高性能盤管式氣體純化器的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及氣體純化設備領域，具體涉及一種高性能盤管式氣體純化器。
【背景技術】
[0002]隨著經(jīng)濟和科技的進步，許多技術對氣體純度的要求越來越高，例如半導體制造行業(yè)，反應性氣體的純度對半導體器件的品質(zhì)具有重要的影響。通常高純氣體是通過以下方法制得的:使用具有純化器的純化系統(tǒng)，對氣體進行處理，從而去除雜質(zhì)。目前，大部分的研宄都集中在純化器中的介質(zhì)上，其技術已經(jīng)相對成熟，而純化器系統(tǒng)的研宄較少，現(xiàn)有的純化器系統(tǒng)結(jié)構(gòu)相對較復雜，在一些需要升溫加熱的純化時，純化介質(zhì)與待純化氣體接觸過程中往往受熱不均勻，從而影響純化的效果及穩(wěn)定工作。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]根據(jù)以上現(xiàn)有技術中的不足，本實用新型要解決的技術問題是:提供一種高性能盤管式氣體純化器，結(jié)構(gòu)簡單，實現(xiàn)脫氧、干燥，純化過程受熱均勻，純化效果好。
[0004]本實用新型所述的高性能盤管式氣體純化器，包括氣體管道和吸附罐，吸附罐上設有進氣口和出氣口，氣體管道依次連接第一吸附罐、冷卻器、分離器和第二吸附罐，兩個吸附罐的外面均設有保溫層，兩個吸附罐的保溫層上均設有測溫元件；第一吸附罐和第二吸附罐內(nèi)均設有螺旋上升狀的高溫純化盤管，高溫純化盤管周圍布置有發(fā)熱材料，高溫純化盤管連通吸附罐上的進、出氣口 ；第一吸附罐的高溫純化盤管分為上、下兩段，下段盤管內(nèi)填裝硅膠，上段盤管內(nèi)填裝脫氧劑，第二吸附罐的高溫純化盤管內(nèi)填裝分子篩。
[0005]待純化的氣體進入盤管，與盤管內(nèi)的純化介質(zhì)接觸，第一吸附罐內(nèi)高溫純化盤管分為上、下兩段，下段盤管用于初步脫水，上段盤管用于脫氧，達到在一個容器中實現(xiàn)初步脫水和脫氧，硅膠和脫氧劑可根據(jù)實際情況按比例分配，減少了吸附罐的數(shù)量，簡化結(jié)構(gòu)，第二吸附罐進行深度脫水；高溫純化盤管通過周圍設置的發(fā)熱材料實現(xiàn)加熱，由于盤管的螺旋結(jié)構(gòu)，使得加熱速度快，受熱均勻，純化效果提高，且有測溫元件，便于實時控制。
[0006]所述的兩個吸附罐出氣口均設有氣體過濾裝置，可以將氣體中混入的少量粉末狀純化填料過濾除去。
[0007]所述的高溫純化盤管為不銹鋼管，不銹鋼管換熱性能好。
[0008]所述的分子篩為13x分子篩，該分子篩可實現(xiàn)氣體的深度干燥與凈化。
[0009]本實用新型與現(xiàn)有技術相比所具有的有益效果是:
[0010]高純氣體用電感式純化器系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單，實現(xiàn)脫氧、干燥，純化過程中的加熱環(huán)節(jié)速度快，受熱均勻，氣體純化效果好，運行穩(wěn)定。
【附圖說明】
[0011]圖1是本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
[0012]圖中:1、保溫層；2、下段盤管；3、上段盤管；4、第一吸附罐；5、冷卻器；6、分離器；7、第二吸附罐；8、高溫純化盤管；9、發(fā)熱材料。
【具體實施方式】
[0013]下面結(jié)合附圖對本實用新型的實施例做進一步描述:
