專利名稱：氣液分離裝置以及液體供應裝置的制作方法
技術領域：
本領域涉及半導體制造領域，尤其涉及一種氣液分離裝置以及液體供應裝置。
背景技術：
在半導體集成電路制造工藝中，通常需要用到大量液體的化學物品來滿足生產(chǎn)需要。一般來說，化學物品存儲在一定容量的原料桶中。在正常生產(chǎn)過程中，存儲罐會通過供應管路供應給設備機臺，以實現(xiàn)生產(chǎn)。請參考圖1,目前，液體供應裝置包括:原料桶10 ；傳輸動力泵20，所述傳輸動力泵20與所述原料桶10通過供應管路60連接；供應過濾器30，所述供應過濾器30與所述傳輸動力泵20通過供應管路60連接；所述供應過濾器30通過供應管路60連接所述設備機臺40 ；收集桶槽50，所述收集桶槽50與所述供應過濾器30通過供應管路60連接，用于存儲大量的化學物品，當所述原料桶10出現(xiàn)意外或所述液體供應裝置中的管路或者供應過濾器30等部件出現(xiàn)斷供的情況，所述收集桶槽50可以起到應急的作用，在一定時間內(nèi)持續(xù)為所述設備機臺40提供化學物品。其中，所述供應過濾器30內(nèi)設有多層隔離膜，用于隔離化學物品中直徑大于0.05微米的微顆粒，防止污染設備機臺40。由于原料桶10的容積固定，只能存儲一定量的化學物品，當原料桶10中的化學物品即將消耗完時，就需要更換原料桶10。一般來說，原料桶10是需要定期更換以維持生產(chǎn)的需求。當更換原料桶10時，所述供應管路60中會有空氣進入，在所述供應管路60中形成氣泡。再次為所述設備機臺40供應化學物品時，氣泡會隨著化學物品傳送至所述供應過濾器30和所述設備機臺40。當供應管路60中的空氣聚積到一定程度時，一方面無法保證對所述設備機臺40正常持續(xù)的提供無氣泡的化學物品；另一方面氣泡會聚積在所述供應過濾器30內(nèi)的過濾膜中，影響所述供應過濾器30的工作。

實用新型內(nèi)容為了解決上述問題，本實用新型的目的在于提出一種氣液分離裝置以及液體供應裝置可以避免氣泡的產(chǎn)生，持續(xù)為設備機臺提供化學物品。為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型提出一種氣液分離裝置，包括:氣液分離容器；供應管路，與所述氣液分離容器連接；輸出管路，一端伸入所述氣液分離容器的底部，一端伸出所述氣液分離容器；排氣管路，一端與所述氣液分離容器的頂部連接，一端通大氣。進一步的，所述氣液分離裝置還包括一容器液位感應器，所述容器液位感應器設置于所述氣液分離容器上。[0018]進一步的，所述氣液分離裝置還包括一供應控制氣動閥，設置于所述輸出管路上。進一步的，所述氣液分離裝置還包括一管路液位感應器和一排氣氣動閥，所述管路液位感應器和所述排氣氣動閥均設置于所述排氣管路上，且所述管路液位感應器靠近所述氣液分離容器，所述排氣氣動閥遠離所述氣液分離容器。進一步的，所述排氣管路通過一排風管通大氣。進一步的，所述氣液分離裝置還包括一排放管路、一排放手閥和一排放管，所述排放管路的一端與所述氣液分離容器連接，所述排放管路的另一端與所述排放管連接，所述排放手閥設置于所述排放管路上。進一步的，本實用新型還提出一種液體供應裝置，用于向一設備機臺供應化學物品，所述液體供應裝置包括:原料桶；傳輸動力泵，所述傳輸動力泵與所述原料桶通過供應管路連接；氣液分離裝置，所述氣液分離裝置與所述傳輸動力泵通過供應管路連接；所述氣液分離裝置通過輸出管路連接所述設備機臺。進一步的，在所述液體供應裝置中，所述液體供應裝置還包括供應過濾器，所述供應過濾器通過輸出管路連接于所述氣液分離裝置和所述設備機臺之間。進一步的，在所述液體供應裝置中，所述過濾器通過輸出管路分別與所述收集桶槽和設備機臺連接。進一步的，在所述液體供應裝置中，所述氣液分離裝置還包括一容器液位感應器，所述容器液位感應器設置于所述氣液分離容器上。