本技術(shù)屬于旋涂設(shè)備，具體涉及一種旋涂機(jī)上用于防止膠液反濺的結(jié)構(gòu)，以及采用該結(jié)構(gòu)的旋涂機(jī)。

背景技術(shù)：

1、旋涂機(jī)是一種基于高速旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生離心力來均勻涂布液體的設(shè)備，在旋涂機(jī)中，基片(剝離或金屬片等)固定在轉(zhuǎn)盤上，通過電機(jī)驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)盤高速旋轉(zhuǎn)，在旋轉(zhuǎn)過程中，滴在基片上的液體在離心力的作用下被均勻涂布在基片上形成一層薄膜，其常用于微電子、半導(dǎo)體、制版、新能源、生物材料、光學(xué)等表面需要涂敷的領(lǐng)域。

2、在旋涂機(jī)工作過程中，經(jīng)常會出現(xiàn)液體反濺的問題，即在旋轉(zhuǎn)過程中部分液體被甩離轉(zhuǎn)盤后濺射至器具表面，當(dāng)液體與旋涂器具表面接觸時(shí)，產(chǎn)生的沖擊力會使液體反濺，導(dǎo)致液體的浪費(fèi)并影響工作環(huán)境。對于一些對液體控制要求較高的工藝，如涂層、涂漆等，反濺問題的影響更為重要。

3、公開于該背景技術(shù)部分的信息僅僅旨在增加對本實(shí)用新型的總體背景的理解，而不應(yīng)當(dāng)被視為承認(rèn)或以任何形式暗示該信息構(gòu)成已為本領(lǐng)域一般技術(shù)人員所公知的現(xiàn)有技術(shù)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的在于提供一種旋涂機(jī)上的防止反濺的結(jié)構(gòu)，用于解決液體反濺問題。

2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型一具體實(shí)施例提供了一種旋涂機(jī)防濺結(jié)構(gòu)，包括托盤箱、套筒和托盤。所述托盤箱設(shè)置有工作腔，包括上下設(shè)置且連通的第一腔室和第二腔室，所述第一腔室和第二腔室的截面分別呈圓臺狀和圓柱狀；所述套筒設(shè)置于所述工作腔內(nèi)，包括設(shè)置于第二腔室內(nèi)的第二筒體以及連接于所述第二筒體并向第一腔室延伸的第一筒體，所述第一筒體呈圓臺狀；所述托盤設(shè)置于所述第一腔室內(nèi)并位于所述第一筒體的上方，所述托盤能夠繞自身軸向旋轉(zhuǎn)。

3、在本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，所述第一筒體與第一腔室內(nèi)壁之間的間距沿向下方向逐漸縮小。

4、在本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，所述托盤位于所述第一筒體開口所在平面。

5、在本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，所述托盤直徑大于或等于第一筒體開口直徑。

6、在本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，所述筒體的外壁上設(shè)置有泡棉。

7、在本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，所述工作腔的內(nèi)壁上設(shè)置有泡棉。

8、在本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，所述第一腔室和第二腔室的連通位置所在平面高于所述第一筒體和第二筒體連通位置所在平面。

9、在本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，所述托盤箱的頂部開設(shè)有連通工作腔的開口。

10、在本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，所述套筒與托盤箱可拆卸固定。

11、本實(shí)用新型還提供一種旋涂機(jī)，包括如上所述的旋涂機(jī)防濺結(jié)構(gòu)。

12、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型中旋涂機(jī)的托盤箱頂部設(shè)置成圓臺狀，同時(shí)在箱內(nèi)設(shè)置頂部同樣呈圓臺狀的套筒，甩飛的液體在接觸箱體內(nèi)壁后，由于角度的原因，反濺的液體向下進(jìn)入套筒和箱體內(nèi)壁之間，而不會向托盤本體或者托盤上方濺射，提高了工作效率和可靠性。

技術(shù)特征：

1.一種旋涂機(jī)防濺結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋涂機(jī)防濺結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一筒體與第一腔室內(nèi)壁之間的間距沿向下方向逐漸縮小。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的旋涂機(jī)防濺結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述托盤位于所述第一筒體開口所在平面。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的旋涂機(jī)防濺結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述托盤直徑大于或等于第一筒體開口直徑。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的旋涂機(jī)防濺結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述筒體的外壁上設(shè)置有泡棉。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的旋涂機(jī)防濺結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述工作腔的內(nèi)壁上設(shè)置有泡棉。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的旋涂機(jī)防濺結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一腔室和第二腔室的連通位置所在平面高于所述第一筒體和第二筒體連通位置所在平面。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋涂機(jī)防濺結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述托盤箱的頂部開設(shè)有連通工作腔的開口。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋涂機(jī)防濺結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述套筒與托盤箱可拆卸固定。

10.一種旋涂機(jī)，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-9任一所述的旋涂機(jī)防濺結(jié)構(gòu)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種旋涂機(jī)防濺結(jié)構(gòu)，包括托盤箱、套筒和托盤。所述托盤箱設(shè)置有工作腔，包括上下設(shè)置且連通的第一腔室和第二腔室，所述第一腔室和第二腔室的截面分別呈圓臺狀和圓柱狀；所述套筒設(shè)置于所述工作腔內(nèi)，包括設(shè)置于第二腔室內(nèi)的第二筒體以及連接于所述第二筒體并向第一腔室延伸的第一筒體，所述第一筒體呈圓臺狀；所述托盤設(shè)置于所述第一腔室內(nèi)并位于所述第一筒體的上方，所述托盤能夠繞自身軸向旋轉(zhuǎn)。本技術(shù)中的防濺結(jié)構(gòu)能夠防止甩飛的膠液反濺回基片，使整個(gè)旋涂過程更加可控，提高良品率。

技術(shù)研發(fā)人員：甘家安,蔣翼,王卓,宋熊榮
受保護(hù)的技術(shù)使用者：丹玥光學(xué)（上海）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240411
技術(shù)公布日：2024/12/19