專利名稱：一種循環(huán)冷凝器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及多晶硅廢氣回收技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種循環(huán)冷凝器。
背景技術(shù)：
在多晶硅生產(chǎn)中，ニ氯氫硅合成エ序和還原エ序會(huì)產(chǎn)生大量廢氣，據(jù)估算，每生產(chǎn)Ikg多晶硅產(chǎn)品，就會(huì)產(chǎn)生40kg的廢氣。多晶硅廢氣既是有效原料氣或中間產(chǎn)品，又是對(duì)環(huán)境具有極大危害的物質(zhì)，如果直接排放則會(huì)產(chǎn)生大量廢液、廢氣，同時(shí)造成極大的資源浪費(fèi)，所以有效分離、回收這些組分，變廢為寶是多晶硅生產(chǎn)中必須要解決的問題。為解決這ー問題，本領(lǐng)域都是采用冷凝器將廢氣冷凝成液體來收集?，F(xiàn)有的冷凝器結(jié)構(gòu)中，由于冷凝系統(tǒng)長時(shí)間連續(xù)化運(yùn)行，系統(tǒng)中的殼程里存在一定量的污垢，這些污垢主要由冷凍機(jī)潤滑油和平常檢修時(shí)漏進(jìn)系統(tǒng)中的空氣中的水分在低溫時(shí)凝結(jié)而成的冰渣 形成。經(jīng)年積月累，冰渣和冷凍油污垢越積越多，嚴(yán)重影響換熱器的換熱效果。這時(shí)，若要清除上述污垢，則必須要停產(chǎn)，并將冷凝系統(tǒng)中的管線拆下，將冷凝器從系統(tǒng)中切出，然后再灌注堿液，將污垢清洗后排出。這樣的處理方法因需要停產(chǎn)檢修，費(fèi)時(shí)較長，嚴(yán)重影響生產(chǎn)，而且常溫常壓下氟利昂為氣體，易造成環(huán)境污染，破壞臭氧層。此外，冷凝器再次投產(chǎn)需要抽負(fù)壓，容易使閥門內(nèi)漏。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷，提供了一種循環(huán)冷凝器，該循環(huán)冷凝器在清理殼程里的污垢時(shí)不需停產(chǎn)，不會(huì)污染環(huán)境。本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的，一種循環(huán)冷凝器，用于冷凝多晶硅生產(chǎn)中產(chǎn)生的廢氣，包括外殼和設(shè)于所述外殼內(nèi)的若干冷凝管，所述外殼與冷凝管之間形成用于通入冷卻介質(zhì)的殼程，所述冷凝管為中空管，所述冷凝管用于通入尾氣并由所述冷卻介質(zhì)降溫冷凝，所述外殼最低處設(shè)有一與所述殼程相連通的排污閥。具體地，所述外殼上設(shè)有冷卻介質(zhì)進(jìn)ロ閥、冷卻介質(zhì)出口閥、廢氣進(jìn)ロ閥和廢氣出ロ閥，所述冷卻介質(zhì)出ロ閥和廢氣進(jìn)ロ閥位于所述外殼上部，所述冷卻介質(zhì)進(jìn)ロ閥和廢氣出ロ閥位于所述外殼下部，所述冷卻介質(zhì)進(jìn)ロ閥和冷卻介質(zhì)出ロ閥與所述殼程連通，所述廢氣進(jìn)ロ閥和廢氣出ロ閥通過與所述冷凝管連通。具體地，所述外殼上設(shè)有冷卻介質(zhì)進(jìn)ロ閥、冷卻介質(zhì)出口閥、廢氣進(jìn)ロ閥和廢氣出ロ閥，所述冷卻介質(zhì)進(jìn)ロ閥和廢氣出ロ閥位于所述外殼上部，所述冷卻介質(zhì)出ロ閥和廢氣進(jìn)ロ閥位于所述外殼下部，所述冷卻介質(zhì)進(jìn)ロ閥和冷卻介質(zhì)出ロ閥與所述殼程連通，所述廢氣進(jìn)ロ閥和廢氣出ロ閥與所述冷凝管連通。具體地，所述冷卻介質(zhì)為氟利昂或冷凍鹽水。進(jìn)ー步地,所述冷卻介質(zhì)進(jìn)ロ閥處和冷卻介質(zhì)出ロ閥處均設(shè)有ー冷卻介質(zhì)壓カ表。進(jìn)ー步地，所述廢氣進(jìn)ロ閥處和廢氣出口閥處均設(shè)有ー廢氣壓力表。[0011 ] 具體地，所述循環(huán)冷凝器為臥式結(jié)構(gòu)。具體地，所述循環(huán)冷凝器為立式結(jié)構(gòu)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供的循環(huán)冷凝器在清理殼程中的污垢時(shí)，不需要停產(chǎn)，即可將污垢液化并從排污閥排出，保證了正常生產(chǎn)，且污垢處理過程中不會(huì)出現(xiàn)尾氣泄露現(xiàn)象。

