專利名稱：一種油擴散泵用的帶有節(jié)流閥的組合冷阱的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種油擴散泵用的冷阱，更具體地說，涉及一種油擴散泵用的帶 有節(jié)流閥的組合冷阱。
背景技術(shù)：
真空鍍膜機若采用擴散泵為主抽泵的抽氣機組，在擴散泵上接口通常會連接冷 阱，然后連接高真空閥，進(jìn)而連接節(jié)流閥，再與鍍膜室連接。冷阱的作用是將擴散泵逆擴散到鍍室方向的油蒸汽強制冷凝成油滴流回擴散泵， 防止“返油”避免污染鍍室以及泵油耗損致使擴散泵不能正常工作。現(xiàn)有冷阱一般采用一組 焊在冷卻水管上的與泵軸線成一定傾角的遮擋片，排滿冷阱口徑上，擋住油蒸汽外溢，有單 層也有兩層、三層結(jié)構(gòu)，各層的遮擋片傾角方向交錯。高效冷阱則采用深冷介質(zhì)代替水冷， 如用液氮或環(huán)保型氟利昂代替品等，連通制冷設(shè)備運行。節(jié)流閥的作用是調(diào)控抽氣速率以保證鍍膜時鍍室內(nèi)的氣壓穩(wěn)定在工藝要求的范 圍內(nèi)?，F(xiàn)有的節(jié)流閥一般釆用百葉窗式或轉(zhuǎn)動擋板式兩類，它安裝在鍍室抽氣口附近，以轉(zhuǎn) 動百葉窗的葉片傾角或轉(zhuǎn)動擋板的角度來控制抽氣口的開關(guān)程度，達(dá)到對鍍室的抽氣速率 調(diào)節(jié)。鍍膜時往往會通入工作氣體和反應(yīng)氣體，除了控制通入氣體的流量外，調(diào)控抽氣速率 也是穩(wěn)定鍍室氣氛的重要手段，所以節(jié)流閥是不可或缺的?，F(xiàn)有真空鍍膜機的冷阱和節(jié)流閥兩者是分立的部件，而且一般把節(jié)流閥安裝在鍍 室抽氣口附近，這種配置有兩個缺點其一，分立的節(jié)流閥占據(jù)了抽氣管道一段空間，增加 了抽氣管道長度，即增加了氣阻；其二，節(jié)流閥貼近鍍室，在鍍膜時一般都會在一定程度關(guān) 閉節(jié)流閥，則在節(jié)流閥前后形成較大的壓力差，這導(dǎo)致鍍室抽氣口附近的一個區(qū)域比遠(yuǎn)離 此區(qū)域的氣體流動更雜亂、不穩(wěn)定，此區(qū)域成為潛在的鍍膜工藝不穩(wěn)定區(qū)。為了克服上述缺 點，一要設(shè)計更緊湊實用的節(jié)流閥，二要讓節(jié)流閥遠(yuǎn)離鍍室抽氣口。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)緊湊、氣阻小并且可以保證鍍膜區(qū)域氣流穩(wěn) 定的油擴散泵用的帶有節(jié)流閥的組合冷阱。本實用新型的上述目的可以通過如下的技術(shù)手段加以實現(xiàn)一種油擴散泵用的帶 有節(jié)流閥的組合冷阱，包括冷阱體，上法蘭和下法蘭，所述組合冷阱還包括冷卻裝置和節(jié)流 閥，所述下法蘭安裝在冷阱體的下端，上法蘭安裝在冷阱體的上端，所述冷卻裝置和節(jié)流閥 由下而上依次安裝在冷阱體的內(nèi)部。所述的冷卻裝置為固定安裝在冷阱體內(nèi)部的水冷遮擋組件，所述水冷遮擋組件安 裝在冷阱體的內(nèi)壁下端。所述的冷卻裝置也可以為固定安裝在冷阱體內(nèi)部的低溫冷凝組件，所述低溫冷凝 組件安裝在冷阱體的內(nèi)壁下端。所述的冷卻裝置為還可以為固定安裝在冷阱體內(nèi)部的水冷遮擋組件和低溫冷凝組件，所述水冷遮擋組件固定安裝在冷阱體的內(nèi)壁下端，所述低溫冷凝組件固定安裝在冷 阱體的內(nèi)部、所述水冷遮擋組件和節(jié)流閥之間。