專利名稱：一種特種氣體發(fā)生裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及氣體發(fā)生裝置領(lǐng)域，尤其涉及一種能夠根據(jù)試驗(yàn)需求、利用已知濃度的少量幾種標(biāo)準(zhǔn)氣體配置各種濃度的氟化氫氣體，氟化氫和六氟化硫的混合氣體，甚至氟化氫、六氟化硫及其分解物的特種氣體發(fā)生裝置。
背景技術(shù)：
電力工業(yè)中，SF6氣體以其優(yōu)異的絕緣性能及滅弧性能已經(jīng)被廣泛地應(yīng)用于各種中壓、高壓、超高壓電氣設(shè)備中作為絕緣和滅弧介質(zhì)，從應(yīng)用來看，SF6氣體絕緣斷路器和絕緣變電站GIS是最主要的領(lǐng)域。據(jù)不完全統(tǒng)計(jì)，全國(guó)SF6高壓開關(guān)和全封閉組合電器GIS達(dá)數(shù)十萬臺(tái)，已成為電力系統(tǒng)的主要設(shè)備，其應(yīng)用對(duì)提高電力生產(chǎn)的安全經(jīng)濟(jì)運(yùn)行起到了很好的作用。SF6氣體絕緣性能雖然優(yōu)越，但是，根據(jù)相關(guān)規(guī)程要求必須對(duì)對(duì)其進(jìn)行嚴(yán)格的質(zhì)量監(jiān)督和安全管理。這是因?yàn)?，SF6氣體在其生產(chǎn)過程中或者在高能因子的作用下，會(huì)分解產(chǎn)生若干有毒甚至劇毒、強(qiáng)腐蝕性有害雜質(zhì)，當(dāng)體系中存在水分、空氣(氧)、電極材料、設(shè)備材料等，則會(huì)導(dǎo)致分解過程的復(fù)雜化，致使分解產(chǎn)物的數(shù)量和種類明顯增加，其危害性也顯著加大。六氟化硫氣體雜質(zhì)的危害主要表現(xiàn)在它的分解產(chǎn)物的毒性和腐蝕性，六氟化硫氣體中的雜質(zhì)及分解產(chǎn)物中酸性物質(zhì)特別是HF的存在可引起高壓開關(guān)設(shè)備材質(zhì)的腐蝕；水分的存在，在一定條件下可能導(dǎo)致電氣性能劣化，甚至造成嚴(yán)重的設(shè)備事故。因此，為了監(jiān)測(cè)六氟化硫高壓開關(guān)設(shè)備中的氣體，國(guó)家的多項(xiàng)法律法規(guī)(如:工業(yè)六氟化硫(GB12022-89)、《六氟化硫電氣設(shè)備中氣體管理和檢驗(yàn)導(dǎo)則》(GB/T8905-1996)、《電力設(shè)備預(yù)防性試驗(yàn)規(guī)程》(DL/T596-1996))中都規(guī)定了高壓開關(guān)中六氟化硫氣體的各項(xiàng)監(jiān)測(cè)指標(biāo)，其中就有氟化氫氣體。按照現(xiàn)行的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，為了控制六氟化硫氣體的質(zhì)量，對(duì)六氟化硫氣體要求做酸度(以HF計(jì))測(cè)定、雜質(zhì)組分(含可水解氟化物(以HF計(jì)))以及六氟化硫氣體純度等指標(biāo)的測(cè)定。但是，六氟化硫氣體中的氟化氫氣體非常不容易檢測(cè)到，這主要是因?yàn)?1，氟化氫氣體在特定事件下的生成量非常少，一般情況下不超過IOppm ;2，氟化氫氣體在六氟化硫氣體中的存在時(shí)間比較短，氟化氫遇水極易形成氫氟酸。目前，氟化氫(HF)精確檢測(cè)仍然是GIS設(shè)備氣體檢測(cè)中的難點(diǎn)之一。