[0014]如圖1所示，高性能盤管式氣體純化器包括氣體管道和吸附罐，吸附罐上設有進氣口和出氣口，氣體管道依次連接第一吸附罐4、冷卻器5、分離器6和第二吸附罐7，兩個吸附罐的外面均設有保溫層I，兩個吸附罐的保溫層I上均設有測溫元件；第一吸附罐4和第二吸附罐7內(nèi)均設有螺旋上升狀的高溫純化盤管，高溫純化盤管周圍布置有發(fā)熱材料9，高溫純化盤管連通吸附罐上的進、出氣口 ；第一吸附罐4的高溫純化盤管分為上、下兩段，下段盤管2內(nèi)填裝硅膠，上段盤管3內(nèi)填裝脫氧劑，第二吸附罐7的高溫純化盤管8內(nèi)填裝分子篩。
[0015]兩個吸附罐出氣口均設有氣體過濾裝置。
[0016]高溫純化盤管優(yōu)選為不銹鋼管。
[0017]分子篩優(yōu)選為13x分子篩。
[0018]在進行純化時，待純化的氣體從第一吸附罐4下方進口進入，先通過下段盤管2的硅膠進行初步脫水，再經(jīng)過上段盤管3的脫氧劑脫氧，然后經(jīng)過冷卻器5、分離器6分離水分，最后進入第二吸附罐7的高溫純化盤管8通過13x分子篩進行深度干燥和凈化；在純化加熱活化時，高溫純化盤管通過發(fā)熱材料9加熱，使盤管受熱均勻，并根據(jù)測溫元件進行實時監(jiān)控，使其達到最優(yōu)反應溫度。其中高溫純化盤管的直徑、螺距可根據(jù)實際需要進行設定。
【主權(quán)項】
1.一種高性能盤管式氣體純化器，包括氣體管道和吸附罐，吸附罐上設有進氣口和出氣口，其特征在于:氣體管道依次連接第一吸附罐(4)、冷卻器(5)、分離器(6)和第二吸附罐(7)，兩個吸附罐的外面均設有保溫層(I)，兩個吸附罐的保溫層(I)上均設有測溫元件；第一吸附罐(4)和第二吸附罐(7)內(nèi)均設有螺旋上升狀的高溫純化盤管，高溫純化盤管周圍布置有發(fā)熱材料(9)，高溫純化盤管連通吸附罐上的進、出氣口 ；第一吸附罐(4)的高溫純化盤管分為上、下兩段，下段盤管(2)內(nèi)填裝硅膠，上段盤管(3)內(nèi)填裝脫氧劑，第二吸附罐(7)的高溫純化盤管(8)內(nèi)填裝分子篩。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高性能盤管式氣體純化器，其特征在于:所述的兩個吸附罐出氣口均設有氣體過濾裝置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的高性能盤管式氣體純化器，其特征在于:所述的高溫純化盤管為不銹鋼管。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的高性能盤管式氣體純化器，其特征在于:所述的分子篩為13x分子篩。
【專利摘要】本實用新型涉及氣體純化設備領域，具體涉及一種高性能盤管式氣體純化器，包括氣體管道和吸附罐，吸附罐上設有進氣口和出氣口，氣體管道依次連接第一吸附罐、冷卻器、分離器和第二吸附罐，兩個吸附罐的外面均設有保溫層，第一吸附罐和第二吸附罐內(nèi)均設有螺旋上升狀的高溫純化盤管，高溫純化盤管周圍布置有發(fā)熱材料，高溫純化盤管連通吸附罐上的進、出氣口，第一吸附罐的高溫純化盤管分為上、下兩段，下段盤管內(nèi)填裝硅膠，上段盤管內(nèi)填裝脫氧劑，第二吸附罐的高溫純化盤管內(nèi)填裝分子篩，該系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單，實現(xiàn)脫氧、干燥，純化過程中的加熱環(huán)節(jié)速度快，受熱均勻，氣體純化效果好，運行穩(wěn)定。
【IPC分類】B01D53-81
【公開號】CN204582954
【申請?zhí)枴緾N201520181695
【發(fā)明人】楊高峰
【申請人】淄博安澤特種氣體有限公司
【公開日】2015年8月26日
【申請日】2015年3月27日