本實(shí)用新型涉及潔凈室設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種潔凈室用工作臺(tái)。

背景技術(shù)：

潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間，也成為無塵室。潔凈室最主要作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)制造。按照國(guó)際慣例，無塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定，也就是說所謂無塵并非100％沒有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對(duì)于亞微米級(jí)器件結(jié)構(gòu)而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在亞微米級(jí)器件結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。

隨著產(chǎn)品加工的精密化和對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的要求提高，對(duì)于制作這類產(chǎn)品的潔凈環(huán)境也比以前有了更加嚴(yán)格的管控和標(biāo)準(zhǔn)。對(duì)于要求潔凈室的懸浮粒子濃度或微生物濃度更低的場(chǎng)合，就需要使用單向氣流，并且通常使用自上而下的單項(xiàng)氣流。在一間沒有任何障礙物的空房間，單向氣流可以用較低的風(fēng)速而很快將污染物清除，但在潔凈室，大部分使用的工作臺(tái)或者保管架都是采用平板型的臺(tái)面和支架組裝而成，這些工作臺(tái)及保管架都會(huì)使單向氣流變成紊流，產(chǎn)生揚(yáng)塵，這些灰塵顆粒一旦沉降到加工器件的敏感部位就會(huì)導(dǎo)致致命的缺陷。也有少數(shù)潔凈室采用若干的條形部件平行排列、用連接部件固定形成臺(tái)面的方式來減少紊流，但只采用這種措施的效果并不明顯。

現(xiàn)有的潔凈室工作臺(tái)對(duì)空氣的凈化效果往往不夠理想，潔凈室工作臺(tái)內(nèi)容易產(chǎn)生紊流，影響潔凈室的操作環(huán)境，且常用潔凈室工作臺(tái)在使用中，操作人員的手臂必然會(huì)通過手孔進(jìn)出，這必然會(huì)將外部的污染空氣帶入潔凈區(qū)域中。所以現(xiàn)在需要一種能有效克服這些缺陷的潔凈室工作臺(tái)，提供高潔凈度的空氣操作環(huán)境，以滿足用戶需求。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題在于針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種潔凈室用工作臺(tái)。

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是：一種潔凈室用工作臺(tái)，包括：箱體、設(shè)置于所述箱體下方的臺(tái)架、設(shè)置于所述箱體頂部的第一風(fēng)機(jī)箱、設(shè)置于所述箱體內(nèi)與所述第一風(fēng)機(jī)箱底部連通的臭氧滅菌箱、設(shè)置于所述箱體內(nèi)與所述臭氧滅菌箱底部連通的第一靜壓箱、設(shè)置于所述箱體內(nèi)與所述第一靜壓箱底部連通的潔凈箱、設(shè)置于所述潔凈箱下方的第二靜壓箱、設(shè)置于所述箱體內(nèi)與所述第二靜壓箱底部連通的第二風(fēng)機(jī)箱、第一回風(fēng)管和第二回風(fēng)管；

所述潔凈箱內(nèi)頂部設(shè)置布風(fēng)板，所述布風(fēng)板上設(shè)置有布風(fēng)孔，所述潔凈箱內(nèi)還設(shè)置有LED燈，所述潔凈箱內(nèi)底部設(shè)置有面板，所述面板外周與所述潔凈箱底部側(cè)壁之間設(shè)置有環(huán)形出風(fēng)通道，所述環(huán)形出風(fēng)通道上設(shè)置有層，所述環(huán)形出風(fēng)通道下方與所述第二靜壓箱連通。

優(yōu)選的是，所述第一靜壓箱內(nèi)由上至下依次設(shè)置有換熱盤管、加熱盤管、制冷器和高效過濾器。

優(yōu)選的是，所述換熱盤管包括一進(jìn)風(fēng)口和一出風(fēng)口。

優(yōu)選的是，所述第一回風(fēng)管連通所述第二風(fēng)機(jī)箱和所述換熱盤管的進(jìn)風(fēng)口。

優(yōu)選的是，所述第二回風(fēng)管連通所述臭氧滅菌箱和所述換熱盤管的出風(fēng)口，所述第二回風(fēng)管內(nèi)還設(shè)置有單向閥門。

