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三維Cu<sub>2</sub>S@ZnO納米異質(zhì)結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體材料及其制備方法

文檔序號:4910081閱讀:324來源:國知局
專利名稱:三維Cu<sub>2</sub>S@ZnO納米異質(zhì)結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體材料及其制備方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及光電子材料、半導(dǎo)體材料與器件技術(shù)領(lǐng)域,具體地說是一種由Cu2Sm米花晶體和ZnO納米顆粒納米單元在PEI的協(xié)助下構(gòu)造而成的Cu2S@ZnO納米異質(zhì)結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體材料,以及用水熱的方法在沒有催化劑的條件下得到大面積的這種結(jié)構(gòu)的制備方法。
背景技術(shù)
Cu2S作為一種P型窄禁帶半導(dǎo)體材料,其直接帶隙為1.2eV,具有良好的導(dǎo)電性。由于其獨(dú)特的電學(xué)、化學(xué)和光學(xué)性能,Cu2S在太陽能電池、光催化、場發(fā)射、傳感器等領(lǐng)域部有著廣泛的研究與應(yīng)用。氧化鋅(ZnO)作為一種N型寬禁帶(Eg = 3.37eV),是一種廉價(jià)、低毒半導(dǎo)體材料,已經(jīng)被廣泛用于和其它窄禁帶半導(dǎo)體材料進(jìn)行復(fù)合來研究其新的特性。近來,Cu2SiZnO結(jié)構(gòu)體系已經(jīng)引起眾多研究學(xué)者的強(qiáng)烈關(guān)注。近來,人們利用各種方法制備出了各種不同的Cu2S-ZnO納米體系結(jié)構(gòu),并對這些納米結(jié)構(gòu)的光電特性進(jìn)行了研究。但是現(xiàn)有制備方法大多反應(yīng)條件苛刻,生產(chǎn)成本高昂,不適用于大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的之一在于提供一種三維Cu2S@ZnO納米異質(zhì)結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體材料。本發(fā)明創(chuàng)新提出一種三維Cu2S@ZnO納米異質(zhì)結(jié)構(gòu),具有很大的比表面積,并且N型ZnO和P型Cu2S納米結(jié)構(gòu)單元具有很好的復(fù)合性,在界面處形成了眾多的P-N結(jié)。本發(fā)明的三維Cu2SOZnO納米異質(zhì)結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體材料在聚乙烯亞胺(PEI)的協(xié)助下進(jìn)行制備,以Cu2S納米花為基底的異質(zhì)結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體材料,并且與單純Cu2S納米花半導(dǎo)體材料相比較其具有更大的比表面積,為:37.611 '本發(fā)明提出了一種三維Cu2S@ZnO納米異質(zhì)結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體材料,包括ZnO納米顆粒晶體及Cu2S納米花結(jié)構(gòu)基底材料,所述ZnO納米顆粒晶體均勻覆蓋在所述Cu2S納米花結(jié)構(gòu)基底材料上;所述Cu2S納米花結(jié)構(gòu)基底材料由Cu2S納米薄片構(gòu)成;所述ZnO納米顆粒晶體與所述Cu2S納米花結(jié)構(gòu)基底材料的界面處具有P-N結(jié)。其中,所述ZnO納米顆粒晶體復(fù)合在所述Cu2S納米薄片上,形成三維Cu2S@ZnO納米異質(zhì)結(jié)構(gòu)。其中,所述ZnO納米顆粒晶體直徑為20-30nm ;所述Cu2S納米花結(jié)構(gòu)的直徑為
