專利名稱：剝離液冷凝回收設備的制作方法
技術領域：
本發(fā)明是關于一種液體冷凝回收設備，特別是增進剝離液回收系統(tǒng)中的剝離液濃度均勻度的方法與裝置。
背景技術：
在半導體或平面顯示器基板制作過程中，需要利用光阻劑以及顯影、蝕刻等制程來在硅基板上形成特定的電路圖形，而在此之后則需利用剝離液(stripper)將多余的光阻劑脫除。
一般制程機臺使用后的剝離液，大部分經(jīng)由回收液(例如回收液的組成MEA19.3％；BDG77％；PR3％；H2O27％)收集管路排至剝離液緩沖槽(stripper buffer tank)，另一少部分則經(jīng)由排氣系統(tǒng)抽至剝離液冷凝器(stripper condenser)冷凝收集(冷凝液的組成MEA50％；BDG23％；H2O27％)后，再導入剝離液緩沖槽。回收液與冷凝液在剝離液緩沖槽中混合進入回收系統(tǒng)后，在進行去除其中的不純物并調合成制程所需要的濃度成分，供回制程機臺再利用。
由于剝離液回收系統(tǒng)之中設置有廢液排放裝置，可將回收系統(tǒng)分離出的不能回收再使用廢液，排放至廢水處理系統(tǒng)。其設計是以以往回收系統(tǒng)進料成份中不純物的濃度比例，手動設定回收系統(tǒng)的廢液排放量，使回收系統(tǒng)制作出的回收液，可符合制程要求的規(guī)格。如回收系統(tǒng)中廢液設定的排放量相對于回收系統(tǒng)進料成份中不純物濃渡過小時(亦即回收系統(tǒng)進料成份中不純物的濃度相對過大的狀況)，回收系統(tǒng)制作出的回收液會超出制程要求的品質規(guī)范，而無法達成再利用的目的；此時須將回收系統(tǒng)排放廢液的排放量加大，用以將回收系統(tǒng)進料成份中的不純物完全排除，以確?；厥障到y(tǒng)制作出的回收液能被再使用于制程機臺處。因此，如回收系統(tǒng)進料成份中不純物濃度無法控制于穩(wěn)定的情況下，回收系統(tǒng)廢液設定排放量須以進料成份中不純物的可能最高濃度值為設定基準，將相對需排放掉許多原可供回制程機臺再使用的化學物質，造成回收率下降，形成資源的浪費。
因此，需要一種回收剝離液的冷凝液并暫時儲存，使得回收系統(tǒng)的進料成份穩(wěn)定且其制作出的剝離液規(guī)格能符合制程機臺需求，同時又能控制流量的方法。

發(fā)明內容
本發(fā)明的主要目的是在提供一種剝離液冷凝回收設備，以便能提高制程機臺使用過剝離液的回收率，減少回收剝離液的浪費，提高回收剝離液的濃度均勻度，并維持回收剝離液的濃度恒定。
本發(fā)明的另一目的是在提供一種剝離液冷凝回收的方法，以便能提高制程機臺使用過剝離液的回收率，減少回收剝離液的浪費，提高回收剝離液的濃度均勻度，并維持回收剝離液的濃度恒定。
為達成上述目的，本發(fā)明的一種剝離液冷凝回收的設備，主要包括一剝離液冷凝器；一第一緩沖槽一第二緩沖槽，其中該第二緩沖槽是以一第一管路連接至該剝離液冷凝器，并以一第二管路連接至該第一緩沖槽；一廢水處理裝置，該廢水處理裝置是以一第三管路連接至該第一管路；一回收利用裝置，該回收利用裝置是以一第四管路連接至該第一緩沖槽；一第一泵，該第一泵是位于該第一管路上；一第二泵，該第二泵是位于該第二管路上；一濃度偵測裝置，該濃度偵測裝置是位于剝離液冷凝器的中；一流量計，該流量計是位于該第二管路上；至少一液高感測器，該液高感測器是位于該第二緩沖槽中；以及一控制裝置，其中該控制裝置分別電連接至該濃度偵測裝置、該流量計以及該液高成測器以接收其所偵測的信號，該控制裝置并同時電連接至該第一泵以及該第二泵以傳遞開、關信號至該二泵。
其中還包括一廢水處理裝置，該廢水處理裝置是以一第三管路連接至該第一管路。
