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磁性金屬異物的捕捉裝置的制作方法

文檔序號(hào):5066525閱讀:203來源:國知局
專利名稱:磁性金屬異物的捕捉裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及一種磁性金屬異物的捕捉裝置。
背景技術(shù)
例如,熱固化性樹脂組成物在IC或LSI等半導(dǎo)體元件的密封中被廣泛使用。像這樣,通過在半導(dǎo)體元件的密封中使用熱固化性樹脂組成物,從而可以進(jìn)行傳遞模塑法,提高信賴性、生產(chǎn)率。作為半導(dǎo)體密封用熱固化性樹脂組成物的最一般的環(huán)氧樹脂組成物通常是,通過混合裝置對(duì)稱量規(guī)定量的各原料而成的原料進(jìn)行預(yù)備混合,接著采用單軸攪拌機(jī)、雙軸攪拌機(jī)、加熱輥、連續(xù)葉片混合機(jī)等加熱攪拌機(jī)進(jìn)行溶融攪拌。然后,經(jīng)過通過粉碎機(jī)進(jìn)行粉碎、通過壓片機(jī)壓制成片這一制造工序進(jìn)行制造。這些制造工序中,由于混合裝置、加熱攪拌機(jī)、粉碎機(jī)等制造裝置發(fā)生磨損等,會(huì)在樹脂組成物中混入少量作為異物的鐵粉等磁性金屬。但是,這樣的鐵粉等導(dǎo)電性的異物存在于樹脂組成物中時(shí),可能會(huì)使半導(dǎo)體封裝內(nèi)的管腳、配線之間短路而成為電路不良的原因。特別,近年來,通過樹脂組成物密封半導(dǎo)體而成的半導(dǎo)體封裝有極端地小型化、薄型化的傾向,其結(jié)果,由于半導(dǎo)體封裝內(nèi)的管腳、配線的間隔變窄,因此,僅僅是包含相當(dāng)程度的微細(xì)的鐵粉等導(dǎo)電性異物也可能會(huì)成為產(chǎn)生電路不良的原因。因此,依據(jù)上述說明,有必要除去微細(xì)級(jí)別的鐵粉等導(dǎo)電性異物,以至于在產(chǎn)品的出貨檢查、工序檢查中要求適當(dāng)?shù)乜刂七@些磁性金屬異物的大小及個(gè)數(shù)、組成等來進(jìn)行管理。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的課題在于,鑒于上述問題而提供一種磁性金屬異物的捕捉裝置,該磁性金屬異物的捕捉裝置極其簡便且迅速地捕捉樹脂組成物等被處理物中所包含的磁性金屬異物。本實(shí)用新型提供一種磁性金屬異物的捕捉裝置,其包含:流路部件,該流路部件具有傾斜的流路并通過所述流路使含有半導(dǎo)體密封組成物的被處理物流下;以及磁鐵,該磁鐵設(shè)置在所述流路部件的下方、吸引所述被處理物中的磁性金屬異物,所述流路被樹脂膜覆蓋。實(shí)用新型效果:根據(jù)本實(shí)用新型,可以提供一種極其簡便且迅速地捕捉樹脂組成物等被處理物中所包含的磁性金屬異物的磁性金屬異物的捕捉裝置。

圖1是表示本實(shí)施方式所涉及的磁性金屬異物的捕捉裝置的立體圖。圖2是表示本實(shí)施方式所涉及的磁性金屬異物的捕捉裝置的排水流路部件的主視圖。[0010]符號(hào)說明:10…捕捉裝置12…磁鐵14…流路部件20a…底面20b…側(cè)壁21…流路22...樹脂膜
具體實(shí)施方式
