專利名稱：液體過濾器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及過濾器領(lǐng)域，特別涉及一種液體過濾器。
背景技術(shù)：
在化學機械拋光過程中，從機臺端會有大量使用后的廢液排出，在這些廢液中存在大量的聚合物顆粒、且隨著時間的推移有可能產(chǎn)生更多的結(jié)晶物顆粒，如果將廢液直接 排放的話，勢必會造成排放管道的堵塞，因此在機臺端與排放管道之間必須設(shè)置過濾器來 過濾廢液中含有的聚合物顆粒以及結(jié)晶物顆粒，然后再將廢液經(jīng)排放管道傳輸至后續(xù)的附 屬設(shè)備。圖1為現(xiàn)有技術(shù)的過濾器的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，現(xiàn)有技術(shù)的過濾器為一 U 形管101，U形管101具有輸入端102和輸出端103。在U形管101的底部具有扁平狀的過 濾板104，過濾板104垂直于U形管101的軸線方向設(shè)置在U形管101中、且過濾板104的 外邊緣與U形管101的側(cè)壁貼合，過濾板104上具有多個用于過濾廢液中所含顆粒的濾孔 105。在使用時，如圖1中箭頭方向所示，廢液從U形管101的輸入端102進入過濾器中， 經(jīng)過過濾板104后，從U形管101的輸出端103排出。但是，經(jīng)過濾板104過濾的顆粒會堆 積在過濾板104朝向U形管101的輸入端102的一側(cè)、而由于重力作用而沉積的顆粒會在U 形管101的底部、過濾板104的兩側(cè)產(chǎn)生堆積，這些堆積的顆粒會造成過濾器的堵塞、甚至 從U形管101的輸入端102或輸出端103浮出，從而導致過濾器不能實現(xiàn)有效的過濾。

發(fā)明內(nèi)容
為解決上述問題，本發(fā)明提供了一種液體過濾器，用于過濾具有沉淀物的液體，能 夠防止過濾器因沉淀物顆粒堆積而堵塞，從而實現(xiàn)有效的過濾。為了達到上述目的，本發(fā)明提出的技術(shù)方案為—種液體過濾器，包括輸入管和輸出管；以及具有若干濾孔的扁平狀過濾板；其 中，所述液體過濾器還包括過濾腔，所述過濾腔頂部具有與所述輸入管連通的第一開 口、側(cè)壁具有與所述輸出管連通的第二開口 ；所述過濾板傾斜放置在所述過濾腔內(nèi)，以使得所述第一開口和所述第二開口分別 位于所述過濾板兩側(cè)；且所述過濾板的外邊緣與所述過濾腔的側(cè)壁貼合；所述過濾腔內(nèi)還具有扁平狀的阻擋板，該阻擋板與所述過濾板呈預定大小的夾 角、傾斜放置在所述過濾腔內(nèi)位于所述第二開口下方的預定位置；且該阻擋板朝向所述第 二開口的部分外邊緣與所述過濾腔的側(cè)壁之間具有間隙，該阻擋板的其余部分外邊緣則與 所述過濾腔的側(cè)壁貼合。 優(yōu)選地，傾斜放置的所述過濾板，其垂直位置高的一端位于所述第二開口上方。
優(yōu)選地，傾斜放置的所述阻擋板，其垂直位置低的一端處的部分外邊緣朝向所述第二開口，并位于所述第二開口下方的預定位置、且與所述過濾腔的側(cè)壁之間具有間隙。優(yōu)選地，所述阻擋板垂直位置高的另一端與所述過濾板垂直位置低的另一端接 觸。優(yōu)選地，所述阻擋板與所述過濾板之間的夾角為銳角。優(yōu)選地，所述間隙在水平方向上的寬度，小于所述過濾板垂直位置高的一端與低的另一端之間在水平方向上的距離的1/4。優(yōu)選地，所述第二開口與該過濾器頂部在垂直方向上的距離，等于所述側(cè)壁在垂 直方向上的高度的1/4。優(yōu)選地，所述過濾板自所述過濾板垂直位置高的一端的1/4的面積內(nèi)不具有濾 孔。優(yōu)選地，所述過濾板的濾孔的直徑自所述過濾板垂直位置高的一端至所述低的另 一端逐漸增大。優(yōu)選地，所述過濾腔的底部具有第一排放管。優(yōu)選地，所述過濾腔的側(cè)壁在位于所述過濾板的所述低的另一端的上方的位置處