圖I為本實(shí)用新型實(shí)施例一提供的循環(huán)冷凝器的示意圖；圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例一提供的循環(huán)冷凝器的剖示圖；圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例ニ提供的循環(huán)冷凝器的示意圖；圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例ニ提供的循環(huán)冷凝器的剖示圖。
具體實(shí)施方式
實(shí)施例一如圖I和圖2所示，本實(shí)用新型實(shí)施例一提供的循環(huán)冷凝器1，用于冷凝多晶硅生產(chǎn)中產(chǎn)生的廢氣，包括外殼11和設(shè)于外殼11內(nèi)的若干冷凝管12,夕卜殼11與冷凝管12之間形成用于通入冷卻介質(zhì)的殼程13，冷凝管12為中空管，冷凝管12用于通入廢氣中并由冷卻介質(zhì)降溫冷凝，外殼11最低處設(shè)有一與殼程13相連通的排污閥14。具體地，本實(shí)施例一米用的冷卻介質(zhì)為氟利昂。所述外殼11上設(shè)有冷卻介質(zhì)進(jìn)ロ閥15、冷卻介質(zhì)出口閥16、廢氣進(jìn)ロ閥17和廢氣出口閥18，冷卻介質(zhì)出口閥16和廢氣進(jìn)ロ 閥17位于外殼11上部，冷卻介質(zhì)進(jìn)ロ閥15和廢氣出口閥18位于外殼11下部，冷卻介質(zhì)進(jìn)ロ閥15和冷卻介質(zhì)出ロ閥16與殼程13連通，廢氣進(jìn)ロ閥17和廢氣出ロ閥18與冷凝管12連通。進(jìn)一步地,本實(shí)施例一中，冷卻介質(zhì)進(jìn)ロ閥15處設(shè)有一冷卻介質(zhì)壓カ表(未不出)，該冷卻介質(zhì)壓カ表用于檢測(cè)通入殼程13內(nèi)的冷卻介質(zhì)的壓力；冷卻介質(zhì)出ロ閥16處也設(shè)有一冷卻介質(zhì)壓カ表161，該冷卻介質(zhì)壓カ161表用于檢測(cè)從殼程13流出的冷卻介質(zhì)的壓力；廢氣進(jìn)ロ閥17處設(shè)有一廢氣壓力表171，該廢氣壓カ表171用于檢測(cè)通入冷凝管12內(nèi)的廢氣的壓カ；廢氣出口閥18處也設(shè)有一廢氣壓力表(未不出),該廢氣壓カ表用于檢測(cè)從冷凝管12流出的廢氣的壓力。在正常生產(chǎn)時(shí)，廢氣進(jìn)ロ閥17處的溫度在-25°C -20°C范圍內(nèi)，廢氣出口閥18處的溫度在_42°C _39°C范圍內(nèi)，廢氣進(jìn)ロ閥17處的壓力0. 95MPa ;冷卻介質(zhì)進(jìn)ロ閥15處的溫度-42で、壓カ0.21^，冷卻介質(zhì)出ロ閥16處的溫度-42°C，壓力-0.3Mpa。當(dāng)采用本實(shí)用新型的循環(huán)冷凝器I組成冷凝系統(tǒng)時(shí)，在因長時(shí)間工作而產(chǎn)生污垢后，即可方便地將污垢排出，具體操作流程如下(I)關(guān)閉冷卻介質(zhì)進(jìn)ロ閥15，向冷凝管12中通入廢氣，使廢氣溫度慢慢提高至20°C左右，使氟利昂盡可能地大部分氣化，并返回制冷壓縮機(jī)(未示出)的吸入ロ，在升溫的過程中用冷卻介質(zhì)出ロ閥16來控制殼程13內(nèi)的壓カ處于0. IMPa左右；(2)待殼程13的溫度為5°C左右時(shí)，殼程13中的液態(tài)氟利昂已經(jīng)全部氣化并回收至制冷壓縮機(jī)，然后關(guān)閉冷卻介質(zhì)出口閥16 ；[0025](3)繼續(xù)向冷凝管12中通入廢氣，并維持尾氣的溫度處于20°C左右，使冰渣和冷凍油污垢融化后沉積在外殼11的底部，維持殼程13內(nèi)壓カ處于0. IMPa，然后打開外殼I底部的排污閥14，利用正壓將液態(tài)油水混合物排出；(4)排盡油污后，關(guān)閉排污閥14，并打開冷卻介質(zhì)進(jìn)ロ閥15和冷卻介質(zhì)出口閥16，將循環(huán)冷凝器I投入正常生產(chǎn)使用，調(diào)整廢氣溫度為正常生產(chǎn)時(shí)的指標(biāo)值。