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攪拌器及包括該攪拌器的鍍覆設(shè)備的制作方法

文檔序號:4995241閱讀:183來源:國知局
專利名稱:攪拌器及包括該攪拌器的鍍覆設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種攪拌器及包括該攪拌器的鍍覆設(shè)備(plating apparatus),且更具體地,本發(fā)明涉及一種能夠提高攪拌效率的攪拌器及包括該攪拌器的鍍覆設(shè)備。
背景技術(shù)
在半導(dǎo)體、平板顯示器及其他現(xiàn)有技術(shù)工業(yè)中使用各種溶液。例如,在制造印刷電路板(PCB)的工藝中,廣泛地使用各種類型的化學(xué)制劑(諸如蝕刻劑、顯影劑、以及洗滌劑)、以及用于噴墨印刷技術(shù)的各種類型的油墨組分、以及用于鍍覆工藝的鍍覆溶液。通常將這些溶液儲存在預(yù)定的儲存容器中,從而處于備用狀態(tài)中,且然后當需要供給時,將這些溶液從儲存容器選擇性地供給至預(yù)定的工藝設(shè)備中。因此,為了防止沉淀、 保持濃度并執(zhí)行處于供給備用狀態(tài)中的儲存容器中的溶液的均勻混合,所以儲存容器中安裝有預(yù)定的攪拌裝置。例如,在制造印刷電路板的傳統(tǒng)工藝中,執(zhí)行在絕緣襯底上形成金屬電路圖案的鍍覆工藝。這些鍍覆工藝可包括鎳(Ni)鍍覆工藝、鉛(Pb)鍍覆工藝、金(Au)鍍覆工藝等等。必須使用預(yù)定的鍍覆溶液來執(zhí)行這些鍍覆工藝。在這樣的條件下能提高鍍覆工藝的效率,即,此時所使用的鍍覆溶液保持在通過攪拌器均勻地攪拌的狀態(tài)中。因此,當鍍覆溶液的攪拌效率較低時,這成為降低鍍覆工藝的效率的主要原因。近年來,雖然大多數(shù)實際上所使用的攪拌器使用儲存容器中的旋轉(zhuǎn)體(諸如簡單的螺旋槳或葉輪)來攪拌鍍覆溶液,但是這種攪拌裝置具有較大的儲存容器中的鍍覆溶液的攪拌死區(qū),這降低了鍍覆溶液的攪拌效率。當攪拌器具有簡單的葉輪時,儲存容器中的攪拌死區(qū)占總鍍覆溶液的攪拌區(qū)域的約35%或更多,降低了攪拌效率。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服上述問題而發(fā)明本發(fā)明,且因此本發(fā)明的一目的是提供一種能夠提高攪拌效率的攪拌器。本發(fā)明的另一目的是提供一種能夠使攪拌死區(qū)最小化的攪拌器。本發(fā)明的再一目的是提供一種包括能夠提高鍍覆溶液的攪拌效率的攪拌器從而提高鍍覆工藝效率的鍍覆設(shè)備。根據(jù)本發(fā)明的一個方面,為了達到此目的,提供了一種攪拌器,包括儲存容器,用于儲存溶液;旋轉(zhuǎn)軸,可旋轉(zhuǎn)地安裝在儲存容器中;以及葉輪結(jié)構(gòu),布置在儲存容器中,并接合至旋轉(zhuǎn)軸,其中,葉輪結(jié)構(gòu)包括第一葉輪;第二葉輪,接合至第一葉輪的下部;以及分隔板,用于將第一葉輪和第二葉輪隔開。
根據(jù)本發(fā)明的一實施例,第一葉輪可包括多個第一葉片,從旋轉(zhuǎn)軸徑向地延伸; 以及第一連接板,用于連接多個第一葉片的端部,并平行于分隔板地布置,并且第二葉輪可包括多個第二葉片,從旋轉(zhuǎn)軸徑向地延伸;以及第二連接板,用于連接多個第二葉片的端部,并平行于分隔板地布置。根據(jù)本發(fā)明的一實施例,第一葉輪和第二葉輪相對于分隔板可為彼此對稱的。根據(jù)一實施例,第一葉輪可包括第一入口端口,用于將位于葉輪結(jié)構(gòu)的上部區(qū)域中的溶液引入到第一葉輪中;以及第一出口端口,用于將第一葉輪中的溶液排放至葉輪結(jié)構(gòu)的側(cè)面區(qū)域。根據(jù)本發(fā)明的一實施例,第二葉輪可包括第二入口端口,用于將位于葉輪結(jié)構(gòu)下部區(qū)域中的溶液引入到第二葉輪中;以及第二出口端口,用于將第二葉輪中的溶液排放至葉輪結(jié)構(gòu)的側(cè)面區(qū)域。根據(jù)本發(fā)明的一實施例,第一葉輪可包括從旋轉(zhuǎn)軸徑向地延伸的多個第一葉片, 其中,所述多個第一葉片傾斜,以在旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)方向上與分隔板隔開。