所述的水冷遮擋組件包括多個水冷遮擋單元，所述水冷遮擋單元包括冷卻水管 和遮擋片，所述遮擋片固定在冷卻水管上，多個水冷遮擋單元平行安裝在冷阱體內(nèi)壁下端 構(gòu)成水冷遮擋組件。所述遮擋片采用焊接的方式固定在冷卻水管上。所述的低溫冷凝組件為可流通深冷介質(zhì)的冷凝盤管。所述的冷凝盤管為銅質(zhì)水管。所述節(jié)流閥為百葉窗式結(jié)構(gòu)，所述節(jié)流閥包括中間開孔的的閉合板、節(jié)流板、連 桿、轉(zhuǎn)動軸和密封座，所述閉合板固定在所述冷阱體的內(nèi)壁上部，所述節(jié)流板通過轉(zhuǎn)動軸安 裝在閉合板的開孔內(nèi)，節(jié)流板固定安裝在轉(zhuǎn)動軸上并且彼此平行，所述轉(zhuǎn)動軸通過連桿連 接并且可以同步聯(lián)動，其中一根轉(zhuǎn)動軸穿出冷阱體，這根轉(zhuǎn)動軸通過安裝在冷阱體外壁上 的密封座連接外延軸。本實用新型的有益之處在于1.節(jié)流閥不再需要額外占據(jù)抽氣管道空間，縮短了 抽氣管道長度，從而可以有效減小氣阻；其二，節(jié)流閥與冷阱組合安裝在一起，遠(yuǎn)離鍍室抽 氣口，可以有效避免鍍室抽氣口附近區(qū)域氣流的不均勻和不穩(wěn)定，從而保證鍍膜工藝的穩(wěn)定。
以下結(jié)合
與具體實施例對本實用新型做進(jìn)一步的說明。圖1是本實用新型其中一個實施例的立體圖(冷阱體部分剖開)。
具體實施方式
如圖1所示的油擴散泵用的帶有節(jié)流閥的組合冷阱，包括冷阱體1，上法蘭3和下 法蘭2，水冷遮擋組件4、低溫冷凝組件9和節(jié)流閥13，節(jié)流閥13為百葉窗式結(jié)構(gòu)，節(jié)流閥 13包括中間開孔的的閉合板14、節(jié)流板15、連桿18、轉(zhuǎn)動軸17和密封座19，閉合板14固定 在冷阱體1的內(nèi)壁上部，節(jié)流板15通過轉(zhuǎn)動軸17安裝在閉合板14的開孔內(nèi)，節(jié)流板15固 定安裝在轉(zhuǎn)動軸17上并且彼此平行，轉(zhuǎn)動軸17通過連桿18連接并且可以同步聯(lián)動，其中 一根轉(zhuǎn)動軸17穿出冷阱體1，這根轉(zhuǎn)動軸通過安裝在冷阱體1外壁上的密封座19連接外 延軸20。低溫冷凝組件9包括深冷介質(zhì)出口 12和深冷介質(zhì)入口 11以及可流通深冷介質(zhì)的 冷凝盤管10。水冷遮擋組件4包括多個水冷遮擋單元，水冷遮擋單元包括銅質(zhì)冷卻水管5 和遮擋片6，遮擋片6焊接在銅質(zhì)冷卻水管5上，多個水冷遮擋單元平行安裝在冷阱體1內(nèi) 壁下端，并且讓各水冷遮擋單元中的遮擋片與水平面傾斜。水冷遮擋組件4以進(jìn)水口 7和 出水口 8與外置冷水機或其它冷卻水循環(huán)系統(tǒng)連成回路。上述水冷遮擋組件4、低溫冷凝組件9和節(jié)流閥13由下而上依次安裝在冷阱體1 的內(nèi)部，下法蘭2安裝在冷阱體1的下端，上法蘭3安裝在冷阱體1的上端，對組合冷阱加 以緊固。在真空鍍膜系統(tǒng)中，水冷遮擋組件4以進(jìn)水口 7和出水口 8與外置冷水機或其它 冷卻水循環(huán)系統(tǒng)連成回路，入口水溫調(diào)控在10°C 15°c，它起著遮擋和冷凝逆向擴散的油