具有第二排放管。優(yōu)選地，所述第一排放管和所述第二排放管分別通過球閥來控制其導通或關(guān)閉。優(yōu)選地，所述過濾板與所述阻擋板通過熱熔焊接與所述過濾腔的側(cè)壁貼合。優(yōu)選地，所述過濾板與所述阻擋板由聚乙烯制成。由上述技術(shù)方案可見，本發(fā)明的液體過濾器通過設(shè)置用于廢液沉積的過濾腔、并 將輸出管設(shè)置在過濾腔的側(cè)壁，可以使經(jīng)過過濾板的廢液中的固體物質(zhì)在重力的作用下沉 積在過濾腔的底部，而不是堆積在輸出管中，從而有效地防止輸出管的堵塞。并通過在過濾 腔底部設(shè)置排放管，來及時排出沉積在過濾腔底部的固體物質(zhì)，從而進一步防止該固體物 質(zhì)堵塞過濾器。進一步地，通過傾斜地設(shè)置過濾板、并在過濾腔的側(cè)壁位于所述過濾板的低端上 方的位置處設(shè)置排放管，以及時地排出堆積在過濾板上方的由過濾板過濾的固體物質(zhì)，可 以有效地防止廢液中的固體物質(zhì)堵塞輸入管，從而實現(xiàn)有效的過濾。進一步地，通過在輸出管的下方設(shè)置阻擋板，可以防止沉積在過濾腔底部的固體 物質(zhì)在過濾腔內(nèi)液流的作用下進入輸出管，從而有效地防止輸出管的堵塞。


圖1是現(xiàn)有技術(shù)的過濾器的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本發(fā)明實施例的過濾器的剖視圖。圖3是本發(fā)明實施例的過濾器的過濾板的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下參照附圖并舉實施例，對 本發(fā)明進一步詳細說明。本發(fā)明的液體過濾器用于過濾具有沉淀物的液體，與現(xiàn)有技術(shù)中的過濾器一樣， 該過濾器具有輸入管、輸出管，且使用過濾板進行過濾。與現(xiàn)有技術(shù)中的過濾器不同的是，本發(fā)明的液體過濾器還包括過濾腔，該過濾腔頂部具有與所述輸入管連通的第一開口、側(cè) 壁具有與所述輸出管連通的第二開口 ；所述過濾板傾斜放置在所述過濾腔內(nèi)，以使得所述 第一開口和所述第二開口分別位于所述過濾板兩側(cè)；且所述過濾板的外邊緣與所述過濾腔 的側(cè)壁貼合。此外，所述過濾腔內(nèi)還具有扁平狀的阻擋板，該阻擋板與所述過濾板呈預定大小 的夾角、傾斜放置在所述過濾腔內(nèi)位于所述第二開口下方的預定位置；且該阻擋板朝向所 述第二開口的部分外邊緣與所述過濾腔的側(cè)壁之間具有間隙，該阻擋板的其余部分外邊緣 則與所述過濾腔的側(cè)壁貼合。圖2是本發(fā)明實施例的過濾器的剖視圖。如圖2所示，過濾器200具有過濾腔201、 以及與過濾腔201連通的輸入管202和輸出管203。其中，輸入管202與過濾腔201連通 的第一開口位于過濾腔201的頂部，輸出管203與過濾腔201連通的第二開口位于過濾腔 201的側(cè)壁上。過濾腔201內(nèi)具有扁平狀的過濾板204，過濾板204具有用于過濾廢液中顆粒物的 濾孔205，過濾板204的外邊緣與過濾腔201的側(cè)壁貼合。過濾板204傾斜地設(shè)置于過濾 腔201內(nèi)，過濾板204的高端301位于第二開口的上方。則第一開口和第二開口分別位于 過濾板204的兩側(cè)。本實施例中過濾板的傾斜是指過濾板的平面與豎直方向的夾角小于等于90°地 設(shè)置在過濾腔內(nèi)。當夾角等于90°時，該過濾板水平地設(shè)置在過濾腔中、且位于第二開口的 上方。在下文中，過濾板的垂直位置高的一端稱為高端301，其垂直 位置低的一端稱為低 端302，以后不再贅述。濾孔205的大小需要根據(jù)所過濾的廢液中含有的聚合物顆粒或結(jié)晶物顆粒的大 小進行選擇，濾孔205的大小應能夠恰好阻止廢液中的顆粒通過濾孔205。