根據(jù)本發(fā)明的一實施例,第二葉輪可包括從旋轉(zhuǎn)軸徑向地延伸的多個第二葉片, 其中,所述多個第二葉片傾斜,以在旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)方向上與分隔板隔開。根據(jù)本發(fā)明的另一方面,為了達到此目的,提供了一種攪拌器,包括儲存容器,用于儲存溶液;旋轉(zhuǎn)軸,可旋轉(zhuǎn)地安裝在儲存容器中;以及葉輪結(jié)構(gòu),接合至旋轉(zhuǎn)軸,并使用旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)力來為儲存容器中的溶液提供循環(huán)流動,其中,葉輪結(jié)構(gòu)通過豎直流動和水平流動來使溶液循環(huán),在上述豎直流動中,將位于葉輪結(jié)構(gòu)的上部區(qū)域和下部區(qū)域中的溶液引入到葉輪結(jié)構(gòu)中,并且在上述水平流動中,將引入的溶液排放至葉輪結(jié)構(gòu)的側(cè)面區(qū)域。根據(jù)本發(fā)明的一實施例,葉輪結(jié)構(gòu)可包括第一葉輪,用于引入位于葉輪結(jié)構(gòu)的上部區(qū)域中的溶液,并在側(cè)面方向上排放溶液;第二葉輪,用于引入位于葉輪結(jié)構(gòu)的下部區(qū)域中的溶液,并在側(cè)面方向上排放溶液;以及分隔板,用于將第一葉輪和第二葉輪隔開。根據(jù)本發(fā)明的一實施例,第一葉輪可包括多個第一葉片,從旋轉(zhuǎn)軸徑向地延伸; 以及第一連接板,用于連接多個第一葉片的端部,其中,所述多個第一葉片和第一連接板限定第一入口端口,用于引入溶液;第一出口端口,用于排放溶液;以及第一移動路徑,用于將溶液從第一入口端口引導(dǎo)至第一出口端口。根據(jù)本發(fā)明的一實施例,第二葉輪可包括多個第二葉片,從旋轉(zhuǎn)軸徑向地延伸; 以及第二連接板,用于連接多個第二葉片的端部,其中,所述多個第二葉片和第二連接板限定第二入口端口,用于引入溶液;第二出口端口,用于排放溶液;以及第二移動路徑,用于將溶液從第二入口端口引導(dǎo)至第二出口端口。根據(jù)本發(fā)明的一實施例,第一葉輪可包括從旋轉(zhuǎn)軸徑向地延伸的多個第一葉片, 并且第二葉輪可包括從旋轉(zhuǎn)軸徑向地延伸的多個第二葉片,其中,所述多個第一葉片傾斜, 以在旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)方向上與分隔板隔開,并且所述多個第二葉片傾斜,以在旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)方向上與分隔板隔開。根據(jù)本發(fā)明的再一方面,為了達到此目的,提供了一種鍍覆設(shè)備,包括鍍覆工藝部,用于使用鍍覆溶液對待鍍覆的對象執(zhí)行鍍覆工藝;以及鍍覆溶液攪拌部,用于攪拌鍍覆溶液,并將攪拌的鍍覆溶液供給到鍍覆工藝部中,其中,鍍覆溶液攪拌部包括儲存容器,用于儲存鍍覆溶液;鍍覆溶液供給線,用于將鍍覆溶液從儲存容器供給至鍍覆工藝部;旋轉(zhuǎn)軸,可旋轉(zhuǎn)地安裝在儲存容器中;以及葉輪結(jié)構(gòu),布置在儲存容器中并接合至旋轉(zhuǎn)軸,并且該葉輪結(jié)構(gòu)包括第一葉輪;第二葉輪,接合至第一葉輪的下部;以及分隔板,用于將第一葉輪和第二葉輪隔開。根據(jù)本發(fā)明的一實施例,鍍覆工藝部可進一步包括鍍覆槽,用于容納從鍍覆溶液供給線供給的鍍覆溶液;支撐體,用于支撐待鍍覆的對象;以及驅(qū)動器,用于將支撐體浸沒到鍍覆槽中的鍍覆溶液中。根據(jù)本發(fā)明的一實施例,鍍覆工藝部可進一步包括鍍覆溶液循環(huán)線,用于使鍍覆槽中的鍍覆溶液循環(huán)。根據(jù)本發(fā)明的一實施例,第一葉輪可包括多個第一葉片,從旋轉(zhuǎn)軸徑向地延伸; 以及第一連接板,用于連接多個第一葉片的端部,并且第二葉輪可包括多個第二葉片,從旋轉(zhuǎn)軸徑向地延伸;以及第二連接板,接合至第一葉輪的下部,并連接多個第二葉片的端部。根據(jù)本發(fā)明的一實施例,第一葉輪可包括第一入口端口,用于將位于葉輪結(jié)構(gòu)的上部區(qū)域中的溶液引入到第一葉輪中;以及第一出口端口,用于將第一葉輪中的溶液排放至葉輪結(jié)構(gòu)的側(cè)面區(qū)域,并且第二葉輪可包括第二入口端口,用于將位于葉輪結(jié)構(gòu)的下部區(qū)域中的溶液引入到第二葉輪中;以及第二出口端口,用于將第二葉輪中的溶液排放至葉輪結(jié)構(gòu)的側(cè)面區(qū)域。根據(jù)本發(fā)明的一實施例,第一葉輪可包括從旋轉(zhuǎn)軸徑向地延伸的多個第一葉片, 其中,所述多個第一葉片傾斜,以在第一葉輪的旋轉(zhuǎn)方向上與分隔板隔開,并且第二葉輪可包括從旋轉(zhuǎn)軸徑向地延伸的多個第二葉片,其中,所述多個第二葉片傾斜,以在第二葉輪的旋轉(zhuǎn)方向上與分隔板隔開。