要精確檢測(cè)氟化氫氣體，就要對(duì)氟化氫氣體的各種物理化學(xué)特性，各種濃度的氟化氫氣體對(duì)高壓開關(guān)設(shè)備造成的各種破壞性影響進(jìn)行實(shí)驗(yàn)分析，甚至對(duì)各種濃度的氟化氫和六氟化硫氣體混合中生產(chǎn)的復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng)進(jìn)行分析實(shí)驗(yàn)，那么，就需要大量的各種濃度的氟化氫氣體或者氟化氫和六氟化硫氣體混合氣體的各種標(biāo)準(zhǔn)氣體。近年來，電力部門對(duì)通過檢測(cè)SF6氣體分解物的成分(其中就包含氟化氫的檢測(cè))來診斷GIS內(nèi)部故障的儀器有越來越迫切的需求，但該領(lǐng)域的基礎(chǔ)研究和儀器研制還遠(yuǎn)未滿足需要。據(jù)調(diào)查，現(xiàn)階段，各種電力部門對(duì)高壓開關(guān)氣體中氟化氫(HF)的各項(xiàng)研究和試驗(yàn)都是通過大量的購置各種氟化氫標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)來進(jìn)行的，這樣，僅僅在購置各種氟化氫標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)這一塊，就需要投入大量的研發(fā)資金，另一方面，大量的充裝標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的氣瓶堆積在實(shí)驗(yàn)室，不僅占用實(shí)驗(yàn)室的面積，降低了實(shí)驗(yàn)室的利用率，也給實(shí)驗(yàn)室的管理帶來了一定的安全隱患。若有一種氟化氫的氣體發(fā)生裝置，能根據(jù)試驗(yàn)需求、利用已知濃度的少量幾種標(biāo)準(zhǔn)氣體(例如3 5種)配置各種濃度的氟化氫氣體，氟化氫和六氟化硫的混合氣體，甚至氟化氫、六氟化硫及其分解物的各種氣體，則將很大程度上改變這一狀況。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題在于，提供一種特種氣體發(fā)生裝置，能夠根據(jù)試驗(yàn)需求、利用已知濃度的少量幾種標(biāo)準(zhǔn)氣體配置各種濃度的氟化氫氣體，氟化氫和六氟化硫的混合氣體，甚至氟化氫、六氟化硫及其分解物；重量輕，易于攜帶，進(jìn)一步降低人工及運(yùn)輸成本。為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種特種氣體發(fā)生裝置，包括:用以供給稀釋氣體或組分氣體的第一進(jìn)氣管路和第二進(jìn)氣管路；分別與第一進(jìn)氣管路和第二進(jìn)氣管路相連接的第一質(zhì)量流量計(jì)和第二質(zhì)量流量計(jì)；第一三通閥，其具有三個(gè)閥口，其中兩個(gè)閥口通過管路分別連接在第一質(zhì)量流量計(jì)和第二質(zhì)量流量計(jì)上，另一閥口通過管路連接第二三通閥的一個(gè)閥口上，第二三通閥還具有另兩個(gè)閥口 ；分別通過管路連接在第二三通閥的另兩個(gè)閥口上的調(diào)節(jié)閥和流量計(jì)；以及連接在調(diào)節(jié)閥上的排空管路和連接在流量計(jì)上的出氣管路；其中:兩路輸入氣體分別經(jīng)第一進(jìn)氣管路和第二進(jìn)氣管路流經(jīng)第一質(zhì)量流量計(jì)和第二質(zhì)量流量計(jì)后，再經(jīng)第一三通閥匯合成混合氣體，混合氣體經(jīng)第二三通閥后被分為濃度相同的兩支路氣體。優(yōu)選的，兩支路氣體中的一路氣體經(jīng)流量計(jì)后，由出氣管路輸出一定濃度和流量的待配置氣體；兩支路氣體中的另一路氣體經(jīng)用以調(diào)節(jié)出氣管路輸出氣體流量的調(diào)節(jié)閥后，由排空管路排出。