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低濃度兩級(jí)配氣系統(tǒng)的制作方法

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低濃度兩級(jí)配氣系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種低濃度兩級(jí)配氣系統(tǒng),其特征在于:原料氣鋼瓶依次經(jīng)第一減壓閥、第一電磁閥和第一質(zhì)量流量控制器接第一混合器,稀釋氣鋼瓶經(jīng)第二減壓閥分別接第二電磁閥和第三電磁閥,第二電磁閥的另一端經(jīng)第二質(zhì)量流量控制器接第一混合器,第一混合器的輸出端依次經(jīng)第一緩沖罐、壓力變送器、第四電磁閥和第三質(zhì)量流量控制器接第二混合器,第三電磁閥的另一端經(jīng)第四質(zhì)量流量控制器接第二混合器,第二混合器的輸出端經(jīng)第二緩沖罐分別接第一轉(zhuǎn)子流量計(jì)、第六電磁閥和第二轉(zhuǎn)子流量計(jì),第六電磁閥的另一端接真空泵,壓力變送器和第四電磁閥的連接處經(jīng)第五電磁閥接四通閥的第三輸入端。本系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了兩級(jí)自動(dòng)配氣,稀釋范圍大,自動(dòng)化精度高。
【專利說(shuō)明】低濃度兩級(jí)配氣系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種低濃度兩級(jí)配氣系統(tǒng),屬于配氣【技術(shù)領(lǐng)域】。
【背景技術(shù)】
[0002]目前用的較多的是靜態(tài)法,即把一定量的原料氣加入已知容積的高壓或加壓容器中,再充入稀釋氣體混勻而制得標(biāo)準(zhǔn)氣。其中低壓橡膠袋配氣、低壓濕式儲(chǔ)氣罐配氣和高壓干式罐配氣精度較高,一般都能達(dá)到±2%。在標(biāo)準(zhǔn)氣體用量較大或者是通標(biāo)準(zhǔn)氣體時(shí)間要求較長(zhǎng)的時(shí)候,靜態(tài)配氣法就不能滿足要求,針對(duì)靜態(tài)配氣法配氣量小,設(shè)備占地大,精度不高的問(wèn)題,這時(shí)就需要用到動(dòng)態(tài)配氣法。動(dòng)態(tài)配氣法就是根據(jù)已知濃度的原料氣體與稀釋氣體按照恒定的比例進(jìn)入混合器混合,從而連續(xù)不斷地配制并供給一定濃度的標(biāo)準(zhǔn)氣,根據(jù)稀釋比計(jì)算得出標(biāo)準(zhǔn)氣的濃度。但當(dāng)前動(dòng)態(tài)配氣稀釋比不高,很難把高濃度氣體稀釋為低濃度氣體。本系統(tǒng)采用動(dòng)態(tài)配氣法,利用兩級(jí)稀釋來(lái)提高稀釋比,可以實(shí)現(xiàn)高稀釋比的低濃度氣體配置。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型的目的是提供一種設(shè)計(jì)合理、結(jié)構(gòu)緊湊、體重輕、配氣精度和自動(dòng)化程度高的低濃度兩級(jí)配氣系統(tǒng)。其技術(shù)方案為:
[0004]一種低濃度兩級(jí)配氣系統(tǒng),其特征在于:包括原料氣鋼瓶、稀釋氣鋼瓶、第一減壓閥、第二減壓閥、第一電磁閥、第二電磁閥、第三電磁閥、第四電磁閥、第五電磁閥、第六電磁閥、第一質(zhì)量流量控制器、第二質(zhì)量流量控制器、第三質(zhì)量流量控制器、第四質(zhì)量流量控制器、第一混合器、第二混合器、第一緩沖罐、第二緩沖罐、壓力變送器、第一轉(zhuǎn)子流量計(jì)、第二轉(zhuǎn)子流量計(jì)和真空栗,其中原料氣鋼瓶的輸出端依次經(jīng)第一減壓閥、第一電磁閥和第一質(zhì)量流量控制