從以下結(jié)合附圖對實施例的描述中,本總發(fā)明構(gòu)思的這些和/或其他方面及優(yōu)點將變得明顯并更易于理解,附圖中圖1是示出了根據(jù)本發(fā)明的一示例性實施例的攪拌器的視圖;圖2是示出了圖1所示的攪拌裝置的透視圖;圖3是用于解釋根據(jù)本發(fā)明的一示例性實施例的攪拌器的攪拌原理的視圖;圖4是圖2所示的攪拌裝置的一改進實例的透視圖;以及圖5是示出了根據(jù)本發(fā)明的一示例性實施例的包括攪拌器的鍍覆設(shè)備的視圖。
具體實施例方式在下文中,將參考附圖詳細地描述本發(fā)明的實施例。提供以下實施例作為實例,從而向本領(lǐng)域技術(shù)人員充分傳達本發(fā)明的精神。因此,本發(fā)明不應(yīng)被解釋為限于本文中所闡述的實施例,而是可以不同的形式來體現(xiàn)。在下文中,貫穿整個說明書,相同的組件由相同的參考標號表示。提供本文中所使用的術(shù)語,從而解釋實施例,而非限制本發(fā)明。貫穿本說明書,除非上下文另有明確指出,單數(shù)形式包括復(fù)數(shù)形式。當本文中使用術(shù)語“包含(comprises)” 和/或“包含(comprising) ”時,除了上述組件、步驟、操作和/或裝置以外,不排除其他組
7件、步驟、操作和/或裝置的存在和添加。在下文中,將參考附圖詳細地描述根據(jù)本發(fā)明的一示例性實施例的攪拌器。圖1示出根據(jù)本發(fā)明示例性實施例的攪拌器,而圖2示出圖1所示的攪拌裝置的透視圖。參考圖1和圖2,根據(jù)本發(fā)明的一示例性實施例的攪拌器100可包括儲存容器 110、以及安裝在儲存容器110中的攪拌裝置120。儲存容器110可提供用于容納和儲存預(yù)定的溶液101的內(nèi)部空間。儲存容器110 可使用各種形狀的罐、貯存器、槽等等。在本文中,溶液101可為半導(dǎo)體、平板顯示器和其他現(xiàn)有技術(shù)工業(yè)中使用的任何一種溶液。例如,溶液101可為各種類型的化學(xué)制劑(諸如蝕刻劑、顯影劑及洗滌劑)、用于噴墨印刷技術(shù)的各種類型的油墨組分、以及用于鍍覆工藝的鍍覆溶液中的任一種。例如,溶液101可為鍍覆溶液。攪拌裝置120能攪拌儲存容器110中的溶液101。攪拌裝置120可包括旋轉(zhuǎn)軸 130、以及接合至旋轉(zhuǎn)軸130的葉輪結(jié)構(gòu)140。旋轉(zhuǎn)軸130可旋轉(zhuǎn)地安裝在儲存容器110中。旋轉(zhuǎn)軸130可基本豎直地布置在儲存容器110中??赏ㄟ^預(yù)定的驅(qū)動設(shè)備(未示出)使旋轉(zhuǎn)軸130旋轉(zhuǎn),從而使葉輪結(jié)構(gòu)140 旋轉(zhuǎn)??赏ㄟ^旋轉(zhuǎn)軸130使葉輪結(jié)構(gòu)140在儲存容器110中旋轉(zhuǎn),從而攪拌溶液101。葉輪結(jié)構(gòu)140可包括第一葉輪141、接合至第一葉輪141的下部的第二葉輪145、以及用于將第一葉輪141和第二葉輪145隔開的分隔板149。因此,第一葉輪141和第二葉輪145具有雙層結(jié)構(gòu),并且分隔板149可構(gòu)造成將雙層結(jié)構(gòu)的各層隔開。第一葉輪141可包括第一葉片142和第一連接板143。第一葉片142中的每個葉片都可具有基本為薄板的形狀。第一葉片142可圍繞旋轉(zhuǎn)軸130在側(cè)面方向上從旋轉(zhuǎn)軸 130徑向地延伸。在本文中,第一葉片142中的每個葉片都可具有基本豎直的形狀。第一連接板143可構(gòu)造成連接第一葉片142的端部。另外,第一連接板143可具有基本平行于分隔板149的板的形狀。因而,第一連接板143可具有環(huán)的形狀,從而連接第一葉片142的端部的上部。第一葉片142、第一連接板143和分隔板149能限定溶液101流過的第一溶液移動路徑144。