專利名稱：隔離器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種隔離器。
背景技術(shù)：
隔離器是內(nèi)部具有處于無菌環(huán)境的作業(yè)室，且用于在作業(yè)室中進(jìn)行要求無菌環(huán)境 的作業(yè)、例如細(xì)胞培養(yǎng)等以來自生物體的材料為對(duì)象的作業(yè)的裝置。在此，無菌環(huán)境是指為 避免在作業(yè)室進(jìn)行的作業(yè)所需的物質(zhì)以外的物質(zhì)混入而無限接近無塵無菌的環(huán)境。在隔離器中，為了確保作業(yè)室的無菌環(huán)境，向作業(yè)室內(nèi)供給過氧化氫等殺菌物質(zhì)， 實(shí)施對(duì)作業(yè)室內(nèi)進(jìn)行殺菌的殺菌處理(參照專利文獻(xiàn)1及2)。在專利文獻(xiàn)1所記載的隔離 器系統(tǒng)中，液態(tài)的過氧化氫與干燥的高溫空氣接觸而氣化，將過氧化氫氣體供給于隔離器。 另外，專利文獻(xiàn)2所記載的凈化裝置利用加熱部使過氧化氫水蒸發(fā)而產(chǎn)生過氧化氫氣體， 將該過氧化氫氣體供給于隔離器。另外，當(dāng)殺菌處理中殺菌物質(zhì)從包括作業(yè)室的被殺菌空間大量漏出時(shí)，殺菌物質(zhì) 濃度降低，存在不能夠進(jìn)行充分的殺菌的情況。另外，由于過氧化氫等殺菌物質(zhì)對(duì)人體有 害，因此，優(yōu)選殺菌物質(zhì)不漏出到隔離器外部。因此，在專利文獻(xiàn)2所記載的凈化裝置中，在 供給殺菌物質(zhì)前，實(shí)施隔離器的泄漏試驗(yàn)(漏泄試驗(yàn))。另外，在隔離器中，為了確保作業(yè)室內(nèi)的無菌環(huán)境，從氣體供給部取入的空氣經(jīng)由 設(shè)于氣體供給部與作業(yè)室之間的HEPA過濾器(High Efficiency Particulate Air過濾 器)等微粒子捕集過濾器供給于作業(yè)室。另外，作業(yè)室內(nèi)的空氣經(jīng)由設(shè)于作業(yè)室和氣體排 出部之間的微粒子捕集過濾器從氣體排出部排出。另外，在作業(yè)室內(nèi)的一個(gè)作業(yè)結(jié)束后，進(jìn)行下一個(gè)作業(yè)時(shí)，從殺菌物質(zhì)供給部向作 業(yè)室內(nèi)噴射例如過氧化氫作為殺菌物質(zhì)，對(duì)作業(yè)室內(nèi)進(jìn)行殺菌(參照專利文獻(xiàn)3)。作為隔離器內(nèi)的殺菌物質(zhì)的濃度測(cè)定方法，已知有實(shí)時(shí)測(cè)定殺菌腔內(nèi)的殺菌劑濃 度的系統(tǒng)，其目的在于，確認(rèn)氣體濃度推移是否符合實(shí)現(xiàn)殺菌的條件(參照專利文獻(xiàn)4)。另 外，已知有在作為殺菌氣體的過氧化氫氣體產(chǎn)生器的氣體流上游和下游分別測(cè)定溫度和濕 度的系統(tǒng)，其目的在于，判定供給于殺菌腔的過氧化氫氣體濃度(參照專利文獻(xiàn)5)。專利文獻(xiàn)1 日本特開2006-68122號(hào)公報(bào)；專利文獻(xiàn)2 日本特開2005-218548號(hào)公報(bào)；專利文獻(xiàn)3 日本特開2005-312799號(hào)公報(bào)；專利文獻(xiàn)4 日本特開2008-68088號(hào)公報(bào)；專利文獻(xiàn)5 日本特開2007-202628號(hào)公報(bào)。在如上所述的狀況下，本發(fā)明人們認(rèn)識(shí)到以下課題。在上述的專利文獻(xiàn)1及2的 結(jié)構(gòu)中，為了穩(wěn)定地生成均勻濃度的過氧化氫氣體，需要在對(duì)乾燥空氣或過氧化氫水自身 進(jìn)行加熱的加熱器升溫至所期望的溫度后，開始過氧化氫氣體的生成。另一方面，若正在實(shí)施隔離器的漏泄試驗(yàn)時(shí)開始加熱器的升溫，則隔離器內(nèi)的壓 力因加熱器的熱而變動(dòng)。另外，隔離器內(nèi)的壓力因加熱器的熱所引起的加熱器周邊的空間壓力變動(dòng)而變動(dòng)。因此，不能夠?qū)嵤┛煽啃愿叩穆┬乖囼?yàn)。由此，需要首先實(shí)施隔離器的漏 泄試驗(yàn)，漏泄試驗(yàn)結(jié)束后開始加熱器的升溫，并且，在加熱器成為所期望的溫度后，生成過 氧化氫氣體并進(jìn)行殺菌處理。然而，在隔離器中，若殺菌處理需要較長(zhǎng)時(shí)間，則直至能夠開始下一次作業(yè)的狀態(tài) 需要長(zhǎng)時(shí)間，作業(yè)效率降低。因此，為了實(shí)現(xiàn)隔離器的作業(yè)效率的提高，謀求殺菌處理所需 時(shí)間的縮短化。在專利文獻(xiàn)1及2的結(jié)構(gòu)中，等待漏泄試驗(yàn)結(jié)束后開始加熱器的予熱，有縮 短殺菌處理所需時(shí)間的余地。另外，在現(xiàn)有的過氧化氫氣體的置換工序中，排氣量在整個(gè)過程中為一定，不進(jìn)行 排出時(shí)的殺菌物質(zhì)的濃度測(cè)定。從而，也不根據(jù)排氣中的殺菌物質(zhì)的濃度控制排氣量。因 此，當(dāng)以高排氣量進(jìn)行排氣時(shí)，在置換工序的前半部分，通過降低排出氣體中的殺菌物質(zhì)濃 度的裝置(降低處理部)不能進(jìn)行有效的殺菌物質(zhì)的降低化處理，未反應(yīng)的殺菌物質(zhì)向大 氣中排出，存在給作業(yè)者等帶來危險(xiǎn)的可能性。另外，當(dāng)以低排氣量進(jìn)行排氣時(shí)，在隔離器 中的殺菌物質(zhì)濃度降低的置換工序的后半部分，存在排氣過于消耗時(shí)間的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是基于本發(fā)明人們的上述認(rèn)識(shí)而作出的，其目的在于，提供一種能夠進(jìn)一 步縮短隔離器的殺菌處理所需的時(shí)間的技術(shù)。另外，本發(fā)明的另一方案是鑒于上述狀況而作出的，其目的在于，提供一種在隔離 器中在上次作業(yè)和下次作業(yè)之間實(shí)施殺菌處理時(shí)，能夠使隔離器盡早成為能夠開始下次作 業(yè)的狀態(tài)的技術(shù)，以及降低殺菌物質(zhì)向大氣中排出的技術(shù)。本發(fā)明的一個(gè)方案提供一種隔離器。該隔離器的特征在于，具備作業(yè)室，其用 于進(jìn)行以來自生物體的材料為對(duì)象的作業(yè)；殺菌物質(zhì)供給部，其在包括所述作業(yè)室的氣體 流路中以熱方面及壓力方面獨(dú)立的狀態(tài)設(shè)置，且具有用于加熱殺菌物質(zhì)而使其氣化的加熱 器，并向氣體流路供給被氣化后的殺菌物質(zhì)；氣體流路壓力調(diào)整部，其對(duì)氣體流路內(nèi)進(jìn)行加 壓或減壓；氣體流路壓力檢測(cè)部，其檢測(cè)氣體流路內(nèi)的壓力；控制部，其利用氣體流路壓力 調(diào)整部對(duì)氣體流路內(nèi)進(jìn)行加壓或減壓，然后，根據(jù)氣體流路壓力檢測(cè)部的檢測(cè)結(jié)果，控制對(duì) 氣體流路的氣體泄漏進(jìn)行確認(rèn)的氣體流路漏泄試驗(yàn)的實(shí)施和由殺菌物質(zhì)供給部進(jìn)行的殺 菌物質(zhì)的供給，控制部進(jìn)行控制，與氣體流路漏泄試驗(yàn)并行進(jìn)行隨著殺菌物質(zhì)的供給的加 熱器的升溫。根據(jù)該方案，能夠進(jìn)一步縮短隔離器的殺菌處理所需的時(shí)間。以上述方案為基礎(chǔ)，可以為，隔離器具備供給部壓力調(diào)整部，其對(duì)殺菌物質(zhì)供給 部?jī)?nèi)進(jìn)行加壓或減壓；供給部壓力檢測(cè)部，其檢測(cè)殺菌物質(zhì)供給部?jī)?nèi)的壓力，控制部在加熱 器為常溫時(shí)，利用供給部壓力調(diào)整部對(duì)殺菌物質(zhì)供給部?jī)?nèi)進(jìn)行加壓或減壓，并根據(jù)供給部 壓力檢測(cè)部的檢測(cè)結(jié)果，控制對(duì)殺菌物質(zhì)供給部的氣體泄漏進(jìn)行確認(rèn)的供給部漏泄試驗(yàn)的 實(shí)施。本發(fā)明的另一方案提供一種隔離器。該隔離器的特征在于，具備作業(yè)室，其用于 進(jìn)行以來自生物體的材料為對(duì)象的作業(yè)；氣體供給部，其向作業(yè)室內(nèi)供給氣體；氣體排出 部，其排出作業(yè)室內(nèi)的氣體；流通路徑，其具有微粒子捕集過濾器，且連通氣體供給部和作 業(yè)室；殺菌物質(zhì)供給部，其向作業(yè)室內(nèi)供給殺菌物質(zhì)；排氣機(jī)構(gòu)，其用于調(diào)節(jié)從氣體排出部排出的氣體的排氣量；降低處理部，其降低從氣體排出部排出的氣體中所含的殺菌物質(zhì)的 濃度；控制部，其向作業(yè)室供給殺菌物質(zhì)，將作業(yè)室內(nèi)的殺菌物質(zhì)的濃度保持為一定并進(jìn)行 殺菌后，使用排氣機(jī)構(gòu)開始排氣，使排氣結(jié)束時(shí)的排氣量高于殺菌物質(zhì)的濃度達(dá)到最高濃 度時(shí)的排氣量。根據(jù)該方案，當(dāng)在隔離器中在上次作業(yè)和下次作業(yè)之間實(shí)施殺菌處理時(shí)，可以通 過有效的置換工序，使隔離器盡早成為能夠開始下次作業(yè)的狀態(tài)。另外，當(dāng)排出氣體中的殺 菌物質(zhì)達(dá)到規(guī)定濃度時(shí)，排氣量被抑制，因此，能夠?qū)]有被殺菌物質(zhì)降低處理部處理的殺 菌物質(zhì)向大氣中的放出抑制為最小限度。其結(jié)果，能夠?qū)崿F(xiàn)作業(yè)者安全性的提高。另外，以上述另一方案為基礎(chǔ)，也可以為，所述隔離器還具有濃度測(cè)定部，該濃度 測(cè)定部設(shè)于氣體排出部，測(cè)定從氣體排出部排出的氣體中所存在的殺菌物質(zhì)的濃度，控制 部進(jìn)行如下控制，即，在由濃度測(cè)定部測(cè)定的濃度達(dá)到規(guī)定的判定濃度之前逐漸增加排氣 量，在達(dá)到判定濃度后將排氣量保持在規(guī)定范圍，以由濃度測(cè)定部測(cè)定的濃度的下降率高 于規(guī)定的閾值為條件，進(jìn)一步逐漸增加排氣量。