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供的循環(huán)冷凝器I在清理殼程13中的污垢時(shí)，不需要停產(chǎn)，即可將污垢液化并從排污閥14排出，保證了正常生產(chǎn)，且污垢處理過程中不會(huì) 出現(xiàn)尾氣泄露現(xiàn)象。實(shí)施例ニ如圖3和圖4所示，本實(shí)用新型實(shí)施例ニ提供的循環(huán)冷凝器2，用于冷凝多晶硅生產(chǎn)中產(chǎn)生的廢氣，包括外殼21和設(shè)于外殼21內(nèi)的若干冷凝管22,夕卜殼21與冷凝管22之間形成用于通入冷卻介質(zhì)的殼程23，冷凝管22為中空管，冷凝管22用于通入廢氣中并由冷卻介質(zhì)降溫冷凝，外殼21最低處設(shè)有一與殼程23相連通的排污閥24。具體地，本實(shí)施例ニ采用的冷卻介質(zhì)為氟利昂。所述外殼21上設(shè)有冷卻介質(zhì)進(jìn)ロ閥25、冷卻介質(zhì)出ロ閥26、廢氣進(jìn)ロ閥27和廢氣出ロ閥28，冷卻介質(zhì)進(jìn)ロ閥25和廢氣出ロ閥28位于外殼21上部，冷卻介質(zhì)出口閥26和廢氣進(jìn)ロ閥27位于外殼21下部，冷卻介質(zhì)進(jìn)ロ閥25和冷卻介質(zhì)出ロ閥26與殼程23連通，廢氣進(jìn)ロ閥27和廢氣出ロ閥28與冷凝管22連通。進(jìn)ー步地，本實(shí)施例ニ中，冷卻介質(zhì)進(jìn)ロ閥25處設(shè)有一冷卻介質(zhì)壓カ表251，該冷卻介質(zhì)壓カ表251用于檢測(cè)通入殼程23內(nèi)的冷卻介質(zhì)的壓力；冷卻介質(zhì)出ロ閥26處也設(shè)有一冷卻介質(zhì)壓カ表(未不出),該冷卻介質(zhì)壓カ表用于檢測(cè)從殼程23流出的冷卻介質(zhì)的壓力；廢氣進(jìn)ロ閥27處設(shè)有一廢氣壓力表(未示出)，該廢氣壓カ表用于檢測(cè)通入冷凝管22內(nèi)的廢氣的壓カ；廢氣出口閥28處也設(shè)有一廢氣壓力表281，該廢氣壓カ表281用于檢測(cè)從冷凝管22流出的廢氣的壓力。在正常生產(chǎn)時(shí)，廢氣進(jìn)ロ閥27處的溫度在-25°C -20°C范圍內(nèi)，廢氣出口閥28處的溫度在_42°C _39°C范圍內(nèi)，廢氣進(jìn)ロ閥27處的壓力0. 95MPa ;冷卻介質(zhì)進(jìn)ロ閥25處的溫度_42°C、壓カ0. 2MPa，冷卻介質(zhì)出ロ閥26處的溫度_42°C，壓カ-0. 3Mpa。當(dāng)采用本實(shí)用新型的循環(huán)冷凝器2組成冷凝系統(tǒng)時(shí)，在因長時(shí)間工作而產(chǎn)生污垢后，即可方便地將污垢排出，具體操作流程如下(I)關(guān)閉冷卻介質(zhì)進(jìn)ロ閥25，向冷凝管22中通入廢氣，使廢氣溫度慢慢提高至20°C左右，使氟利昂盡可能地大部分氣化，并返回制冷壓縮機(jī)(未示出)的吸入ロ，在升溫的過程中用冷卻介質(zhì)出ロ閥26來控制殼程23內(nèi)的壓カ處于0. IMPa左右；(2)待殼程23的溫度為5°C左右時(shí)，殼程23中的液態(tài)氟利昂已經(jīng)全部氣化并回收至制冷壓縮機(jī)，然后關(guān)閉冷卻介質(zhì)出口閥26 ；(3)繼續(xù)向冷凝管22中通入廢氣，并維持尾氣的溫度處于20°C左右，使冰渣和冷凍油污垢融化后沉積在外殼21的底部，維持殼程23內(nèi)壓カ處于0. IMPa，然后打開外殼2底部的排污閥24，利用正壓將液態(tài)油水混合物排出；(4)排盡油污后，關(guān)閉排污閥24，并打開冷卻介質(zhì)進(jìn)ロ閥25和冷卻介質(zhì)出ロ閥26，將循環(huán)冷凝器2投入正常生產(chǎn)使用，調(diào)整廢氣溫度為正常生產(chǎn)時(shí)的指標(biāo)值。[0037]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供的循環(huán)冷凝器2在清理殼程23中的污垢吋，不需要停產(chǎn)，即可將污垢液化并從排污閥24排出，保證了正常生產(chǎn)，且污垢處理過程中不會(huì)出現(xiàn)尾氣泄露現(xiàn)象。