專利名稱：尾氣的處理方法和裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及尾氣處理領(lǐng)域，特別是指一種尾氣的處理方法和裝置。
背景技術(shù)：
隨著人們對(duì)環(huán)保的要求，工業(yè)制程的尾氣處理方式越來(lái)越受到人們的關(guān)注。目前， 制程的尾氣處理使用采用單一的熱處理技術(shù)。熱處理方式包括普通熱處理方式或者觸媒熱裂解方式。普通熱處理方式是利用高溫的方式產(chǎn)生的自由基與氟化物分解的氟物種反應(yīng)， 形成的最后產(chǎn)物為氫氟酸(溶于水)；經(jīng)過(guò)處理后的氣體再通過(guò)洗滌塔，利用水洗、吸附等方式去除危害性物質(zhì)。以下為SF6穩(wěn)定性較好且鍵能值較高的氣體處理化學(xué)式范例
權(quán)利要求
1.一種尾氣的處理方法，其特征在于，包括 獲取反應(yīng)腔的氣體的類型；根據(jù)所述氣體的類型，獲取對(duì)應(yīng)的尾氣處理方式； 對(duì)所述尾氣按照對(duì)應(yīng)的所述尾氣處理方式進(jìn)行處理。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的尾氣的處理方法，其特征在于，所述獲取反應(yīng)腔的氣體的類型的步驟具體為獲取反應(yīng)腔的氣體的鍵能值； 所述根據(jù)所述氣體的類型，獲取對(duì)應(yīng)的尾氣處理方式的步驟具體為根據(jù)所述氣體的鍵能值，獲取對(duì)應(yīng)的尾氣處理方式。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的尾氣的處理方法，其特征在于，所述根據(jù)所述氣體的鍵能值， 獲取對(duì)應(yīng)的尾氣處理方式的步驟具體為判斷所述氣體是否包含有鍵能值大于預(yù)定值的氣體，生成判斷結(jié)果； 如果所述判斷結(jié)果為是，則對(duì)應(yīng)的尾氣處理方式是電漿處理方式；否則，對(duì)應(yīng)的尾氣處理方式是熱處理方式。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的尾氣的處理方法，其特征在于，所述鍵能值大于預(yù)定值的氣體包括CF4或SF6,所述鍵能值小于或等于預(yù)定值的氣體包括CL2或BCL2。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的尾氣的處理方法，其特征在于，所述對(duì)所述尾氣按照對(duì)應(yīng)的所述尾氣處理方式進(jìn)行處理的步驟具體為控制所述反應(yīng)腔的尾氣的閥門，使所述反應(yīng)腔的尾氣進(jìn)入對(duì)應(yīng)的所述尾氣處理方式的處理腔，在所述對(duì)應(yīng)的所述尾氣處理方式的處理腔內(nèi)對(duì)所述氣體進(jìn)行處理。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的尾氣的處理方法，其特征在于，還包括 對(duì)處理后的所述尾氣進(jìn)行水溶解處理。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的尾氣的處理方法，其特征在于，所述獲取反應(yīng)腔的氣體的類型的步驟為獲取進(jìn)入反應(yīng)腔的氣體的類型，或者獲取從反應(yīng)腔排出的氣體的類型。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的尾氣的處理方法，其特征在于，應(yīng)用于等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積機(jī)的尾氣處理或耦合式電漿離子蝕刻機(jī)的尾氣處理。
9.一種尾氣處理裝置，其特征在于，包括 第一獲取單元，獲取反應(yīng)腔的氣體的類型；第二獲取單元，根據(jù)所述氣體的類型，獲取對(duì)應(yīng)的尾氣處理方式； 處理單元，對(duì)所述尾氣按照對(duì)應(yīng)的所述尾氣處理方式進(jìn)行處理。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的尾氣處理裝置，其特征在于， 第一獲取單元具體為獲取反應(yīng)腔的氣體的鍵能值；第二獲取單元具體為根據(jù)所述氣體的鍵能值，獲取對(duì)應(yīng)的尾氣處理方式。
全文摘要
本發(fā)明提供一種尾氣的處理方法和裝置，涉及尾氣處理領(lǐng)域，為解決現(xiàn)有技術(shù)中尾氣處理時(shí)采用熱處理方式時(shí)耗能較高的技術(shù)問(wèn)題而發(fā)明。所述的尾氣的處理方法，包括獲取反應(yīng)腔的氣體的類型；根據(jù)所述氣體的類型，獲取對(duì)應(yīng)的尾氣處理方式；對(duì)所述尾氣按照對(duì)應(yīng)的所述尾氣處理方式進(jìn)行處理。本發(fā)明能夠根據(jù)反應(yīng)腔的氣體的類型采用不同的尾氣處理方式，降低了采用單一熱處理方式時(shí)的耗能。
文檔編號(hào)B01D53/68GK102380292SQ20111025904
公開(kāi)日2012年3月21日 申請(qǐng)日期2011年9月5日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月5日
發(fā)明者劉秉承, 蘇賢恩, 馬擎天 申請(qǐng)人:協(xié)鑫光電科技(張家港)有限公司