另外，以上述另一方案為基礎(chǔ)，也可以為，所述隔離器還具有濃度測(cè)定部，該濃度 測(cè)定部設(shè)于氣體排出部，測(cè)定從氣體排出部排出的氣體中所存在的殺菌物質(zhì)的濃度，控制 部進(jìn)行如下控制，使排氣量逐漸增加至規(guī)定的判定濃度，達(dá)到判定濃度后，使用由濃度測(cè)定 部測(cè)定出的濃度來反饋控制排氣量以使排氣中的殺菌物質(zhì)的濃度成為規(guī)定范圍，并以排氣 量達(dá)到規(guī)定的排氣量為條件而固定排氣量。另外，以上述另一方案為基礎(chǔ)，也可以為，在濃度測(cè)定部設(shè)于降低處理部的氣體流 下游側(cè)時(shí)，所述隔離器還具備設(shè)于降低處理部的氣體流上游側(cè)的其他濃度測(cè)定部，控制部 進(jìn)行如下控制，以使用濃度測(cè)定部測(cè)定的、殺菌物質(zhì)的降低處理后的排氣中的殺菌物質(zhì)的 濃度達(dá)到濃度測(cè)定部的檢測(cè)界限作為條件，使用其他濃度測(cè)定部測(cè)定降低處理前的排氣中 的殺菌物質(zhì)的濃度，并以其他濃度測(cè)定部測(cè)定的殺菌物質(zhì)的濃度達(dá)到其他濃度測(cè)定部的檢 測(cè)界限為條件，結(jié)束由氣體排出部進(jìn)行的排氣。另外，以上述另一方案為基礎(chǔ)，也可以為，所述隔離器具備計(jì)測(cè)部，該計(jì)測(cè)部對(duì)作 業(yè)室內(nèi)的氣體開始從氣體排出部排出至達(dá)到濃度測(cè)定部的檢測(cè)界限所需的時(shí)間進(jìn)行計(jì)測(cè)， 在測(cè)定的時(shí)間超過規(guī)定的閾值時(shí)，控制部通知降低處理部的能力降低。另外，以上述另一方案為基礎(chǔ)，殺菌物質(zhì)可以為過氧化氫。此外，適當(dāng)組合上述各要素也包括在由本專利申請(qǐng)請(qǐng)求保護(hù)的發(fā)明范圍內(nèi)。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明，能夠進(jìn)一步縮短隔離器中的殺菌處理所需的時(shí)間。另外，根據(jù)本發(fā)明的另一方案，能夠縮短殺菌處理所需的時(shí)間，并且，能夠降低殺 菌物質(zhì)向大氣中的排出。


圖1是表示實(shí)施方式1的隔離器的結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)2是表示殺菌物質(zhì)供給部的結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)圖。圖3是用于說明隔離器的漏泄試驗(yàn)的圖。圖4是表示殺菌物質(zhì)供給時(shí)的隔離器的狀態(tài)的圖。
圖5是對(duì)殺菌物質(zhì)供給部中的氣體泄漏的確認(rèn)時(shí)刻進(jìn)行說明的圖。圖6是表示實(shí)施方式2的隔離器的結(jié)構(gòu)的示意圖。圖7是殺菌物質(zhì)送出部的示意圖。圖8是表示實(shí)施方式2的排氣控制的示意圖。圖9是表示實(shí)施方式2的殺菌物質(zhì)降低處理部的能力判定的示意圖。圖10是表示實(shí)施方式3的排氣控制的示意圖。圖11是表示實(shí)施方式4的隔離器的結(jié)構(gòu)的示意圖。圖12是表示實(shí)施方式4的排氣控制的示意圖。圖13是放大表示圖12的過氧化氫氣體的濃度的檢測(cè)界限區(qū)域C的示意圖。
具體實(shí)施例方式以下，參照

本發(fā)明優(yōu)選的實(shí)施方式。對(duì)各附圖所示的同一或同等的結(jié)構(gòu) 要件、部件、處理標(biāo)注同一符號(hào)，適當(dāng)省略重復(fù)的說明。另外，實(shí)施方式并沒有限定發(fā)明只是 例示，實(shí)施方式所述的全部的特征或其組合并沒有限定本發(fā)明本質(zhì)的結(jié)構(gòu)。(實(shí)施方式1)圖1是表示實(shí)施方式1的隔離器100的結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)圖。如圖1所示，實(shí)施方式1的隔離器100具備作業(yè)室10、氣體供給部20、氣體排出部 30、殺菌物質(zhì)供給部40、控制部50。作業(yè)室10是用于進(jìn)行細(xì)胞抽出、細(xì)胞培養(yǎng)等以來自生物體的材料為對(duì)象的作業(yè) 的空間。在作業(yè)室10預(yù)先設(shè)有能夠開閉的前面門12，在前面門12的規(guī)定位置設(shè)有用于在 作業(yè)室10內(nèi)進(jìn)行作業(yè)的作業(yè)用手套14。作業(yè)者可以將手從設(shè)于前面門12的未圖示的開口 部插入作業(yè)用手套14，通過作業(yè)用手套14在作業(yè)室10內(nèi)進(jìn)行作業(yè)。在此，所謂來自生物 體的材料是包括含有細(xì)胞的生物本身、構(gòu)成生物的物質(zhì)、或者生物體產(chǎn)生的物質(zhì)等在內(nèi)的 材料。另外，在作業(yè)室10設(shè)有檢測(cè)作業(yè)室10內(nèi)的溫度的作業(yè)室溫度計(jì)16 ；對(duì)包括作業(yè)室 10的氣體流路內(nèi)的壓力進(jìn)行檢測(cè)的作為氣體流路壓力檢測(cè)部的作業(yè)室氣壓計(jì)18。氣體供給部20具備吸氣口 22和多葉片風(fēng)扇等吸氣風(fēng)扇M，利用吸氣風(fēng)扇M從吸 氣口 22取入隔離器100外部的氣體并將其供給于隔離器100內(nèi)。在氣體供給部20的與作 業(yè)室10的連結(jié)部設(shè)有HEPA (High Efficiency Particulate Air)過濾器等微粒子捕集過 濾器26。在吸氣口 22設(shè)有能夠開閉的吸氣閥23，通過吸氣閥23的開閉控制外氣從吸氣口 22的取入。另外，在氣體供給部20設(shè)有循環(huán)口 60，在循環(huán)口 60設(shè)有能夠開閉的循環(huán)路閥 61。氣體排出部30具備排氣口 32、多葉片風(fēng)扇等排氣風(fēng)扇34，通過排氣風(fēng)扇34使作 業(yè)室10內(nèi)的氣體從排氣口 32向隔離器100外排出。在氣體排出部30的比排氣風(fēng)扇34靠 氣體流上游側(cè)的位置設(shè)有HEPA過濾器等微粒子捕集過濾器36。在排氣口 32設(shè)有能夠開閉 的排氣閥33，通過排氣閥33的開閉控制氣體從排氣口 32的排出。另外，在排氣口 32的比 排氣閥33靠氣體流上游側(cè)的位置設(shè)有包含活性炭、鉬催化劑等的殺菌物質(zhì)除去過濾器38。 在本實(shí)施方式的隔離器100中，通過吸氣風(fēng)扇M和排氣風(fēng)扇34構(gòu)成用于對(duì)包括作業(yè)室10 的氣體流路內(nèi)進(jìn)行加壓或減壓的氣體流路壓力調(diào)整部。在此，所謂包括作業(yè)室10的氣體流 路是指例如包括氣體供給部20及氣體排出部30的從吸氣口 22至排氣口 32的區(qū)域。
殺菌物質(zhì)供給部40是用于將被氣化后的殺菌物質(zhì)供給于包括作業(yè)室10的氣體流 路內(nèi)的部分，一端部經(jīng)由殺菌物質(zhì)供給管42與作業(yè)室10連結(jié)，另一端部經(jīng)由殺菌物質(zhì)循環(huán) 路徑44連結(jié)在作業(yè)室10與氣體排出部30之間的氣體流路。在殺菌物質(zhì)供給管42設(shè)有閥 428，在殺菌物質(zhì)循環(huán)路徑44設(shè)有閥474。隔離器100通過從殺菌物質(zhì)供給部40供給殺菌 物質(zhì)，能夠?qū)ㄗ鳂I(yè)室10的氣體流路內(nèi)設(shè)為無菌環(huán)境。在此，所謂無菌環(huán)境是指為了避 免在作業(yè)室進(jìn)行的作業(yè)所需的物質(zhì)以外的物質(zhì)混入而無限接近無塵無菌的環(huán)境。在本實(shí)施方式中，殺菌物質(zhì)為過氧化氫，殺菌物質(zhì)供給部40具備例如圖2所示的 結(jié)構(gòu)。圖2是表示殺菌物質(zhì)供給部40的結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)圖。如圖2所示，殺菌物質(zhì)供給部40具有由霧化部410及氣化部420構(gòu)成的殺菌氣體 生成部402、儲(chǔ)存過氧化氫水的過氧化氫水罐460、作為供給部壓力調(diào)整部的空氣供給風(fēng)扇 470。霧化部410具有收容部件411、蓋部件412、超聲波振子413、杯狀部414以及漏斗 部件415。在收容部件411的底面設(shè)有超聲波振子413。超聲波振子413為將電能變換為超 聲波區(qū)域的機(jī)械振動(dòng)的元件。在蓋部件412的上表面設(shè)有檢測(cè)殺菌物質(zhì)供給部40內(nèi)的壓 力的作為供給部壓力檢測(cè)部的供給部氣壓計(jì)419。在收容部件411的上部外周形成有凸緣416。另外，與凸緣416對(duì)應(yīng)，在蓋部件412 的下部外周形成有凸緣417。通過利用螺釘?shù)染o固部件418緊固凸緣416和凸緣417而密 封凸緣416與凸緣417之間，在收容部件411及蓋部件412的內(nèi)部形成空間。收容部件411及蓋部件412的內(nèi)部空間被杯狀部414分隔為上側(cè)的空間432和下 側(cè)的空間434。具體而言，杯狀部414的周緣部分插入凸緣416和凸緣417之間，利用緊固 部件418對(duì)凸緣416和凸緣417進(jìn)行緊固而固定。在下側(cè)的空間434充滿了傳播由超聲波振子413產(chǎn)生的超聲波區(qū)域的機(jī)械振動(dòng)的 超聲波傳播用液440。此外，作為超聲波傳播用液440，優(yōu)選例如像水一樣粘性小的物質(zhì)。另 外，在上側(cè)的空間432設(shè)有由配管480和漏斗狀部482構(gòu)成的漏斗部件415。對(duì)漏斗部件 415在后敘述。在蓋部件412的側(cè)面設(shè)有開口 450及開口 452。