下面,采用附圖說明本實(shí)施方式。另外,在全部的附圖中,同樣的構(gòu)件加了同樣的符號(hào),適當(dāng)省略說明。<磁性金屬異物的捕捉裝置>圖1是表示本實(shí)施方式的磁性金屬異物的捕捉裝置10的立體圖。如圖1所示,本實(shí)施方式的磁性金屬異物的捕捉裝置10包含:流路部件14該流路部件14具有傾斜的流路21 并通過流路21使含有半導(dǎo)體密封組成物的被處理物流下;以及磁鐵12,該磁鐵12設(shè)置在流路部件14的下方并吸引被處理物中的磁性金屬異物。通過這樣,可以極簡便并且迅速地捕捉包含在被處理物中的磁性金屬異物。在該捕捉裝置10中,流路21被樹脂膜22覆蓋。此外,根據(jù)本實(shí)施方式,通過使用樹脂膜22可以有效地捕捉磁性金屬異物。另外,根據(jù)本實(shí)施方式的磁性金屬異物的捕捉裝置10,和磁性金屬異物相對(duì)于由金屬等構(gòu)成的流路21的摩擦系數(shù)相比,磁性金屬異物相對(duì)于樹脂膜22的摩擦系數(shù)較大,因而能夠在樹脂膜上容易地捕捉磁性金屬異物。另外,根據(jù)本實(shí)施方式的磁性金屬異物的捕捉裝置10,即使磁性金屬異物因磁鐵12的吸引作用而陷入樹脂膜22中,也能在樹脂膜22上容易地捕捉磁性金屬異物。另外,根據(jù)本實(shí)施方式的磁性金屬異物的捕捉裝置10,為了防止磁鐵12的磁力的損失,流路21由金屬磁性物構(gòu)成。由于上述背景技術(shù)部分說明的半導(dǎo)體密封用熱固化性樹脂組成物及其原料中包含無機(jī)添加劑,故使被處理物流下時(shí),流路21被無機(jī)填充劑切削會(huì)產(chǎn)生磁性金屬異物。因此,如上述,通過由樹脂膜22覆蓋流路21,從而能夠防止流路21被無機(jī)填充劑切削而在使用該捕捉裝置10時(shí)產(chǎn)生磁性金屬異物的情況。根據(jù)本實(shí)施方式的磁性金屬異物的捕捉裝置10,被處理物構(gòu)成為包含半導(dǎo)體密封組成物和有機(jī)溶劑,優(yōu)選地,樹脂膜22相對(duì)于有機(jī)溶劑為化學(xué)性地非活性。通過這樣,可以抑制樹脂膜22被有機(jī)溶劑溶解等情況?!幢惶幚砦铩底鳛楸緦?shí)施方式的被處理物,有例如環(huán)氧樹脂、固化劑、無機(jī)質(zhì)填充劑等半導(dǎo)體密封用樹脂組成物的原材料、加工所述原材料而成的半導(dǎo)體密封用樹脂組成物等。在這樣的原材料、半導(dǎo)體密封用樹脂組成物等中可能會(huì)包含原材料中最初包含的磁性金屬異物、制造樹脂組成物時(shí)混入的鐵粉等磁性金屬異物。另外,優(yōu)選地,本實(shí)施方式的被處理物分散在丙酮、甲基乙基酮、甲苯、甲醇等有機(jī)溶劑中形成泥漿狀來進(jìn)行使用。通過這樣,可以更加高效、簡便并且迅速地捕捉包含在被處理物中的磁性金屬異物?!礃渲ぁ当緦?shí)施方式的樹脂膜22優(yōu)選為可裝拆地相對(duì)流路貼附。通過這樣,可以剝掉樹脂膜22、將所捕捉的磁性金屬異物連同樹脂膜22 —起廢棄。另外,本實(shí)施方式的樹脂膜22沒有特別限制,優(yōu)選為由包含聚酰亞胺的材料形成。通過這樣,能夠?qū)诒惶幚砦镏械拇判越饘佼愇锖推渌煞诌m當(dāng)?shù)胤蛛x。〈流路部件〉本實(shí)施方式的流路部件14如上所述具有傾斜的流路21。通過該流路21使包含半導(dǎo)體密封組成物的被處理物流下。并且,如上所述,流路21被樹脂膜22覆蓋。另外,根據(jù)本實(shí)施方式的捕捉裝置10,由于流路部件14傾斜地配置,因此,無須對(duì)流路部件14施加振動(dòng)就可以使被處理物通過磁鐵12的上方。圖2是表示本實(shí)施方式的磁性金屬異物的捕捉裝置10中的流路部件14的主視圖。如圖2所示,本實(shí)施方式的流路部件14優(yōu)選為具有沿磁鐵12的表面形狀的形狀。