以上所述是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種循環(huán)冷凝器,用于冷凝多晶娃生產(chǎn)中產(chǎn)生的廢氣,包括外殼和設(shè)于所述外殼內(nèi)的若干冷凝管，其特征在于所述外殼與冷凝管之間形成用于通入冷卻介質(zhì)的殼程，所述冷凝管為中空管，所述冷凝管用于通入尾氣并由所述冷卻介質(zhì)降溫冷凝，所述外殼最低處設(shè)有一與所述殼程相連通的排污閥。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的循環(huán)冷凝器，其特征在于所述外殼上設(shè)有冷卻介質(zhì)進(jìn)ロ閥、冷卻介質(zhì)出ロ閥、廢氣進(jìn)ロ閥和廢氣出ロ閥，所述冷卻介質(zhì)出ロ閥和廢氣進(jìn)ロ閥位于所述外殼上部，所述冷卻介質(zhì)進(jìn)ロ閥和廢氣出ロ閥位于所述外殼下部，所述冷卻介質(zhì)進(jìn)ロ閥和冷卻介質(zhì)出ロ閥與所述殼程連通，所述廢氣進(jìn)ロ閥和廢氣出ロ閥通過與所述冷凝管連通。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的循環(huán)冷凝器，其特征在于所述外殼上設(shè)有冷卻介質(zhì)進(jìn)ロ閥、冷卻介質(zhì)出ロ閥、廢氣進(jìn)ロ閥和廢氣出ロ閥，所述冷卻介質(zhì)進(jìn)ロ閥和廢氣出口閥位于所述外殼上部，所述冷卻介質(zhì)出ロ閥和廢氣進(jìn)ロ閥位于所述外殼下部，所述冷卻介質(zhì)進(jìn)ロ閥和冷卻介質(zhì)出ロ閥與所述殼程連通，所述廢氣進(jìn)ロ閥和廢氣出ロ閥與所述冷凝管連通。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的循環(huán)冷凝器，其特征在于所述冷卻介質(zhì)為氟利昂 或冷凍鹽水。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的循環(huán)冷凝器，其特征在于所述冷卻介質(zhì)進(jìn)ロ閥處和冷卻介質(zhì)出ロ閥處均設(shè)有ー冷卻介質(zhì)壓カ表。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的循環(huán)冷凝器，其特征在于所述廢氣進(jìn)ロ閥處和廢氣出口閥處均設(shè)有ー廢氣壓力表。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的循環(huán)冷凝器，其特征在于所述循環(huán)冷凝器為臥式結(jié)構(gòu)。
8.根據(jù)權(quán)利要求I所述的循環(huán)冷凝器，其特征在于所述循環(huán)冷凝器為立式結(jié)構(gòu)。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種循環(huán)冷凝器，用于冷凝多晶硅生產(chǎn)中產(chǎn)生的廢氣，包括外殼和設(shè)于所述外殼內(nèi)的若干冷凝管，所述外殼與冷凝管之間形成用于通入冷卻介質(zhì)的殼程，所述冷凝管為中空管，所述冷凝管用于通入尾氣并由所述冷卻介質(zhì)降溫冷凝，所述外殼最低處設(shè)有一與所述殼程相連通的排污閥。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供的循環(huán)冷凝器在清理殼程中的污垢時(shí)，不需要停產(chǎn)，即可將污垢液化并從排污閥排出，保證了正常生產(chǎn)，且污垢處理過程中不會(huì)出現(xiàn)尾氣泄露現(xiàn)象。
文檔編號(hào)B01D5/00GK202398135SQ20112056251
公開日2012年8月29日 申請(qǐng)日期2011年12月29日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月29日
發(fā)明者劉竹蘭, 吳思敏, 吳永新, 彭建華, 彭忠勇 申請(qǐng)人:江西賽維Ldk太陽能多晶硅有限公司