器接第一混合器的輸入端,稀釋氣鋼瓶的輸出端經(jīng)第二減壓閥分別接第二電磁閥和第三電磁閥,第二電磁閥的另一端經(jīng)第二質(zhì)量流量控制器接第一混合器的輸入端,第一混合器的輸出端依次經(jīng)第一緩沖罐、壓力變送器、第四電磁閥和第三質(zhì)量流量控制器接第二混合器的輸入端,第三電磁閥的另一端經(jīng)第四質(zhì)量流量控制器接第二混合器的輸入端,第二混合器的輸出端經(jīng)第二緩沖罐分別接第一轉(zhuǎn)子流量計(jì)、第六電磁閥和第二轉(zhuǎn)子流量計(jì)的一端,第二轉(zhuǎn)子流量計(jì)的另一端接四通閥的第一輸入端,第六電磁閥的另一端經(jīng)真空栗接四通閥的第二輸入端,第二轉(zhuǎn)子流量計(jì)的另一端接采樣設(shè)備,壓力變送器和第四電磁閥的連接處經(jīng)第五電磁閥接四通閥的第三輸入端,四通閥的輸出端接廢氣回收裝置。
[0005]其工作原理為:
[0006]1、系統(tǒng)管道清洗:打開第一電磁閥、第二電磁閥、第三電磁閥、第四電磁閥、第六電磁閥和四個(gè)質(zhì)量流量控制器,開真空栗進(jìn)行抽真空。
[0007]2、一級(jí)配氣:打開原料氣鋼瓶,通過(guò)第一減壓閥調(diào)節(jié)到合適的氣體壓力為
0.3MPa ;然后打開稀釋氣鋼瓶,通過(guò)第二減壓閥調(diào)節(jié)到合適的氣體壓力為0.25MPa ;再打開第一電磁閥、第二電磁閥、第一質(zhì)量流量控制器和第二質(zhì)量流量控制器,配比后的原料氣和稀釋氣在第一混合器中混合,最后進(jìn)入第一緩沖罐,完成一級(jí)配氣。
[0008]3、當(dāng)壓力變送器高于0.2MPa,第五電磁閥打開,把第一緩沖罐中多余的混合氣體排空;否則進(jìn)行二級(jí)配氣:打開第四電磁閥和第三質(zhì)量流量控制器,同時(shí)打開第三電磁閥和第四質(zhì)量流量控制器,第一緩沖罐中的混合氣體以及稀釋氣鋼瓶中的稀釋氣體以一定的比例進(jìn)入第二混合器中,再由第二緩沖罐經(jīng)第一轉(zhuǎn)子流量計(jì)進(jìn)入廢氣回收裝置,或經(jīng)第二轉(zhuǎn)子流量計(jì)進(jìn)入采樣設(shè)備。
[0009]本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比,具有以下方面的優(yōu)點(diǎn):
[0010]1、結(jié)合高精度質(zhì)量流量控制器,實(shí)現(xiàn)了兩級(jí)自動(dòng)配氣,稀釋范圍大,自動(dòng)化精度高,結(jié)構(gòu)緊湊。
[0011]2、采用動(dòng)態(tài)配氣方法,可應(yīng)用于標(biāo)準(zhǔn)氣體用量較大、配氣時(shí)間要求較長(zhǎng)或者組分氣體分子量差別大的時(shí)候。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0012]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]圖中:1、原料氣鋼瓶2、稀釋氣鋼瓶3、第一減壓閥4、第二減壓閥5、第一電磁閥
6、第二電磁閥7、第三電磁閥8、第四電磁閥9、第五電磁閥10、第六電磁閥11、第一質(zhì)量流量控制器12、第二質(zhì)量流量控制器13、第三質(zhì)量流量控制器14、第四質(zhì)量流量控制器15、第一混合器16、第二混合器17、第一緩沖罐18、第二緩沖罐19、壓力變送器20、第一轉(zhuǎn)子流量計(jì)21、第二轉(zhuǎn)子流量計(jì)22、真空栗23、四通閥
