本公開涉及氣體回收領域，尤其涉及惰性氣體回收裝置。

背景技術：

1、氬氣是惰性氣體，不與任何物質發(fā)生化學反應，因此，作為保護氣、載氣、稀釋氣等廣泛的應用于國民經濟的許多行業(yè)，如電子、化學工業(yè)、理化分析、光源、焊接、單晶硅制備等，特別是在金屬冶煉時，氬氣作為惰性保護氣能夠有效防止高溫狀態(tài)下的金屬被氧化，抽空過程中真空泵不斷從爐膛內向外抽送氬氣。現有技術中抽出的氬氣依次經過收集、機械雜質去除、壓縮、除碳和除氧、精餾后形成高純度的氬氣。但現有的提純流程中的除碳和除氧的吸附塔在泄壓時，將塔內含有氬氣的高壓氣體直接排放至大氣中，造成吸附塔及管道內含氬氣體的損失。在日益激烈競爭環(huán)境下，嚴重影響了氬回收項目中氬氣的提氣率。

技術實現思路

1、鑒于以上所述現有技術的缺點，本公開的目的在于提供惰性氣體回收裝置，解決相關技術中的問題。

2、本公開第一方面提供惰性氣體回收裝置，包括：

3、沿氣體輸送方向依次連通的收集單元、除質單元、壓縮單元、至少一凈化單元和精餾單元；

4、至少一收集管路，一端連通于所述收集單元的入口，另一端連通于所述至少一凈化單元的泄壓口；

5、其中，所述至少一收集管路將所述泄壓口流出的氣體引導至所述收集單元；

6、所述收集管路上連通有排空管；所述惰性氣體回收裝置還包括一控制單元，所述控制單元包括控制器、第一閥體、第二閥體、分析儀、壓力測量儀和流量測量儀；所述第一閥體設于所述排空管，所述第二閥體設于所述收集管路且位于所述排空管之后；所述分析儀、壓力測量儀和流量測量儀依次設于所述收集管路且位于所述排空管之前；當所述控制單元基于所述分析儀、壓力測量儀和流量測量儀得出所述凈化單元內二氧化碳濃度達到預定值的檢測結果時，控制所述第一閥體導通和所述第二閥體閉合。

7、在第一方面的實施例中，所述收集管路上設有真空泵，且在所述泄壓口導通時啟動。

8、在第一方面的實施例中，所述凈化單元被實施為兩個，即依次連通的第一凈化單元和第二凈化單元；所述第一凈化單元包括第一泄壓口，所述第二凈化單元包括第二泄壓口；所述收集管路被實施為兩個，即第一收集管路和第二收集管路；所述第一收集管路用于連通所述第一泄壓口和所述收集單元的入口；所述第二收集管路用于連通所述第二泄壓口和所述收集單元的入口。

9、在第一方面的實施例中，所述凈化單元被實施為多個，分別用于凈化不同的雜質氣體；所述收集管路被實施為多個；每個凈化單元各包括一泄壓口；每個所述凈化單元的泄壓口分別通過一所述收集管路與所述收集單元的入口連通。

10、在第一方面的實施例中，還包括一控制單元，所述控制單元包括控制器、第一閥體和第一流量計；所述第一閥體和第一流量計分別通信連接于所述控制器；所述第一閥體設于所述第二凈化單元中供氫氣注入的第一加注口；所述第一流量計設于所述第一凈化單元與第二凈化單元之間，供檢測流入所述第二凈化單元內的氧氣的量；所述控制器基于所述第一流量計的檢測結果調整所述第一閥體的開度，以令進入所述第二凈化單元的氫氣微過量。

11、在第一方面的實施例中，還包括一控制單元，所述控制單元包括控制器、第一閥體和第一流量計；所述第一閥體和第一流量計分別通信連接于所述控制器；所述第一閥體設于所述第二凈化單元中供氫氣注入的第一加注口；所述第一流量計設于所述第二凈化單元與精餾單元之間，供檢測流入所述精餾單元的氫氣的量；所述控制器基于所述第一流量計的檢測結果調整所述第一閥體的開度，以令進入所述第二凈化單元的氫氣微過量。