另外，在蓋部件412的上表面設(shè) 有開口 454。在開口 450插入有用于將儲(chǔ)存在過氧化氫水罐460的過氧化氫水供給于空間 432的配管462。在配管462的中途設(shè)有用于汲取儲(chǔ)存在過氧化氫水罐460中的過氧化氫 水的泵464。泵464優(yōu)選氣密遮蔽配管462內(nèi)的通路的例如蠕動(dòng)泵)等，以能夠在后述的供 給部漏泄試驗(yàn)時(shí)將殺菌物質(zhì)供給部?jī)?nèi)保持為氣密。當(dāng)泵464不氣密地遮蔽配管462內(nèi)的通 路時(shí)，例如，在配管462的比泵464靠過氧化氫水罐460側(cè)設(shè)有閥等遮蔽機(jī)構(gòu)，從而可以氣 密地遮蔽配管462內(nèi)的通路。另外，在開口 452連接有在途中設(shè)有軸流風(fēng)扇等空氣供給風(fēng)扇470、并將從空氣供 給風(fēng)扇470送出的空氣向空間432輸送的配管472。配管472的與開口 452相反側(cè)的端部 經(jīng)由隔熱性樹脂等構(gòu)成的隔熱性連結(jié)部475與殺菌物質(zhì)循環(huán)路徑44連接。在殺菌物質(zhì)循 環(huán)路徑44的隔熱性連結(jié)部475側(cè)的端部區(qū)域設(shè)有閥474。從而，殺菌物質(zhì)供給部40的殺菌 物質(zhì)循環(huán)路徑44側(cè)，通過隔熱性連結(jié)部475以及閥474相對(duì)于包括作業(yè)室10的氣體流路 以熱方面及壓力方面獨(dú)立的狀態(tài)設(shè)置。空氣供給風(fēng)扇470作為以正轉(zhuǎn)將空氣向空間432送出而對(duì)殺菌物質(zhì)供給部40內(nèi)進(jìn)行加壓、并以反轉(zhuǎn)從空間432吸引空氣而對(duì)殺菌物質(zhì)供給部 40內(nèi)進(jìn)行減壓的供給部壓力調(diào)整部發(fā)揮作用。另外，空氣供給風(fēng)扇470用于向作業(yè)室10內(nèi) 供給殺菌物質(zhì)。另外，在開口妨4插入漏斗部件415的配管480，并以漏斗狀部482的開口 484朝 向下方的方式固定漏斗部件415。配管480的一端部固定于氣化部420。此外，開口 452的 位置比漏斗狀部482的開口 484的位置靠上方設(shè)置。由此，從開口 452送入的空氣不直接 吹入開口 484，而在漏斗狀部482的外側(cè)向下方流動(dòng)后，在漏斗狀部482的下方折返后，在漏 斗狀部482的內(nèi)側(cè)流向上方。在如上構(gòu)成的霧化部410中，供給于杯狀部414的過氧化氫水通過超聲波區(qū)域的 機(jī)械振動(dòng)而被霧化，被霧化后的過氧化氫通過從空氣供給風(fēng)扇470送出的空氣，經(jīng)由漏斗 狀部482的開口 484及配管480送入氣化部420。在空間432與氣化部420的連結(jié)部設(shè)有 漏斗部件415，開口 484為漏斗狀，因此，能夠有效地捕集被霧化后的過氧化氫送向氣化部 420。此時(shí)，沒有被霧化而附著在漏斗狀部482內(nèi)側(cè)的比較大的粒子的過氧化氫因重力而下 落到杯狀部414，再次被霧化。氣化部420具有加熱管421、加熱器422、流路形成板423、配管424以及溫度計(jì) 425。加熱管421以軸向成為鉛垂方向的方式與配管480連接。在加熱管421內(nèi)部形成 有使從配管480送出的過氧化氫以及空氣從下方向上方流動(dòng)的流路426。在加熱管421的 內(nèi)部相互不同地設(shè)有從加熱管421的內(nèi)表面向與加熱管421的軸垂直的方向突出的流路形 成板423。由此，形成于加熱管421內(nèi)部的流路4 蜿蜒，流路4 變長(zhǎng)。其結(jié)果，在流路 426中滯留過氧化氫的時(shí)間變長(zhǎng)，過氧化氫在流路426內(nèi)被可靠地氣化。在本實(shí)施方式中，加熱管421設(shè)于空間432的正上方。因此，過氧化氫在加熱管 421內(nèi)沒被氣化而液化時(shí)，液化后的過氧化氫因重力而向空間432下落。返回空間432的過 氧化氫在超聲波區(qū)域的機(jī)械振動(dòng)的作用下再次被霧化，送向加熱管421。由此，能夠以簡(jiǎn)單 的結(jié)構(gòu)使在加熱管421內(nèi)液化后的過氧化氫返回空間432而再次霧化，從而不會(huì)浪費(fèi)杯狀 部414內(nèi)的過氧化氫水而使其可靠地氣化。在加熱管421的中央部分沿加熱管421的軸設(shè)有用于加熱霧化后的過氧化氫而 使其氣化的加熱器422。加熱器422能夠使溫度上升為例如適于過氧化氫氣化的溫度即 150°C，通過由控制部50進(jìn)行的接通斷開的控制進(jìn)行調(diào)溫。優(yōu)選在加熱器422設(shè)置多個(gè)散 熱片。由此，加熱器422與在流路4 中流動(dòng)的過氧化氫的接觸面積增加，能夠促進(jìn)過氧化 氫的氣化。在加熱管421的上部側(cè)面連接有配管424的一端部。在配管似4設(shè)有用于測(cè)定配 管424的內(nèi)部溫度的溫度計(jì)425。配管424的另一端部經(jīng)由隔熱性樹脂構(gòu)成的隔熱性連結(jié) 部427與殺菌物質(zhì)供給管42連接。在殺菌物質(zhì)供給管42的隔熱性連結(jié)部427側(cè)的端部區(qū) 域設(shè)有閥428。從而，殺菌物質(zhì)供給部40的殺菌物質(zhì)供給管42側(cè)在隔熱性連結(jié)部427以及 閥428的作用下，相對(duì)于包括作業(yè)室10的氣體流路以熱方面及壓力方面獨(dú)立的狀態(tài)設(shè)置。對(duì)如上構(gòu)成的殺菌物質(zhì)供給部40中供給殺菌氣體的動(dòng)作進(jìn)行說明。首先，接通加熱器422的開關(guān)，開始加熱器422的升溫，并且驅(qū)動(dòng)泵464來汲取儲(chǔ) 存在過氧化氫水罐460中的過氧化氫水，向空間432送出過氧化氫水。
通過接通加熱器422的開關(guān)，使得配管424的內(nèi)部溫度從常溫開始上升。另外，過 氧化氫水通過配管462達(dá)到空間432時(shí)，開始在杯狀部414的底部?jī)?chǔ)存過氧化氫水，杯狀部 414內(nèi)的過氧化氫水量開始上升。計(jì)測(cè)配管424的內(nèi)部溫度的溫度計(jì)425達(dá)到過氧化氫氣體不再凝結(jié)的溫度例如 90°C時(shí)，開始超聲波振子413的驅(qū)動(dòng)，經(jīng)由超聲波傳播用液440向空間432傳播超聲波區(qū)域 的機(jī)械振動(dòng)。另外，開始由空氣供給風(fēng)扇470進(jìn)行的鼓風(fēng)，經(jīng)由殺菌物質(zhì)循環(huán)路徑44將氣 體流路內(nèi)的空氣送入空間432。由此，在空間432中，過氧化氫氣霧化，霧化后的過氧化氫通 過來自空氣供給風(fēng)扇470的鼓風(fēng)供給于加熱管421。供給于加熱管421的霧狀的過氧化氫 被加熱器422加熱而氣體化(氣化)。成為氣體狀的過氧化氫經(jīng)由配管4M供給于殺菌物 質(zhì)供給管42。此外，優(yōu)選通過泵464調(diào)節(jié)向空間432送出的過氧化氫水的流量，以使杯狀部414 內(nèi)的過氧化氫水量成為適于由超聲波區(qū)域的機(jī)械振動(dòng)進(jìn)行的霧化的量。由此，能夠有效地 使杯狀部414內(nèi)的過氧化氫水霧化。儲(chǔ)存在過氧化氫水罐460中的過氧化氫水逐漸被消耗，過氧化氫水罐460的過氧 化氫水的剩余量變少時(shí)，停止向空間432補(bǔ)給過氧化氫水。停止向上側(cè)的空間432補(bǔ)給過 氧化氫水后，杯狀部414內(nèi)的過氧化氫水量逐漸減少，杯狀部414內(nèi)的過氧化氫水的剩余量 成為零。當(dāng)杯狀部414內(nèi)的過氧化氫水的剩余量成為零時(shí)，由于從霧化部410向氣化部420 送出的霧狀的過氧化氫的量逐漸減少，因此，在加熱管421中，因過氧化氫氣化而吸取的熱 量減少。由此，配管424的內(nèi)部溫度從過氧化氫的氣化溫度開始進(jìn)一步上升。若由溫度計(jì)425計(jì)測(cè)的配管424的內(nèi)部溫度達(dá)到規(guī)定的判定溫度，則加熱器422 的開關(guān)被斷開，停止由加熱器422進(jìn)行的加熱。需要說明的是，該判定溫度為加熱管421內(nèi) 的過氧化氫的氣體化結(jié)束，僅空氣在加熱管421內(nèi)開始移動(dòng)時(shí)的配管424的內(nèi)部溫度。艮口， 配管4M的內(nèi)部溫度達(dá)到規(guī)定的判定溫度意味著杯狀部414內(nèi)的過氧化氫水的剩余量成為 零，殺菌物質(zhì)供給部40中不存在需要?dú)怏w化的過氧化氫水。加熱器422被斷開后，配管4M 的內(nèi)部溫度逐漸降低而返回常溫。此外，殺菌物質(zhì)供給部40不限于上述結(jié)構(gòu)，也可以為例如向加熱后的容器內(nèi)供給 過氧化氫水而使其氣化、從而產(chǎn)生過氧化氫氣體的結(jié)構(gòu)。另外，殺菌物質(zhì)并沒有限定于過氧 化氫，也可以為例如臭氧等包括活性氧種的物質(zhì)。控制部50控制吸氣閥23、排氣閥33以及循環(huán)路閥61的開閉；吸氣風(fēng)扇M以及 排氣風(fēng)扇34的接通斷開；殺菌物質(zhì)供給部40的泵464的驅(qū)動(dòng)；閥428,474的開閉；加熱器 422、空氣供給風(fēng)扇470以及超聲波振子413的接通斷開。接著，對(duì)具備上述結(jié)構(gòu)的隔離器100的殺菌處理進(jìn)行說明。圖3是用于說明隔離 器100的漏泄試驗(yàn)的圖。圖4是表示殺菌物質(zhì)供給時(shí)的隔離器100的狀態(tài)的圖。首先，在作業(yè)室10實(shí)施作業(yè)的狀態(tài)中，如圖1所示，控制部50進(jìn)行如下控制，即， 使吸氣閥23及排氣閥33處于開狀態(tài)，循環(huán)路閥61處于閉狀態(tài)。另外，控制部50驅(qū)動(dòng)吸氣 風(fēng)扇M以及排氣風(fēng)扇34。