進一步的，在所述液體供應裝置中，所述氣液分離裝置還包括一供應控制氣動閥，設置于所述輸出管路上。進一步的，在所述液體供應裝置中，所述氣液分離裝置還包括一管路液位感應器和一排氣氣動閥，所述管路液位感應器和所述排氣氣動閥均設置于所述排氣管路上，且所述管路液位感應器靠近所述氣液分離容器，所述排氣氣動閥遠離所述氣液分離容器。 進一步的，在所述液體供應裝置中，所述排氣管路通過一排風管通大氣。進一步的，在所述液體供應裝置中，所述氣液分離裝置還包括一排放管路、一排放手閥和一排放管，所述排放管路的一端與所述氣液分離容器連接，所述排放管路的另一端與所述排放管連接，所述排放手閥設置于所述排放管路上。進一步的，在所述液體供應裝置中，所述氣液分離容器、所述供應管路以及所述輸出管路的材質為可溶性聚四氟乙烯。與現(xiàn)有技術相比，本實用新型的氣液分離裝置的有益效果主要體現(xiàn)在:所述氣液分離裝置包括氣液分離容器、供應管路、輸出管路以及排氣管路，化學物品從供應管路流至氣液分離容器，來自供應管路的氣泡能夠在氣液分離容器內(nèi)自動與化學物品分離，從而可以從排氣管路排出，伸入氣液分離容器底部的輸出管路便可以持續(xù)不斷的提供不含氣泡的化學物品，保證穩(wěn)定的供應，實現(xiàn)供應零中斷。進一步的，本實用新型提出一種液體供應裝置，使用上述氣液分離裝置，從而可以為供應過濾器提供不含氣泡的化學物品，避免對供應過濾器造成傷害，進而延長供應過濾器的使用壽命。
圖1為現(xiàn)有技術中一液體供應裝置的結構示意圖；圖2為本實用新型一實施例中氣液分離裝置的結構示意圖；圖3為本實用新型一實施例中液體供應裝置的結構示意圖。
具體實施方式
為了便于說明，下面結合具體實施例和附圖對本實用新型做更加詳細的描述。請參考圖2，本實用新型提出一種氣液分離裝置700，包括:氣液分離容器710，用于分離氣泡與化學物品，同時存儲一定量的化學物品；所述氣液分離容器710的容積可以根據(jù)具體需求來選定；供應管路600，與所述氣液分離容器710連接，所述供應管路600用于傳輸化學物品至所述氣液分離容器710;輸出管路760，一端伸入所述氣液分離容器710底部，一端伸出所述氣液分離容器710，所述輸出管路760用于從所述氣液分離容器710輸出化學物品；排氣管路770，一端與所述氣液分離容器710頂部連接，一端通大氣，所述排氣管路770用于排出所述氣液分離容器710內(nèi)過多的氣體。在本實施例中，所述氣液分離裝置700包括一控制器(圖2中未示出)和一容器液位感應器720，所述容器液位感應器720設置于所述氣液分離容器710上，所述容器液位感應器720用于監(jiān)測所述氣液分離容器710內(nèi)化學物品的液位，當化學物品液位低于所述容器液位感應器720時，所述容器液位感應器720將會發(fā)出信號給控制器提示化學物品即將用盡，所述控制器控制所述輸出管路760停止輸出化學物品；另一方面所述容器液位感應器720將會發(fā)出信號給控制器提示所述氣液分離容器710中氣體過多，所述控制器控制打開所述排氣管路770進行排氣處理；如圖2所示，所述氣液分離容器710內(nèi)化學物品的液位高度的最佳范圍在Lf L3之間，所述容器液位感應器720的高度為L2，其中L2在Lf L3之間。在本實施例中，所述容器液位感應器720與所述氣液分離容器710底部保持一定距離，保證所述容器液位感應器720有一定量的化學物品，此距離可以依據(jù)不同的生產(chǎn)需要而制定，也可以根據(jù)所述氣液分離容器710的容器量制定。優(yōu)選的，所述輸出管路760伸入所述氣液分離容器710的一端低于所述容器液位感應器720，從而可以保證所述輸出管路760完全沒入化學物品中，避免氣泡進入。所述氣液分離裝置700還包括一供應控制氣動閥742，所述供應控制氣動閥742設置于所述輸出管路760上，并與所述控制器連接，所述控制器通過所述供應控制氣動閥742控制化學物品的輸送與停送。