一種鍍鎳液配制裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了：一種鍍鎳液配制裝置，包括有配液桶、鎳組投料口、進(jìn)水管路、儲(chǔ)液桶等，其特征在于：在所述配液桶上設(shè)置有配液循環(huán)泵，在所述儲(chǔ)液桶上設(shè)置有儲(chǔ)液循環(huán)泵、鍍鎳液輸出管路，在所述配液桶、儲(chǔ)液桶上還設(shè)置有抽離泵。本發(fā)明的有益效果是：該裝置利用3個(gè)電動(dòng)機(jī)械泵實(shí)現(xiàn)了鍍鎳液配制、儲(chǔ)存及輸送的自動(dòng)化，極大的提高了生產(chǎn)效率；使用了大容積配液及儲(chǔ)液桶，增加了鍍鎳液的配制量，提高現(xiàn)場(chǎng)效率。且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單實(shí)用。
【專利說(shuō)明】一種鍍鎳液配制裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及的是半導(dǎo)體電子元器件制造【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其是涉及一種鍍鎳液配制裝置的改進(jìn)。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體晶片的生產(chǎn)工藝需要在半導(dǎo)體晶片上進(jìn)行化學(xué)鍍鎳，化學(xué)鍍鎳的液體需根據(jù)產(chǎn)量隨時(shí)進(jìn)行鍍鎳液配制，其溶質(zhì)為鎳組，溶劑為純水，需按照一定配比混合攪拌均勻，供生產(chǎn)線使用，因其鍍鎳液用量大，其配制容器的容積大小及攪拌設(shè)備成為生產(chǎn)能否量產(chǎn)的影響因素，其缺點(diǎn)如下:現(xiàn)有配制容器的容積?。滑F(xiàn)有裝置配制頻次較高，影響生產(chǎn)效率；現(xiàn)有鍍鎳液配制裝置需人工攪拌均勻，勞累度及均勻性影響較大；現(xiàn)有鍍鎳液配制后需盛放至小容器使用，使用不方便；不能連續(xù)供給，如供應(yīng)不及時(shí)，將制約產(chǎn)量，影響生產(chǎn)效率。這是現(xiàn)有技術(shù)的不足之處。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于，克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供了一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、能夠不間斷供給鍍鎳液的一種鍍鎳液配制裝置。
[0004]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明的技術(shù)方案為:一種鍍鎳液配制裝置，包括有配液桶、鎳組投料口、進(jìn)水管路、儲(chǔ)液桶等，其特征在于:在所述配液桶上設(shè)置有配液循環(huán)泵，在所述儲(chǔ)液桶上設(shè)置有儲(chǔ)液循環(huán)泵、鍍鎳液輸出管路，在所述配液桶、儲(chǔ)液桶上還設(shè)置有抽離泵。本裝置能夠?yàn)樯a(chǎn)線連續(xù)供應(yīng)鍍鎳液體，滿足了生產(chǎn)需求，提高了產(chǎn)量。利用配液循環(huán)泵進(jìn)行配液定時(shí)攪拌，其攪拌效果完全滿足工藝要求；利用抽離泵將攪拌好的鍍鎳液抽至儲(chǔ)液桶內(nèi)，并通過(guò)儲(chǔ)液循環(huán)泵進(jìn)行不間歇循環(huán)防止靜置沉淀，同時(shí)儲(chǔ)液循環(huán)泵可將鍍鎳液輸送至產(chǎn)線終端，提高鍍鎳液輸送效率。
[0005]本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)有，所述抽離泵液體的輸入口設(shè)置在所述配液桶的底部，所述抽離泵液體的輸出口設(shè)置在所述儲(chǔ)液桶上部。
[0006]本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)還有，所述配液循環(huán)泵通過(guò)兩條管道分別連接在所述配液桶的底部和上部。
[0007]本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)還有，所述儲(chǔ)液循環(huán)泵通過(guò)兩條管道分別連接在所述儲(chǔ)液桶的底部和所述鍍鎳液輸出管路上。
[0008]本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)還有，在所述鍍鎳液輸出管路上設(shè)置閥門(mén)。