通過這樣,在流路部件14中的流路21的表面上,可以使磁鐵12的磁力更加有效地對(duì)在流路部件14流下的被處理物施加影響。因此,可以可靠地捕捉磁性金屬異物。另外,本實(shí)施方式的流路部件14的厚度只要是通過磁力能可靠地捕捉磁性金屬異物的即可,沒有特別限制,優(yōu)選為Iym以上、300 μ 以下,更為優(yōu)選10 μ m以上、100 μ m以下,此外,尤為優(yōu)選為70μπι。通過這樣,可以更加簡便并且迅速地捕捉磁性金屬異物。其原因在于,考慮到:通過將流路部件14的厚度設(shè)定成上述的范圍能夠?qū)⒋盆F12的磁力有效地傳遞給流路部件14的表面。另外,本實(shí)施方式的流路部件14可以由非磁性材料形成。所述非磁性材料沒有特別限制,例如可以列舉銅。通過這樣,可以使磁鐵12的磁力更加有效地對(duì)在流路部件14流下的被處理物施加影響。另外,本實(shí)施方式的捕捉裝置10中,流路部件14以及磁鐵12的傾斜角度沒有特別限制,例如優(yōu)選為5°以上、80°以下,更為優(yōu)選為10°以上、70°以下。通過這樣,可以將所流入的被處理物的流速控制在可以有效率地回收被處理物中的磁性金屬異物的程度。由此,可以更加簡便并且迅速地捕捉磁性金屬異物。另外,本實(shí)施方式的流路部件14中,流路21優(yōu)選形成為沿著被處理物的前進(jìn)方向延伸的直線狀。通過這樣,由于被處理物在直線狀的流路21流下去,因此能夠?qū)⒈惶幚砦锏牧髁勘3忠欢?。由此,可以高精度且可靠地將被處理物中的磁性金屬異物捕捉到捕捉流?1上。另外,如圖2所示,本實(shí)施方式的流路部件14中的流路21由流下被處理物的底面20a和為了阻止被處理物溢出到裝置外而設(shè)置的2個(gè)側(cè)壁20b構(gòu)成。如圖2所示,該流路部件14形成為:側(cè)壁20b從底面20a的寬度方向上的兩端立起、并使2個(gè)側(cè)壁20b的上端位于比底面20a的頂面靠上的上方。另外,如圖2所示, 在本實(shí)施方式的流路部件14的流路21的下方還可以具有保持磁鐵12的磁鐵收納部。該磁鐵收納部具體是形成為中空的圓筒形狀且和流路部件14設(shè)置為一體。[0041]<磁鐵 12>本實(shí)施方式的磁鐵12的形狀沒有特別限制,只要能使被處理物在槽部21可靠地流動(dòng)即可,例如可列舉出圓筒形狀。并且,磁鐵12的形狀優(yōu)選為具有和所述磁鐵收納部同樣的形狀。通過這樣,能夠使磁鐵收納部成為和磁鐵12貼緊的形狀,能夠使磁鐵12充分發(fā)揮磁力以捕捉磁性金屬異物。另外,本實(shí)施方式的磁鐵12沿著流路部件14傾斜地配置,通過裝拆自如地設(shè)置在磁鐵收納部內(nèi)而被保持。通過這樣,可以使磁鐵12的磁力更加有效地對(duì)在流路部件14流下的被處理物施加影響。另外,本實(shí)施方式的捕捉裝置10中,磁鐵12可以采用I個(gè),也可以采用多個(gè)。使用多個(gè)磁鐵12時(shí),該磁鐵12通過使異極之間相互對(duì)向來進(jìn)行連接,并配置在磁鐵收納部內(nèi)。通過這樣,可以提高使異極間相互對(duì)向的部分的磁通量密度,即可以產(chǎn)生較強(qiáng)的磁場。因此,可以在瞬間吸引、捕捉在流路21流下去的被處理物中所存在的磁性金屬異物。<磁性金屬異物的捕捉裝置10的效果>根據(jù)本實(shí)施方式,通過采用流路部件14以及磁鐵12傾斜配置、并且由相對(duì)于有機(jī)溶劑化學(xué)性地非活性的樹脂膜22覆蓋流路21的結(jié)構(gòu),由此,能夠使被處理物在流路21自然落下并能夠簡便并且迅速地捕捉磁性金屬異物。