所述氣液分離裝置700還包括一管路液位感應器730和一排氣氣動閥741，所述管路液位感應器730和一排氣氣動閥741設置于所述排氣管路770上，并與所述控制器連接。所述排氣手閥741打開便可以排出所述氣液分離容器710中氣體；所述管路液位感應器730靠近所述氣液分離容器710，所述排氣氣動閥741遠離所述氣液分離容器710 ;所述管路液位感應器730用于監(jiān)測排氣管路770內(nèi)是否有化學物品溢出，當化學物品溢出至所述排氣管路770并被所述管路液位感應器730監(jiān)測到時，所述管路液位感應器730會發(fā)出警告信號給控制器，一方面可以提示來自供應管路600的化學物品已經(jīng)溢出，所述控制器根據(jù)該警告信號控制所述供應管路600停止繼續(xù)輸入；另一方面提示所述氣液分離容器710中的氣體已經(jīng)排盡，所述控制器控制關閉排氣氣動閥741。所述氣液分離裝置700還包括一排風管780，所述排氣管路770通大氣的一端接所述排風管780，方便氣體的排出。所述氣液分離裝置700還包括一排放管路751、一排放手閥752、一排放管790，所述排放手閥752設置于所述排放管路751上，所述排放管路751 —端連接所述氣液分離容器710，另一端連接所述排放管790。當所述氣液分離容器710中的化學物品溢出時，可以打開所述排放手閥752經(jīng)所述排放管路751和排放管790排出一部分化學物品。在本實施例中，所述氣液分離容器710、所述供應管路600以及所述輸出管路760的材質為可溶性聚四氟乙烯，其具有耐腐蝕的優(yōu)點。在本實施例中，還提出一種包括上述氣液分離裝置的液體供應裝置，用于向一設備機臺400供應化學物品，所述液體供應裝置包括:原料桶100，用于提供化學物品，為可拆卸型，當化學物品即將用盡時可以更換；傳輸動力泵200，所述傳輸動力泵200與所述原料桶100通過供應管路600連接，所述傳輸動力泵200用于傳送化學物品；氣液分離裝置700，所述氣液分離裝置700與所述傳輸動力泵200通過供應管路600連接，化學物品由所述傳輸動力泵200傳送至所述氣液分離裝置700，所述氣液分離裝置700通過輸出管路760連接所述設備機臺400。優(yōu)選的，所述液體供應裝置還包括供應過濾器300，所述供應過濾器300通過輸出管路760連接于所述氣液分離裝置700和所述設備機臺400之間，所述供應過濾器300用于過濾所述輸出管路760內(nèi)化學物品中直徑大于0.05微米的微顆粒，防止微顆粒污染設備機臺400。優(yōu)選的，所述液體供應裝置還包括一收集桶槽500，所述過濾器300通過輸出管路760分別與所述收集桶槽500和設備機臺400連接。所述收集桶槽500容積優(yōu)選大于所述原料桶100，用于存儲大量的化學物品。當所述原料桶100出現(xiàn)意外或所述液體供應裝置中的管路或者供應過濾器300等部件出現(xiàn)斷供的情況，所述收集桶槽500可以起到應急的作用，在一定時間內(nèi)持續(xù)為所述設備機臺400提供化學物品。在本實施例中，使用氣液分離裝置700的液體供應裝置可以有效的避免氣泡進入輸出管路中，從而可以持續(xù)不斷的為設備機臺提供所需的化學物品，同時也避免對供應過濾器造成傷害，進而延長供應過濾器的使用壽命。以上僅為本實用新型的優(yōu)選實施例而已，并不對本實用新型起到任何限制作用。任何所屬技術領域的技術人員，在不脫離本實用新型的技術方案的范圍內(nèi)，對本實用新型揭露的技術方案和技術內(nèi)容做任何形式的等同替換或修改等變動，均屬未脫離本實用新型的技術方案的內(nèi)容，仍屬于本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