由此，如圖1中的箭頭所示，外氣從吸氣口 22供給于作業(yè)室10 內(nèi)、作業(yè)室10內(nèi)的氣體從排氣口 32向隔離器100外排出的氣體流路形成在隔離器100內(nèi)。在隔離器100中，在初次作業(yè)開始前和在作業(yè)室10內(nèi)的作業(yè)(上次作業(yè))結(jié)束后、下次作業(yè)開始前對(duì)包括作業(yè)室10的氣體流路內(nèi)進(jìn)行殺菌處理。隔離器100的殺菌處理包 括前處理工序、殺菌工序、除去工序。在前處理工序中，首先，基于控制部50的控制，實(shí)施對(duì)包括過氧化氫氣體充滿的 作業(yè)室10的氣體流路中的氣體泄漏(漏泄)進(jìn)行確認(rèn)的氣體流路漏泄試驗(yàn)。以下，使用圖 3對(duì)氣體流路漏泄試驗(yàn)進(jìn)行說明。在氣體流路漏泄試驗(yàn)中，在吸氣閥23成為開狀態(tài)、排氣閥33成為閉狀態(tài)時(shí)，接通 吸氣風(fēng)扇24，將外氣取入隔離器100的氣體流路內(nèi)。此時(shí)，閥似8、474成為閉狀態(tài)。由此， 氣體流路內(nèi)的壓力上升。氣體流路內(nèi)的壓力與作業(yè)室10內(nèi)的壓力大致相同，能夠通過作業(yè) 室氣壓計(jì)18進(jìn)行檢測(cè)?？刂撇?0根據(jù)作業(yè)室氣壓計(jì)18的檢測(cè)結(jié)果檢測(cè)氣體流路內(nèi)的壓 力成為漏泄試驗(yàn)所需的試驗(yàn)壓力的情況。若氣體流路內(nèi)的壓力成為試驗(yàn)壓力，則控制部50 關(guān)閉吸氣閥23而使吸氣風(fēng)扇M斷開。此外，也可以在吸氣閥23處于閉狀態(tài)、排氣閥33處 于開狀態(tài)時(shí)，驅(qū)動(dòng)排氣風(fēng)扇34，使氣體流路內(nèi)成為負(fù)壓。接著，隔離器100以規(guī)定時(shí)間、例如10分鐘維持其原來的狀態(tài)。經(jīng)過規(guī)定時(shí)間后， 控制部50基于作業(yè)室氣壓計(jì)18的檢測(cè)結(jié)果實(shí)施泄漏判定。經(jīng)過規(guī)定時(shí)間后的氣體流路內(nèi) 的壓力低于允許壓力降低量c時(shí)(曲線a)、控制部50繼續(xù)進(jìn)行殺菌處理。另一方面，經(jīng)過 規(guī)定時(shí)間后的氣體流路內(nèi)的壓力低于允許壓力降低量c時(shí)(曲線b)，控制部50中止殺菌處 理，利用未圖示的通知部提示發(fā)生氣體泄漏并通知作業(yè)者中止殺菌處理。通過以上處理，氣 體流路漏泄試驗(yàn)結(jié)束。另外，在前處理工序中，加熱器422的開關(guān)被接通，加熱器422開始升溫。在現(xiàn)有 的隔離器中，當(dāng)在氣體流路漏泄試驗(yàn)實(shí)施中開始加熱器422的升溫時(shí)，在加熱器422的熱的 作用下氣體流路內(nèi)的壓力變化，且因加熱器422的熱引起的殺菌物質(zhì)供給部40內(nèi)的壓力變 動(dòng)使得氣體流路內(nèi)的壓力變化，從而不能夠進(jìn)行準(zhǔn)確的氣體流路漏泄試驗(yàn)。因此，需要在 等待氣體流路漏泄試驗(yàn)結(jié)束后開始加熱器422的升溫。另一方面，在本實(shí)施方式的隔離器 100中，氣體流路與包括加熱器422的殺菌物質(zhì)供給部40經(jīng)由隔熱性連結(jié)部427、475以及 閥428、474以熱方面及壓力方面獨(dú)立的狀態(tài)連結(jié)。因此，能夠在正在進(jìn)行氣體流路漏泄試 驗(yàn)時(shí)開始加熱器422的升溫。若加熱器422的溫度上升到規(guī)定溫度，則如圖4所示，吸氣閥23以及排氣閥33處 于閉狀態(tài)、循環(huán)路閥61處于開狀態(tài)時(shí)，吸氣風(fēng)扇M接通，并且，閥似8、474處于開狀態(tài)時(shí)， 開始過氧化氫氣體的生成。生成的過氧化氫氣體從殺菌物質(zhì)供給管42供給于作業(yè)室10內(nèi)， 如圖4中的箭頭所示，在氣體流路內(nèi)進(jìn)行循環(huán)。在此，該規(guī)定溫度是配管4M的內(nèi)部溫度為 過氧化氫氣體不再凝結(jié)的溫度。過氧化氫氣體供給于氣體流路內(nèi)，若包括作業(yè)室10的氣體流路內(nèi)的過氧化氫氣 體濃度成為殺菌處理所需的濃度以上，則開始?xì)⒕ば颉Ｔ跉⒕ば蛑?，如圖4所示，吸氣 閥23以及排氣閥33處于閉狀態(tài)、循環(huán)路閥61處于開狀態(tài)時(shí)，從殺菌物質(zhì)供給部40送出的 過氧化氫氣體在作業(yè)室10、循環(huán)口 60、排氣風(fēng)扇34、作業(yè)室10中循環(huán)而進(jìn)行殺菌。殺菌工 序結(jié)束后，殺菌處理進(jìn)入除去工序。在除去工序中，停止來自殺菌物質(zhì)供給部40的過氧化氫氣體的供給，并且，在吸 氣閥23及排氣閥33處于開狀態(tài)、循環(huán)路閥61處于閉狀態(tài)時(shí)，接通吸氣風(fēng)扇M以及排氣風(fēng) 扇34。由此，隔離器100外部的空氣從吸氣口 22取入而供給于氣體流路內(nèi)，并且，氣體流路內(nèi)的過氧化氫氣體被送向氣體排出部30，通過殺菌物質(zhì)除去過濾器38吸附或分解而除去。由除去工序?qū)怏w流路內(nèi)的氣體置換為空氣，氣體流路內(nèi)的過氧化氫氣體濃度成 為規(guī)定濃度以下時(shí)，作業(yè)室10成為能夠使用的狀態(tài)，殺菌處理結(jié)束。在此，作業(yè)室10成為能 夠使用的狀態(tài)的過氧化氫氣體的濃度為不對(duì)用于作業(yè)的來自生物體的材料賦予作業(yè)上無 法忽視程度的影響的濃度。該濃度為例如ACGIH(American Conference of Governmental Industrial Hygienists)所規(guī)定的Ippm(TWA :時(shí)間加權(quán)平均值)以下的濃度。在此，將閥似8、474設(shè)為開狀態(tài)，實(shí)施與上述氣體流路漏泄試驗(yàn)相同的工序，從而 能夠?qū)嵤?duì)氣體流路與殺菌物質(zhì)供給部40合在一起的空間的氣體泄漏進(jìn)行確認(rèn)的統(tǒng)一漏 泄試驗(yàn)。此外，也可以構(gòu)成為使閥似8、474處于開狀態(tài)，統(tǒng)一漏泄試驗(yàn)實(shí)施與后述的供給部 漏泄試驗(yàn)相同的工序。接著，對(duì)供給部漏泄試驗(yàn)進(jìn)行說明。在本實(shí)施方式的隔離器100中，除氣體流路漏 泄試驗(yàn)以及統(tǒng)一漏泄試驗(yàn)外，實(shí)施對(duì)殺菌物質(zhì)供給部40的氣體泄漏與氣體流路中的氣體 泄漏獨(dú)立確認(rèn)的供給部漏泄試驗(yàn)。在本實(shí)施方式的隔離器100中，殺菌物質(zhì)供給部40具備 空氣供給風(fēng)扇470以及供給部氣壓計(jì)419，另外，包括作業(yè)室10的氣體流路與殺菌物質(zhì)供給 部40通過閥似8、474在壓力方面獨(dú)立。因此，能夠與氣體流路漏泄試驗(yàn)獨(dú)立而實(shí)施供給部 漏泄試驗(yàn)。在供給部漏泄試驗(yàn)中，閥4 處于閉狀態(tài)、閥474處于開狀態(tài)時(shí)，空氣供給風(fēng)扇470 接通，空氣被取入殺菌物質(zhì)供給部40內(nèi)。對(duì)于配管462，通過泵464或上述的遮蔽機(jī)構(gòu)來確 保氣密性。由此，殺菌物質(zhì)供給部40內(nèi)的壓力上升。殺菌物質(zhì)供給部40內(nèi)的壓力通過供 給部氣壓計(jì)419來檢測(cè)?？刂撇?0根據(jù)供給部氣壓計(jì)419的檢測(cè)結(jié)果檢測(cè)殺菌物質(zhì)供給 部40內(nèi)的壓力成為漏泄試驗(yàn)所需的試驗(yàn)壓力的情況。殺菌物質(zhì)供給部40內(nèi)的壓力成為試 驗(yàn)壓力后，控制部50關(guān)閉閥474而使空氣供給風(fēng)扇470斷開。此外，也可以在閥4 處于 開狀態(tài)、閥474處于開狀態(tài)時(shí)，驅(qū)動(dòng)空氣供給風(fēng)扇470，使殺菌物質(zhì)供給部40內(nèi)成為負(fù)壓。接著，殺菌物質(zhì)供給部40以規(guī)定時(shí)間、例如10分鐘維持其原來的狀態(tài)。經(jīng)過規(guī)定 時(shí)間后，控制部50根據(jù)供給部氣壓計(jì)419的檢測(cè)結(jié)果與氣體流路漏泄試驗(yàn)相同地實(shí)施泄漏 判定?？刂撇?0在經(jīng)過規(guī)定時(shí)間后的殺菌物質(zhì)供給部40內(nèi)的壓力高于允許壓力降低量時(shí)， 繼續(xù)下次進(jìn)行的處理，在低于允許壓力低下量時(shí)通知作業(yè)者。由統(tǒng)一漏泄試驗(yàn)或供給部漏泄試驗(yàn)進(jìn)行的殺菌物質(zhì)供給部40的氣體泄漏確認(rèn)例 如在以下的時(shí)刻實(shí)施。圖5是說明殺菌物質(zhì)供給部40的氣體泄漏的確認(rèn)時(shí)刻的圖。包括作業(yè)室10的氣體流路中，由于存在前面門12等利用手動(dòng)操作而確保密閉 性的部分，因此，優(yōu)選每次殺菌處理都實(shí)施氣體流路漏泄試驗(yàn)。另外，在殺菌物質(zhì)供給部 40中，作為不符合供給部漏泄試驗(yàn)的基準(zhǔn)的氣體泄漏產(chǎn)生的原因，只有例如設(shè)于開口 450、 452,454等的未圖示的密封件的時(shí)效劣化等。因此，殺菌物質(zhì)供給部40的氣體泄漏的確認(rèn) 不像氣體流路漏泄試驗(yàn)?zāi)菢宇l繁地實(shí)施，也能夠確保隔離器100的安全性。在此，在本實(shí)施方式的隔離器100中，如圖5所示，加熱器422為常溫時(shí)，定期地實(shí) 施殺菌物質(zhì)供給部40的氣體泄漏的確認(rèn)。即，例如，在一日的作業(yè)中，開始初次的作業(yè)前， 實(shí)施統(tǒng)一漏泄試驗(yàn)(圖5中的時(shí)刻I)，在作業(yè)變更時(shí)僅實(shí)施作業(yè)室漏泄試驗(yàn)(圖5中的時(shí) 刻Π、ΙΙΙ)。需要說明的是，在圖5中的時(shí)刻I，也可以代替統(tǒng)一漏泄試驗(yàn)，并行進(jìn)行氣體流 路漏泄試驗(yàn)和供給部漏泄試驗(yàn)。