1.5-2μm,所述Cu2S納米薄片的厚度為25-35nm。本發(fā)明“三維Cu2SOZnO納米異質(zhì)結(jié)構(gòu)”中,以Cu2S納米花結(jié)構(gòu)為基底材料,ZnO納米顆粒均勻地復(fù)合在構(gòu)成Cu2S納米花的納米薄片上,ZnO納米顆粒晶體與納米花結(jié)構(gòu)的Cu2S納米薄片的界面處有眾多的P-N結(jié)異質(zhì)結(jié)構(gòu)。ZnO納米顆粒的平均直徑約為20-30nm。本發(fā)明中,在N型ZnO和P型Cu2S界面處形成的PN結(jié),根據(jù)SEM、TEM等表征手段觀測形成質(zhì)
量等情況。本發(fā)明“納米花結(jié)構(gòu)的Cu2S納米薄片”中,由Cu2S納米薄片構(gòu)成的Cu2S納米花結(jié)構(gòu)的平均直徑約為1.5-2 u m,垂直于中心的納米薄片組成了 Cu2S納米花結(jié)構(gòu),Cu2S納米薄片的厚度約為25-35nm,典型的Cu2S納米薄片的厚度約為30nm。本發(fā)明的第二個(gè)目的在于提供三維Cu2SfgZnO納米異質(zhì)結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體材料的制備方法,解決了現(xiàn)有Cu2S-ZnO納米體系結(jié)構(gòu)制備方法條件苛刻,成本高的問題,本發(fā)明方法成本低、可重復(fù)性高,適用于大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)。本發(fā)明三維Cu2S@ZnO納米異質(zhì)結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體材料的制備方法,是在PEI的協(xié)助下通過三步合成法制備的三維Cu2S@ZnO納米異質(zhì)結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體材料,ZnO納米顆粒晶體均勻覆蓋在組成納米花結(jié)構(gòu)的Cu2S納米薄片上。包括以下步驟:(一 )制備Cu2S納米花結(jié)構(gòu)將氯化亞銅、硫脲和聚乙烯吡咯烷酮(PVP)混合后溶于 95%乙醇中,充分?jǐn)嚢?;將混合溶液移入反?yīng)釜中,置入真空烘箱在180°C下加熱,反應(yīng)結(jié)束冷卻至室溫;將黑色反應(yīng)產(chǎn)物收集后用無水乙醇和去離子水反復(fù)洗滌幾次,在真空烘箱中60°C烘干。其中,氯化亞銅、硫脲和PVP的用量質(zhì)量比為5: 4: 1-5: 4: 6。( 二 )制備ZnO納米顆粒將IOmL的濃度為2mol/L尿素溶液(urea solution)逐滴加入到IOmL的濃度為
0.5mol/L ZnCl溶液中,然后將其溶解于去離子水中,將混合溶液磁力攪拌后移入到反應(yīng)釜中;在真空烘箱中在140°C下加熱,反應(yīng)結(jié)束后用無水乙醇和去離子水反復(fù)洗滌;所得樣品可以保存于去離子水中以備后續(xù)復(fù)合實(shí)驗(yàn)所用;(三)半導(dǎo)體材料的復(fù)合制備將上述實(shí)驗(yàn)所得的Cu2S樣品溶解在含有2g/L的PEI溶液的去離子水中,加熱至90°C;用去離子水、甲醇、氯仿洗滌幾次后,溶解于去離子水中得到Cu2S-PEI溶液,然后與上述制備得到的ZnO溶液混合攪拌,將所得溶液進(jìn)行聲處理和攪拌,隨后將所得產(chǎn)物用無水乙醇和去離子水洗滌幾次后,滴在硅片上在50°C下烘干;最后,在氮?dú)獗Wo(hù)下對樣品進(jìn)行快速退火(600°C,5min)。本發(fā)明提出的三維Cu2SfgZnO納米異質(zhì)結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體材料的制備過程是分三步進(jìn)行的,在分別用水熱法制備Cu2S納米花和ZnO納米顆粒的基礎(chǔ)上,利用PEI層將會(huì)自組的吸附在Cu2S納米片上的性能,再在PEI的協(xié)助下將Cu2S納米花和ZnO納米顆粒進(jìn)行結(jié)合從而形成眾多的p-Cu2S@ZnO-n結(jié),最后在氮?dú)獗Wo(hù)下對樣品進(jìn)行快速退火^00°C,5min),快速退火既可以去除PEI層和殘留雜質(zhì)也可以促進(jìn)重結(jié)晶,從而使Cu2S和ZnO復(fù)合得更加牢固。