收的工藝氣體。在一種實(shí)施方式中，這種回收的工藝氣體然后可再引回到所述生產(chǎn)過程中。在替代性實(shí)施方式中，所述回收工藝氣體可儲(chǔ)存供用于相同或不同的生產(chǎn)過程中。
[0038]以前，工藝氣體例如He被運(yùn)送到包含在一個(gè)或多個(gè)生產(chǎn)工具內(nèi)的氣氛中供物品加工，并被引到生產(chǎn)工具廢氣和作為生產(chǎn)廢棄物拋棄。本文中描述的方法、系統(tǒng)和系統(tǒng)允許包含工藝氣體的生產(chǎn)廢棄物、或包含He的用過的工藝氣體捕集到儲(chǔ)存容器例如氣瓶中，然后為將來生產(chǎn)的其它用途和/或再利用而取用。所述捕集方法將所述工藝氣體或He儲(chǔ)存在容器或回收容器中供處理例如凈化(如果需要)和隨后的再利用。本文中描述的方法還可以移出所述至少一個(gè)生產(chǎn)工具的流出物，使其受到一種或多種處理，然后在所述至少一個(gè)生產(chǎn)工具中再利用所述處理的工藝氣體。所述用過的He或工藝氣體利用所描述的方法進(jìn)行再利用以提供回收的工藝氣體可達(dá)到的示例性收率包括一個(gè)或多個(gè)以下端點(diǎn):基于總物料供應(yīng)，1vol %或更高，20vol %或更高，30vol %或更高，40vol %或更高，50vol %或更高，55vol %或更高，60vol %或更高，65vol %或更高，70vol %或更高，75vol %或更高，80vol %或更高，或90vol%或更高。本文中還描述了有效捕集所述工藝氣體或He供生產(chǎn)中再利用的設(shè)備、方法和系統(tǒng)。
[0039]接下來的詳細(xì)描述只提供優(yōu)選的示例性實(shí)施方式，并且不打算限制本發(fā)明的范圍、適用性或構(gòu)造。相反地，接下來的優(yōu)選示例性實(shí)施方式的詳細(xì)描述將為本領(lǐng)域技術(shù)人員提供實(shí)施本發(fā)明的優(yōu)選示例性實(shí)施方式的可行性描述。在不背離所附的權(quán)利要求書限定的本發(fā)明的精神和范圍下，可以對(duì)要素的功能和排列做出各種改變。
[0040]術(shù)語“管道”，用于說明書和權(quán)利要求書中時(shí)，是指一種或多種結(jié)構(gòu)，流體通過所述結(jié)構(gòu)可在系統(tǒng)的兩個(gè)或更多個(gè)部件之間輸送。例如，管道可包括輸送液體、蒸氣、氣體及其組合的管、導(dǎo)管、溝槽、通路及其組合。
[0041]術(shù)語“流動(dòng)連通(flow communicat1n) ”，用于說明書和權(quán)利要求書中時(shí)，是指在兩個(gè)或更多個(gè)部件之間連通性的性質(zhì)，使得液體、蒸氣、氣體或其組合能夠以受控的方式(即不滲漏)在部件之間輸送。聯(lián)接兩個(gè)或更多個(gè)部件致使它們彼此流動(dòng)連通可包括本領(lǐng)域已知的任何合適的方法，例如利用配件、焊接、有法蘭的管道、密封墊和螺栓。兩個(gè)或更多個(gè)部件還可以通過所述系統(tǒng)中可以分開它們的其他部件聯(lián)接在一起。
[0042]術(shù)語“電連通”用于說明書和權(quán)利要求書中時(shí)，是指本文中描述的設(shè)備、系統(tǒng)或方法的兩個(gè)或更多個(gè)部件之間連通性的性質(zhì)。在一種實(shí)施方式中，一個(gè)部件可以是CPU中央處理器(CPU)、工藝控制器、計(jì)算機(jī)、無線電信號(hào)接收器或可從本文中描述的設(shè)備、系統(tǒng)或方法內(nèi)的一個(gè)或多個(gè)部件引導(dǎo)、接受電信號(hào)或兼具二者以啟動(dòng)或停用本文中描述的一個(gè)或多個(gè)部件的其他機(jī)構(gòu)。所述CPU、工藝控制器等還可以監(jiān)測(cè)所述系統(tǒng)、設(shè)備和/或方法符合某些預(yù)定標(biāo)準(zhǔn)或工藝要求。例如，在圖1至7顯示的實(shí)施方式中，例如，使用CPU 15監(jiān)測(cè)設(shè)備5的某些方面，例如壓力、純度、He的百分率、和/或其他參數(shù)。
[0043]為了幫助描述本發(fā)明，可以在說明書和權(quán)利要求書中使用方向性術(shù)語來描述本發(fā)明的部分(例如，上，下，左，右等等)。這些方向性術(shù)語僅僅打算幫助描述和主張本發(fā)明，而不打算以任何方式限制本發(fā)明。另外，在說明書中結(jié)合附圖引入的參考數(shù)字可以在一個(gè)或多個(gè)隨后的圖中重復(fù)，而在說明書中不再描述，以提供其他特征的內(nèi)容。
