收塵裝置本申請是原發(fā)明專利申請(申請日為2013年09月09日、申請?zhí)枮?01310408002.X，發(fā)明名稱為“收塵裝置”)的分案申請。技術領域本發(fā)明涉及收塵領域，尤其涉及一種收塵裝置。

背景技術：
化學氣相沉積過程是在真空狀態(tài)下，氣體通入到爐內，在真空的狀態(tài)下沉積，設備一般會連接真空泵，真空泵對設備抽真空產生一定的負壓。目前采用化學氣相沉積方法生產各種材料的過程中一般會產生大量的粉塵，若粉塵處理不當不但會沉積到產品里面，使產品的性能降低，品質不達標，而且因化學氣相沉積過程一般是真空狀態(tài)，在設備的后面一般會連接機械泵，粉塵一旦進入到機械泵里面會嚴重影響機械泵的使用壽命，更重要的是通過機械泵抽過來的粉塵不便于收集，可能導致整個系統癱瘓，無法使用。

技術實現要素：
鑒于背景技術中存在的問題，本發(fā)明的目的在于提供一種收塵裝置，其能有效地去除粉塵。本發(fā)明的另一目的在于提供一種收塵裝置，其能更好地保護價格昂貴的機械泵和恒壓真空泵。為了實現上述目的，本發(fā)明提供了一種收塵裝置，其包括：主過濾器，連接于產塵裝置的出氣管以接收來自產塵裝置的粉塵，主過濾器在下游端設有連接口；次過濾器，設置在主過濾器的下方，通過連接管與主過濾器下游端的連接口連接；兩個平行過濾器，底部通過三通連接管分別與次過濾器的上端連接并分別與次過濾器受控連通，兩個平行過濾器的一個平行過濾器為備用以在兩個平行過濾器中的另一個平行過濾器不能正常工作時該備用的平行過濾器啟動并工作；三個收塵桶，分別安裝于次過濾器與兩個平行過濾器的下方，并分別受控連通于次過濾器與兩個平行過濾器，以用于收集次過濾器與兩個平行過濾器里面的粉塵；以及機械泵，受控連通于兩個平行過濾器的上部，以接收從兩個平行過濾器中的正常工作的平行過濾器排出的氣體并向外排出。本發(fā)明的有益效果如下：本發(fā)明的收塵裝置經過三級收塵之后可有效地去除粉塵；當產塵裝置為化學氣相沉積爐時，能夠解決化學氣相沉積過程中由于粉塵造成的一系列問題；操作簡單；根據生產過程時間的長短以及粉塵的多少可以實現方便更換或者清潔，還能更好地保護價格昂貴的機械泵和恒壓真空泵。附圖說明圖1為根據本發(fā)明的收塵裝置的結構示意圖；圖2為圖1的虛線圓圈部分的放大圖。其中，附圖標記說明如下：1主過濾器6恒壓真空泵11連接口7控制組件12真空正壓安全閥71脈沖電磁閥13備用口72差壓變送器14單板73壓力變送器15擋板8氣體處理裝置16測溫口9防腐風機2次過濾器10產塵裝置3平行過濾器101出氣管31殼體S反吹用氣體源32主反吹管V1-V15閥門33分反吹管P1、P2、P3、P1'、P2'、P3'線路34濾芯骨架T1連接管35布袋T2三通連接管36濾布E端口4收塵桶5機械泵具體實施方式下面參照附圖來詳細說明根據本發(fā)明的收塵裝置。參照圖1，根據本發(fā)明的收塵裝置包括：主過濾器1，連接于產塵裝置10的出氣管101以接收來自產塵裝置10的粉塵，主過濾器1在下游端設有連接口11；次過濾器2，設置在主過濾器1的下方，通過連接管T1與主過濾器1下游端的連接口11連接；兩個平行過濾器3，底部通過三通連接管T2分別與次過濾器2的上部連接并分別與次過濾器2受控連通，兩個平行過濾器3的一個平行過濾器3為備用，以在兩個平行過濾器3中的另一個平行過濾器3不能正常工作時，該備用的平行過濾器3啟動并工作；三個收塵桶4，分別安裝于次過濾器2與兩個平行過濾器3的下方，并分別受控連通于次過濾器2與兩個平行過濾器3，以用于收集次過濾器2與兩個平行過濾器3里面的粉塵；以及機械泵5，受控連通于兩個平行過濾器3的上部，以接收從兩個平行過濾器3中的正常工作的平行過濾器3排出的氣體并向外排出。在主過濾器1的一實施例中，主過濾器1為不銹鋼圓筒結構。優(yōu)選地，主過濾器1安裝時可相對于產塵裝置10向下傾斜。