本發(fā)明通過改變對水熱合成及復(fù)合過程中一些參量的控制,合成了三維Cu2SIgZnO納米異質(zhì)結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體材料。相對于以前合成的納米結(jié)構(gòu),本發(fā)明的突出特點(diǎn)是:(I)生長溫度低,最高只需要180°C,降低了對設(shè)備的要求;(2)合成過程中使用了 PEI作為協(xié)助。制備過程中PEI層將會(huì)自組地吸附在Cu2S納米片上,隨后得到Cu2S-PEI溶液,然后與上述實(shí)驗(yàn)中制備得到的ZnO溶液混合攪拌,洗滌、烘干、退火后可以去除PEI層和殘留雜質(zhì)也可以促進(jìn)重結(jié)晶,使Cu2S和ZnO復(fù)合地更加牢固;(3)制備過程分三步進(jìn)行,不會(huì)引入其它雜質(zhì);
(4)不需要引入任何催化劑;(5)退火過程對保護(hù)氣的要求不高,只需要氮?dú)饩涂桑?6)方法簡單,成本低,重復(fù)性好。且本發(fā)明采用Cu2S材料作為基底,將ZnO納米顆粒復(fù)合在Cu2Sm米花的納米薄片上,ZnO作為一種很好的助催化劑(co-catalyst),既可以保護(hù)Cu2S免受電子的轟擊,又可以抑制光生電子-空穴對的復(fù)合,與單純Cu2S納米花結(jié)構(gòu)相比較,比表面積也有極大提高,從而使其適合于在場發(fā)射和光催化應(yīng)用上發(fā)展。與Cu2S納米花結(jié)構(gòu)的比表面積(18.511 4)相比,本發(fā)明三維Cu2SOZnO納米異質(zhì)結(jié)構(gòu)具有更大的比表面積,以單純Cu2S納米花結(jié)構(gòu)為基底的三維Cu2S@ZnO納米異質(zhì)結(jié)構(gòu)的比表面積為:37.611 '本發(fā)明具有成本低,生長溫度低,重復(fù)性高等優(yōu)點(diǎn),可結(jié)合目前迅速發(fā)展的場發(fā)射及光催化性能的研究,在場發(fā)射、光催化領(lǐng)域有著極大的發(fā)展及應(yīng)用潛力。


圖1是純Cu2S納米花結(jié)構(gòu)和三維Cu2S@ZnO納米異質(zhì)結(jié)構(gòu)的X射線衍射圖;圖2是本發(fā)明三維Cu28@Zn0納米異質(zhì)結(jié)構(gòu)的SEM圖;圖3是本發(fā)明三維Cu2S@ZnO納米異質(zhì)結(jié)構(gòu)的放大倍數(shù)的SEM圖;圖4是本發(fā)明中包含單個(gè)PN結(jié)的三維Cu2S@ZnO納米異質(zhì)結(jié)構(gòu)的TEM圖像;圖5是氯化亞銅、硫脲和PVP的質(zhì)量比為5:4:1-5:4: 6范圍內(nèi)所得的Cu2S樣品形貌的演化過程。
具體實(shí)施例方式結(jié)合以下具體實(shí)施例和附圖,對本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。實(shí)施本發(fā)明的過程、條件、試劑、實(shí)驗(yàn) 方法等,除以下專門提及的內(nèi)容之外,均為本領(lǐng)域的普遍知識和公知常識,本發(fā)明沒有特別限制內(nèi)容。實(shí)施例本實(shí)施例中,三維Cu2S@ZnO納米異質(zhì)結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體材料的具體制備的步驟如下:a、將0.5g氯化亞銅、0.4g硫脲和0.25g的PVP混合后溶于40mL的95%乙醇中充分?jǐn)嚢?0分鐘。b、隨后將混合溶液移入50mL的反應(yīng)釜中,將反應(yīng)釜置入真空烘箱在180°C下加熱6h,反應(yīng)結(jié)束冷卻至室溫時(shí),將黑色反應(yīng)產(chǎn)物收集隨后用無水乙醇和去離子水反復(fù)洗滌幾次。