在如上所述地實(shí)施氣體流路中的氣體泄漏的確認(rèn)和殺菌物質(zhì)供給部40中的氣體 泄漏的確認(rèn)時(shí)，通過減少殺菌物質(zhì)供給部40中的氣體泄漏的確認(rèn)次數(shù)，能夠在沒有實(shí)施殺 菌物質(zhì)供給部40中的氣體泄漏的確認(rèn)時(shí)與氣體流路漏泄試驗(yàn)并行開始加熱器422的加熱， 因此，能夠縮短殺菌處理所需的時(shí)間。另外，可以例如在隔離器100的維護(hù)時(shí)僅實(shí)施供給部 漏泄試驗(yàn)，通過將殺菌物質(zhì)供給部40與氣體流路在熱方面及壓力方面獨(dú)立設(shè)置，能夠自由 地設(shè)定供給部漏泄試驗(yàn)。若概括由以上說明的結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)的作用效果，則本實(shí)施方式的隔離器100具備在包 括作業(yè)室10的氣體流路中以熱方面及壓力方面獨(dú)立的狀態(tài)設(shè)置的殺菌物質(zhì)供給部40。并 且，與氣體流路漏泄試驗(yàn)并行進(jìn)行加熱器422的升溫。因此，能夠進(jìn)一步縮短隔離器100 中的殺菌處理所需的時(shí)間，其結(jié)果，能夠提高隔離器100的使用效率，增大被處理物的生成量。另外，在隔離器100中，殺菌物質(zhì)供給部40具備空氣供給風(fēng)扇470和供給部氣壓 計(jì)419，在閥428、474的作用下，殺菌物質(zhì)供給部40與氣體流路在壓力方面獨(dú)立，因此，能 夠?qū)?duì)殺菌物質(zhì)供給部40內(nèi)的氣體泄漏進(jìn)行確認(rèn)的供給部漏泄試驗(yàn)與氣體流路漏泄試驗(yàn) 獨(dú)立而實(shí)施。由此，增加供給部漏泄試驗(yàn)的設(shè)定自由度，進(jìn)一步提高隔離器100的使用便利 性。另外，通過獨(dú)立實(shí)施供給部漏泄試驗(yàn)和氣體流路漏泄試驗(yàn)，能夠容易地確定氣體泄漏部 位，因此，進(jìn)一步提高隔離器100的使用便利性。(實(shí)施方式2)圖6是表示實(shí)施方式2的隔離器1100的結(jié)構(gòu)的示意圖。實(shí)施方式1的隔離器 1100具備用于進(jìn)行細(xì)胞抽出、細(xì)胞培養(yǎng)等以來自生物體的材料為對(duì)象的作業(yè)的作業(yè)室 1010 ；向作業(yè)室1010內(nèi)供給氣體的氣體供給部1040 ；排出隔離器1100內(nèi)的氣體的氣體排 出部1050 ；向作業(yè)室1010內(nèi)供給殺菌物質(zhì)的殺菌物質(zhì)供給部1030 ；進(jìn)行這些控制的控制 部1090。在此，來自生物體的材料是指包括含有細(xì)胞的生物本身、構(gòu)成生物的物質(zhì)或生物產(chǎn) 生的物質(zhì)等在內(nèi)的材料。在氣體供給部1040設(shè)有吸氣口 1042、三通閥1044以及風(fēng)扇1046。經(jīng)由吸氣口 1042從外部取入空氣。三通閥1044經(jīng)由路徑1070與吸氣口 1042的氣體流下游側(cè)連接，并 經(jīng)由路徑1080與殺菌物質(zhì)送出部1036的氣體流下游側(cè)連接。另外，三通閥1044經(jīng)由路徑 1072與風(fēng)扇1046的氣體流上游側(cè)連接。三通閥1044能夠進(jìn)行從路徑1070向路徑1072方 向、或從路徑1080向路徑1072方向的氣體流路的排他切換。經(jīng)由吸氣口 1042取入后的空 氣或經(jīng)由路徑1080送出后的包含殺菌物質(zhì)的氣體經(jīng)由三通閥1044取入風(fēng)扇1046。風(fēng)扇1046將經(jīng)由路徑1072從三通閥1044方向取入的氣體經(jīng)由路徑1074向作業(yè) 室1010方向送出。風(fēng)扇1046能夠進(jìn)行由控制部1090進(jìn)行的接通/斷開的切換控制。此 外，風(fēng)扇1046能夠連續(xù)地調(diào)節(jié)排氣量。在作業(yè)室1010設(shè)有能夠開閉的前面門1012。另外，在前面門1012的規(guī)定位置設(shè) 有用于在作業(yè)室1010內(nèi)進(jìn)行作業(yè)的作業(yè)用手套1014。作業(yè)者能夠?qū)⑹謴脑O(shè)于前面門1012 的未圖示的開口部插入作業(yè)用手套1014，通過作業(yè)用手套1014在作業(yè)室1010內(nèi)進(jìn)行作業(yè)。 在作業(yè)室1010中，從氣體供給口 1016取入從風(fēng)扇1046送出的氣體，并將氣體從氣體排出 口 1018排出。在氣體供給口 1016設(shè)有HEPA過濾器1020，在氣體排出口 1018設(shè)有HEPA過 濾器1022。由此，作業(yè)室1010的無菌狀態(tài)被確保。從作業(yè)室1010出來的氣體經(jīng)由氣體排出口 1018、HEPA過濾器1022以及路徑1076向氣體排出部1050送出。在氣體排出部1050中，按照氣體流，三通閥1052、殺菌物質(zhì)降低處理部1054、濃度 測(cè)定部1056以及排氣口 1058以此順序設(shè)置。三通閥1052經(jīng)由路徑1076與作業(yè)室1010的氣體流下游側(cè)連接，經(jīng)由路徑1082 與殺菌物質(zhì)降低處理部IOM的氣體流上游側(cè)連接。另外，三通閥1052經(jīng)由路徑1078與殺 菌物質(zhì)送出部1036的氣體流上游側(cè)連接。三通閥1052能夠進(jìn)行從路徑1076向路徑1082 方向、或從路徑1076向路徑1078方向的氣體流路的排他切換，經(jīng)由路徑1076取入的氣體 向路徑1082方向或路徑1078方向送出。殺菌物質(zhì)降低處理部IOM對(duì)經(jīng)由三通閥1052送出的氣體中所含的殺菌物質(zhì)的濃 度進(jìn)行降低化處理。殺菌物質(zhì)降低處理部IOM中含有例如鉬等金屬催化劑，但也可以含有 活性炭等。濃度測(cè)定部1056設(shè)于殺菌物質(zhì)降低處理部IOM的氣體流下游，測(cè)定降低處理后 的殺菌物質(zhì)的排出氣體中的濃度。測(cè)定結(jié)果從濃度測(cè)定部1056向控制部1090發(fā)送。由殺 菌物質(zhì)降低處理部IOM進(jìn)行降低處理后的氣體從排氣口 1058向隔離器1100內(nèi)的外部排
出ο在作業(yè)室1010的外部設(shè)有向作業(yè)室1010供給殺菌物質(zhì)的殺菌物質(zhì)供給部1030。 殺菌物質(zhì)供給部1030通過向作業(yè)室1010供給殺菌物質(zhì)而使其在隔離器1100內(nèi)循環(huán)，從而 能夠使作業(yè)室1010以及路徑內(nèi)成為無菌環(huán)境。在此，無菌環(huán)境是指為了避免在作業(yè)室進(jìn)行 的作業(yè)所需的物質(zhì)以外的物質(zhì)混入而無限接近無塵無菌的環(huán)境。在本實(shí)施方式中殺菌物質(zhì) 為過氧化氫。如圖6所示，殺菌物質(zhì)供給部1030位于三通閥1052以及路徑1078的氣體流下游 側(cè)，且位于路徑1080以及三通閥1044的氣體流上游側(cè)。殺菌物質(zhì)供給部1030具有殺菌物 質(zhì)供給箱1032、泵1034以及殺菌物質(zhì)送出部1036。殺菌物質(zhì)供給箱1032儲(chǔ)存過氧化氫水 作為殺菌物質(zhì)。泵1034經(jīng)由殺菌物質(zhì)供給管1033汲取儲(chǔ)存在殺菌物質(zhì)供給箱1032中的 過氧化氫水，并經(jīng)由殺菌物質(zhì)供給管1035送出。殺菌物質(zhì)送出部1036經(jīng)由路徑1078與三 通閥1052的氣體流下游側(cè)連接，經(jīng)由路徑1080與三通閥1044的氣體流上游側(cè)連接。殺菌 物質(zhì)送出部1036使被供給的過氧化氫水產(chǎn)生過氧化氫氣體或霧。并將產(chǎn)生的過氧化氫氣 體或霧向路徑1080送出。圖7是殺菌物質(zhì)送出部1036的示意圖。使用本圖說明殺菌物質(zhì)送出部1036的具 體結(jié)構(gòu)。殺菌物質(zhì)送出部1036具有控制基板1202、過氧化氫水箱1204、水密封帽1206、過 氧化氫水槽1208、超聲波振蕩器1210?？刂苹?202是用于控制泵1034的基板。過氧化氫水箱1204是暫時(shí)保存過氧 化氫水的容器。水密封帽1206是用于調(diào)節(jié)從過氧化氫水箱1204向過氧化氫水槽1208的 供給量的帽。過氧化氫水槽1208為底部具備超聲波振蕩器1210、且暫時(shí)保持從過氧化氫水 箱1204供給的過氧化氫水的水槽。超聲波振蕩器1210為利用超聲波振動(dòng)產(chǎn)生過氧化氫氣 體或霧的振蕩器。在圖6所示的殺菌物質(zhì)供給箱1032中收容過氧化氫水，例如通過控制基 板1202控制泵1034，由此從殺菌物質(zhì)供給箱1032經(jīng)由殺菌物質(zhì)供給管1033以及1035向 過氧化氫水箱1204供給過氧化氫水。供給到過氧化氫水箱1204的過氧化氫水在由控制基板1202進(jìn)行的控制下、經(jīng)由水密封帽1206供給于過氧化氫水槽1208。并且，使用超聲波振蕩器1210對(duì)過氧化氫水槽 1208內(nèi)的過氧化氫水賦予超聲波振動(dòng)，而產(chǎn)生過氧化氫氣體(霧)1203。產(chǎn)生出的過氧化 氫氣體(霧)1203經(jīng)由路徑1080向作業(yè)室1010送出，但大部分迅速氣化，在作業(yè)室1010 內(nèi)作為過氧化氫氣體或霧存在。以下，存在包含過氧化氫霧而稱作過氧化氫氣體的情況。此外，殺菌物質(zhì)送出部1036并不限于本實(shí)施方式的產(chǎn)生過氧化氫氣體或霧的結(jié) 構(gòu)，例如，也可以為通過使滴下的過氧化氫水與空氣接觸而氣化，從而產(chǎn)生過氧化氫氣體或 霧的過氧化氫氣體產(chǎn)生器等。