另外,通過所述構(gòu)成,無須給予振動(dòng)就可以使全部被處理物可靠地通過磁鐵12的表面上部,并且使被處理物在槽部21這一流路流下,因此,可以將被處理物的流動(dòng)控制成一定速度。由此,可以高精度地可靠、簡便且迅速地捕捉磁性金屬異物。實(shí)施例:實(shí)施例1:<被處理物的制作>對(duì)于鄰甲酚酚醛清漆型環(huán)氧樹脂(軟化點(diǎn)60°C ),準(zhǔn)備事先混入有0.05重量%的平均粒徑為30 μ m的鐵粉的樹脂樣本。將用丙酮將該樹脂樣本稀釋10倍而成的溶液作為被處理物。<捕捉裝置>使用圖1所示的裝置。在該裝置中,使用圓筒形狀的磁鐵。并且,排水部件采用沿著磁鐵的形狀加工而成的鐵制的厚度為70 μ m的部件。該排水部件由具有平滑的表面的聚酰亞胺膜覆蓋。另外,排水部件以及磁鐵的傾斜角度是30°。<磁性金屬異物的捕捉>上述捕捉裝置的排水部件上,一邊攪拌上述被處理物,一邊使該被處理物流出成為最深部為ΙΟΟμπι。然后,用丙酮清洗排水部件上。這樣,被處理物流到捕捉裝置后,將聚酰亞胺膜從裝置卸下,測(cè)定膜上殘存的鐵粉的量。< 結(jié)果 >被處理物中包含的鐵粉的回收率為99.9重量%。
權(quán)利要求1.一種磁性金屬異物的捕捉裝置,其特征在于, 包含: 流路部件,該流路部件具有傾斜的流路并通過所述流路使含有半導(dǎo)體密封組成物的被處理物流下;以及 磁鐵,該磁鐵設(shè)置在所述流路部件的下方、吸引所述被處理物中的磁性金屬異物, 所述流路被樹脂膜覆蓋。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁性金屬異物的捕捉裝置,其特征在于,所述被處理物包含所述半導(dǎo)體密封組成物和有機(jī)溶劑。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁性金屬異物的捕捉裝置,其特征在于,所述樹脂膜相對(duì)于所述流路可裝拆地貼附。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的磁性金屬異物的捕捉裝置,其特征在于,所述樹脂膜相對(duì)于所述流路可裝拆地貼附。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4中任一項(xiàng)所述的磁性金屬異物的捕捉裝置,其特征在于,所述流路部件的厚度為I μ m以上、300 μ m以下。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-4中任一項(xiàng)所述的磁性金屬異物的捕捉裝置,其特征在于, 所述磁鐵沿著所述流路部件傾斜配置, 所述流路部件和所述磁鐵的傾斜角度為5°以上、80°以下。
專利摘要一種磁性金屬異物的捕捉裝置,包含流路部件(14)和磁鐵(12),所述流路部件(14)具有傾斜的流路(21)并通過所述流路(21)使包含半導(dǎo)體密封組成物的被處理物流下,所述磁鐵(12)設(shè)置在所述流路部件(14)的下方并吸引所述被處理物中的磁性金屬異物,所述流路(21)被樹脂膜(22)覆蓋。根據(jù)本實(shí)用新型的磁性金屬異物的捕捉裝置,能夠極其簡便且迅速地捕捉樹脂組成物等被處理物中所包含的磁性金屬異物。
文檔編號(hào)B03C1/32GK203044161SQ201320023160
公開日2013年7月10日 申請(qǐng)日期2013年1月16日 優(yōu)先權(quán)日2013年1月16日
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