第一溶液流動路徑144可包括第一入口端口 144a,通過所述第一入口端口將位于葉輪結(jié)構(gòu)140的上部區(qū)域中的溶液101引入到第一葉輪141中;第一出口端口 144b,通過所述第一出口端口將通過第一入口端口 14 引入的溶液101排放至第一葉輪141的側(cè)面區(qū)域;以及第一流動路徑lMc,用于將溶液101從第一入口端口 14 引導(dǎo)至第一出口端口 144b。第一入口端口 14 可為向上開的孔,而第一出口端口 144b可為在側(cè)面方向上開的孔。第二葉輪145可構(gòu)造成結(jié)合第一葉輪141相對于分隔板149形成基本對稱的結(jié)構(gòu)。例如,第二葉輪145包括第二葉片146和第二連接板147。第二葉片146可具有結(jié)合第一葉片142相對于分隔板149基本對稱的結(jié)構(gòu),而第二連接板147可具有結(jié)合第一連接板相對于分隔板149基本對稱的結(jié)構(gòu)。第二葉片146、第二連接板147和分隔板149能限定溶液101流過的第二溶液移動路徑148。第二溶液流動路徑148可包括第二入口端口 148a,通過所述第二入口端口將位于葉輪結(jié)構(gòu)140的下部區(qū)域中的溶液101引入到第二葉輪145中;第二出口端口 148b,通過所述第二出口端口將通過第二入口端口 148a引入的溶液101排放至第二葉輪145的側(cè)面區(qū)域;以及第二流動路徑148c,用于將溶液101從第二入口端口 148a引導(dǎo)至第二出口端口 148b。第二入口端口 148a可為向下開的孔,而第二出口端口 148b可為在側(cè)面方向上開的孔。圖3是用于解釋根據(jù)本發(fā)明的一示例性實施例的攪拌器的攪拌原理的視圖。參考圖1至圖3,通過驅(qū)動設(shè)備(未示出)使旋轉(zhuǎn)軸130旋轉(zhuǎn),從而使攪拌裝置120在儲存容器 110中旋轉(zhuǎn)。此時,攪拌裝置120能為溶液提供循環(huán)流動,從而將位于葉輪結(jié)構(gòu)140的上部區(qū)域和下部區(qū)域中的溶液101引入到葉輪結(jié)構(gòu)140中,且然后排放至葉輪結(jié)構(gòu)140的側(cè)面區(qū)域。更特別地,葉輪結(jié)構(gòu)140的第一葉輪141能通過第一入口端口 14 將位于葉輪結(jié)構(gòu)140的上部區(qū)域中的溶液101引入到第一葉輪141中。通過第一入口端口 14 引入的溶液101沿第一流動路徑IMc流動,且然后通過第一出口端口 144b排放至第一葉輪141的側(cè)面區(qū)域。因此,第一葉輪141能強行地將位于葉輪結(jié)構(gòu)140的上部區(qū)域中的溶液101引入到第一葉輪141中,且然后強行地通過第一出口端口 144b排放溶液101,從而使溶液在葉輪結(jié)構(gòu)140的上部區(qū)域和側(cè)面區(qū)域中連續(xù)地循環(huán)。類似地,第二葉輪145能通過第二入口端口 148a將位于葉輪結(jié)構(gòu)140的下部區(qū)域中的溶液101引入到第二葉輪145中。通過第二入口端口 148a引入的溶液101沿第二流動路徑148c流動,且然后通過第二出口端口 148b排放至第二葉輪145的側(cè)面區(qū)域。因此, 第二葉輪145能強行地將位于葉輪結(jié)構(gòu)140的下部區(qū)域中的溶液101引入到第二葉輪145 中,且然后強行地通過第二出口端口 148b排放溶液101,從而使溶液在葉輪結(jié)構(gòu)140的下部區(qū)域和側(cè)面區(qū)域中連續(xù)地循環(huán)。因此,由于葉輪結(jié)構(gòu)140的旋轉(zhuǎn),能通過在儲存容器110中的豎直方向和水平方向上循環(huán)的流動來攪拌儲存容器110中的溶液101。在這種情況下,與通過豎直流動和水平流動中的任一種流動來攪拌儲存容器110中的溶液101的情況相比,可攪拌儲存容器110中的溶液101的整個區(qū)域,且因此,可使鍍覆溶液101的攪拌死區(qū)最小化。如上所述,根據(jù)本發(fā)明的一示例性實施例的攪拌器100包括用于儲存溶液101的儲存容器110、以及可旋轉(zhuǎn)地布置在儲存容器110中的葉輪結(jié)構(gòu)140。葉輪結(jié)構(gòu)140能引入位于葉輪結(jié)構(gòu)140的上部區(qū)域和下部區(qū)域中的溶液101,且然后將溶液101排放至葉輪結(jié)構(gòu) 140的側(cè)面區(qū)域,使儲存容器110中的溶液101循環(huán)。