優(yōu)選地，第二開口的中心與過濾器頂部在垂直方向上的距離小于或等于過濾腔 201的側(cè)壁在垂直方向上的高度的1/4，即第二開口位于側(cè)壁的上部位置。這樣，廢液經(jīng)輸 入管202進入過濾器后，經(jīng)過濾板204過濾以后會聚集在過濾腔201內(nèi)，直到過濾腔201內(nèi) 的液面高度達到過濾腔201的側(cè)壁在垂直方向上的高度的3/4以上時，經(jīng)過過濾的廢液才 可以經(jīng)輸出管203排出過濾器。經(jīng)過濾板204過濾的固體物質(zhì)，例如廢液中存在的聚合物顆粒等，會由于重力的 作用聚集在過濾板204的低端302的上方。而在廢液聚集在過濾腔201內(nèi)的時間中所可能 產(chǎn)生結(jié)晶物顆粒會由于重力的作用而沉積在過濾腔201的底部。為了能夠及時地將聚集在過濾板204的低端302的上方、以及沉積在過濾腔201 底部的固體物質(zhì)排出過濾器，以保證過濾器的過濾效果，可分別在過濾腔201的側(cè)壁上、位 于過濾板204的低端302上方的位置處設(shè)置第一排放管206，在過濾腔201的底部設(shè)置第二 排放管207。其中，第一排放管206和第二排放管207的導通或關(guān)閉可通過控制開關(guān)進行 控制，例如使用球閥來控制第一排放管206和第二排放管207的導通或關(guān)閉。當?shù)谝慌欧?管206和第二排放管207導通時，聚集在過濾板204的低端302的上方、以及沉積在過濾腔 201底部的固體物質(zhì)能夠及時地排出過濾器，從而避免了過濾器的堵塞。過濾腔201內(nèi)還具有扁平狀的阻擋板206，阻擋板206用于阻擋沉積在過濾腔的底部的固體物質(zhì)進入輸出管203中。阻擋板206位于過濾板204的下方、與過 濾板204呈預 定大小的夾角、傾斜放置在過濾腔201內(nèi)位于第二開口下方的預定位置，阻擋板206朝向第 二開口的部分外邊緣與過濾腔201的側(cè)壁之間具有間隙，而阻擋板206其余部分的外邊緣 與過濾腔201的側(cè)壁貼合，廢液中的固體物質(zhì)可通過該間隙沉積在過濾腔201的底部。如圖2所示，阻擋板206傾斜地設(shè)置于過濾腔201內(nèi)，則阻擋板206的低端304位 于第二開口的下方、且低端304與過濾腔201的側(cè)壁之間具有間隙。同樣地，在下文中，阻擋板板的垂直位置高的一端稱為高端303，其垂直位置低的 一端稱為低端304，以后不再贅述。優(yōu)選地，阻擋板206的高端303與過濾板204的低端302接觸，且阻擋板206與 過濾板204之間的夾角為銳角。這樣，在廢液經(jīng)過過濾板204以后可以通過阻擋板206的 阻擋作用而產(chǎn)生向上的渦流作用，且廢液中的固體物質(zhì)在重力的作用下脫離向上的渦流方 向而向下落在阻擋板206上，繼而在渦流的切向力的作用下沿著阻擋板表面向下的方向滑 落、經(jīng)阻擋板206的低端304與過濾腔201的側(cè)壁之間的間隙沉積到過濾腔201的底部。此外，阻擋板206的低端304與過濾腔201的側(cè)壁之間的間隙在水平方向上的寬 度小于過濾板204的高端301與低端302之間在水平方向上的距離的1/4。這樣，可以有 效地防止沉積在過濾腔201底部的固體物質(zhì)在渦流的帶動下被再次擾動、繼而進入輸出管 203 中。優(yōu)選地，由于輸出管203與過濾腔201連通的開口的中心與過濾器頂部在垂直方 向上的距離小于或等于過濾腔201的側(cè)壁在垂直方向上的高度的1/4，因此，結(jié)合圖3所示， 過濾板204自其高端301的1/4的面積內(nèi)不具有濾孔205。這樣，可以防止廢液在經(jīng)過過濾 板204后直接從輸出管203排出，避免廢液中產(chǎn)生的結(jié)晶物顆粒堵塞輸出管203。