優(yōu)選的是，所述潔凈箱前端頂部設(shè)置有風(fēng)幕機(jī)，所述風(fēng)幕機(jī)下方設(shè)置有玻璃門。

優(yōu)選的是，所述臺(tái)架上設(shè)置有置物板，所述置物板上設(shè)置有工具箱。

優(yōu)選的是，所述第一風(fēng)機(jī)箱內(nèi)設(shè)置有第一風(fēng)機(jī)，所述第一風(fēng)機(jī)箱頂部設(shè)置有粗效過濾器，所述第二風(fēng)機(jī)箱內(nèi)設(shè)置有第二風(fēng)機(jī)。

優(yōu)選的是，所述臭氧滅菌箱內(nèi)設(shè)置有臭氧發(fā)生器。

優(yōu)選的是，所述臺(tái)架底部設(shè)置有可伸縮支腳，所述可伸縮支腳側(cè)部設(shè)置有調(diào)節(jié)旋鈕。

本實(shí)用新型的有益效果：本實(shí)用新型通過設(shè)置第一靜壓箱、環(huán)形出風(fēng)通道和第二靜壓箱，能有效減少潔凈箱內(nèi)的紊流，使?jié)崈艨諝饩鶆蚨址€(wěn)定地對(duì)潔凈箱內(nèi)的物品進(jìn)行潔凈處理，保證潔凈箱內(nèi)的空氣環(huán)境；通過設(shè)置粗效過濾器、臭氧滅菌箱、高效過濾器能極大提高空氣潔凈程度，保證潔凈箱內(nèi)的空氣質(zhì)量；通過設(shè)置風(fēng)幕機(jī)在潔凈箱與外部空氣中間形成空氣屏障，能防止污染物進(jìn)入潔凈箱；通過設(shè)置回風(fēng)，能有效節(jié)約能量，減少成本，本實(shí)用新型的潔凈室用工作臺(tái)具有廣闊的市場(chǎng)前景。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的潔凈室用工作臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型的風(fēng)幕機(jī)與玻璃門的裝配關(guān)系示意圖；

圖3為本實(shí)用新型的環(huán)形出風(fēng)通道的結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖標(biāo)記說明：

1—箱體；2—臺(tái)架；3—第一風(fēng)機(jī)箱；4—臭氧滅菌箱；5—第一靜壓箱；6—潔凈箱；7—第二靜壓箱；8—第二風(fēng)機(jī)箱；9—第一回風(fēng)管；10—第二回風(fēng)管；20—置物板；21—工具箱；22—可伸縮支腳；23—調(diào)節(jié)旋鈕；30—第一風(fēng)機(jī)；31—粗效過濾器；40—臭氧發(fā)生器；50—換熱盤管；51—加熱盤管；52—制冷器；53—高效過濾器；60—布風(fēng)板；61—LED燈；62—工作臺(tái)面；63—環(huán)形出風(fēng)通道；64—除塵濾網(wǎng)；65—風(fēng)幕機(jī)；66—玻璃門；80—第二風(fēng)機(jī)；100—單向閥門；500—進(jìn)風(fēng)口；501—出風(fēng)口。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的詳細(xì)說明，以令本領(lǐng)域技術(shù)人員參照說明書文字能夠據(jù)以實(shí)施。

應(yīng)當(dāng)理解，本文所使用的諸如“具有”、“包含”以及“包括”術(shù)語并不配出一個(gè)或多個(gè)其它元件或其組合的存在或添加。

如圖1-3所示，本實(shí)施例的一種潔凈室用工作臺(tái)，包括：箱體1、設(shè)置于箱體1下方的臺(tái)架2、設(shè)置于箱體1頂部的第一風(fēng)機(jī)箱3、設(shè)置于箱體1內(nèi)與第一風(fēng)機(jī)箱3底部連通的臭氧滅菌箱4、設(shè)置于箱體1內(nèi)與臭氧滅菌箱4底部連通的第一靜壓箱5、設(shè)置于箱體1內(nèi)與第一靜壓箱5底部連通的潔凈箱6、設(shè)置于潔凈箱6下方的第二靜壓箱7、設(shè)置于箱體1內(nèi)與第二靜壓箱7底部連通的第二風(fēng)機(jī)箱8、第一回風(fēng)管9和第二回風(fēng)管10。