4蒸汽的第一道防線作用；低溫冷凝組件9以深冷介質(zhì)進(jìn)口 11和深冷介質(zhì)出口 12連接制冷 設(shè)備回路，深冷介質(zhì)可以是液氮或環(huán)保型低溫制冷劑，制冷劑入口溫度可以調(diào)控-100°C以 下，可冷凝捕集逃逸出水冷遮擋組件4的油蒸汽；節(jié)流閥13由驅(qū)動裝置拖動使其活動閥板 即節(jié)流板作零角至90度轉(zhuǎn)動，零度對應(yīng)節(jié)流板18平行于冷阱軸向，相應(yīng)節(jié)流閥13全開 ’轉(zhuǎn) 至90度對應(yīng)節(jié)流板18垂直于冷阱軸向，相應(yīng)節(jié)流閥13全關(guān)閉。在鍍膜機鍍膜作業(yè)前、后 抽真空階段，節(jié)流閥13 —般處全開狀態(tài)，以全速抽氣。當(dāng)進(jìn)入鍍膜作業(yè)階段，按鍍膜工藝對 鍍室內(nèi)氣氛、氣壓等要求，調(diào)節(jié)節(jié)流閥13的活動節(jié)流板15的張角，從0度至90角以調(diào)節(jié)抽 氣速率，保證鍍室所需的穩(wěn)定氣流和壓力。驅(qū)動裝置可以手動，外置轉(zhuǎn)動角度標(biāo)盤，用銷孔 定位；也可以用氣動，即用壓縮空氣推動氣缸內(nèi)活塞運動，通過連桿和曲柄機構(gòu)，帶動轉(zhuǎn)軸 轉(zhuǎn)動，可調(diào)節(jié)拉桿長短預(yù)置轉(zhuǎn)動角度。也可以電機拖動和限位開關(guān)定位轉(zhuǎn)動調(diào)控角度，也可 以采用步進(jìn)電機或伺服電機控制轉(zhuǎn)動角度。 以上實施例是供理解本實用新型之用，并非是對本實用新型的限制，有關(guān)領(lǐng)域的 普通技術(shù)人員，在權(quán)利要求所述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，還可以作出多種變化或變型，比如上述 實施例所述的一層水冷遮擋組件、低溫冷凝組件和一層節(jié)流閥組成的三層結(jié)構(gòu)，也可以是 兩層或多層水冷遮擋組件和一層節(jié)流閥的結(jié)構(gòu)，還可以兩層低溫冷凝組件和一層節(jié)流閥， 此外，還可以簡化為兩層結(jié)構(gòu)，即一層水冷遮擋組件和一層節(jié)流閥，或一層低溫冷凝組件和 一層節(jié)流閥，此外，低溫冷凝組件的冷凝盤管也可焊上遮擋片，這些變化或變型應(yīng)當(dāng)理解為 仍屬于本實用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種油擴散泵用的帶有節(jié)流閥的組合冷阱，包括冷阱體(1)，上法蘭(3)和下法蘭 (2)，其特征在于所述組合冷阱還包括節(jié)流閥(13)，所述下法蘭(2)安裝在冷阱體(1)的下 端，上法蘭(3)安裝在冷阱體(1)的上端，所述冷卻裝置和節(jié)流閥(13)由下而上依次安裝在 冷阱體(1)的內(nèi)部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶有節(jié)流閥的組合冷阱，其特征在于所述的冷卻裝置為固 定安裝在冷阱體(1)內(nèi)部的水冷遮擋組件(4)，所述水冷遮擋組件(4)安裝在冷阱體(1)的 內(nèi)壁下端。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶有節(jié)流閥的組合冷阱，其特征在于所述的冷卻裝置為固 定安裝在冷阱體(1)內(nèi)部的低溫冷凝組件(9)，所述低溫冷凝組件(9)安裝在冷阱體(1)的 內(nèi)壁下端。