12、在第一方面的實施例中，還包括一控制單元，所述控制單元包括控制器、第一閥體、第一流量計和第二流量計；所述第一閥體、第一流量計和第二流量計分別通信連接于所述控制器；所述第一閥體設于所述第二凈化單元中供氫氣注入的第一加注口；所述第一流量計設于所述第一凈化單元與第二凈化單元之間，供檢測流入所述第二凈化單元內的氧氣的量；所述第二流量計設于所述第二凈化單元與精餾單元之間，供檢測流入所述精餾單元的氫氣的量；所述控制器基于所述第一流量計和第二流量計的檢測結果協(xié)調調整所述第一閥體的開度，以令進入所述第二凈化單元的氫氣微過量。

13、在第一方面的實施例中，所述第一凈化單元包括第一純化組件，所述第一純化組件包括第一吸附塔和第二吸附塔，以及串聯于所述第一吸附塔入口和第二吸附塔入口之間的第一泄壓閥和第二泄壓閥，所述第一泄壓口連通于所述第一泄壓閥與第二泄壓閥之間。

14、在第一方面的實施例中，所述第二凈化單元包括第二純化組件，所述第二純化組件包括第三吸附塔和第四吸附塔，以及串聯于所述第三吸附塔入口和第四吸附塔入口之間的第三泄壓閥和第四泄壓閥，所述第二泄壓口連通于所述第三泄壓閥與第四泄壓閥之間。

15、如上所述，本公開實施例中提供一種惰性氣體回收裝置，包括沿氣體輸送方向依次連通的收集單元、除質單元、壓縮單元、至少一凈化單元和精餾單元；至少一收集管路，一端連通于所述收集單元的入口，另一端連通于所述至少一凈化單元的泄壓口；其中，所述至少一收集管路將所述泄壓口流出的氣體引導至所述收集單元。所述收集管路上連通有排空管；所述惰性氣體回收裝置還包括一控制單元，所述控制單元包括控制器、第一閥體、第二閥體、分析儀、壓力測量儀和流量測量儀；所述第一閥體設于所述排空管，所述第二閥體設于所述收集管路且位于所述排空管之后；所述分析儀、壓力測量儀和流量測量儀依次設于所述收集管路且位于所述排空管之前；當所述控制單元基于所述分析儀、壓力測量儀和流量測量儀得出所述凈化單元內二氧化碳濃度達到預定值的檢測結果時，控制所述第一閥體導通和所述第二閥體閉合。上述設置的好處是，當所述凈化單元處于泄壓狀態(tài)時，從其所述泄壓口流出的高壓的氣體不再直接排放至大氣中，而是經所述收集管路被引導至所述收集單元，并重新進行氬氣回收。從而避免因高壓氣體直接排放至大氣中所帶來的資源，提高對氬氣的回收率，提高氬氣回收的經濟性。當所述凈化單元和所述收集管路被設置多個時，能夠進一步提高氬氣回收的效果。

技術特征：

1.一種惰性氣體回收裝置，其特征在于，包括：

2.根據權利要求1所述的惰性氣體回收裝置，其特征在于，所述至少一收集管路上設有真空泵，且在所述泄壓口導通時啟動。

3.根據權利要求1所述的惰性氣體回收裝置，其特征在于，所述凈化單元被實施為兩個，即依次連通的第一凈化單元和第二凈化單元；所述第一凈化單元包括第一泄壓口，所述第二凈化單元包括第二泄壓口；所述收集管路被實施為兩個，即第一收集管路和第二收集管路；所述第一收集管路用于連通所述第一泄壓口和所述收集單元的入口；所述第二收集管路用于連通所述第二泄壓口和所述收集單元的入口。