[0009]說(shuō)明書(shū)中沒(méi)有描述的結(jié)構(gòu)屬于現(xiàn)有技術(shù)。
[0010]本方案的有益效果可根據(jù)對(duì)上述方案的敘述得知，一種鍍鎳液配制裝置，包括有配液桶、鎳組投料口、進(jìn)水管路、儲(chǔ)液桶等，其特征在于:在所述配液桶上設(shè)置有配液循環(huán)泵，在所述儲(chǔ)液桶上設(shè)置有儲(chǔ)液循環(huán)泵、鍍鎳液輸出管路，在所述配液桶、儲(chǔ)液桶上還設(shè)置有抽離泵。本發(fā)明的有益效果是:該裝置利用3個(gè)電動(dòng)機(jī)械泵實(shí)現(xiàn)了鍍鎳液配制、儲(chǔ)存及輸送的自動(dòng)化，極大的提高了生產(chǎn)效率；使用了大容積配液及儲(chǔ)液桶，增加了鍍鎳液的配制量，提高現(xiàn)場(chǎng)效率。且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單實(shí)用。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0011]圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中:I是配液桶，2是儲(chǔ)液桶，3是配液循環(huán)泵，4是抽離泵，5是儲(chǔ)液循環(huán)泵，6是鍍鎳液輸出管路，7是鎳組投料口，8是閥門(mén)，9是進(jìn)水管路。
【具體實(shí)施方式】
[0012]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。
[0013]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明，通過(guò)附圖可以看出，一種鍍鎳液配制裝置，包括有配液桶1、鎳組投料口 7、進(jìn)水管路9、儲(chǔ)液桶等2，在配液桶I上設(shè)置有配液循環(huán)泵3，在儲(chǔ)液桶I上設(shè)置有儲(chǔ)液循環(huán)泵5、鍍鎳液輸出管路6，在配液桶1、儲(chǔ)液桶2上還設(shè)置有抽離泵4。抽離泵4液體的輸入口設(shè)置在配液桶I的底部，抽離泵4液體的輸出口設(shè)置在儲(chǔ)液桶2上部。配液循環(huán)泵3通過(guò)兩條管道分別連接在配液桶I的底部和上部。儲(chǔ)液循環(huán)泵5通過(guò)兩條管道分別連接在儲(chǔ)液桶2的底部和鍍鎳液輸出管路6上。在鍍鎳液輸出管路6上設(shè)置閥門(mén)8。
[0014]當(dāng)然，上述說(shuō)明并非對(duì)本發(fā)明的限制，本發(fā)明也不僅限于上述舉例，本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員在本發(fā)明的實(shí)質(zhì)范圍內(nèi)所做出的變化、改型、添加或替換，也屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種鍍鎳液配制裝置，包括有配液桶、鎳組投料口、進(jìn)水管路、儲(chǔ)液桶等，其特征在于:在所述配液桶上設(shè)置有配液循環(huán)泵，在所述儲(chǔ)液桶上設(shè)置有儲(chǔ)液循環(huán)泵、鍍鎳液輸出管路，在所述配液桶、儲(chǔ)液桶上還設(shè)置有抽離泵。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鍍鎳液配制裝置，其特征在于:所述抽離泵液體的輸入口設(shè)置在所述配液桶的底部，所述抽離泵液體的輸出口設(shè)置在所述儲(chǔ)液桶上部。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種鍍鎳液配制裝置，其特征在于:所述配液循環(huán)泵通過(guò)兩條管道分別連接在所述配液桶的底部和上部。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種鍍鎳液配制裝置，其特征在于:所述儲(chǔ)液循環(huán)泵通過(guò)兩條管道分別連接在所述儲(chǔ)液桶的底部和所述鍍鎳液輸出管路上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鍍鎳液配制裝置，其特征在于:在所述鍍鎳液輸出管路上設(shè)置閥門(mén)。
【文檔編號(hào)】B01F1/00GK103551063SQ201310531294
【公開(kāi)日】2014年2月5日 申請(qǐng)日期:2013年11月1日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月1日
【發(fā)明者】郭城, 呂明, 徐明星, 郭英云, 紀(jì)大鵬, 趙海玲 申請(qǐng)人:山東科芯電子有限公司