因此,由于根據(jù)本發(fā)明的攪拌器100 使儲存容器110中的溶液101在豎直方向和水平方向上循環(huán)并進行攪拌,所以可使儲存容器110中的攪拌死區(qū)最小化,并提高溶液的攪拌效率。接著,將詳細地描述根據(jù)本發(fā)明的一改進實例的攪拌裝置。在本文中,將省去或簡化對與參考圖1和圖2描述的攪拌器100重復(fù)的改進實例的攪拌器的描述。圖4是示出了圖2所示的攪拌裝置的一改進實例的透視圖。參考圖4,根據(jù)本發(fā)明的一改進實例的攪拌裝置120a包括旋轉(zhuǎn)軸130以及葉輪結(jié)構(gòu)140a。與關(guān)于圖2所描述的第一葉片142和第二葉片146不同,葉輪結(jié)構(gòu)140a可包括傾斜預(yù)定的角度的第一葉片14 和第二葉片146a。更特別地,攪拌裝置120a可包括相對于分隔板149接合至分隔板149的上部的第一葉輪141a、以及接合至分隔板149的下部的第二葉輪14fe。第一葉輪141a可包括從旋轉(zhuǎn)軸130徑向地布置的第一葉片142a、以及用于連接第一葉片14 的端部的第一連接板 143。第二葉輪14 可包括從旋轉(zhuǎn)軸130徑向地布置的第二葉片146a、以及用于連接第二葉片146a的端部的第二連接板147。在本文中,第一葉片14 和第二葉片146a可在旋轉(zhuǎn)軸130的旋轉(zhuǎn)方向上傾斜一定角度。例如,第一葉片14 可傾斜成在旋轉(zhuǎn)方向102與分隔板149隔開。另外,第二葉片 146a可傾斜成在旋轉(zhuǎn)方向102與分隔板149隔開。因此,第一葉片14 和第二葉片146a 可具有相對于分隔板149對稱的結(jié)構(gòu)。同時,通過分隔板149和第一葉片14 形成的第一角度θ 1可在約40°到85° 的范圍內(nèi)調(diào)節(jié)。當?shù)谝唤嵌圈?1小于40°或大于85°時,將溶液101引入到第一入口端口 14 中的效率可能會下降,從而降低溶液101的攪拌效率。類似地,通過分隔板149和第二葉片146a形成的第二角度θ 2可在約40°到85°的范圍內(nèi)調(diào)節(jié)。當?shù)诙嵌圈?2小于 40°或大于85°時,將溶液101引入到第二入口端口 148a中的效率可能會下降,從而降低溶液101的攪拌效率。如上所述,根據(jù)本發(fā)明的一改進實例的攪拌裝置120a可包括在旋轉(zhuǎn)軸130的旋轉(zhuǎn)方向上傾斜一定角度的第一葉片14 和第二葉片146a,提高將溶液101引入到葉輪結(jié)構(gòu) 140a中的效率。因此,根據(jù)本發(fā)明的一改進實例的攪拌器IOOa能夠提高溶液101的循環(huán)速率,從而提高攪拌效率。在下文中,將詳細地描述根據(jù)本發(fā)明的一示例性實施例的鍍覆設(shè)備。在本文中,將省去或簡化對根據(jù)本發(fā)明的一示例性實施例的與攪拌器100重復(fù)的鍍覆設(shè)備的描述。圖5是示出了根據(jù)本發(fā)明的一示例性實施例的包括攪拌器的鍍覆設(shè)備的視圖。參考圖5,根據(jù)本發(fā)明的一示例性實施例的鍍覆設(shè)備1可包括鍍覆溶液攪拌部10、以及用于使用從鍍覆溶液攪拌部10供給的鍍覆溶液101來執(zhí)行鍍覆工藝的鍍覆工藝部20。鍍覆溶液攪拌部10可包括至少一個攪拌器100。當提供多個攪拌器100時,這多個攪拌器100可交替地攪拌并供給鍍覆溶液101。攪拌器100可包括儲存容器110、攪拌裝置120、以及用于將儲存容器110中的鍍覆溶液101供給到鍍覆工藝部20中的鍍覆溶液供給線150。鍍覆溶液供給線150可包括降壓件152,諸如泵,從而選擇性地向鍍覆溶液供給線150中的鍍覆溶液101施加流動壓力。由于攪拌器100的其他特殊元件與參考圖1和圖2所描述的元件基本相同或相似,所以將不再重復(fù)對攪拌器100的詳細描述。鍍覆工藝部20可包括鍍覆槽210、浸沒件220、以及循環(huán)件230。鍍覆槽210可容納從鍍覆溶液供給線150供給的鍍覆溶液101。鍍覆槽210的上部敞開,并且敞開的上端可用作待鍍覆的對象202能進入或離開的通道。浸沒件220可支撐待鍍覆的對象202,從而使上述對象浸沒到鍍覆溶液101中。浸沒件220可包括用于支撐待鍍覆的對象202的支撐體222、以及用于豎直地提升支撐體222的驅(qū)動器224。循環(huán)件230可包括鍍覆溶液循環(huán)線232、以及安裝在鍍覆溶液循環(huán)線232上的泵234。另外,循環(huán)件230可進一步包括安裝在鍍覆溶液循環(huán)線232上的加熱器236和過濾器238。具有上述結(jié)構(gòu)的鍍覆設(shè)備238可通過以下方法來執(zhí)行鍍覆工藝。首先,鍍覆溶液攪拌部10的攪拌器能攪拌鍍覆溶液101。當完成鍍覆溶液101的攪拌時,降壓件152運作,