優(yōu)選的，特種氣體發(fā)生裝置還包括:分別與第一質(zhì)量流量計(jì)和第二質(zhì)量流量計(jì)相連接用以控制供給稀釋氣體或組分氣體流量的質(zhì)量流量控制器。優(yōu)選的，質(zhì)量流量控制器通過一串口通信模塊與一動(dòng)態(tài)配氣主控器相連接。優(yōu)選的，動(dòng)態(tài)配氣主控器分別連接一時(shí)鐘模塊和一顯不屏，動(dòng)態(tài)配氣主控器對(duì)時(shí)鐘模塊進(jìn)行數(shù)據(jù)采集，并把采集的數(shù)據(jù)信息在顯示屏上顯示。優(yōu)選的，調(diào)節(jié)閥與動(dòng)態(tài)配氣主控器連接。優(yōu)選的，流量計(jì)與動(dòng)態(tài)配氣主控器連接。優(yōu)選的，稀釋氣體包括高純氮?dú)饣蚣儍艨諝?。?yōu)選的，組分氣體包括已知濃度的混合標(biāo)準(zhǔn)氣體。實(shí)施本實(shí)用新型特種氣體發(fā)生裝置，具有如下有益效果:兩路輸入氣體分別經(jīng)進(jìn)氣管路流經(jīng)質(zhì)量流量計(jì)后，再經(jīng)第一三通閥匯合成混合氣體，該混合氣體經(jīng)第二三通閥后被分為濃度相同的兩支路氣體，其能根據(jù)試驗(yàn)需求、利用已知濃度的少量幾種標(biāo)準(zhǔn)氣體配置各種濃度的氟化氫氣體，氟化氫和六氟化硫的混合氣體，甚至氟化氫、六氟化硫及其分解物氣體發(fā)生裝置；可以避免氣體分析儀表校準(zhǔn)、試驗(yàn)或檢定過程中需要購置或配置多種不同濃度標(biāo)準(zhǔn)氣體的弊端，可以減免現(xiàn)場(chǎng)檢定過程中多種氣瓶的運(yùn)輸所造成的運(yùn)輸和人工成本；重量輕，易于攜帶，應(yīng)用廣泛，能夠提高標(biāo)準(zhǔn)氣體資源的利用率。

為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例特種氣體發(fā)生裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例特種氣體發(fā)生裝置的控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。參見圖1、圖2，為本實(shí)用新型特種氣體發(fā)生裝置的實(shí)施例一。本實(shí)施例中的氣體發(fā)生裝置，可利用已知濃度的少量幾種標(biāo)準(zhǔn)氣體配制各種濃度的氟化氫氣體，可廣泛應(yīng)用于氟化氫氣體各種物理化學(xué)特性的分析、氟化氫氣體對(duì)高壓開關(guān)設(shè)備造成的各種破壞性影響的實(shí)驗(yàn)分析，可應(yīng)用于六氟化硫高壓開關(guān)氣體中氫氟酸(氟化氫溶于水)對(duì)高壓開關(guān)造成的各種隱形故障的實(shí)驗(yàn)和分析。如圖1所示，為本實(shí)施例中特種氣體發(fā)生裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，包括:用以供給稀釋氣體或組分氣體的第一進(jìn)氣管路11和第二進(jìn)氣管路12 ；分別與第一進(jìn)氣管路11和第二進(jìn)氣管路12相連接的第一質(zhì)量流量計(jì)21和第二質(zhì)量流量計(jì)22 ；第一三通閥3，其具有三個(gè)閥口 3a、3b及3c，其中兩個(gè)閥口 3a、3b通過管路D1、D2分別連接在第一質(zhì)量流量計(jì)21和第二質(zhì)量流量計(jì)22上，另一閥口 3c通過管路A連接第二三通閥4的一個(gè)閥口 4a上，第二三通閥4還具有另兩個(gè)閥口 4b和4c ；分別通過管路B、C連接在第二三通閥4的另兩個(gè)閥口 4b和4c上的調(diào)節(jié)閥5和流量計(jì)6 ；以及連接在調(diào)節(jié)閥5上的排空管路7和連接在流量計(jì)6上的出氣管路8。