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶有節(jié)流閥的組合冷阱，其特征在于所述的冷卻裝置為固 定安裝在冷阱體(1)內(nèi)部的水冷遮擋組件(4)和低溫冷凝組件(9)，所述水冷遮擋組件(4) 固定安裝在冷阱體(1)的內(nèi)壁下端，所述低溫冷凝組件(9)固定安裝在冷阱體(1)的內(nèi)部、 所述水冷遮擋組件(4 )和節(jié)流閥(13 )之間。
5.根據(jù)權(quán)利要求2或4任一項所述油擴散泵用的帶有節(jié)流閥的組合冷阱，其特征在 于所述的水冷遮擋組件(4)包括多個水冷遮擋單元，所述水冷遮擋單元包括冷卻水管 (5)和遮擋片(6)，所述遮擋片(6)固定在冷卻水管(5)上，多個水冷遮擋單元平行安裝在冷 阱體(1)內(nèi)壁下端構(gòu)成水冷遮擋組件(4)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述油擴散泵用的帶有節(jié)流閥的組合冷阱，其特征在于所述遮擋 片(6)采用焊接的方式固定在冷卻水管(5)上。
7.根據(jù)權(quán)利要求3或4任一項所述油擴散泵用的帶有節(jié)流閥的組合冷阱，其特征在 于所述的低溫冷凝組件(9)為可流通深冷介質(zhì)的冷凝盤管(10)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述油擴散泵用的帶有節(jié)流閥的組合冷阱，其特征在于所述的冷 凝盤管(10)為銅質(zhì)水管。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項所述油擴散泵用的帶有節(jié)流閥的組合冷阱，其特征在 于所述節(jié)流閥(13)為百葉窗式結(jié)構(gòu)，所述節(jié)流閥(13)包括中間開孔的的閉合板(14)、節(jié) 流板(15)、連桿(18)、轉(zhuǎn)動軸(17)和密封座(19)，所述閉合板(14)固定在所述冷阱體(1) 的內(nèi)壁上部，所述節(jié)流板(15)通過轉(zhuǎn)動軸(17)安裝在閉合板(14)的開孔內(nèi)，節(jié)流板(15) 固定安裝在轉(zhuǎn)動軸(17)上并且彼此平行，所述轉(zhuǎn)動軸(17)通過連桿(18)連接并且可以同 步聯(lián)動，其中一根轉(zhuǎn)動軸(17)穿出冷阱體(1)，這根轉(zhuǎn)動軸通過安裝在冷阱體(1)外壁上 的密封座(19)連接外延軸(20)。
專利摘要一種油擴散泵用的帶有節(jié)流閥的組合冷阱，包括冷阱體，上法蘭和下法蘭，其特征在于所述組合冷阱還包括冷卻裝置和節(jié)流閥，所述下法蘭安裝在冷阱體的下端，上法蘭安裝在冷阱體的上端，所述冷卻裝置和節(jié)流閥由下而上依次安裝在冷阱體的內(nèi)部。這種組合冷阱結(jié)構(gòu)緊湊、氣阻小并且可以保證鍍膜區(qū)域氣流穩(wěn)定。
文檔編號B01D8/00GK201855590SQ20102059702
公開日2011年6月8日 申請日期2010年11月9日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月9日
發(fā)明者李志方, 李志榮, 李秋霞, 羅志明 申請人:東莞市匯成真空科技有限公司