因主過濾器1直接與產塵裝置10的出氣管101連接，考慮到使粉塵盡可能多的流動到下方的對應的收塵桶4里面，并且還需要考慮到不能使粉塵落到產塵裝置10內，影響產品的質量，因此主過濾器1主要采用不銹鋼圓筒和擋板15(后面所述)的結構。主過濾器1安裝時相對于產塵裝置10向下傾斜，有利于粉塵向下的流動。在主過濾器1的一實施例中，主過濾器1與產塵裝置10的本體通過法蘭(未示出)連接。優(yōu)選地，主過濾器1與產塵裝置10的本體之間的連接采用密封圈進行密封。在主過濾器1的一實施例中，參照圖1，主過濾器1的一端設置有備用口13和測溫口16，以用于分別安裝測量產塵裝置10內的真空度的真空度計以及測量溫度的溫度計。在主過濾器1的一實施例中，參照圖1，主過濾器1在其與產塵裝置10的出氣管101的連接處內設有傾斜并遮擋該連接處的單板14，以用于防止主過濾器1里面的粉塵落到產塵裝置10內。在一實施例中，單板14的傾斜角度可為120度。在主過濾器1的一實施例中，主過濾器1內可拆卸式安裝有上下交錯排列的擋板15。優(yōu)選地，各擋板15的外邊緣與主過濾器1內壁接合。在主過濾器1的兩端設置有定位銷(未示出)，用來固定該擋板15，在清理主過濾器1里面的粉塵時可以將該擋板15取下，該擋板15的作用主要是用來增加粉塵和氣體的行程，使粉塵盡可能多的沉積下來，并且降低從產塵裝置10內出來的氣體的溫度。當主過濾器1為圓筒結構時，擋板15的形狀可以相適應地為大半圓形，優(yōu)選為55％～60％圓缺的大半圓形。在根據本發(fā)明的收塵裝置中，次過濾器2與主過濾器1之間采用法蘭(未示出)和連接管T1連接。優(yōu)選地，次過濾器2與主過濾器1之間的連接采用密封圈進行密封。在根據本發(fā)明的收塵裝置中，參照圖1，次過濾器2和相應的收塵桶4之間設置有閥門V1，用來控制次過濾器2與該收塵桶4的連通。閥門V1可為氣動真空球閥。在收塵桶4的一實施例中，各收塵桶4的底部可安裝有萬向輪(未示出)或者所述收塵裝置還包括承載各收塵桶4的液壓升降移動推車(未示出)，由此使收塵桶4移動，以方便收塵桶4的清潔與更換。在根據本發(fā)明的收塵裝置的一實施例中，參照圖1，所述收塵裝置還可包括：反吹用氣體源S，受控連通于兩個平行過濾器3，當兩個平行過濾器3中的所述另一個平行過濾器3不能正常工作時向該所述另一個平行過濾器3提供反吹用氣體；防腐風機9，受控連通于兩個平行過濾器3，以接收所述另一個平行過濾器3反吹處理后的部分氣體；以及恒壓真空泵6，受控連通于兩個平行過濾器3，以對所述另一個平行過濾器3反吹處理后的且被防腐風機9抽吸后的剩余氣體進行抽吸。其中，各平行過濾器3還受控連通于外部大氣，且各平行過濾器3包括：殼體31；主反吹管32，設置于殼體31內部的上方并固定連接于殼體31且受控連通于反吹用氣體源S；多個分反吹管33，位于殼體31內并位于主反吹管32下方且分別與主反吹管32受控連通；濾芯骨架34，位于殼體31內并固定連接于殼體31；布袋35，安裝于濾芯骨架34；以及濾布36，設置在分反吹管33和濾芯骨架34之間。在主過濾器1的一實施例中，參照圖1，主過濾器1上設有真空正壓安全閥12且受控連通于防腐風機9，當產塵裝置10的出氣管被粉塵堵塞不能正常出氣導致產塵裝置10內的壓力升高達到真空正壓安全閥12設置的安全值后，使產塵裝置10、主過濾器1以及防腐風機9連通，以使產塵裝置10泄壓。真空正壓安全閥12可以設置一定的安全值，一旦產塵裝置10的出氣管被大量的粉塵堵塞不能正常出氣時，產塵裝置10內的壓力會升高，達到真空正壓安全閥12設置的安全值后就會自動泄壓，用以保護產塵裝置10，泄壓出來的氣體經一管道連接到防腐風機9(甚至連接到后面所述的氣體處理裝置8)，避免造成大氣污染。在根據本發(fā)明的收塵裝置中，參照圖1，所述收塵裝置還可包括：控制組件7，通信連接于次過濾器2、兩個平行過濾器3、機械泵5、恒壓真空泵6、以及防腐風機9。當然，從廣義角度講，閥門V1-V15也可包括在控制組件7之內。