1從而能通過鍍覆溶液供給線150將儲存容器110中的鍍覆溶液101供給到鍍覆工藝部20 的鍍覆槽210中。當將鍍覆溶液101裝填到鍍覆槽210中的預(yù)置水平時,停止降壓件152的運作,從而中斷攪拌器100的鍍覆溶液101的供給。在本文中,攪拌裝置120可周期性地或連續(xù)地攪拌鍍覆溶液101,從而使鍍覆溶液101處于備用狀態(tài)。當開始鍍覆工藝部20的鍍覆工藝時,浸沒件220的支撐體222能支撐待鍍覆的對象202。待鍍覆的對象202可為各種類型的襯底。例如,待鍍覆的對象202可為印刷電路板(PCB)。當待鍍覆的對象202為襯底時,支撐體222能支撐多個待鍍覆的對象202,從而使這些對象彼此相對地布置且豎直地排列。另外,驅(qū)動器2M能使支撐體222移動,從而使待鍍覆的對象202能浸沒到鍍覆槽210中的鍍覆溶液101中。隨后,能執(zhí)行待鍍覆的對象 202的鍍覆工藝。在鍍覆工藝中間,循環(huán)件230能使鍍覆槽210中的鍍覆溶液101循環(huán)。例如,當泵 234運作時,能通過鍍覆溶液循環(huán)線232使鍍覆槽210中的鍍覆溶液101循環(huán)。此時,通過加熱器236將鍍覆溶液101加熱至預(yù)置的溫度,并且過濾器238過濾雜質(zhì)。如上所述,根據(jù)本發(fā)明的一示例性實施例的鍍覆設(shè)備100包括鍍覆溶液攪拌部10 和鍍覆工藝部20,并且鍍覆溶液攪拌部10包括用于通過豎直流動方法和水平流動方法來使儲存容器110中的鍍覆溶液101循環(huán)并進行攪拌的攪拌裝置120,提高了鍍覆溶液101的攪拌效率。因此,根據(jù)本發(fā)明的鍍覆設(shè)備能提高鍍覆溶液的攪拌效率,從而降低由于鍍覆工藝期間鍍覆溶液的非均勻攪拌而引起的鍍覆誤差,提高了鍍覆工藝的效率。如從上述內(nèi)容可見,根據(jù)本發(fā)明的攪拌器包括用于儲存溶液(例如鍍覆溶液)的儲存容器以及用于攪拌鍍覆溶液的葉輪結(jié)構(gòu),并且葉輪結(jié)構(gòu)將位于葉輪結(jié)構(gòu)的上部區(qū)域和下部區(qū)域中的溶液引入其中,并將溶液排放至葉輪結(jié)構(gòu)的側(cè)面區(qū)域,使儲存容器中的溶液循環(huán)。因此,根據(jù)本發(fā)明的攪拌器通過豎直流動方法和水平流動方法來使儲存容器中的溶液循環(huán)并進行攪拌,從而使儲存容器中的鍍覆溶液的攪拌死區(qū)最小化,提高了溶液的攪拌效率。根據(jù)本發(fā)明的鍍覆設(shè)備包括用于攪拌鍍覆溶液的鍍覆溶液攪拌部以及用于接收通過鍍覆溶液攪拌部攪拌的鍍覆溶液以執(zhí)行鍍覆工藝的鍍覆工藝部,并且鍍覆溶液攪拌部包括用于通過豎直流動方法和水平流動方法來使儲存容器中的鍍覆溶液循環(huán)并進行攪拌的攪拌裝置。因此,根據(jù)本發(fā)明的鍍覆設(shè)備能提高鍍覆溶液的攪拌效率,從而降低由于鍍覆工藝期間鍍覆溶液的非均勻攪拌所引起的鍍覆誤差,提高了鍍覆工藝的效率。如上所述,雖然已示出并描述了本發(fā)明的優(yōu)選實施例,但本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)理解的是,不背離總發(fā)明構(gòu)思的原理和精神的前提下,可對這些實施例進行替代、更改和改變, 總發(fā)明構(gòu)思的范圍限定在所附權(quán)利要求及其等同物中。
權(quán)利要求