進一步地，過濾板204的濾孔205的直徑可自其高端301至其低端302逐漸增大， 即靠近高端301處的濾孔直徑小于靠近低端302處的濾孔直徑。這樣，廢液在高端的過濾 速度會小于在低端的過濾速度，則多數(shù)廢液是經(jīng)過濾板低端過濾后、再通過阻擋板206的 阻擋作用產(chǎn)生向上的渦流作用，不僅可以增強渦流作用，而且還可以進一步地防止廢液在 經(jīng)過過濾板204后直接從輸出管203排出。因此，當廢液通過輸入管進入本發(fā)明的液體過濾器以后，依次經(jīng)過過濾板的過濾、 在過濾腔中的沉積，然后在液面到達輸出管高度的時候經(jīng)輸出管排出該過濾器，可以有效 地防止廢液中的固體物質(zhì)堵塞輸入管和輸出管。并且，通過在輸出管與過濾腔連通的第二 開口下方設(shè)置阻擋板，可防止沉積在過濾腔底部的固體物質(zhì)在過濾腔中渦流的作用下進入 輸出管，可以進一步地防止輸出管的堵塞。優(yōu)選地，過濾板和阻擋板的外邊緣可通過粘接、焊接等方式而實現(xiàn)與過濾腔的側(cè) 壁之間的貼合。在本實施例中，過濾板和阻擋板的外邊緣通過熱熔焊接而貼合過濾前的側(cè)壁。由于本發(fā)明的液體過濾器用于過濾化學機械拋光過程中產(chǎn)生的廢液，因此過濾器 中的過濾板和阻擋板必須使用耐腐蝕的材料制成，例如聚乙烯、聚丙烯等。在本實施例中， 過濾板和阻擋板由聚乙烯制成。由以上的實施例可以看出，本發(fā)明的液體過濾器通過設(shè)置用于廢液沉積的過濾 腔、并將輸出管設(shè)置在過濾腔的側(cè)壁，可以使經(jīng)過過濾板的廢液中的固體物質(zhì)在重力的作用下沉積在過濾腔的底部，而不是堆積在輸出管中，從而有效地防止輸出管的堵塞。并通過 在過濾腔底部設(shè)置排放管，來及時排出沉積在過濾腔底部的固體物質(zhì)，從而進一步防止該 固體物質(zhì)堵塞過濾器。進一步地，通過傾斜地設(shè)置過濾板、并在過濾腔的側(cè)壁位于所述過濾板的低端上 方的位置處設(shè)置排放管，以及時地排出堆積在過濾板上方的由過濾板過濾的固體物質(zhì)，可 以有效地防止廢液中的固體物質(zhì)堵塞輸入管，從而實現(xiàn)有效的過濾。進一步地，通過在輸出管的下方設(shè)置阻擋板，可以防止沉積在過濾腔底部的固體 物質(zhì)在過濾腔內(nèi)液流的作用下進入輸出管，從而有效地防止輸出管的堵塞。以上僅為本發(fā)明的較佳實施例而已，并非用于限定本發(fā)明的保護范圍。凡在本發(fā) 明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本發(fā)明的保護范圍 之內(nèi)。
權(quán)利要求
一種液體過濾器，包括輸入管和輸出管；以及具有若干濾孔的扁平狀過濾板；其特征在于，所述液體過濾器還包括過濾腔，所述過濾腔頂部具有與所述輸入管連通的第一開口、側(cè)壁具有與所述輸出管連通的第二開口；所述過濾板傾斜放置在所述過濾腔內(nèi)，以使得所述第一開口和所述第二開口分別位于所述過濾板兩側(cè)；且所述過濾板的外邊緣與所述過濾腔的側(cè)壁貼合；所述過濾腔內(nèi)還具有扁平狀的阻擋板，該阻擋板與所述過濾板呈預定大小的夾角、傾斜放置在所述過濾腔內(nèi)位于所述第二開口下方的預定位置；且該阻擋板朝向所述第二開口的部分外邊緣與所述過濾腔的側(cè)壁之間具有間隙，該阻擋板的其余部分外邊緣則與所述過濾腔的側(cè)壁貼合。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液體過濾器，其特征在于，傾斜放置的所述過濾板，其垂直位 置高的一端位于所述第二開口上方。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液體過濾器，其特征在于，傾斜放置的所述阻擋板，其垂直位 置低的一端處的部分外邊緣朝向所述第二開口，并位于所述第二開口下方的預定位置、且 與所述過濾腔的側(cè)壁之間具有間隙。