本實(shí)施例中的配氣裝置是對(duì)不同的氣源進(jìn)行稀釋或按一定濃度混合的儀器設(shè)備，是實(shí)驗(yàn)室必不可少的設(shè)備，能夠?yàn)楦鞣N檢測(cè)儀的校準(zhǔn)、檢測(cè)提供良好的基礎(chǔ)平臺(tái)。具體地，特種氣體發(fā)生裝置可以根據(jù)稀釋氣體和組分氣體連續(xù)不斷配置濃度一定的標(biāo)準(zhǔn)氣體，其中:稀釋氣體可以是高純氮?dú)饣蚣儍艨諝?，組分氣體包括已知濃度的混合標(biāo)準(zhǔn)氣體。此外，還可以快速地改變由出氣管路8輸出的標(biāo)準(zhǔn)氣體的濃度。例如:通過控制調(diào)節(jié)閥5，可以使出氣管路8的氣體流量滿足使用需求。進(jìn)一步的，圖1所示的箭頭方向?yàn)橛傻谝贿M(jìn)氣管路11和第二進(jìn)氣管路12進(jìn)行供給稀釋氣體或組分氣體后的氣流流動(dòng)方向。本實(shí)施例的配氣裝置包括兩路輸入氣體，分別由第一進(jìn)氣管路11和第二進(jìn)氣管路12進(jìn)入配氣裝置。由于第一質(zhì)量流量計(jì)21和第二質(zhì)量流量計(jì)22分別連接在第一進(jìn)氣管路11和第二進(jìn)氣管路12的末端，兩路氣體首先通過兩質(zhì)量流量計(jì)21，22。如圖2所示，為本實(shí)施例特種氣體發(fā)生裝置的控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖。其中:第一質(zhì)量流量計(jì)21和第二質(zhì)量流量計(jì)22分別由質(zhì)量流量控制器23進(jìn)行控制，而質(zhì)量流量控制器23通過一串口通訊模塊24與一動(dòng)態(tài)配氣主控器25相連接。用戶輸入的待輸出溶度和流量氣體的數(shù)據(jù)信息通過動(dòng)態(tài)配氣主控器25進(jìn)行控制。例如:動(dòng)態(tài)配氣主控器25將待輸出溶度、流量氣體的數(shù)據(jù)信息通過串口通信模塊24傳輸給質(zhì)量流量控制器23，而質(zhì)量流量控制器23對(duì)流經(jīng)第一質(zhì)量流量計(jì)21和第二質(zhì)量流量計(jì)22的兩路氣體進(jìn)行控制。進(jìn)一步的，兩路輸入氣體分別通過第一質(zhì)量流量計(jì)21和第二質(zhì)量流量計(jì)22后進(jìn)入第一三通閥3。其中:第一三通閥3具有三個(gè)閥口 3a、3b及3c，兩路氣體分別通過管路DU D2接入第一三通閥3的兩個(gè)閥口 3a、3b后，由另一閥口 3c輸出。在此過程中，兩路氣體匯合成一路氣體并最終由第一三通閥3的閥口 3c輸送至管路A中。第二三通閥4同樣具有三個(gè)閥口 4a、4b及4c，管路A連接至第二三通閥4的閥口4a上，上述混合氣體再經(jīng)第二三通閥4后被分為濃度相同的兩支路氣體，其中一支路氣體由一閥口 4b輸送至管路B中，另一支路氣體由閥口 4c輸送至管路C中。進(jìn)一步的，管路B的末端連接調(diào)節(jié)閥5，調(diào)節(jié)閥5的作用是使最終由出氣管路8輸出的氣體的流量達(dá)到預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)，該支路氣體通過調(diào)節(jié)閥5的調(diào)節(jié)，多余的氣體流量將通過與調(diào)節(jié)閥5相連的排空管路7排至大氣中。優(yōu)選的，調(diào)節(jié)閥5在具體實(shí)施時(shí)與動(dòng)態(tài)配氣主控器25連接，并受其控制。