另外，殺菌物質(zhì)并沒有限于過氧化氫，也可以為例如臭氧等包 含活性氧種的物質(zhì)。返回圖6對(duì)控制部1090進(jìn)行說明?？刂撇?090具備計(jì)測(cè)部1092及記錄部1094。 控制部1090進(jìn)行由殺菌物質(zhì)送出部1036進(jìn)行的殺菌物質(zhì)的送出的控制。另外，控制部1090 通過控制三通閥1044及1052的閥的開閉而進(jìn)行氣體流路的切換。具體而言，控制部1090控制三通閥1044的閥的開閉，對(duì)從路徑1070向路徑1072 方向、或從路徑1080向路徑1072方向的氣體流路的排他切換進(jìn)行控制。另外，控制部1090 控制三通閥1052的閥的開閉，對(duì)從路徑1076向路徑1082方向、或從路徑1076向路徑1078 方向的氣體流路的排他切換進(jìn)行控制。進(jìn)而，控制部1090從濃度測(cè)定部1056接收測(cè)定結(jié) 果，根據(jù)接收到的測(cè)定結(jié)果與由濃度測(cè)定部1056進(jìn)行的排出氣體中的過氧化氫氣體的濃 度測(cè)定結(jié)果對(duì)應(yīng)地調(diào)節(jié)風(fēng)扇1046的轉(zhuǎn)速，并連續(xù)地控制排氣量。計(jì)測(cè)部1092計(jì)測(cè)從殺菌 處理開始到結(jié)束所需的時(shí)間。記錄部1094記錄計(jì)測(cè)的時(shí)間?？刂撇?090使用計(jì)測(cè)部1092 以及記錄部1094來進(jìn)行殺菌物質(zhì)降低處理部IOM的性能劣化的判定。(氣體流路的切換)隔離器1100的氣體流路中，通過控制部1090控制三通閥1044以及1052的閥的 開閉，進(jìn)行如下兩種切換。即，使過氧化氫氣體在隔離器1100內(nèi)循環(huán)時(shí)，三通閥1044僅從 路徑1080向路徑1072方向成為開狀態(tài)，從路徑1070向路徑1072方向成為閉狀態(tài)。另外， 三通閥1052僅從路徑1076向路徑1078方向成為開狀態(tài)，從路徑1076向路徑1082方向成 為閉狀態(tài)。由此，形成如下循環(huán)路徑過氧化氫氣體從殺菌物質(zhì)送出部1036通過路徑1080、 三通閥1044、路徑1072、風(fēng)扇1046、路徑1074、HEPA過濾器1020以及氣體供給口 1016進(jìn) 入作業(yè)室1010，通過氣體排出口 1018、HEPA過濾器1022、路徑1076、三通閥1052以及路徑 1078返回殺菌物質(zhì)送出部1036。另一方面，在進(jìn)行作業(yè)室內(nèi)的空氣置換時(shí)，三通閥1044僅從路徑1070向路徑1072 方向成為開狀態(tài)，從路徑1080向路徑1072方向成為閉狀態(tài)。另外，三通閥1052僅從路徑 1076向路徑1082方向成為開狀態(tài)，從路徑1076向路徑1078方向成為閉狀態(tài)。由此，形成如 下路徑空氣從吸氣口 1042通過路徑1070、三通閥1044、路徑1072、風(fēng)扇1046、路徑1074、 HEPA過濾器1020以及氣體供給口 1016進(jìn)入作業(yè)室1010，通過氣體排出口 1018、HEPA過濾 器1022、路徑1076、三通閥1052、路徑1082以及殺菌物質(zhì)降低處理部IOM從排氣口 1058 排出。(殺菌處理)在隔離器1100中，作業(yè)室1010內(nèi)的一個(gè)作業(yè)(上次作業(yè))結(jié)束后，在下次作業(yè)時(shí)， 進(jìn)行作業(yè)室1010內(nèi)及上次作業(yè)中使用的流通路徑的殺菌處理。殺菌處理包括前處理工序、 殺菌工序和置換工序。
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在前處理工序中，過氧化氫氣體從殺菌物質(zhì)供給部1030向作業(yè)室1010內(nèi)供給，作 業(yè)室1010內(nèi)的過氧化氫氣體的濃度維持在作業(yè)室1010內(nèi)的殺菌所需的濃度以上。在前處 理工序中，作業(yè)室1010內(nèi)的過氧化氫氣體成為規(guī)定濃度以上后，開始?xì)⒕ば颉Ｔ跉⒕ば蛑?，通過如下循環(huán)進(jìn)行殺菌過氧化氫氣體被從殺菌物質(zhì)供給部1030 向作業(yè)室1010輸送，經(jīng)由三通閥1052而再次返回殺菌物質(zhì)供給部1030。更具體而言，在殺 菌工序中，三通閥1044切換為僅從路徑1080向路徑1072方向?yàn)殚_狀態(tài)，從路徑1070向路 徑1072方向?yàn)殚]狀態(tài)。另一方面，三通閥1052切換為僅從路徑1076向路徑1078方向?yàn)?開狀態(tài)，從路徑1076向路徑1082方向?yàn)殚]狀態(tài)。由此，在隔離器1100內(nèi)，形成從殺菌物質(zhì) 送出部1036出來的氣體經(jīng)由三通閥1044進(jìn)入作業(yè)室1010內(nèi)，經(jīng)由三通閥1052返回殺菌 物質(zhì)送出部1036的氣體流路，過氧化氫氣體在隔離器1100內(nèi)循環(huán)。在置換工序中，將經(jīng)由吸氣口 1042取入的空氣供給于作業(yè)室1010內(nèi)，壓出作業(yè)室 1010內(nèi)的氣體，從而置換作業(yè)室1010內(nèi)的氣體。更具體而言，在置換工序中，控制部1090 將三通閥1044切換為僅從吸氣口 1042向作業(yè)室1010方向?yàn)殚_狀態(tài)，將三通閥1052切換為 僅從作業(yè)室1010向排氣口 1058方向?yàn)殚_狀態(tài)。另外，控制部1090使風(fēng)扇1046接通。由 此，在隔離器1100內(nèi)，形成從吸氣口 1042取入的空氣從路徑1070通過HEPA過濾器1020 達(dá)到作業(yè)室1010內(nèi)，從作業(yè)室1010內(nèi)通過HEPA過濾器1022從排氣口 1058排出的氣體流 路。其結(jié)果，將作業(yè)室1010內(nèi)的氣體置換為空氣，將作業(yè)室1010內(nèi)的過氧化氫氣體從作業(yè) 室1010除去。此時(shí)，通過殺菌物質(zhì)降低處理部IOM對(duì)從作業(yè)室1010壓出的過氧化氫氣體進(jìn)行 降低處理，由此，降低從排氣口 1058向隔離器1100外部的過氧化氫氣體的流出。此時(shí)，控制 部1090根據(jù)濃度測(cè)定部1056中的濃度測(cè)定結(jié)果調(diào)節(jié)風(fēng)扇1046進(jìn)行的排氣量。另外，在置 換工序中，除去殘留在隔離器1100內(nèi)的作業(yè)室1010以外的區(qū)域、例如氣體供給部1040內(nèi) 的過氧化氫氣體和吸附于上次作業(yè)所使用的流通路徑內(nèi)的HEPA過濾器1020以及1022上 的過氧化氫。在置換工序中，當(dāng)作業(yè)室1010內(nèi)的過氧化氫氣體成為規(guī)定濃度以下時(shí)，可以開始 下次作業(yè)。在此，能夠開始下次作業(yè)的過氧化氫氣體的濃度為不對(duì)下次作業(yè)所使用的來 自生物體的材料賦予作業(yè)上無法忽視程度的影響的濃度。該濃度由例如ACGIH(American Conference of Governmental Industrial Hygienists)規(guī)定的 Ippm(TWA 時(shí)間力口權(quán)平均 值)以下的濃度?；蛘?，也可以試驗(yàn)性求出作業(yè)室1010內(nèi)的過氧化氫氣體變成規(guī)定濃度以 下的時(shí)間，可以在經(jīng)過求出的時(shí)間后開始下次作業(yè)。(置換工序的排氣量的控制)其次，說明置換工序中的過氧化氫氣體的濃度以及排氣量的變化。圖8是表示實(shí) 施方式2的排氣控制的示意圖。上段、中段、下段分別表示實(shí)施方式2的隔離器1100的置 換工序中的過氧化氫氣體的濃度、作為該濃度的變化率的微分成分、排氣量的繼時(shí)性變化。如圖8的下段所示，利用設(shè)于殺菌物質(zhì)降低處理部IOM的氣體流下游側(cè)的濃度測(cè) 定部1056測(cè)定過氧化氫氣體的濃度。以其為基礎(chǔ)，通過控制部1090的指令增減風(fēng)扇1046 的轉(zhuǎn)速，由此如下控制氣體排出部1050的排氣量，以使排氣允許濃度不超過規(guī)定的閾值。 首先，在排氣開始⑴后，通過增大風(fēng)扇1046的轉(zhuǎn)速，逐漸增加排氣量(II)。其次，排氣中 的過氧化氫氣體的濃度達(dá)到規(guī)定的判定濃度A(III)后，將風(fēng)扇1046的轉(zhuǎn)速保持在規(guī)定范圍內(nèi)，由此如圖8的上段所示，將排氣量維持在規(guī)定范圍內(nèi)(IV)。如圖8的下段所示，排氣 中的過氧化氫氣體的濃度在時(shí)刻Ta達(dá)到最高濃度后，進(jìn)而持續(xù)排氣，如圖8的中段所示，在 時(shí)刻Tb，確認(rèn)過氧化氫氣體的濃度的微分成分(減少率)高于規(guī)定的閾值后(V)，再次增大 風(fēng)扇1046的轉(zhuǎn)速，由此，如圖8的上段所示，逐漸增加排氣量(VI)。進(jìn)而，如圖8的下段所 示，排氣中的過氧化氫氣體的濃度下降至規(guī)定的判定濃度A(VII)后，如圖8的上段所示，以 最大排氣量繼續(xù)排出直至排氣結(jié)束(VIII)。排氣允許濃度可以通過試驗(yàn)確定。優(yōu)選規(guī)定的 判定濃度A為排氣允許濃度的約40%，但也可以通過試驗(yàn)確定。另外，過氧化氫氣體濃度的 減少率的微分成分通常以負(fù)的特定的值為閾值，但不限于此，也可以通過試驗(yàn)確定。在此， 如圖8的上段所示，排氣量達(dá)到最大輸出，且如圖8的下段所示，過氧化氫氣體的濃度低于 濃度計(jì)測(cè)部的檢測(cè)界限而不進(jìn)行計(jì)測(cè)時(shí)，通過控制部1090使風(fēng)扇1046的轉(zhuǎn)速降低，結(jié)束排 氣。在作業(yè)室1010的容積設(shè)為Xm3、風(fēng)扇1046的排氣能力設(shè)為Ym7sec的情況下，也可以 在達(dá)到上述檢測(cè)界限后，進(jìn)而經(jīng)過X/YX 5 X/YX IOsec后，S卩，進(jìn)而經(jīng)過將作業(yè)室1010內(nèi) 的氣體更換5次 10次的時(shí)間后，結(jié)束排氣。