其中還包括有一第一閥位于該第三管路上。
其中還包括有一第二閥位于該第一管路上。
其中還包括有一第三閥位于該第二管路上。
其中該第一閥、第二閥、以及第三閥分別電連接至該控制器。
其中還包括一流量計，該流量計是位于該第二管路上。
其中還包括至少一液高感測器，該液高感測器是位于該第二緩沖槽中。
其中該控制裝置還電連接至該流量計及該液高感測器以接收其所偵測的信號。
其中該液高感測器是有二個，分別位于該剝離液冷凝器以及該第二緩沖槽中，該二液高感測器分別電連接至該控制裝置。
為達成本發(fā)明的另一目的，本發(fā)明的一種增進剝離液的濃度均勻度的方法，其特征在于，主要包括以下步驟(A)提供一種剝離液冷凝回收的設備，主要包括一剝離液冷凝器；一第一緩沖槽；一第二緩沖槽，其中該第二緩沖槽是以一第一管路連接至該剝離液冷凝器，并以一第二管路連接至該第一緩沖槽；一廢水處理裝置，該廢水處理裝置是以一第三管路連接至該第一管路；一回收利用裝置，該回收利用裝置是以一第四管路連接至該第一緩沖槽；一第一泵，該第一泵是位于該第一管路上；一第二泵，該第二泵是位于該第二管路上；一濃度偵測裝置，該濃度偵測裝置是位于剝離液冷凝器之中；一流量計，該流量計是位于該第二管路上；至少一液高感測器，該液高感測器是位于該第二緩沖槽中；以及一控制裝置，其中該控制裝置分別電連接至該濃度偵測裝置、該流量計以及該液高成測器以接收其所偵測的信號，該控制裝置并同時電連接至該第一泵以及該第二泵以傳遞開、關信號至該二泵；其中包括有一第一閥位于該第三管路上、一第二閥位于該第一管路上、一第三閥位于該第二管路上；(B)自該剝離液冷凝器收集剝離液的冷凝液；(C)在該冷凝器中設定一剝離液中的水分濃度警報值；(D)利用該濃度偵測裝置偵測該剝離液的水分濃度，當該剝離液的水分濃度低于該濃度警報值時，開啟該第二閥并關閉該第一閥，使該剝離液流入該第二緩沖槽；當該剝離液的水分濃度高于該濃度警報值時，關閉該第二閥并開啟該第一閥，使該剝離液流入該廢水處理裝置；
(E)該控制裝置依據(jù)該第一泵的啟動時間以及該第一泵所傳送的液體量計算得到一流量值，并將該流量值轉換為該第三閥的開度；以及(F)該第三閥依據(jù)該控制裝置所提供的開度信號調整流量，使得該第二緩沖槽中的剝離液流入該第一緩沖槽。
其中該冷凝器還包括一第二液高感測器，并在該冷凝器中設定一第一高液位以及一第一低液位，該步驟(D)還包括(D’)當該冷凝器中的剝離液位超過該第一高液位時，啟動該第一泵當該冷凝器中的剝離液位低于該第一低液位時，關閉該第一泵。
其中在該第二緩沖槽設定有一第二高液位、一第二中液位以及一第二低液位，其特征在于，該步驟(F)還包括(F’)當該緩沖槽中的剝離液低于該第二低液位時，關閉第二泵；當該緩沖槽中的剝離液位高于該第二高液位時，關閉該第二閥并開啟該第一閥。
其中該第二緩沖槽中的該第二高液位與該第二低液位之間的體積差，是大于該冷凝器中該第一高液位與該第一低液位之間的體積差。
其中該步驟(E)中該流量值是依據(jù)一方程式(I)而得流量＝(體積/時間)(1)其中該式(1)中的體積是代表自該第一泵啟動至關閉之間，該第二緩沖槽中所增加的剝離液體積；該式(I)中的時間是代表近五次該第一泵啟動時，自每一次啟動至下一次啟動的平均時間。
當該冷凝器中的剝離液的水分濃度高于該濃度警報值時，該第一泵的該次啟動時間不列入該式(I)的時間。
簡言之，由于剝離液冷凝器所收集的冷凝液與制程機臺直接排放的回收液二者內容物中的水分濃度有極大的不同，為了避免剝離液冷凝器收集的冷凝液導入剝離液回收系統(tǒng)時，混合瞬間造成進料中水分濃度的不穩(wěn)定面對回收系統(tǒng)運轉產(chǎn)生重大的影響，因此在冷凝器以及剝離液緩沖槽的間加入另一緩沖槽，并同時加入一控制器，以便可依照不同的系統(tǒng)狀況，隨時偵測冷凝器中的剝離液冷凝液濃度，并隨之調整各閥門的開度、控制流量，以調節(jié)最終排至剝離液緩沖槽的冷凝液濃度。