進(jìn)一步的，管路C的末端連接流量計(jì)6，上述一支路的氣體經(jīng)由流量計(jì)6后再流經(jīng)出口管路8排出，該支路氣體便是待輸出濃度和流量的氣體。優(yōu)選的，流量計(jì)6在具體實(shí)施時(shí)與動(dòng)態(tài)配氣主控器25連接，并受其控制。綜上，兩路輸入氣體分別經(jīng)第一進(jìn)氣管路11和第二進(jìn)氣管路12流經(jīng)第一質(zhì)量流量計(jì)21和第二質(zhì)量流量計(jì)22后，再經(jīng)所述第一三通閥3匯合成混合氣體。混合氣體經(jīng)第二三通閥4后被分為濃度相同的兩支路氣體，該兩支路氣體中的一路氣體經(jīng)流量計(jì)6后，由出氣管路8輸出；另一路氣體經(jīng)用以調(diào)節(jié)出氣管路7輸出氣體流量的調(diào)節(jié)閥5后，由排空管路7排出。在此過程中，第一質(zhì)量流量計(jì)21、第二質(zhì)量流量計(jì)22、調(diào)節(jié)閥5以及流量計(jì)6分別受控于動(dòng)態(tài)配氣主控器25。優(yōu)選的,動(dòng)態(tài)配氣主控器25分別連接一時(shí)鐘模塊26和一顯不屏27,動(dòng)態(tài)配氣主控器25對(duì)時(shí)鐘模塊26進(jìn)行數(shù)據(jù)采集，并把采集的數(shù)據(jù)信息在顯示屏27上顯示，其中，顯示屏27采用觸摸屏控制的方式。本實(shí)施例中，還包括分別與動(dòng)態(tài)配氣主控器25和質(zhì)量流量控制器23相連接的電源模塊28。其中:電源模塊28輸出電壓為+24V，可直接為兩質(zhì)量流量計(jì)21、22供電，同時(shí)將該+24V電源經(jīng)過穩(wěn)壓穩(wěn)流后輸出+5V和3.3V電源，為動(dòng)態(tài)配氣主控器25和其他電路元件供電。此外，動(dòng)態(tài)配氣主控器25還連接一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)模塊29，通過動(dòng)態(tài)配氣主控器25的數(shù)據(jù)口對(duì)采集的氣體信號(hào)進(jìn)行存儲(chǔ)和讀取。下面以稀釋氣體(如氮?dú)?和氟化氫標(biāo)準(zhǔn)氣體(已知濃度)合成不同濃度的氟化氫氣體為例進(jìn)行說明。配制氣體時(shí)，稀釋氣體和組分氣體(已知濃度的氟化氫氣體)分別經(jīng)第一進(jìn)氣管路11和第二進(jìn)氣管路12分別流經(jīng)第一質(zhì)量流量計(jì)21和第二質(zhì)量流量計(jì)22，并經(jīng)第一三通閥3后匯成一路混合氣體,此即為待配制的氣體。此過程中，第一質(zhì)量流量計(jì)21和第二質(zhì)量流量計(jì)22分別控制稀釋氣體及組分氣體的流量。稀釋氣體可采用高純氮、純凈空氣等，組分氣可為純氣或已知濃度的氟化氫標(biāo)氣，此時(shí)經(jīng)三通閥合成的氣體可為10-8 10-2含量的各種與組分氣體相關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)氣體。經(jīng)第一三通閥3合成的混合氣體再經(jīng)第二三通閥4后被分成濃度相同的2支氣路，其中一支氣路串聯(lián)流量計(jì)6再流經(jīng)氣體管路連接到出氣口，作為待輸出一定濃度和流量的氣體，另一支氣路連接一個(gè)調(diào)節(jié)閥5后再經(jīng)氣體管路連接到排空口。調(diào)節(jié)排空氣路中設(shè)置的調(diào)節(jié)閥5，使出氣口的氣體流量滿足需求，此時(shí)，多余的氣體流量經(jīng)排空口排入大氣中，那么，出口管路8的氣體即為滿足質(zhì)量流量要求的待配制氣體。