【具體實(shí)施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖,通過(guò)實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。在圖1所示實(shí)施例中:原料氣鋼瓶I的輸出端依次經(jīng)第一減壓閥3、第一電磁閥5和第一質(zhì)量流量控制器11接第一混合器15的輸入端,稀釋氣鋼瓶2的輸出端經(jīng)第二減壓閥4分別接第二電磁閥6和第三電磁閥7,第二電磁閥6的另一端經(jīng)第二質(zhì)量流量控制器12接第一混合器15的輸入端,第一混合器15的輸出端依次經(jīng)第一緩沖罐17、壓力變送器19、第四電磁閥8和第三質(zhì)量流量控制器13接第二混合器16的輸入端,第三電磁閥7的另一端經(jīng)第四質(zhì)量流量控制器14接第二混合器16的輸入端,第二混合器16的輸出端經(jīng)第二緩沖罐18分別接第一轉(zhuǎn)子流量計(jì)20、第六電磁閥10和第二轉(zhuǎn)子流量計(jì)21的一端,第一轉(zhuǎn)子流量計(jì)20的另一端接四通閥23的第一輸入端,第六電磁閥10的另一端經(jīng)真空栗22接四通閥23的第二輸入端,第二轉(zhuǎn)子流量計(jì)21的另一端接采樣設(shè)備,壓力變送器19和第四電磁閥8的連接處經(jīng)第五電磁閥9接四通閥23的第三輸入端,四通閥23的輸出端接廢氣回收裝置。
【權(quán)利要求】
1.一種低濃度兩級(jí)配氣系統(tǒng),其特征在于:包括原料氣鋼瓶(I)、稀釋氣鋼瓶(2)、第一減壓閥(3)、第二減壓閥(4)、第一電磁閥(5)、第二電磁閥(6)、第三電磁閥(7)、第四電磁閥(8)、第五電磁閥(9)、第六電磁閥(10)、第一質(zhì)量流量控制器(11)、第二質(zhì)量流量控制器(12)、第三質(zhì)量流量控制器(13)、第四質(zhì)量流量控制器(14)、第一混合器(15)、第二混合器(16)、第一緩沖罐(17)、第二緩沖罐(18)、壓力變送器(19)、第一轉(zhuǎn)子流量計(jì)(20)、第二轉(zhuǎn)子流量計(jì)(21)和真空栗(22),其中原料氣鋼瓶(I)的輸出端依次經(jīng)第一減壓閥(3)、第一電磁閥(5 )和第一質(zhì)量流量控制器(11)接第一混合器(15)的輸入端,稀釋氣鋼瓶(2 )的輸出端經(jīng)第二減壓閥(4)分別接第二電磁閥(6)和第三電磁閥(7),第二電磁閥(6)的另一端經(jīng)第二質(zhì)量流量控制器(12)接第一混合器(15)的輸入端,第一混合器(15)的輸出端依次經(jīng)第一緩沖罐(17)、壓力變送器(19)、第四電磁閥(8)和第三質(zhì)量流量控制器(13)接第二混合器(16)的輸入端,第三電磁閥(7)的另一端經(jīng)第四質(zhì)量流量控制器(14)接第二混合器(16)的輸入端,第二混合器(16)的輸出端經(jīng)第二緩沖罐(18)分別接第一轉(zhuǎn)子流量計(jì)(20)、第六電磁閥(10)和第二轉(zhuǎn)子流量計(jì)(21)的一端,第一轉(zhuǎn)子流量計(jì)(20)的另一端接四通閥(23)的第一輸入端,第六電磁閥(10)的另一端經(jīng)真空栗(22)接四通閥(23)的第二輸入端,第二轉(zhuǎn)子流量計(jì)(21)的另一端接采樣設(shè)備,壓力變送器(19)和第四電磁閥(8)的連接處經(jīng)第五電磁閥(9)接四通閥(23)的第三輸入端,四通閥(23)的輸出端接廢氣回收裝置。
【文檔編號(hào)】B01F13/10GK203598762SQ201320725143
【公開日】2014年5月21日 申請(qǐng)日期:2013年11月15日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月15日
【發(fā)明者】蘇鎮(zhèn)西, 祁炯, 王勇, 韓慧慧, 趙也, 曲寶軍 申請(qǐng)人:國(guó)家電網(wǎng)公司, 國(guó)網(wǎng)安徽省電力公司電力科學(xué)研究院
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