第一風(fēng)機(jī)箱3內(nèi)設(shè)置有第一風(fēng)機(jī)30，第一風(fēng)機(jī)箱3頂部設(shè)置有粗效過濾器31。第二風(fēng)機(jī)箱8內(nèi)設(shè)置有第二風(fēng)機(jī)80。

臭氧滅菌箱4內(nèi)設(shè)置有臭氧發(fā)生器40，臭氧發(fā)生器40產(chǎn)生臭氧，用于對(duì)空氣進(jìn)行滅菌消毒。

第一靜壓箱5內(nèi)由上至下依次設(shè)置有換熱盤管50、加熱盤管51、制冷器52和高效過濾器53。換熱盤管50用于實(shí)現(xiàn)由臭氧滅菌箱4排出的空氣與第二風(fēng)機(jī)箱8底部的回風(fēng)的熱交換。加熱盤管51用于對(duì)經(jīng)臭氧滅菌箱4滅菌后的空氣進(jìn)行加熱，以促進(jìn)空氣中殘余的臭氧分解，降低殘余臭氧濃度。高效過濾器53用于對(duì)空氣進(jìn)行進(jìn)一步凈化，吸除空氣中的粉塵和殘余臭氧。制冷器52用于對(duì)經(jīng)加熱的空氣再進(jìn)行降溫，以調(diào)節(jié)空氣溫度至合適值。加熱盤管51和制冷器52同時(shí)還用于對(duì)進(jìn)入潔凈箱6內(nèi)的空氣的溫度進(jìn)行控制，以滿足操作人員需求。利用臭氧對(duì)空氣滅菌消毒，再通過加熱和高效過濾器53清除殘余臭氧，不會(huì)產(chǎn)生有害的副產(chǎn)品，能保證空氣的質(zhì)量。

潔凈箱6內(nèi)頂部設(shè)置布風(fēng)板60，布風(fēng)板60上設(shè)置有布風(fēng)孔，潔凈箱6內(nèi)還設(shè)置有LED燈61，潔凈箱6內(nèi)底部設(shè)置有工作臺(tái)面62，工作臺(tái)面62外周與潔凈箱6底部側(cè)壁之間設(shè)置有環(huán)形出風(fēng)通道63，環(huán)形出風(fēng)通道63上設(shè)置有除塵濾網(wǎng)64，環(huán)形出風(fēng)通道63下方與第二靜壓箱7連通。由第一靜壓箱5排出的空氣經(jīng)布風(fēng)板60導(dǎo)入到潔凈箱6內(nèi)，布風(fēng)板60上密集設(shè)置的布風(fēng)孔使空氣氣流更加均勻和穩(wěn)定地向下流動(dòng)，保證潔凈箱6內(nèi)工作臺(tái)面62的操作環(huán)境?？諝庥身敳窟M(jìn)入，再由工作臺(tái)面62外周與潔凈箱6底部側(cè)壁之間的環(huán)形出風(fēng)通道63排出，使?jié)崈粝?內(nèi)潔凈空氣流動(dòng)更加充分，以對(duì)工作臺(tái)面62上需要清潔的工件進(jìn)行充分的空氣清刷，以帶走工件表面的粉塵，能提高潔凈箱6內(nèi)空氣的潔凈程度。環(huán)形出風(fēng)通道63上設(shè)置的除塵濾網(wǎng)64能有效吸收清刷過工件后的空氣中的粉塵，避免粉塵再次污染潔凈箱6內(nèi)的工件。