4.根據權利要求1所述的惰性氣體回收裝置，其特征在于，所述凈化單元被實施為多個，分別用于凈化不同的雜質氣體；所述收集管路被實施為多個；每個凈化單元各包括一泄壓口；每個所述凈化單元的泄壓口分別通過一所述收集管路與所述收集單元的入口連通。

5.根據權利要求3所述的惰性氣體回收裝置，其特征在于，還包括一控制單元，所述控制單元包括控制器、第一閥體和第一流量計；所述第一閥體和第一流量計分別通信連接于所述控制器；所述第一閥體設于所述第二凈化單元中供氫氣注入的第一加注口；所述第一流量計設于所述第一凈化單元與第二凈化單元之間，供檢測流入所述第二凈化單元內的氧氣的量；所述控制器基于所述第一流量計的檢測結果調整所述第一閥體的開度，以令進入所述第二凈化單元的氫氣微過量。

6.根據權利要求3所述的惰性氣體回收裝置，其特征在于，還包括一控制單元，所述控制單元包括控制器、第一閥體和第一流量計；所述第一閥體和第一流量計分別通信連接于所述控制器；所述第一閥體設于所述第二凈化單元中供氫氣注入的第一加注口；所述第一流量計設于所述第二凈化單元與精餾單元之間，供檢測流入所述精餾單元的氫氣的量；所述控制器基于所述第一流量計的檢測結果調整所述第一閥體的開度，以令進入所述第二凈化單元的氫氣微過量。

7.根據權利要求3所述的惰性氣體回收裝置，其特征在于，還包括一控制單元，所述控制單元包括控制器、第一閥體、第一流量計和第二流量計；所述第一閥體、第一流量計和第二流量計分別通信連接于所述控制器；所述第一閥體設于所述第二凈化單元中供氫氣注入的第一加注口；所述第一流量計設于所述第一凈化單元與第二凈化單元之間，供檢測流入所述第二凈化單元內的氧氣的量；所述第二流量計設于所述第二凈化單元與精餾單元之間，供檢測流入所述精餾單元的氫氣的量；所述控制器基于所述第一流量計和第二流量計的檢測結果協(xié)調調整所述第一閥體的開度，以令進入所述第二凈化單元的氫氣微過量。

8.根據權利要求3所述的惰性氣體回收裝置，其特征在于，所述第一凈化單元包括第一純化組件，所述第一純化組件包括第一吸附塔和第二吸附塔，以及串聯于所述第一吸附塔入口和第二吸附塔入口之間的第一泄壓閥和第二泄壓閥，所述第一泄壓口連通于所述第一泄壓閥與第二泄壓閥之間。

9.根據權利要求3所述的惰性氣體回收裝置，其特征在于，所述第二凈化單元包括第二純化組件，所述第二純化組件包括第三吸附塔和第四吸附塔，以及串聯于所述第三吸附塔入口和第四吸附塔入口之間的第三泄壓閥和第四泄壓閥，所述第二泄壓口連通于所述第三泄壓閥與第四泄壓閥之間。

技術總結
本公開實施例中提供一種惰性氣體回收裝置，包括沿氣體輸送方向依次連通的收集單元、除質單元、壓縮單元、至少一凈化單元和精餾單元；至少一收集管路，一端連通于所述收集單元的入口，另一端連通于所述至少一凈化單元的泄壓口；其中，所述至少一收集管路將所述泄壓口流出的氣體引導至所述收集單元。上述設置的好處是，當所述凈化單元處于泄壓狀態(tài)時，從其所述泄壓口流出的高壓的氣體不再直接排放至大氣中，而是經所述收集管路被引導至所述收集單元，并重新進行氬氣回收。從而避免因高壓氣體直接排放至大氣中所帶來的資源，提高對氬氣的回收率，提高氬氣回收的經濟性。當所述凈化單元和所述收集管路被設置多個時，能夠進一步提高氬氣回收的效果。

技術研發(fā)人員：孫鵬
受保護的技術使用者：上海聯風氣體有限公司
技術研發(fā)日：
技術公布日：2024/12/19