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的液體過濾器，其特征在于，所述阻擋板垂直位置高的另一端 與所述過濾板垂直位置低的另一端接觸。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的液體過濾器，其特征在于，所述阻擋板與所述過濾板之間 的夾角為銳角。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的液體過濾器，其特征在于，所述間隙在水平方向上的寬度，小 于所述過濾板垂直位置高的一端與低的另一端之間在水平方向上的距離的1/4。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的液體過濾器，其特征在于，所述第二開口與該過濾器頂部在 垂直方向上的距離，等于所述側(cè)壁在垂直方向上的高度的1鳩。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的液體過濾器，其特征在于，所述過濾板自所述過濾板垂直位 置高的一端的1/4的面積內(nèi)不具有濾孔。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的液體過濾器，其特征在于，所述過濾板的濾孔的直徑自所述 過濾板垂直位置高的一端至所述低的另一端逐漸增大。
10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的液體過濾器，其特征在于，所述過濾腔的底部具有第一排放管。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的液體過濾器，其特征在于，所述過濾腔的側(cè)壁在位于所述 過濾板的所述低的另一端的上方的位置處具有第二排放管。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的液體過濾器，其特征在于，所述第一排放管和所述第二排 放管分別通過球閥來控制其導通或關(guān)閉。
13.根據(jù)權(quán)利要求1、2、3、7或10中任一權(quán)利要求所述的液體過濾器，其特征在于，所述 過濾板與所述阻擋板通過熱熔焊接與所述過濾腔的側(cè)壁貼合。
14.根據(jù)權(quán)利要求1、2、3、7或10中任一權(quán)利要求所述的液體過濾器，其特征在于，所述 過濾板與所述阻擋板由聚乙烯制成。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種液體過濾器，包括輸入管和輸出管；以及具有若干濾孔的扁平狀過濾板；所述液體過濾器還包括過濾腔，所述過濾腔頂部具有與所述輸入管連通的第一開口、側(cè)壁具有與所述輸出管連通的第二開口；所述過濾板傾斜放置在所述過濾腔內(nèi)，以使得所述第一開口和所述第二開口分別位于所述過濾板兩側(cè)；且所述過濾板的外邊緣與所述過濾腔的側(cè)壁貼合；所述過濾腔內(nèi)還具有扁平狀的阻擋板，該阻擋板與所述過濾板呈預定大小的夾角、傾斜放置在所述過濾腔內(nèi)位于所述第二開口下方的預定位置；且該阻擋板朝向所述第二開口的部分外邊緣與所述過濾腔的側(cè)壁之間具有間隙，該阻擋板的其余部分外邊緣則與所述過濾腔的側(cè)壁貼合。
文檔編號B01D29/03GK101822916SQ20091004700
公開日2010年9月8日 申請日期2009年3月4日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月4日
發(fā)明者王寶中, 鄒德承 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司