一種設(shè)有壓強平衡器的熱真空干燥裝置及壓強平衡器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及柔性顯示產(chǎn)品制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種設(shè)有壓強平衡器的熱真空干燥裝置及壓強平衡器。
【背景技術(shù)】
[0002]通過柔性聚酰亞胺(Flexible Polyimide，簡稱:柔性PI)制作柔性基板，應(yīng)用于柔性顯示產(chǎn)品的生產(chǎn)，是目前柔性顯示產(chǎn)品制造的熱門課題之一。因柔性聚酰亞胺具有高粘度、疏水性的特點，其前體聚酰亞胺溶液(polyimide solut1n)含溶劑NMP量比較多(溶劑NMP量的重量百分比2 70% )。聚酰亞胺溶液經(jīng)過涂布后，一般需要經(jīng)過熱真空干燥(HotDry Vacuum，簡稱HVCD)制程，再置于烘烤設(shè)備(Oven)中進行烘烤固化制程。因聚酰亞胺溶液(PI Solvent)的溶劑含量高，熱真空干燥HCVD制程容易引起各種MURA問題，即出現(xiàn)斑點、臟污、表面色澤不均造成的各種痕跡，從而影響柔性基板的良率。
[0003]常見的熱真空干燥HV⑶制程出現(xiàn)的MURA有因支撐Pin引起的Pin MURA，因真空栗的真空氣流或者壓強不均引起的不規(guī)則形狀的MURA等。
[0004]目前，如圖1所示，在制造熱真空干燥HVCD裝置的腔室I時，設(shè)置的抽真空端口或真空吸附口(Vacuum Absorpt1n Port)一般為一個或者若干個，圖1中設(shè)有兩個真空吸附口
11、12，而且各抽真空支管道2直接匯合于單一的抽真空主管道3，由抽真空主管道3連接抽真空栗單元4與溶劑捕集單元5的集合單元。該設(shè)置方式容易引起各抽真空支管道內(nèi)壓強不均，導(dǎo)致熱真空干燥HVCD裝置的腔室內(nèi)局部壓強不均，當聚酰亞胺溶劑被抽取時，氣流發(fā)生紊亂，從而在聚酰亞胺膜(PI Film)表面產(chǎn)生不規(guī)則形狀MURA。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]針對上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供了一種設(shè)有壓強平衡器的熱真空干燥裝置，通過壓強平衡器調(diào)節(jié)各抽真空支管道的壓強，維持HVCD腔室內(nèi)局部壓強差異最小化，減少MURA產(chǎn)生。
[0006]為達到上述目的，本發(fā)明所采取的技術(shù)方案為:
[0007]本發(fā)明提供一種熱真空干燥裝置，包括腔室，在腔室的兩側(cè)面設(shè)有真空吸附口，抽真空支管道的一端連接所述真空吸附口，另一端匯合于抽真空主管道的一端，抽真空主管道的另一端連接真空栗單元，或者連接抽真空栗單元與溶劑捕集單元的集合單元，在抽真空支管道與抽真空主管道的匯合處設(shè)有壓強平衡器;所述壓強平衡器包括U型管與抽真空主管道漏斗狀部分，抽真空支管道延伸至所述U型管的底部，U型管的頂部密封，U型管兩側(cè)設(shè)有氣孔;所述U型管通過所述氣孔連通橫向設(shè)置的抽真空主管道漏斗狀部分。
[0008]進一步地，在所述U型管一側(cè)的內(nèi)管壁和另一側(cè)的外管壁上設(shè)有氣孔，設(shè)有氣孔的外管壁一側(cè)連通所述抽真空主管道漏斗狀部分。
[0009]進一步地，在U型管兩側(cè)設(shè)置的氣孔的半徑和數(shù)量根據(jù)溶劑的處理量和真空栗單元的工作壓強設(shè)置，所述氣孔的數(shù)量是抽真空支管道數(shù)量的至少兩倍。
[0010]進一步地，所述U型管的管徑和高度需要根據(jù)溶劑的處理量設(shè)置。