權利要求1.一種氣液分離裝置，其特征在于，包括: 氣液分離容器； 供應管路，與所述氣液分離容器連接； 輸出管路，一端伸入所述氣液分離容器的底部，一端伸出所述氣液分離容器； 排氣管路，一端與所述氣液分離容器的頂部連接，一端通大氣。
2.如權利要求1所述的氣液分離裝置，其特征在于，還包括一容器液位感應器，所述容器液位感應器設置于所述氣液分離容器上。
3.如權利要求1所述的氣液分離裝置，其特征在于，還包括一供應控制氣動閥，設置于所述輸出管路上。
4.如權利要求1所述的氣液分離裝置，其特征在于，還包括一管路液位感應器和一排氣氣動閥，所述管路液位感應器和所述排氣氣動閥均設置于所述排氣管路上，且所述管路液位感應器靠近所述氣液分離容器，所述排氣氣動閥遠離所述氣液分離容器。
5.如權利要求4所述的氣液分離裝置，其特征在于，所述排氣管路通過一排風管通大氣。
6.如權利要求1所述的氣液分離裝置，其特征在于，還包括一排放管路、一排放手閥和一排放管，所述排放管路的一端與所述氣液分離容器連接，所述排放管路的另一端與所述排放管連接，所述排放手閥設置于所述排放管路上。
7.如權利要求1所述的氣液分離裝置，其特征在于，所述氣液分離容器、所述供應管路以及所述輸出管路的材質為可溶性聚四氟乙烯。
8.一種液體供應裝置，用于向一設備機臺供應化學物品，其特征在于，所述液體供應裝置包括: 原料桶； 傳輸動力泵，所述傳輸動力泵與所述原料桶通過供應管路連接； 如權利要求1至7中任意一項所述的氣液分離裝置，所述氣液分離裝置與所述傳輸動力泵通過供應管路連接；所述氣液分離裝置通過輸出管路連接所述設備機臺。
9.如權利要求8所述的液體供應裝置，其特征在于，所述液體供應裝置還包括供應過濾器，所述供應過濾器通過輸出管路連接于所述氣液分離裝置和所述設備機臺之間。
10.如權利要求9所述的液體供應裝置，其特征在于，所述過濾器通過輸出管路分別與所述收集桶槽和設備機臺連接。
11.如權利要求8所述的液體供應裝置，其特征在于，所述氣液分離裝置還包括一容器液位感應器，所述容器液位感應器設置于所述氣液分離容器上。
12.如權利要求8所述的液體供應裝置，其特征在于，所述氣液分離裝置還包括一供應控制氣動閥，設置于所述輸出管路上。
13.如權利要求8所述的液體供應裝置，其特征在于，所述氣液分離裝置還包括一管路液位感應器和一排氣氣動閥，所述管路液位感應器和所述排氣氣動閥均設置于所述排氣管路上，且所述管路液位感應器靠近所述氣液分離容器，所述排氣氣動閥遠離所述氣液分離容器。
14.如權利要求13所述的氣液體供應裝置， 其特征在于，所述排氣管路通過一排風管通大氣。
15.如權利要求8所述的液體供應裝置，其特征在于，所述氣液分離裝置還包括一排放管路、一排放手閥和一排放管，所述排放管路的一端與所述氣液分離容器連接，所述排放管路的另一端與所述排放管連接，所述排放手閥設置于所述排放管路上。
16.如權利要求8所述的液體供應裝置， 其特征在于，所述氣液分離容器、所述供應管路以及所述輸出管路的材質為可溶性聚四氟乙烯。
專利摘要本實用新型提出一種氣液分離裝置，所述氣液分離裝置包括氣液分離容器、供應管路、輸出管路以及排氣管路，化學物品從供應管路流至氣液分離容器，來自供應管路的氣泡能夠在氣液分離容器內(nèi)自動與化學物品分離，從而可以從排氣管路排出，伸入氣液分離容器底部的輸出管路便可以持續(xù)不斷的提供不含氣泡的化學物品，保證穩(wěn)定的供應，實現(xiàn)供應零中斷。進一步的，本實用新型提出一種液體供應裝置，包括上述氣液分離裝置，從而可以為供應過濾器提供不含氣泡的化學物品，避免對供應過濾器造成傷害，進而延長供應過濾器的使用壽命。
文檔編號B01J4/00GK203002031SQ201220674878
公開日2013年6月19日 申請日期2012年12月7日 優(yōu)先權日2012年12月7日
發(fā)明者張文武, 朱江寧 申請人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司