C、將純凈的樣品在真空烘箱中60°C烘干待用。其中,此處的樣品是指Cu2S樣品,即為已經(jīng)制備好的花狀Cu2S納米結(jié)構(gòu)基底材料。d、將 IOmL 的尿素溶液(urea solution) (2M)逐滴加入到 IOmL 的 ZnCl (0.5M)中,然后將其溶解于80mL的去離子水中,將混合溶液磁力攪拌30min后移入到反應(yīng)釜中。e、隨后將反應(yīng)釜在真空烘箱中在140°C下加熱6h,反映結(jié)束后用無水乙醇和去離子水反復(fù)洗滌所得樣品幾次后,將所得樣品保存于去離子水中以備后續(xù)符合實(shí)驗(yàn)所用。其中,此處的樣品是指ZnO溶液,即為已經(jīng)制備好的平均直徑約為20-30nm的ZnO納米顆粒晶體。f、將上述實(shí)驗(yàn)所得的Cu2S樣品(即為實(shí)驗(yàn)制備的花狀Cu2S納米材料)溶解在放有2g/L的PEI溶液去離子水中,并且加熱至90°C。g、隨后將所得的樣品用去離子水、甲醇、氯仿洗滌幾次后將其溶解于去離子水中得到Cu2S-PEI溶液,然后與上述實(shí)驗(yàn)中制備得到的ZnO溶液混合攪拌,將所得溶液進(jìn)行聲處理和攪拌2h,隨后將所得產(chǎn)物用無水乙醇和去離子水洗滌幾次后滴在硅片上在50°C下烘干6h。其中,聲處理指的是超聲波處理,其條件/實(shí)施過程為:將盛有上述Cu2S-PEI溶液與ZnO溶液混合攪拌,將所得的混合溶液的燒杯放入到超聲波清洗機(jī)中,此時(shí)燒杯口是用保鮮膜進(jìn)行覆蓋保護(hù)以免在超聲過程中有雜質(zhì)濺入其中。超聲一小時(shí)后再對所得溶液進(jìn)行磁力攪拌處理一小時(shí)。h、最后在氮?dú)獗Wo(hù)下對樣品進(jìn)行快速退火(600°C,5min)。如圖1 所示,在 2 0 =15.915。,27.766° ,32.111° ,46.103° 和 54.673° 的衍射峰都?xì)w結(jié)于立方晶系的Cu2S結(jié)構(gòu)(JCPDS 53-0522),這說明在樣品合成過程中,Cu2S納米花的晶體結(jié)構(gòu)是完整的,沒有遭到破壞。在2 0 = 31.769° ,34.421°和36.252°處的的特征峰對應(yīng)于六方晶系的ZnO結(jié)構(gòu)(JCPDS36-1451)的(100)、(002)和(101)晶面。而對于 2 0 = 47.538。,56.602° ,62.862° ,66.378° ,67.961° ,69.098° 和 72.560。處的
(102)、(110)、(103)、(200)、(112)、(201)和(004)晶面的衍射峰并不明顯,這可能是由于在復(fù)合過程中,復(fù)合在Cu2S納米薄片上的ZnO納米顆粒的量向?qū)τ贑u2S納米花的量來說較少的原因?qū)е碌?。以上?shí)施例中,還包括氯化亞銅、硫脲和PVP的用量質(zhì)量比為5:4:1-5:4:6范圍內(nèi)所得的Cu2S樣品形貌的演化過程,如圖5所示,為氯化亞銅、硫脲和PVP的質(zhì)量比為5:4:1-5:4: 6范圍內(nèi)所得的Cu2S樣品形貌的演化過程。其中,(a) 5: 4: I ; (b)為5: 4: 2.5 ;(c)為5: 4: 4 ;(d)為5: 4: 6。由于Cu2S基底材料用于后續(xù)的復(fù)合實(shí)驗(yàn),故通過SEM等手段表征后發(fā)現(xiàn)在氯化亞銅、硫脲和PVP的用量質(zhì)量比為5: 4: 2.5時(shí),所得到的Cu2S樣品形貌的孔隙大小最合適于接下來的復(fù)合實(shí)驗(yàn)。如圖2和圖3所示,本實(shí)施例制備得到的三維Cu2S@ZnO納米異質(zhì)結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體材料是大量的均勻分布的納米異 質(zhì)結(jié)構(gòu),并且ZnO納米顆粒均勻地復(fù)合在組成Cu2S納米花結(jié)構(gòu)基底材料的納米薄片上,形成了三維Cu2S@ZnO納米異質(zhì)結(jié)構(gòu)。