1.一種攪拌器,包括 儲存容器,用于儲存溶液;旋轉(zhuǎn)軸,可旋轉(zhuǎn)地安裝在所述儲存容器中;以及葉輪結(jié)構(gòu),布置在所述儲存容器中,并接合至所述旋轉(zhuǎn)軸, 其中,所述葉輪結(jié)構(gòu)包括 第一葉輪;第二葉輪,接合至所述第一葉輪的下部;以及分隔板,用于將所述第一葉輪和第二葉輪隔開。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的攪拌器,其中,所述第一葉輪包括 多個第一葉片,從所述旋轉(zhuǎn)軸徑向地延伸;以及第一連接板,用于連接所述多個第一葉片的端部,并平行于所述分隔板地布置,并且所述第二葉輪包括多個第二葉片,從所述旋轉(zhuǎn)軸徑向地延伸;以及第二連接板,用于連接所述多個第二葉片的端部,并平行于所述分隔板地布置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的攪拌器,其中,所述第一葉輪和所述第二葉輪相對于所述分隔板是彼此對稱的。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的攪拌器,其中,所述第一葉輪包括第一入口端口,用于將位于所述葉輪結(jié)構(gòu)的上部區(qū)域中的溶液引入到所述第一葉輪中;以及第一出口端口,用于將所述第一葉輪中的溶液排放至所述葉輪結(jié)構(gòu)的側(cè)面區(qū)域。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的攪拌器,其中,所述第二葉輪包括第二入口端口,用于將位于所述葉輪結(jié)構(gòu)的下部區(qū)域中的溶液引入到所述第二葉輪中;以及第二出口端口,用于將所述第二葉輪中的溶液排放至所述葉輪結(jié)構(gòu)的側(cè)面區(qū)域。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的攪拌器,其中,所述第一葉輪包括從所述旋轉(zhuǎn)軸徑向地延伸的多個第一葉片,其中,所述多個第一葉片傾斜,以在所述旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)方向上與所述分隔板隔開。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的攪拌器,其中,所述第二葉輪包括從所述旋轉(zhuǎn)軸徑向地延伸的多個第二葉片,其中,所述多個第二葉片傾斜,以在所述旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)方向上與所述分隔板隔開。
8.一種攪拌器,包括 儲存容器,用于儲存溶液;旋轉(zhuǎn)軸,可旋轉(zhuǎn)地安裝在所述儲存容器中;以及葉輪結(jié)構(gòu),接合至所述旋轉(zhuǎn)軸,并使用所述旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)力來為所述儲存容器中的溶液提供循環(huán)流動,其中,所述葉輪結(jié)構(gòu)通過豎直流動和水平流動來使所述溶液循環(huán),在所述豎直流動中, 將位于所述葉輪結(jié)構(gòu)的上部區(qū)域和下部區(qū)域中的溶液引入到所述葉輪結(jié)構(gòu)中,并且在所述水平流動中,將引入的溶液排放至所述葉輪結(jié)構(gòu)的側(cè)面區(qū)域。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的攪拌器,其中,所述葉輪結(jié)構(gòu)包括第一葉輪,用于引入位于所述葉輪結(jié)構(gòu)的上部區(qū)域中的溶液,并在側(cè)面方向上排放該溶液;第二葉輪,用于引入位于所述葉輪結(jié)構(gòu)的下部區(qū)域中的溶液,并在側(cè)面方向上排放該溶液;以及分隔板,用于將所述第一葉輪和第二葉輪隔開。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的攪拌器,其中,所述第一葉輪包括 多個第一葉片,從所述旋轉(zhuǎn)軸徑向地延伸;以及第一連接板,用于連接所述多個第一葉片的端部,其中,所述多個第一葉片和所述第一連接板限定第一入口端口,用于引入所述溶液; 第一出口端口,用于排放所述溶液;以及第一移動路徑,用于將所述溶液從所述第一入口端口引導(dǎo)至所述第一出口端口。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的攪拌器,其中,所述第二葉輪包括 多個第二葉片,從所述旋轉(zhuǎn)軸徑向地延伸;以及第二連接板,用于連接所述多個第二葉片的端部,其中,所述多個第二葉片和所述第二連接板限定第二入口端口,用于引入所述溶液; 第二出口端口,用于排放所述溶液;以及第二移動路徑,用于將所述溶液從所述第二入口端口引導(dǎo)至所述第二出口端口。