進(jìn)一步的，本實(shí)用新型特種氣體發(fā)生裝置在具體實(shí)施時(shí)，可配制多種標(biāo)準(zhǔn)氣體，在變更已知組分氣源的情況下，可實(shí)現(xiàn)氟化氫氣體不同組分不同濃度氣體的連續(xù)配置，如氮?dú)夂头瘹錁?biāo)氣的組合可以配置氟化氫氣體的不同濃度的氣體；六氟化硫氣體和氟化氫標(biāo)準(zhǔn)氣體的組合可以配置不同濃度的六氟化硫氣體和氟化氫混合氣體，氣體組分發(fā)生變化。此特點(diǎn)可以避免實(shí)驗(yàn)、試驗(yàn)或檢定過程中需要購置多種不同濃度氟化氫標(biāo)準(zhǔn)氣體的弊端。進(jìn)一步的，本實(shí)用新型不僅適用于研制氟化氫(HF)精確檢測(cè)儀表的企業(yè)，還適用于開展各項(xiàng)氟化氫、六氟化硫高壓開關(guān)實(shí)驗(yàn)的電力部門實(shí)驗(yàn)室。由于本實(shí)用新型發(fā)生氣體的方式是連續(xù)配制，所以它不僅適用于便攜式氟化氫氣體分析儀表的試驗(yàn)、校準(zhǔn)，也同樣適用于在線氣體分析儀表的校準(zhǔn)和檢定。實(shí)施本實(shí)用新型的特種氣體發(fā)生裝置，具有如下有益效果:兩路輸入氣體分別經(jīng)進(jìn)氣管路流經(jīng)質(zhì)量流量計(jì)后，再經(jīng)第一三通閥匯合成混合氣體，該混合氣體經(jīng)第二三通閥后被分為濃度相同的兩支路氣體。本實(shí)用新型特種氣體發(fā)生裝置，能根據(jù)試驗(yàn)需求、利用已知濃度的少量幾種標(biāo)準(zhǔn)氣體配置各種濃度的氟化氫氣體，氟化氫和六氟化硫的混合氣體，甚至氟化氫、六氟化硫及其分解物。無論是對(duì)研制氟化氫(HF)精確檢測(cè)儀表的企業(yè)來說，還是對(duì)開展各項(xiàng)氟化氫、六氟化硫高壓開關(guān)實(shí)驗(yàn)的電力部門來講，都可以大量節(jié)省投資在標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)購置上的資金，從而把資金投入到更關(guān)鍵的研發(fā)環(huán)節(jié)；還可以避免實(shí)驗(yàn)、試驗(yàn)或檢定過程中需要購置多種不同濃度標(biāo)準(zhǔn)氣體的弊端。該裝置的推廣應(yīng)用還可以提高實(shí)驗(yàn)室的利用率，消除大量有毒標(biāo)準(zhǔn)氣體堆積在實(shí)驗(yàn)室造成的安全隱患?？梢詮V泛應(yīng)用于氣體分析儀表的校驗(yàn)和試驗(yàn)，也可作為氣體實(shí)驗(yàn)室必備設(shè)備，為各種檢測(cè)儀的校準(zhǔn)、檢測(cè)提供良好的基礎(chǔ)平臺(tái)。以上所揭露的僅為本實(shí)用新型一種較佳實(shí)施例而已，當(dāng)然不能以此來限定本實(shí)用新型之權(quán)利范圍，因此依本實(shí)用新型權(quán)利要求所作的等同變化，仍屬本實(shí)用新型所涵蓋的范圍。
權(quán)利要求1.一種特種氣體發(fā)生裝置，其特征在于，所述特種氣體發(fā)生裝置包括: 用以供給稀釋氣體或組分氣體的第一進(jìn)氣管路和第二進(jìn)氣管路； 分別與所述第一進(jìn)氣管路和所述第二進(jìn)氣管路相連接的第一質(zhì)量流量計(jì)和第二質(zhì)量流量計(jì)； 第一三通閥，其具有三個(gè)閥口，其中兩個(gè)閥口通過管路分別連接在所述第一質(zhì)量流量計(jì)和所述第二質(zhì)量流量計(jì)上，另一閥口通過管路連接第二三通閥的一個(gè)閥口上，所述第二三通閥還具有另兩個(gè)閥口； 分別通過管路連接在所述第二三通閥的所述另兩個(gè)閥口上的調(diào)節(jié)閥和流量計(jì)；以及連接在所述調(diào)節(jié)閥上的排空管路和連接在所述流量計(jì)上的出氣管路；其中: 兩路輸入氣體分別經(jīng)所述第一進(jìn)氣管路和所述第二進(jìn)氣管路流經(jīng)所述第一質(zhì)量流量計(jì)和所述第二質(zhì)量流量計(jì)后，再經(jīng)所述第一三通閥匯合成混合氣體，所述混合氣體經(jīng)所述第二三通閥后被分為濃度相同的兩支路氣體。
