工過程中極易導(dǎo)致晶片劃痕、裂片，達(dá)不到后續(xù)加工要求，所以對研磨料液中鐵屑的過濾非常重要。傳統(tǒng)的分離研磨液中鐵屑的手段是利用濾網(wǎng)過濾的方式來處理，但是這種方法不能夠除去研磨液中粒徑接近或者小于研磨液中磨料粒徑的鐵屑。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實用新型提出一種能有效過濾研磨液中鐵屑的裝置。
[0004]本實用新型采用的技術(shù)方案如下:一種SiC研磨液中鐵屑的分離裝置，包括第一空腔、弧形凹槽、磁輥和第二空腔，所述第一空腔一側(cè)開有進(jìn)料口，其內(nèi)部設(shè)置有導(dǎo)流板，第一空腔通過導(dǎo)流板與弧形凹槽一側(cè)相連通，磁輥在弧形凹槽上方配合設(shè)置，且兩者之間留有弧形通道，弧形凹槽的另一側(cè)與第二空腔直接連接，第二空腔底部設(shè)有出料口，所述磁輥遠(yuǎn)離弧形凹槽的一側(cè)沿轉(zhuǎn)動方向依次設(shè)置有膠輥和刮刀，膠輥與磁輥擠壓接觸，刮刀口抵觸在磁輥上。
[0005]研磨料液從第一空腔的進(jìn)料口進(jìn)入后，經(jīng)過第一空腔底部設(shè)置的導(dǎo)流板，流至弧形凹槽與磁輥配合的弧形通道中，由于磁輥的磁性，料液中的鐵屑會吸附在磁輥的表面，磁輥在電機(jī)的帶動下順時針轉(zhuǎn)動，使整個磁輥都能接觸到研磨液。在吸附鐵屑的同時磁輥的表面還會吸附一部分的研磨液，當(dāng)研磨液經(jīng)過磁輥與膠輥接觸的地方時，由于壓力的作用能夠把磁輥表面的研磨液除去。吸附在表面的鐵屑在經(jīng)過抵觸在磁輥面上的刮刀時被留在刮刀上，使磁輥可以繼續(xù)吸附新的鐵屑，從而能實現(xiàn)連續(xù)分離鐵屑的效果，最后經(jīng)過處理的料液流入第二空腔中，從出料口流出，達(dá)到分離鐵屑的目的，使研磨料液能重復(fù)使用，降低了成本，也避免了研磨料液中鐵屑對于加工晶片的損害。
[0006]在進(jìn)料口前設(shè)置有料泵，為料液在整個分離過程中的流動提供動力。
[0007]為了收集留在刮刀上的鐵屑，在刮刀下方設(shè)置有集渣箱，有利于回收鐵屑，保護(hù)環(huán)境。
[0008]所述的磁輥為一個電磁輥，其連接著外部的電機(jī)，能夠使電磁棍轉(zhuǎn)動。
[0009]本實用新型的有益效果為:提供了一種能夠自動并連續(xù)分離研磨料液中鐵屑的分離裝置，有效地解決了研磨料液因為含有鐵屑而影響其重復(fù)利用的問題，節(jié)約了資源，避免了加工過程中鐵屑對加工晶片的損害，同時回收的鐵屑可以重新利用，保護(hù)了環(huán)境。
【專利附圖】

【附圖說明】[0010]圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖；
[0011]其中，1、第一空腔，2、弧形凹槽，3、磁輥，4、第二空腔，5、刮刀，6、料泵，7、集渣箱，
8、膠輥，9、導(dǎo)屑板，11、進(jìn)料口，12、導(dǎo)流板，41，出料口。
【具體實施方式】
[0012]如圖1所示本實施例公開了一種SiC研磨液中鐵屑的分離裝置，其結(jié)構(gòu)從左至右依次包括料泵6、第一空腔1、弧形凹槽2和第二空腔4，料泵6通過管道與第一空腔I的一側(cè)腔壁上開的進(jìn)料口 11相連，第一空腔I的另一側(cè)為開放式結(jié)構(gòu)，弧形凹槽2在第一空腔
I的開放側(cè)，弧形凹槽2開口向上，所以在第一空腔I內(nèi)部設(shè)置弧形導(dǎo)流板12，其尾端與弧形凹槽2的邊緣相交，這樣料液可以通過導(dǎo)流板12順利進(jìn)入弧形凹槽2，所述弧形凹槽2的上方設(shè)置有磁輥3，兩者配合安裝，中間留有一個弧形通道，可供料液流過，當(dāng)料液流過時，磁棍的磁性會將料液中的鐵屑吸附在磁棍3的表面,并且磁棍3順時針方向轉(zhuǎn)動，在磁棍3遠(yuǎn)離弧形凹槽2的一側(cè)沿轉(zhuǎn)動方向依次設(shè)置有膠輥8和刮刀5，膠輥8與磁輥3擠壓接觸，刮刀5 口抵觸在磁輥3上，刮刀5附有向下的導(dǎo)屑板9，在其下方設(shè)置有集渣箱7。在轉(zhuǎn)動過程中，磁輥3上的研磨液會在經(jīng)過膠輥8與磁輥3的接觸部位時由于壓力而從磁輥3上被除去，鐵屑會在經(jīng)過刮刀5時被留在刮刀5上，并通過導(dǎo)屑板被收集在集渣箱7中。磁輥3表面得到清理，能夠連續(xù)地吸附料液中的鐵屑，實現(xiàn)自動連續(xù)地分離研磨料液中的鐵屑的目的。
【權(quán)利要求】
1.一種SiC研磨液中鐵屑的分離裝置，其特征在于:包括第一空腔(I)、弧形凹槽(2)、磁輥(3)和第二空腔(4)，所述第一空腔(I) 一側(cè)開有進(jìn)料口(11)，其內(nèi)部設(shè)置有導(dǎo)流板(12)，第一空腔(I)通過導(dǎo)流板(12)與弧形凹槽(2) —側(cè)連通，磁輥(3)在弧形凹槽(2)上方配合設(shè)置，且兩者之間留有弧形通道，弧形凹槽(2)的另一側(cè)與第二空腔(4)直接連通，第二空腔(4)底部設(shè)有出料口(41)，所述磁輥(3)遠(yuǎn)離弧形凹槽(2)的一側(cè)沿轉(zhuǎn)動方向依次設(shè)置有膠輥(8 )和刮刀(5 )，膠輥(8 )與磁輥(3 )擠壓接觸，刮刀(5 )抵觸在磁輥(3 )上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種SiC研磨液中鐵屑的分離裝置，其特征在于:在進(jìn)料口前設(shè)置有料泵(6)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種SiC研磨液中鐵屑的分離裝置，其特征在于:在刮刀(5)上附有向下傾斜的導(dǎo)屑板(9)，導(dǎo)屑板(9)下方設(shè)置有集渣箱(7)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種SiC研磨液中鐵屑的分離裝置，其特征在于:所述的磁棍(3)為電磁鐵，電磁鐵與外部電機(jī)相連。
【文檔編號】B03C1/02GK203663998SQ201420045890
【公開日】2014年6月25日 申請日期:2014年1月24日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月24日
【發(fā)明者】郭立濤, 梁慶瑞, 孫詩甫, 李兆亮, 高玉強(qiáng) 申請人:山東天岳先進(jìn)材料科技有限公司