12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的攪拌器,其中,所述第一葉輪包括從所述旋轉(zhuǎn)軸徑向地延伸的多個第一葉片,并且所述第二葉輪包括從所述旋轉(zhuǎn)軸徑向地延伸的多個第二葉片,其中,所述多個第一葉片傾斜,以在所述旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)方向上與所述分隔板隔開,并且所述多個第二葉片傾斜,以在所述旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)方向上與所述分隔板隔開。
13.一種鍍覆設(shè)備,包括鍍覆工藝部,用于使用鍍覆溶液對待鍍覆的對象執(zhí)行鍍覆工藝;以及鍍覆溶液攪拌部,用于攪拌所述鍍覆溶液,并將攪拌的鍍覆溶液供給到所述鍍覆工藝部中,其中,所述鍍覆溶液攪拌部包括 儲存容器,用于儲存所述鍍覆溶液;鍍覆溶液供給線,用于將所述鍍覆溶液從所述儲存容器供給至所述鍍覆工藝部; 旋轉(zhuǎn)軸,可旋轉(zhuǎn)地安裝在所述儲存容器中;以及葉輪結(jié)構(gòu),布置在所述儲存容器中,并接合至所述旋轉(zhuǎn)軸,并且所述葉輪結(jié)構(gòu)包括 第一葉輪;第二葉輪,接合至所述第一葉輪的下部;以及分隔板,用于將所述第一葉輪和第二葉輪隔開。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的鍍覆設(shè)備,其中,所述鍍覆工藝部進一步包括 鍍覆槽,用于容納從所述鍍覆溶液供給線供給的鍍覆溶液;支撐體,用于支撐所述待鍍覆的對象;以及驅(qū)動器,用于將所述支撐體浸沒到所述鍍覆槽中的鍍覆溶液中。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的鍍覆設(shè)備,其中,所述鍍覆工藝部進一步包括鍍覆溶液循環(huán)線,用于使所述鍍覆槽中的鍍覆溶液循環(huán)。
16.根據(jù)權(quán)利要求13所述的鍍覆設(shè)備,其中,所述第一葉輪包括 多個第一葉片,從所述旋轉(zhuǎn)軸徑向地延伸;以及第一連接板,用于連接所述多個第一葉片的端部,并且所述第二葉輪包括多個第二葉片,從所述旋轉(zhuǎn)軸徑向地延伸;以及第二連接板,接合至所述第一葉輪的下部,并連接所述多個第二葉片的端部。
17.根據(jù)權(quán)利要求13所述的鍍覆設(shè)備,其中,所述第一葉輪包括第一入口端口,用于將位于所述葉輪結(jié)構(gòu)的上部區(qū)域中的溶液引入到所述第一葉輪中;以及第一出口端口,用于將所述第一葉輪中的溶液排放至所述葉輪結(jié)構(gòu)的側(cè)面區(qū)域,并且所述第二葉輪包括第二入口端口,用于將位于所述葉輪結(jié)構(gòu)的下部區(qū)域中的溶液引入到所述第二葉輪中;以及第二出口端口,用于將所述第二葉輪中的溶液排放至所述葉輪結(jié)構(gòu)的側(cè)面區(qū)域。
18.根據(jù)權(quán)利要求13所述的鍍覆設(shè)備,其中,所述第一葉輪包括從所述旋轉(zhuǎn)軸徑向地延伸的多個第一葉片,其中,所述多個第一葉片傾斜,以在所述第一葉輪的旋轉(zhuǎn)方向上與所述分隔板隔開,并且所述第二葉輪包括從所述旋轉(zhuǎn)軸徑向地延伸的多個第二葉片, 其中,所述多個第二葉片傾斜,以在所述第二葉輪的旋轉(zhuǎn)方向上與所述分隔板隔開。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種攪拌器及包括該攪拌器的鍍覆設(shè)備,所述攪拌器包括儲存容器,用于儲存溶液;旋轉(zhuǎn)軸,可旋轉(zhuǎn)地安裝在儲存容器中;以及葉輪結(jié)構(gòu),布置在儲存容器中,并接合至旋轉(zhuǎn)軸,其中,葉輪結(jié)構(gòu)包括第一葉輪;第二葉輪,接合至第一葉輪的下部;以及分隔板,用于將第一葉輪和第二葉輪隔開。
文檔編號B01F7/26GK102380326SQ201110259010
公開日2012年3月21日 申請日期2011年9月2日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月6日
發(fā)明者吳世民, 崔鳳奎, 柳達鉉 申請人:三星電機株式會社
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