2.如權(quán)利要求1所述的特種氣體發(fā)生裝置，其特征在于，所述兩支路氣體中的一路氣體經(jīng)所述流量計(jì)后，由所述出氣管路輸出一定濃度和流量的待配置氣體； 所述兩支路氣體中的另一路氣體經(jīng)用以調(diào)節(jié)所述出氣管路輸出氣體流量的所述調(diào)節(jié)閥后，由所述排空管路排出。
3.如權(quán)利要求1或2所述的特種氣體發(fā)生裝置，其特征在于，所述氣體發(fā)生裝置還包括:分別與所述第一質(zhì)量流量計(jì)和所述第二質(zhì)量流量計(jì)相連接用以控制所述供給稀釋氣體或組分氣體流量的質(zhì)量流量控制器。
4.如權(quán)利要求3所述的特種氣體發(fā)生裝置，其特征在于，所述質(zhì)量流量控制器通過一串口通信模塊與一動(dòng)態(tài)配氣主控器相連接。
5.如權(quán)利要求4所述的特種氣體發(fā)生裝置，其特征在于，所述動(dòng)態(tài)配氣主控器分別連接一時(shí)鐘模塊和一顯示屏，所述動(dòng)態(tài)配氣主控器對(duì)所述時(shí)鐘模塊進(jìn)行數(shù)據(jù)采集，并把采集的數(shù)據(jù)信息在所述顯示屏上顯示。
6.如權(quán)利要求4所述的特種氣體發(fā)生裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié)閥與所述動(dòng)態(tài)配氣主控器連接。
7.如權(quán)利要求4所述的特種氣體發(fā)生裝置，其特征在于，所述流量計(jì)與所述動(dòng)態(tài)配氣主控器連接。
8.如權(quán)利要求1所述的特種氣體發(fā)生裝置，其特征在于，所述稀釋氣體包括高純氮?dú)饣蚣儍艨諝狻?br> 9.如權(quán)利要求1所述的特種氣體發(fā)生裝置，其特征在于，所述組分氣體包括已知濃度的混合標(biāo)準(zhǔn)氣體。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種特種氣體發(fā)生裝置，兩路輸入氣體分別經(jīng)進(jìn)氣管路流經(jīng)質(zhì)量流量計(jì)后，再經(jīng)第一三通閥匯合成混合氣體，該混合氣體經(jīng)第二三通閥后被分為濃度相同的兩支路氣體，兩支路氣體中的一路氣體經(jīng)流量計(jì)后，由出氣管路輸出一定濃度和流量的待配置氣體；兩支路氣體中的另一路氣體經(jīng)用以調(diào)節(jié)出氣管路輸出氣體流量的調(diào)節(jié)閥后，由排空管路排出。實(shí)施本實(shí)用新型的特種氣體發(fā)生裝置，能根據(jù)試驗(yàn)需求、利用已知濃度的少量幾種標(biāo)準(zhǔn)氣體配置各種濃度的氟化氫氣體，氟化氫和六氟化硫的混合氣體，甚至氟化氫、六氟化硫及其分解物；重量輕，易于攜帶，進(jìn)一步降低人工及運(yùn)輸成本。
文檔編號(hào)B01F5/00GK203061075SQ201320053959
公開日2013年7月17日 申請(qǐng)日期2013年1月31日 優(yōu)先權(quán)日2013年1月31日
發(fā)明者胡紅紅, 胡子珩, 包淇天, 汪獻(xiàn)忠 申請(qǐng)人:深圳供電局有限公司, 河南省日立信股份有限公司