[0011]進一步地，所述抽真空主管道漏斗狀部分被設(shè)置為橢圓形漏斗狀，所述抽真空主管道的橢圓形漏斗狀部位的長軸和短軸尺寸根據(jù)溶劑的處理量和真空栗單元的工作壓強設(shè)置。
[0012]本發(fā)明還提供一種所述熱真空干燥裝置的壓強平衡器，所述壓強平衡器包括U型管與抽真空主管道漏斗狀部分，熱真空干燥裝置的抽真空支管道延伸至所述U型管的底部，U型管的頂部密封，U型管兩側(cè)設(shè)有氣孔;所述U型管通過所述氣孔連通橫向設(shè)置的抽真空主管道漏斗狀部分。
[0013]進一步地，在所述U型管一側(cè)的內(nèi)管壁和另一側(cè)的外管壁上設(shè)有氣孔，設(shè)有氣孔的外管壁一側(cè)連通所述抽真空主管道漏斗狀部分。
[0014]進一步地，在U型管兩側(cè)設(shè)置的氣孔的半徑和數(shù)量根據(jù)溶劑的處理量和真空栗單元的工作壓強設(shè)置，所述氣孔的數(shù)量是抽真空支管道數(shù)量的至少兩倍。
[0015]進一步地，所述U型管的管徑和高度需要根據(jù)溶劑的處理量設(shè)置。
[0016]進一步地，所述抽真空主管道漏斗狀部分被設(shè)置為橢圓形漏斗狀，所述抽真空主管道的橢圓形漏斗狀部位的長軸和短軸尺寸根據(jù)溶劑的處理量和真空栗單元的工作壓強設(shè)置。
[0017]本發(fā)明的有益效果在于:
[0018]本發(fā)明提供的熱真空干燥裝置將HV⑶腔室內(nèi)單一抽真空端口設(shè)計成多端口(針對單一端口情形)，并在抽真空支管道和抽真空主管道之間增加一個“U型管+橢圓漏斗狀管道”的壓強平衡裝置，利用U型管的緩沖作用，調(diào)節(jié)U型管上下端壓強差異，將各支管道壓強調(diào)節(jié)一致，從而使HV⑶腔室整體和局部壓強保持穩(wěn)定，聚酰亞胺溶液(PI Solvent)氣流恒定，減少MURA現(xiàn)象等缺陷，改善了柔性基板的膜質(zhì)，提高制程良率。
【附圖說明】
[0019]圖1為現(xiàn)有的熱真空干燥HV⑶裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖2為本發(fā)明的設(shè)有壓強平衡器的熱真空干燥HVCD裝置及壓強平衡器的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0021]下面結(jié)合附圖具體闡明本發(fā)明的實施方式，附圖僅供參考和說明使用，不構(gòu)成對本發(fā)明專利保護范圍的限制。
[0022]如圖1、2所示，本實施例提供一種熱真空干燥裝置，包括腔室I，在腔室I的兩側(cè)面設(shè)有真空吸附口 11、12，抽真空支管道2的一端連接所述真空吸附口 11、12，另一端匯合于抽真空主管道3的一端，抽真空主管道3的另一端連接真空栗單元4(圖中未示出)，或者連接抽真空栗單元4與溶劑捕集單元5(圖中未示出)的集合單元，在抽真空支管道2與抽真空主管道3的匯合處設(shè)有壓強平衡器6;所述壓強平衡器6包括U型管61與抽真空主管道漏斗狀部分62，抽真空支管道2延伸至所述U型管61的底部，U型管61的頂部密封，U型管61兩側(cè)設(shè)有氣孔610;所述U型管61通過所述氣孔610連通橫向設(shè)置的抽真空主管道漏斗狀部分62。
[0023]在本實施例中，在所述U型管61—側(cè)的內(nèi)管壁和另一側(cè)的外管壁上設(shè)有氣孔610，設(shè)有氣孔的外管壁一側(cè)連通所述抽真空主管道漏斗狀部分62。
[0024]較優(yōu)的，在U型管61兩側(cè)設(shè)置的氣孔610的半徑和數(shù)量根據(jù)溶劑的處理量和真空栗單元4的工作壓強設(shè)置，所述氣孔610的數(shù)量是抽真空支管道2數(shù)量的至少兩倍。本實施例中，抽真空支管道2數(shù)量為4條，所述氣孔610的數(shù)量為8個。
[0025]較優(yōu)的，所述U型管61的管徑R和高度H需要根據(jù)溶劑的處理量設(shè)置。
[0026]較優(yōu)的，所述抽真空主管