換熱盤管50包括一進(jìn)風(fēng)口500和一出風(fēng)口501，其為盤旋的管狀結(jié)構(gòu)，管直接具有空隙，管內(nèi)與管外的空氣進(jìn)行熱量交換。第一回風(fēng)管9連通第二風(fēng)機(jī)箱8和換熱盤管50的進(jìn)風(fēng)口500。第二回風(fēng)管10連通臭氧滅菌箱4和換熱盤管50的出風(fēng)口501，第二回風(fēng)管10內(nèi)還設(shè)置有單向閥門100，單向閥門100使第二回風(fēng)管10內(nèi)的氣體只能從換熱盤管50的出風(fēng)口501流向臭氧滅菌箱4。第二風(fēng)機(jī)箱8排出的空氣雖然為潔凈箱6排出的尾氣，但相比較于外部空氣，其潔凈度顯然要更高，且其溫度也會(huì)較高，其中具有可以重復(fù)利用的熱量。利用第一回風(fēng)管9將第二風(fēng)機(jī)箱8排出的空氣導(dǎo)入換熱盤管50的進(jìn)風(fēng)口500，管內(nèi)的空氣與管外的空氣進(jìn)行熱量交換，管內(nèi)的空氣再由第二回風(fēng)管10導(dǎo)入到臭氧滅菌箱4，以重復(fù)利用，能有效節(jié)約能量，還能提高空氣潔凈度。

潔凈箱6前端頂部設(shè)置有風(fēng)幕機(jī)65，風(fēng)幕機(jī)65下方設(shè)置有玻璃門66。風(fēng)幕機(jī)65向下吹風(fēng)，形成風(fēng)簾，以在潔凈箱6與外部空氣中間形成空氣屏障，在玻璃門66打開時(shí)能防止外部的粉塵進(jìn)入潔凈箱6內(nèi)，以提高潔凈箱6內(nèi)的空氣潔凈程度。

臺(tái)架2上設(shè)置有置物板20，置物板20上設(shè)置有工具箱21，方便操作人員工作。臺(tái)架2底部設(shè)置有可伸縮支腳22，可伸縮支腳22側(cè)部設(shè)置有調(diào)節(jié)旋鈕23，調(diào)節(jié)旋鈕23用于控制可伸縮支腳22，以調(diào)節(jié)該潔凈室用工作臺(tái)的高度，以方便使用。

工作時(shí)，在第一風(fēng)機(jī)30和第二風(fēng)機(jī)80作用下，空氣由第一風(fēng)機(jī)箱3頂部進(jìn)入，經(jīng)粗效過濾器31初步過濾凈化，吸除空氣中的粉塵，空氣再進(jìn)入臭氧滅菌箱4，經(jīng)臭氧滅菌處理后向下流經(jīng)換熱盤管50，與管內(nèi)的空氣進(jìn)行熱量交換；再經(jīng)加熱盤管51加熱以消除殘余臭氧，再經(jīng)制冷器52調(diào)節(jié)至合適的溫度后經(jīng)高效過濾器53深度凈化；然后由布風(fēng)板60導(dǎo)入潔凈箱6，在潔凈箱6內(nèi)形成高度潔凈的空氣環(huán)境，一部分空氣由潔凈箱6前端的玻璃門66處排出，另一部分空氣再由環(huán)形出風(fēng)通道63排至第二靜壓箱7，依次經(jīng)第一回風(fēng)管9、換熱盤管50和第二回風(fēng)管10后回流至臭氧滅菌箱4。

在本實(shí)用新型的描述中，需要理解的是，術(shù)語“中心”、“縱向”、“橫向”、“長(zhǎng)度”、“寬度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”“內(nèi)”、“外”、“順時(shí)針”、“逆時(shí)針”、“軸向”、“徑向”、“周向”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實(shí)用新型和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。

盡管本實(shí)用新型的實(shí)施方案已公開如上，但其并不僅僅限于說明書和實(shí)施方式中所列運(yùn)用。它完全可以被適用于各種適合本實(shí)用新型的領(lǐng)域。對(duì)于熟悉本領(lǐng)域的人員而言，可容易地實(shí)現(xiàn)另外的修改。因此在不背離權(quán)利要求及等同范圍所限定的一般概念下，本實(shí)用新型并不限于特定的細(xì)節(jié)和這里示出與描述的圖例。