如圖所示,由Cu2S納米薄片構(gòu)成的Cu2S納米花結(jié)構(gòu)的平均直徑約為1.5-2 u m,垂直于中心的納米薄片組成了 Cu2S納米花結(jié)構(gòu),Cu2S納米薄片的厚度約為25-35nm,典型的Cu2S納米薄片的厚度約為30nm。本發(fā)明三維Cu2S@ZnO納米異質(zhì)結(jié)構(gòu)材料中,以Cu2S納米花結(jié)構(gòu)為基底材料,ZnO納米顆粒均勻地復(fù)合在構(gòu)成Cu2S納米花的納米薄片上,ZnO納米顆粒晶體與納米花結(jié)構(gòu)的Cu2S納米薄片的界面處有眾多的P-N結(jié)異質(zhì)結(jié)構(gòu),如圖4所示的包含單個(gè)PN結(jié)的三維Cu2S@ZnO納米異質(zhì)結(jié)構(gòu)。ZnO納米顆粒的平均直徑約為20-30nm。本發(fā)明的保護(hù)內(nèi)容不局限于以上實(shí)施例。在不背離發(fā)明構(gòu)思的精神和范圍下,本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠想到的變化和優(yōu)點(diǎn)都被包括在本發(fā)明中,并且以所附的權(quán)利要求書為保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種三維Cu2S@ZnO納米異質(zhì)結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體材料,其特征在于,包括ZnO納米顆粒晶體及Cu2S納米花結(jié)構(gòu)基底材料,所述ZnO納米顆粒晶體均勻覆蓋在所述Cu2S納米花結(jié)構(gòu)基底材料上;所述Cu2S納米花結(jié)構(gòu)基底材料由Cu2S納米薄片構(gòu)成;所述ZnO納米顆粒晶體與所述Cu2S納米花結(jié)構(gòu)基底材料的界面處具有P-N結(jié)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維Cu2SOZnO納米異質(zhì)結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體材料,其特征在于,所述ZnO納米顆粒晶體復(fù)合在所述Cu2S納米薄片上,形成三維Cu2S@ZnO納米異質(zhì)結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維Cu2SOZnO納米異質(zhì)結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體材料,其特征在于,所述ZnO納米顆粒晶體直徑為20-30nm ;所述Cu2S納米花結(jié)構(gòu)的直徑為1.5-2 u m,所述Cu2S納米薄片的厚度為25-35nm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維Cu2SOZnO納米異質(zhì)結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體材料,其特征在于,所述三維Cu2SOZnO納米異質(zhì)結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體材料的比表面積為37.6m2g'
5.—種權(quán)利要求1所述三維Cu2S@ZnO納米異質(zhì)結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體材料的制備方法,其特征在于,利用水熱合成法分別合成Cu2S納米花晶體和ZnO納米顆粒晶體,以PEI作為協(xié)助材料使所述ZnO納米顆粒均勻地復(fù)合在Cu2S納米薄片上,得到所述三維Cu2S@ZnO納米異質(zhì)結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體材料。