(針對(duì)殺菌物質(zhì)降低處理部的性能劣化的對(duì)策)圖9是表示殺菌實(shí)施次數(shù)與殺菌處理時(shí)間的關(guān)系，表示實(shí)施方式2的殺菌物質(zhì)降 低處理部IOM的能力判定的示意圖。計(jì)測(cè)部1092對(duì)從殺菌處理的開始至結(jié)束、即從殺菌處理開始至達(dá)到濃度測(cè)定部 1056的檢測(cè)界限后經(jīng)過了規(guī)定的時(shí)間時(shí)的時(shí)間(處理時(shí)間)進(jìn)行計(jì)測(cè)。記錄部1094將該 計(jì)測(cè)結(jié)果與殺菌次數(shù)對(duì)應(yīng)進(jìn)行記錄。將在此得到的各殺菌處理時(shí)間(縱軸)相對(duì)于殺菌實(shí) 施次數(shù)(橫軸)進(jìn)行繪制而得到圖9的圖(a)。在此，控制部1090利用計(jì)測(cè)部1092進(jìn)行 計(jì)測(cè)，并判定由記錄部1094記錄的處理時(shí)間是否高于規(guī)定的閾值(b)，當(dāng)處理時(shí)間高于該 閾值時(shí)，進(jìn)行殺菌物質(zhì)降低處理部IOM的性能降低的通知。由此，能夠在適當(dāng)?shù)臅r(shí)期進(jìn)行 該處理部的更換，始終使用性能為規(guī)定的水準(zhǔn)以上的殺菌物質(zhì)降低處理部1054，從而能夠 實(shí)現(xiàn)過氧化氫氣體的濃度降低。此外，殺菌處理所需的時(shí)間的閾值(b)可以由試驗(yàn)確定，另 外，也可以不僅通知?dú)⒕镔|(zhì)降低處理部IOM的性能降低，還具備自動(dòng)地進(jìn)行更換的裝置等。在現(xiàn)有的隔離器中，置換工序開始之后，作業(yè)室內(nèi)的過氧化氫氣體的濃度迅速降 低，但其后，過氧化氫氣體的濃度的下降率顯著減少。這是由于以固定的排氣量進(jìn)行排氣， 在隔離器內(nèi)的過氧化氫氣體成為低濃度的置換工序的后半部分，不能夠進(jìn)行有效的排氣。 由此，其結(jié)果為置換工序消耗時(shí)間，直至作業(yè)室成為能夠使用的狀態(tài)需要長(zhǎng)時(shí)間。另一方 面，如圖6所示的實(shí)施方式2的隔離器1100在置換工序中逐漸增加排氣量，作業(yè)室1010內(nèi) 的過氧化氫氣體達(dá)到規(guī)定濃度后，將排氣量保持在規(guī)定范圍內(nèi)，確認(rèn)過氧化氫氣體的濃度 下降率成為規(guī)定的閾值以上后，再次逐漸增加排氣量。由此，在置換工序的前半部分，由于 能夠?qū)⑽捶纸獾倪^氧化氫向大氣中的排出抑制為最小限度，因此，能夠進(jìn)行確保作業(yè)者等 的安全性且有效地排氣。另外，在置換工序的后半部分，現(xiàn)有技術(shù)以固定的排氣量排出過氧 化氫氣體，因此不能進(jìn)行有效地排氣，但利用本實(shí)施方式的排氣量的控制，能夠有效進(jìn)行排 出的過氧化氫氣體為低濃度時(shí)的排氣。利用該排氣量的控制，當(dāng)在上次作業(yè)和下次作業(yè)之 間進(jìn)行殺菌處理時(shí)，能夠縮短置換工序所需的時(shí)間，能夠使隔離器1100盡早成為能夠開始 下次作業(yè)的狀態(tài)。
另外，根據(jù)由計(jì)測(cè)部1092測(cè)出的計(jì)測(cè)結(jié)果，通知?dú)⒕镔|(zhì)降低處理部IOM的性能 降低，由此能夠更可靠地確保免受上述排出氣體的影響的安全性及縮短殺菌時(shí)間。(實(shí)施方式3)在實(shí)施方式3中，通過反饋來控制排氣量這一點(diǎn)與實(shí)施方式2不同。此外，隔離器 1100的結(jié)構(gòu)以及殺菌處理的動(dòng)作等與實(shí)施方式2相同，因此，使用同一附圖并且適當(dāng)省略 說明。圖10是表示實(shí)施方式3的排氣控制的示意圖。具體而言，表示隔離器1100的反 饋引起的置換工序的過氧化氫氣體濃度以及排氣量的繼時(shí)性變化。利用氣體排出部1050中設(shè)于氣體流下游側(cè)的對(duì)過氧化氫氣體的濃度進(jìn)行測(cè)定的 濃度測(cè)定部1056測(cè)定過氧化氫氣體的濃度(參照?qǐng)D10的下段)。以該測(cè)定結(jié)果為基礎(chǔ)，利 用由控制部1090發(fā)出的指令增減風(fēng)扇1046的轉(zhuǎn)速，從而控制氣體排出部1050的排氣量。如圖10的上段所示，首先，在排氣開始后增大風(fēng)扇1046的轉(zhuǎn)速，從而逐漸增加 排氣量(I)。其次，如圖10的下段所示，排氣中的過氧化氫氣體的濃度達(dá)到規(guī)定的判定濃 度B(II)，增減轉(zhuǎn)速，從而反饋控制排氣量。在此，如圖10的上段所示，根據(jù)利用濃度測(cè)定 部1056測(cè)定出的過氧化氫氣體的濃度的上下變動(dòng)增減風(fēng)扇1046的轉(zhuǎn)速，從而控制排氣量 (III)。S卩，當(dāng)排氣中的過氧化氫氣體的濃度超過規(guī)定的判定濃度B時(shí)，降低風(fēng)扇1046的 轉(zhuǎn)速，使排氣量減少。另一方面，當(dāng)排氣中的過氧化氫氣體的濃度低于規(guī)定的判定濃度B 時(shí)，提高風(fēng)扇1046的轉(zhuǎn)速，增加排氣量。由此，如圖10的下段所示，將排出氣體中的過氧化 氫氣體的濃度保持在規(guī)定范圍。以后，如圖10上段所示，稍微增減排氣量并同時(shí)逐漸增加， 使排氣量為最大輸出，并維持該狀況(IV)。由濃度測(cè)定部1056測(cè)定出達(dá)到檢測(cè)界限后，如 圖10上段所示，以最大排氣量進(jìn)而繼續(xù)排出(V)，之后結(jié)束排氣(VI)。優(yōu)選規(guī)定的判定濃 度B為排氣允許濃度的約50%，但也可以通過試驗(yàn)確定。另外，判定濃度B不是特定的值， 也可以為上限和下限所確定的特定的范圍。此時(shí)，可以控制為排氣中的過氧化氫氣體的濃 度高于上限值時(shí)降低排氣量，低于下限值時(shí)升高排氣量。此外，本實(shí)施方式也能夠獲得與實(shí) 施方式2相同的效果。(實(shí)施方式4)在實(shí)施方式4中，在殺菌物質(zhì)降低處理部IOM的氣體流上游側(cè)還設(shè)有測(cè)定過氧化 氫氣體的濃度的其他濃度測(cè)定部1060(參照?qǐng)D11)，這一點(diǎn)與實(shí)施方式2不同。除此之外的 隔離器1300的結(jié)構(gòu)、以及殺菌處理的動(dòng)作等與實(shí)施方式2以及3相同，因此，使用同一標(biāo)號(hào) 且適當(dāng)?shù)厥÷哉f明。圖11是表示實(shí)施方式4的隔離器的結(jié)構(gòu)的示意圖。圖12是表示實(shí)施方式4的排 氣控制、即置換工序中的過氧化氫氣體濃度以及排氣量的繼時(shí)性變化的示意圖。在圖12中 示意性示出濃度1 (高濃度)、濃度2 (中濃度)、濃度3 (低濃度)這三個(gè)模式。圖13是放 大表示圖12的過氧化氫氣體的濃度的檢測(cè)界限區(qū)域C的示意圖。M表示使用殺菌物質(zhì)降 低處理部IOM的氣體流下游側(cè)的濃度測(cè)定部1056測(cè)定的、過氧化氫氣體的濃度的繼時(shí)性 變化。另外，N表示使用設(shè)于殺菌物質(zhì)降低處理部IOM的氣體流上游側(cè)的其他濃度測(cè)定部 1060測(cè)定的、過氧化氫氣體的濃度的繼時(shí)性變化。在本實(shí)施方式中，如圖13所示，由設(shè)于殺菌物質(zhì)降低處理部IOM的氣體流下游側(cè)的濃度測(cè)定部1056測(cè)出的測(cè)定值(M)在時(shí)刻Tl達(dá)到檢測(cè)界限后，使用設(shè)于殺菌物質(zhì)降低 處理部IOM的氣體流上游側(cè)的濃度測(cè)定部1060 (N)進(jìn)行濃度測(cè)定直至濃度測(cè)定部1060在 時(shí)刻T2達(dá)到檢測(cè)界限，結(jié)束排氣。根據(jù)由濃度測(cè)定部1060測(cè)定的測(cè)定結(jié)果可知，通過在殺 菌物質(zhì)降低處理部IOM的氣體流下游側(cè)的過氧化氫氣體的濃度達(dá)到濃度測(cè)定部1056的檢 測(cè)界限后進(jìn)行，能夠得到與降低濃度測(cè)定部1056的檢測(cè)界限的情況相同的效果。此外，也 可以不具備設(shè)于氣體流下游側(cè)的濃度測(cè)定部1056，只具備濃度測(cè)定部1060。此時(shí)，根據(jù)由 濃度測(cè)定部1060測(cè)定的測(cè)定結(jié)果可知，通過控制部1090進(jìn)行控制從而實(shí)現(xiàn)與實(shí)施方式2 以及3相同的效果即可。本發(fā)明并不限于上述實(shí)施方式1至4，根據(jù)本領(lǐng)域技術(shù)人員的知識(shí)可以進(jìn)行各種 設(shè)計(jì)變更等變形，進(jìn)行了這種變形的實(shí)施方式也包含在本發(fā)明的范圍中。例如，上述各實(shí)施方式的隔離器1100可以具備未圖示的加熱器作為使HEPA過濾 器1020升溫的加熱機(jī)構(gòu)。由此，更容易剝離吸附于HEPA過濾器1020的過氧化氫。另外， 當(dāng)過氧化氫以液體狀態(tài)吸附于HEPA過濾器1020時(shí)，能夠避免液體狀態(tài)的過氧化氫氣化時(shí) 吸收熱量作為氣化熱，使溫度降低而抑制過氧化氫的氣化這種狀態(tài)。加熱器的接通/斷開 以及加熱量可以通過控制部控制。優(yōu)選由加熱器進(jìn)行的HEPA過濾器1020的加熱量為將加 熱器的加熱引起的作業(yè)室1010內(nèi)的溫度變化抑制在例如5°C以下的程度。另外，例如在置 換工序中將氣體流路切換為上次作業(yè)中沒有使用的流通路徑后，對(duì)上次作業(yè)中使用的流通 路徑的HEPA過濾器進(jìn)行由加熱器進(jìn)行的HEPA過濾器1020的加熱。此外，在上述實(shí)施方式2至4中，HEPA過濾器1020及1022設(shè)置于作業(yè)室1010的 側(cè)面，但這些過濾器的位置也可以遠(yuǎn)離作業(yè)室1010。