一種純化器的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型屬于純化器技術領域，具體是純化氫氣、氮氣、惰性氣體、還原性氣體中的雜質(zhì)。
【背景技術】
[0002]半導體工業(yè)中，經(jīng)常需要氫氣、氮氣、惰性氣體(氦、氖、氬、氪、氙)、還原性氣體(砷化氫、磷化氫、氨氣、硅化氫等)，并且需要這些氣體具有“超高純度”，尤其是需要具有極低級含量的氧氣、水、二氧化碳、一氧化碳等雜質(zhì)。
[0003]市場上的氣體純化器，通常是用鋁、鎂、鋯等“活潑金屬”擔當吸氣劑。當氫氣、氮氣、惰性氣體(氦、氖、氬、氪、氙)、還原性氣體(砷化氫、磷化氫、氨氣、硅化氫等)通過這些活潑金屬時，其中的氧氣、水、二氧化碳、一氧化碳被這些活潑金屬吸收，氣體得到純化。然而這些活潑金屬都是固體，當固體的表面吸收含氧元素后，變成金屬氧化物，在金屬表面結(jié)成一層“殼”，這一層“殼”阻礙了固體內(nèi)部的金屬進一步吸收。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]本實用新型的目的是為了解決現(xiàn)有技術中的不足，提供一種氣體純化器。
[0005]本實用新型包括冷凝器，所述的冷凝器內(nèi)部設置有蛇形的盤管，冷凝器通過塔節(jié)對稱設置在塔節(jié)的上端和下端，所述的塔節(jié)設置有進料口和出料口，塔節(jié)內(nèi)部設置有活性炭吸收裝置。
[0006]優(yōu)選的，所述的塔節(jié)的末端設置有塔釜。
[0007]優(yōu)選的，所述的冷凝器外層設置有保溫層。
[0008]優(yōu)選的，所述的冷凝器采用液氮冷卻。
[0009]本實用新型可以使氣體得到純化，所述的活性炭吸收裝置吸收氣體中含有微量的鉀、鈉蒸汽。另外，本實用新型實用性強，結(jié)構(gòu)簡單，生產(chǎn)成本不高，本產(chǎn)品適合在相關產(chǎn)品中推廣使用。
【附圖說明】
[0010]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0011]為使本實用新型的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂，下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整的描述。顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領域普通技術人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。
[0012]如圖1所示，本實用新型包括冷凝器1，所述的冷凝器I內(nèi)部設置有蛇形的盤管2，冷凝器I通過塔節(jié)3對稱設置在塔節(jié)的上端和下端，所述的塔節(jié)3設置有進料口 4和出料P 5。
[0013]本實用新型的塔節(jié)3的末端設置有塔釜6，其中塔釜6的容積是200L。冷凝器I
外層設置有保溫層。
[0014]本實用新型的冷凝器I采用液氮冷卻。所述的純化器外殼采用不銹鋼材料制成，此材料制成的純化器可以延長其使用壽命，耐腐蝕性強。
[0015]對所公開的實施例的上述說明，使本領域?qū)I(yè)技術人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實用新型實施例。對這些實施例的多種修改對本領域的專業(yè)技術人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實用新型實施例的精神或范圍的情況下，在其他實施例中實現(xiàn)。因此，本實用新型實施例將不會被限制于本文所示的這些實施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬的范圍。
[0016]以上僅為本實用新型實施例的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型實施例，凡在本實用新型實施例的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型實施例的保護范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種純化器，包括冷凝器，其特征在于所述的冷凝器內(nèi)部設置有蛇形的盤管，冷凝器通過塔節(jié)對稱設置在塔節(jié)的上端和下端，所述的塔節(jié)設置有進料口和出料口，塔節(jié)內(nèi)部設置有活性炭吸收裝置。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種純化器，其特征在于所述的塔節(jié)的末端設置有塔釜。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種純化器，其特征在于所述的冷凝器外層設置有保溫層。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種純化器，其特征在于所述的冷凝器采用液氮冷卻。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種純化器，其特征在于所述的純化器外殼采用不銹鋼材料制成。
【專利摘要】本實用新型屬于純化器技術領域，具體是純化氫氣、氮氣、惰性氣體、還原性氣體中的雜質(zhì)。本實用新型包括冷凝器，所述的冷凝器內(nèi)部設置有蛇形的盤管，冷凝器通過塔節(jié)對稱設置在塔節(jié)的上端和下端，所述的塔節(jié)設置有進料口和出料口。所述的塔節(jié)的末端設置有塔釜。冷凝器采用液氮冷卻。本實用新型可以使氣體得到純化，所述的活性炭吸收裝置吸收氣體中含有微量的鉀、鈉蒸汽。另外，本實用新型實用性強，結(jié)構(gòu)簡單，生產(chǎn)成本不高，本產(chǎn)品適合在相關產(chǎn)品中推廣使用。
【IPC分類】B01D53/02
【公開號】CN204816129
【申請?zhí)枴緾N201420696768
【發(fā)明人】王新鵬, 邸士強, 湯萍, 趙沙沙, 趙東君, 于少鵬
【申請人】綠菱電子材料（天津）有限公司
【公開日】2015年12月2日
【申請日】2014年11月19日