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述三維Cu2SfgZnO納米異質(zhì)結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體材料的制備方法,其特征在于,包括以下步驟: (一)制備Cu2S納米花結(jié)構(gòu) 將氯化亞銅、硫脲和PVP混合后溶于95%無水乙醇中,充分?jǐn)嚢?;將混合溶液移入反?yīng)釜,在真空180°C下反應(yīng),冷卻至室溫;用無水乙醇和去離子水對產(chǎn)物進(jìn)行洗滌,在真空60°C下烘干,得到所述Cu2S 納米花結(jié)構(gòu); (二)制備ZnO納米顆粒 將尿素溶液逐滴加入到ZnCl中,溶解于去離子水中,經(jīng)磁力攪拌、真空140°C下加熱,待反應(yīng)結(jié)束后用無水乙醇和去離子水進(jìn)行洗滌,得到所述ZnO納米顆粒; (二)復(fù)合 將所述Cu2S納米花結(jié)構(gòu)樣品溶解在含有2g/L PEI溶液的去離子水中,加熱至90°C,經(jīng)去離子水、甲醇、氯仿洗滌后,溶解于去離子水中得到Cu2S-PEI溶液;然后與所述ZnO納米顆?;旌蠑嚢?,將所得溶液進(jìn)行聲處理和攪拌,隨后將所得產(chǎn)物用無水乙醇和去離子水洗滌后,滴在硅片上在50°C下烘干;最后,在氮?dú)獗Wo(hù)下進(jìn)行快速退火,制備得到所述三維Cu2SiZnO納米異質(zhì)結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體材料。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述三維Cu2SOZnO納米異質(zhì)結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體材料的制備方法,其特征在于,所述步驟(一)中,氯化亞銅、硫脲和PVP的用量質(zhì)量比為5: 4: 1-5: 4: 6。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述三維Cu2S@ZnO納米異質(zhì)結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體材料的制備方法,其特征在于,所述步驟(三)中,退火的條件為600°C,5min。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種三維Cu2S@ZnO納米異質(zhì)結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體材料,包括ZnO納米顆粒晶體及Cu2S納米花結(jié)構(gòu)基底材料,ZnO納米顆粒晶體均勻覆蓋在Cu2S納米花結(jié)構(gòu)基底材料上;Cu2S納米花結(jié)構(gòu)基底材料由Cu2S納米薄片構(gòu)成;ZnO納米顆粒晶體與Cu2S納米花結(jié)構(gòu)基底材料的界面處具有P-N結(jié)。本發(fā)明還公開三維Cu2S@ZnO納米異質(zhì)結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體材料的制備方法,利用水熱合成法分別合成Cu2S納米花晶體和ZnO納米顆粒晶體,以PEI作為協(xié)助材料使ZnO納米顆粒均勻地復(fù)合在Cu2S納米薄片上,得到三維Cu2S@ZnO納米異質(zhì)結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體材料。本發(fā)明具有成本低,生長溫度低,重復(fù)性高等優(yōu)點(diǎn),在場發(fā)射、光催化領(lǐng)域有著極大的發(fā)展應(yīng)用潛力。
文檔編號B01J27/04GK103204536SQ201310118899
公開日2013年7月17日 申請日期2013年4月8日 優(yōu)先權(quán)日2013年4月8日
發(fā)明者李守川, 郁可, 汪陽, 宋長青, 尹海宏, 朱自強(qiáng) 申請人:華東師范大學(xué)
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