在控制組件7的一實施例中，參照圖1，控制組件7可包括：脈沖電磁閥71，安裝于各平行過濾器3的主反吹管32與相應的分反吹管33之間，以控制主反吹管32與該相應的分反吹管32之間的通斷；差壓變送器72，安裝于各平行過濾器3的側面，檢測各平行過濾器3與次過濾器2之間的壓力差，若壓力差高于生產工藝設定的壓力差，通過差壓變送器72切換兩個平行過濾器3，并開啟反吹用氣體源S、防腐風機9、以及恒壓真空泵6對壓力差高于生產工藝設定的壓力差的平行過濾器3進行反吹操作；以及壓力變送器73，安裝于平行過濾器3的頂部，控制恒壓真空泵6對平行過濾器3抽真空的真空度。在根據本發(fā)明的收塵裝置中，參照圖1，所述收塵裝置還可包括：氣體處理裝置8，受控連通于平行過濾器3、機械泵5、恒壓真空泵6且連通于位于下游的防腐風機9，以對應接收平行過濾器3、機械泵5、恒壓真空泵6排出的氣體。從平行過濾器3出來的氣體基本上已經不再含有粉塵，達到除塵的目的，氣體經過機械泵5進入到氣體處理裝置8里面進行處理。從恒壓真空泵6出來的氣體同樣進入到氣體處理裝置8里面進行處理。在氣體處理裝置8的一實施例中，參照圖1，氣體處理裝置8可為噴淋塔。在產塵裝置10的一實施例中，參照圖1，產塵裝置10可為化學氣相沉積爐。在根據本發(fā)明的收塵裝置中，反吹用氣體源S為提供氮氣的反吹用氣體源。下面以化學氣相沉積爐、噴淋塔為例簡單說明根據本發(fā)明的收塵裝置的操作。參照圖1，啟動機械泵5、氣體處理裝置8(即噴淋塔)，氣體從產塵裝置10(即化學氣相沉積爐)的出氣管101流出，首先進入主過濾器1，在主過濾器1內依次經過單板14和擋板15，之后從主過濾器1中流出進入到次過濾器2中，當次過濾器2中存在有粉塵時，閥門V1開啟，使次過濾器2與相應的收塵桶4連通，從而使次過濾器2中被過濾出來的粉塵落入到與其連通的收塵桶4中。從次過濾器2上部流出的氣體經由壓差變送器72的控制并經由三通管T2的對應通路進入到平行過濾器3的其中之一(以圖1中左側的平行過濾器3為例)的底部，氣體中含有的粉塵在重力的作用下下落，落到與其連通的收塵桶4里面(即閥門V2開啟)，氣體經過平行過濾器3上部的濾芯骨架34和布袋35進行過濾后基本上已經不再含有粉塵，達到除塵目的后沿線路P1流動經過機械泵5(同時線路P2、恒壓真空泵6、線路P3不工作，即反吹用氣體源S、恒壓真空泵6、防腐風機9不進行反吹)，通過機械泵5泵送進入到氣體處理裝置8里面進行處理。生產過程中，通過差壓變送器72檢測左側的平行過濾器3與次過濾器2里面的壓力差，若壓力差高于生產工藝的設定值，說明此平行過濾器3里面的粉塵很多，布袋35被粉塵堵塞，此時差壓變送器72切換兩個平行過濾器3(從圖1中左側的平行過濾器3切換到右側的平行過濾器3，由此次過濾器2上端流出的氣體經由三通管T2的對應通路進入到右側的平行過濾器3的底部，通過右側的平行過濾器3進行上述除塵操作，達到除塵目的后沿線路P1'流動經過機械泵5，通過機械泵5泵送進入到氣體處理裝置8里面進行處理，而且線路P2'、恒壓真空泵6、線路P3'不工作(即反吹用氣體源S、恒壓真空泵6、防腐風機9不進行反吹)。對于粉塵堵塞的平行過濾器3(即左側的平行過濾器3)，相應的與外部大氣受控連通的閥門V7打開，進行泄壓，之后關閉閥門V7，之后反吹用氣體源S對應開啟(即開啟閥門V13)以及防腐風機9對應開啟(即開啟閥門V11)，反吹用氣體源S利用氮氣對平行過濾器3進行反吹，防腐風機9從平行過濾器3的端口E抽吸出反吹的氣體，待一定時間后(即防腐風機9從平行過濾器3的端口E抽吸出大部分反吹的氣體之后)，閥門V11關閉，恒壓真空泵6開啟(即開啟閥門V12)，平行過濾器3內剩余的氣體沿P2線路抽出并送達至氣體處理裝置8里面進行處理(即閥門V15開啟)，恒壓真空泵6對左側的平行過濾器3進行反吹的真空度由壓力變送器73控制。同理，當右側的平行過濾器3里面的粉塵很多，布袋35被粉塵堵塞時，可以采用前述相同的控制工藝來進行。