[0044]圖1提供了本文中描述的方法、系統(tǒng)和設(shè)備的一種實(shí)施方式，其中所述工藝氣體包含氦氣。工藝氣體或He提供到所述至少一個(gè)生產(chǎn)工具中以加工包含在在其中的物品(其在圖7中顯示為260A)。在向所述工具引入He之前，內(nèi)部容積任選利用真空系統(tǒng)抽空(真空系統(tǒng)未顯示)。如圖1所示，He作為工藝氣體從純He的供應(yīng)室或供應(yīng)艙(圖1未顯示)提供并顯示為工藝氣體輸入10。工藝氣體輸入10沿著進(jìn)料管線20行進(jìn)，進(jìn)料管線20還可以包括壓力傳感器22。壓力傳感器22與工藝控制器或中央處理器(CPU) 15電連通，后者引導(dǎo)和/或監(jiān)測(cè)工藝氣體通過所述系統(tǒng)的流動(dòng)。如圖1中所示，CPU 15與壓力傳感器22和質(zhì)量流量控制器25電連通。進(jìn)料管線20包括粒子過濾器28并還可以包括一個(gè)或多個(gè)任選的止回閥(未顯示)，以防止所述工藝氣體流回所述供應(yīng)艙。質(zhì)量流量控制器25將運(yùn)送給所述至少一個(gè)生產(chǎn)工具的工藝氣體流控制到某個(gè)流率，例如，130標(biāo)準(zhǔn)立方厘米(seem)。然而，所述工藝氣體的流率和其他屬性可經(jīng)由最終用戶根據(jù)系統(tǒng)要求進(jìn)行調(diào)節(jié)。圖1中還顯示了純度補(bǔ)償(make-up)工藝管線30，具有與CPU 15電連通的閥33，如果進(jìn)料管線20中所述氣體的濃度在受到一種或多種處理之后超出了工藝規(guī)格，則所述純度補(bǔ)償工藝管線起到增加所述工藝氣體純度的作用。進(jìn)料管線20的工藝氣體被引入所述系統(tǒng)，如本文中包含的圖5所示?；氐絽⒖紙D1，閥23在所述系統(tǒng)供電故障的情況下，提供自動(dòng)援助(back up) ο工藝管線40具有與CPU 15電連通的閥43，其提供了向所述至少一個(gè)生產(chǎn)工具提供起始填充/吹掃(purge)的另一條工藝管線，以避免例如任何生產(chǎn)停工時(shí)間。任選的起始填充或吹掃管線40還包括質(zhì)量流量控制器45并與回收歧管/He吹掃管線50流動(dòng)連通。回收歧管/He吹掃管線50在圖2中顯示的元件處被引入所述系統(tǒng)。
[0045]圖2描繪了多條流出物管線，確定為60a、60b和60c，本文中描述的方法、系統(tǒng)和設(shè)備在所述工藝氣體已經(jīng)在物品制造中在多個(gè)生產(chǎn)工具(在圖7中顯示為生產(chǎn)工具260A)中用過之后，從所述生產(chǎn)工具再捕集所述用過的工藝氣體。來自多個(gè)生產(chǎn)工具的工具流出物管線60a至60c的工藝氣體流或用過的工藝氣體合并成流出物管線主集管65 (main headereffluent line 65)。純工藝氣體從圖1顯示的系統(tǒng)通過工藝管線(例如回收歧管He吹掃)50運(yùn)送到主流出物管線65 (main effluent line 65)中。所述工藝氣體用于所述一個(gè)或多個(gè)生產(chǎn)工具之后，用過的工藝氣體通過工具流出物管線60a-60c引回，并合并到主流出物管線65，通過處理管線70，以通過一種或多種方法例如但不限于凈化加以處理。在圖2顯示的實(shí)施方式中，傳感器80提供了對(duì)于出自所述至少一個(gè)生產(chǎn)工具的用過的回收工藝氣體的純度的實(shí)時(shí)測(cè)量。在一種實(shí)施方式中，傳感器80與工藝控制器例如顯示的CPU 15電連通。在一種【具體實(shí)施方式】中，所述系統(tǒng)在低于亞大氣壓(例如_2psig或700托)下運(yùn)行以最小化所述工藝氣體的損失。在其他實(shí)施方式中，真空泵(未顯示)可用于從至少一個(gè)工藝工具抽取所述用過的工藝氣體。主流出物管線65與處理管線70流動(dòng)連通。
[0046]圖3描繪了所述系統(tǒng)中主流出物管線65中的用過的工藝氣體通過處理管線70被送去處理的方面。處理管線70還包含過濾器90以除去在其中包含的任何微粒，和壓力傳感器93。過濾器90和壓力傳感器93還可以與工藝控制器例如所顯示的CPU 15電連通，以允許最終用戶監(jiān)測(cè)工藝氣體在整個(gè)系統(tǒng)中的流動(dòng)和其他狀況。在圖3顯示的實(shí)施方式中，壓力傳感器93與壓力控制管線98中的閥96電連通。圖3還顯示了描繪為凈化再循環(huán)管線100的工藝氣體輸入(其來自圖4顯示的凈化系統(tǒng))，其中不符合一種或多種系統(tǒng)要求的所述處理工藝氣體被再引回到所述處理循環(huán)中。處理管線70包含凈化調(diào)節(jié)罐(purificat1nturndown ta