需要說明的是，在上述實(shí)施方式2至4中，僅使用作為吸氣風(fēng)扇的風(fēng)扇1046，該風(fēng) 扇具有作為排氣風(fēng)扇的功能，但風(fēng)扇不限于吸氣風(fēng)扇，也可以是排氣風(fēng)扇，也可以同時(shí)具備 吸氣風(fēng)扇和排氣風(fēng)扇。為后一種情況時(shí)，利用控制部1090進(jìn)行控制，使得吸氣風(fēng)扇的排氣 量與排氣風(fēng)扇的排氣量為相同程度即可。需要說明的是，在上述實(shí)施方式2至4中，隔離器中沒有設(shè)置傳遞箱及用于控制傳 遞箱內(nèi)的空氣的三通閥及風(fēng)扇，但是也可以為具備這些結(jié)構(gòu)的隔離器。在此，傳遞箱是指設(shè) 于作業(yè)室的壁面，當(dāng)在前室和作業(yè)室之間交接工具和物品時(shí)，避免塵埃等的出入，將塵埃向 作業(yè)室的進(jìn)入抑制為最小限度的裝置。此外，在上述實(shí)施方式2至4中，只要獲得與這些實(shí)施方式相同的效果即可，可以 使用多個(gè)閥切換流路，也可以不為三通閥。符號(hào)說明10、1010作業(yè)室、16作業(yè)室溫度計(jì)、18作業(yè)室氣壓計(jì)、20、1040氣體供給部、22、 1042吸氣口、23吸氣閥、24吸氣風(fēng)扇、26微粒子捕集過濾器、30、1050氣體排出部、32、1058 排氣口、33排氣閥、34排氣風(fēng)扇、36微粒子捕集過濾器、38殺菌物質(zhì)除去過濾器、40、1030 殺菌物質(zhì)供給部、42、1033、1035殺菌物質(zhì)供給管、44殺菌物質(zhì)循環(huán)路徑、50、1090控制部、 60循環(huán)口、61循環(huán)路閥、100、1100、1300隔離器、402殺菌氣體生成部、410霧化部、413超 聲波振子、414杯狀部、419供給部氣壓計(jì)、420氣化部、421加熱管、422加熱器、423流路形 成板、似4配管、425溫度計(jì)、427、475隔熱性連結(jié)部、似8、474閥、460過氧化氫水罐、462配 管、464、1034泵、470空氣、1012前面門、1014作業(yè)用手套、1016氣體供給口、1018氣體排出口、1020、1022HEPA過濾器、1032殺菌物質(zhì)供給箱、1036殺菌物質(zhì)送出部、1044、1052三通 閥、1046風(fēng)扇、1054殺菌物質(zhì)降低處理部、1056、1060濃度測(cè)定部、1070、1072、1074、1076、 1078、1080、1082路徑、1092計(jì)測(cè)部、1094記錄部、1202控制基板、1203過氧化氫氣體(霧)、 1204過氧化氫水箱、1206水密封帽。
權(quán)利要求
1.一種隔離器，其特征在于，具備作業(yè)室，其用于進(jìn)行以來自生物體的材料為對(duì)象的作業(yè)；殺菌物質(zhì)供給部，其在包括所述作業(yè)室的氣體流路中以熱方面及壓力方面獨(dú)立的狀態(tài) 設(shè)置，且具有用于加熱殺菌物質(zhì)而使其氣化的加熱器，并向所述氣體流路供給被氣化后的 殺菌物質(zhì)；氣體流路壓力調(diào)整部，其對(duì)所述氣體流路內(nèi)進(jìn)行加壓或減壓； 氣體流路壓力檢測(cè)部，其檢測(cè)所述氣體流路內(nèi)的壓力；控制部，其利用所述氣體流路壓力調(diào)整部對(duì)所述氣體流路內(nèi)進(jìn)行加壓或減壓，然后，根 據(jù)所述氣體流路壓力檢測(cè)部的檢測(cè)結(jié)果，控制對(duì)所述氣體流路中的氣體泄漏進(jìn)行確認(rèn)的氣 體流路漏泄試驗(yàn)的實(shí)施和由所述殺菌物質(zhì)供給部進(jìn)行的所述殺菌物質(zhì)的供給，所述控制部進(jìn)行控制，與所述氣體流路漏泄試驗(yàn)并行進(jìn)行隨著所述殺菌物質(zhì)的供給的 所述加熱器的升溫。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的隔離器，其特征在于，具備供給部壓力調(diào)整部，其對(duì)所述殺菌物質(zhì)供給部?jī)?nèi)進(jìn)行加壓或減壓； 供給部壓力檢測(cè)部，其檢測(cè)所述殺菌物質(zhì)供給部?jī)?nèi)的壓力，所述控制部在所述加熱器為常溫時(shí)，利用所述供給部壓力調(diào)整部對(duì)所述殺菌物質(zhì)供給 部?jī)?nèi)進(jìn)行加壓或減壓，并根據(jù)所述供給部壓力檢測(cè)部的檢測(cè)結(jié)果，控制對(duì)所述殺菌物質(zhì)供 給部的氣體泄漏進(jìn)行確認(rèn)的供給部漏泄試驗(yàn)的實(shí)施。
3.一種隔離器，其特征在于，具備作業(yè)室，其用于進(jìn)行以來自生物體的材料為對(duì)象的作業(yè)； 氣體供給部，其向所述作業(yè)室內(nèi)供給氣體； 氣體排出部，其排出所述作業(yè)室內(nèi)的氣體；流通路徑，其具有微粒子捕集過濾器，且連通所述氣體供給部和所述作業(yè)室； 殺菌物質(zhì)供給部，其向所述作業(yè)室內(nèi)供給殺菌物質(zhì)； 排氣機(jī)構(gòu)，其用于調(diào)節(jié)從所述氣體排出部排出的氣體的排氣量； 降低處理部，其降低從所述氣體排出部排出的氣體中所含的所述殺菌物質(zhì)的濃度； 控制部，其向作業(yè)室供給所述殺菌物質(zhì)，將所述作業(yè)室內(nèi)的殺菌物質(zhì)的濃度保持為一 定并進(jìn)行殺菌后，使用所述排氣機(jī)構(gòu)開始排氣，使排氣結(jié)束時(shí)的排氣量高于所述殺菌物質(zhì) 的濃度達(dá)到最高濃度時(shí)的排氣量。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的隔離器，其特征在于，還具有濃度測(cè)定部，其設(shè)于所述氣體排出部，測(cè)定從所述氣體排出部排出的氣體中所 存在的所述殺菌物質(zhì)的濃度， 所述控制部進(jìn)行如下控制，在由所述濃度測(cè)定部測(cè)定的濃度達(dá)到規(guī)定的判定濃度之前逐漸增加所述排氣量， 在達(dá)到所述判定濃度之后，將所述排氣量保持在規(guī)定范圍，以由所述濃度測(cè)定部測(cè)定的濃度的下降率高于規(guī)定的閾值為條件，進(jìn)一步逐漸增加排氣量。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的隔離器，其特征在于，還具有濃度測(cè)定部，其設(shè)于所述氣體排出部，測(cè)定從所述氣體排出部排出的氣體中所存在的所述殺菌物質(zhì)的濃度， 所述控制部進(jìn)行如下控制， 使排氣量逐漸增加至規(guī)定的判定濃度，達(dá)到所述判定濃度后，使用由所述濃度測(cè)定部測(cè)定的濃度來反饋控制所述排氣量以使 排氣中的殺菌物質(zhì)的濃度成為規(guī)定范圍，并以所述排氣量達(dá)到規(guī)定的排氣量為條件而固定排氣量。
6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的隔離器，其特征在于，在所述濃度測(cè)定部設(shè)于所述降低處理部的氣體流下游側(cè)時(shí)，所述隔離器還具備設(shè)于所 述降低處理部的氣體流上游側(cè)的其他濃度測(cè)定部， 所述控制部進(jìn)行如下控制，以使用所述濃度測(cè)定部測(cè)定的、所述殺菌物質(zhì)的降低處理后的排氣中的所述殺菌物質(zhì) 的濃度達(dá)到所述濃度測(cè)定部的檢測(cè)界限為條件，使用所述其他濃度測(cè)定部測(cè)定降低處理前的排氣中的所述殺菌物質(zhì)的濃度， 并以所述其他濃度測(cè)定部測(cè)定的所述殺菌物質(zhì)的濃度達(dá)到所述其他濃度測(cè)定部的檢 測(cè)界限為條件，結(jié)束由所述氣體排出部進(jìn)行的排氣。
7.根據(jù)權(quán)利要求4 6中任一項(xiàng)所述的隔離器，其特征在于，具備計(jì)測(cè)部，其對(duì)所述作業(yè)室內(nèi)的氣體開始從所述氣體排出部排出至達(dá)到所述濃度測(cè) 定部的檢測(cè)界限所需的時(shí)間進(jìn)行計(jì)測(cè)，在測(cè)定的時(shí)間超過規(guī)定的閾值時(shí)，所述控制部通知所述降低處理部的能力降低。
8.根據(jù)權(quán)利要求3 7中任一項(xiàng)所述的隔離器，其特征在于， 所述殺菌物質(zhì)為過氧化氫。
全文摘要
本發(fā)明提供一種隔離器(100)，其具備作業(yè)室(10)，其進(jìn)行以來自生物體的材料為對(duì)象的作業(yè)；殺菌物質(zhì)供給部(40)，其在包括作業(yè)室(10)的氣體流路中以熱方面及壓力方面獨(dú)立的狀態(tài)設(shè)置，且具有用于加熱殺菌物質(zhì)而使其氣化的加熱器，并向氣體流路供給被氣化后的殺菌物質(zhì)；氣體流路壓力調(diào)整部，其對(duì)氣體流路內(nèi)進(jìn)行加壓或減壓；作業(yè)室氣壓計(jì)(18)，其檢測(cè)氣體流路內(nèi)的壓力；控制部(50)，其利用氣體流路壓力調(diào)整部對(duì)氣體流路內(nèi)進(jìn)行加壓或減壓，然后，根據(jù)作業(yè)室氣壓計(jì)(18)的檢測(cè)結(jié)果，控制對(duì)氣體流路中的氣體泄漏進(jìn)行確認(rèn)的氣體流路漏泄試驗(yàn)的實(shí)施和由殺菌物質(zhì)供給部(40)進(jìn)行的殺菌物質(zhì)的供給?？刂撇?50)進(jìn)行控制，與氣體流路漏泄試驗(yàn)并行進(jìn)行隨著殺菌物質(zhì)的供給的加熱器(422)的升溫。
文檔編號(hào)B01L1/00GK102065909SQ200980123469
公開日2011年5月18日 申請(qǐng)日期2009年8月20日 優(yōu)先權(quán)日2008年8月20日
發(fā)明者原田雅樹, 大西二朗, 巖間明文, 橫井康彥, 野口孔明 申請(qǐng)人:三洋電機(jī)株式會(huì)社