為能讓審查員能更了解本發(fā)明的技術內容，特舉一較佳具體實施例及

如下，其中圖1是本發(fā)明第一實施例的裝置配置圖。
圖2是本發(fā)明第一實施例的方法步驟流程圖。
具體實施例方式
請先參見圖1，此是本發(fā)明第一實施例的裝置配置圖。在本圖中包括有一剝離液冷凝器11、一第一緩沖槽12以及一第二緩沖槽13。同時剝離液冷凝器11藉由一第一管路71連接到第二緩沖槽13，而第二緩沖槽13則藉由一第二管路72連接至第一緩沖槽12，在第一管路71則另接出一第三管路73以連接到一廢水處理系統(tǒng)51，而第一緩沖槽則以一第四管路74連接至一回收再利用系統(tǒng)52。在冷凝器11中裝設有一濃度偵測器21以及一液高成測器22。在第一管路71接近冷凝器11的位置裝設有一第一泵31，在第三管路上裝設有一第一閥41，在第一管路71接近第三緩沖槽13處裝設有一第二閥42，第二緩沖槽13中設置有一液高感測器23，在第二管路上則裝設有一第二泵32、一第三閥43以及一流量計24。其中濃度偵測器21、液高感測器22，23、流量計24均電連接至一控制器6，以將其所偵測的數(shù)據(jù)傳送至控制器6做運算。而第一泵31以及第二泵32亦電連接至該控制器6，以接收控制器6的開、關信號。第一閥41、第二閥42以及第三閥43也都電連接至控制器6，以接收控制器6的開、關甚至是閥開度值(閥開放程度)信號。在冷凝器11的液高感測器22的中設定有一高液位(H)以及一低液位(L)；而在第二緩沖槽13中的液高感測器23中則設定有一高液位(H)、一中液位(M)以及一低液位(L)。
接著請參見圖2，此是本發(fā)明第一實施例中的方法步驟流程圖。首先提供一如圖1所示的剝離液冷凝回收的設備S201；之后，剝離液冷凝器11開始收集冷凝液S202；此時有二條路徑，主路徑是當冷凝器中的冷凝液面高于H液位時S203，則開啟第二閥42、關閉第一閥41，同時開啟第一泵31，使得冷凝液進入第二緩沖槽13；而當冷凝器中的冷凝液面低于低液位時，則關閉第一泵，不再抽出冷凝液。次路徑則是由冷凝器11中的濃度成測器21設定一水濃度警戒值，當濃度感測器21所感測的冷凝液中水分濃度高于該警戒值時S209，則關閉第二閥42、開啟第一閥31，使得冷凝液進入廢水排放系統(tǒng)S210。
當冷凝液進入第二緩沖槽13之后，控制器6會依據(jù)式(I)流量＝體積/時間(I)的公式計算出一最佳流量值(其中“體積”代表第一泵31自啟動至關閉之間，第二緩沖槽13中所增加的冷凝液體積，而“時間”則代表最近五次第一泵13每次啟動至下次啟動的平均作動時間)，接著將此最佳流量值換算成第三閥43所需的開度值，并將此開度值轉換成電氣信號傳送至第三閥43(S205)。同時，在第二泵32作動的期間，由流量計24持續(xù)比對所測得的實際值與計算值，以確保實際流量值的正確性。然而需要注意的是，若此時第一泵的開啟是用以將含水量過高的冷凝液排放至廢水處理系統(tǒng)51，則此次泵開啟時間則不列入計算。
在第二緩沖槽13中的液高感測器23將所偵測到的液面高度資料傳送至控制器6之后，感測器會依據(jù)不同的液面高度做出不同的動作S206；當冷凝器液面高于H液位時，控制器6將會發(fā)出信號關閉第二閥42并開啟第一閥41(S210)，使得冷凝液不再進入第二緩沖槽13；當冷凝器液面低于L液位時，控制器6將會發(fā)出信號關閉第二泵32(S212)，使得冷凝液不再流出第二緩沖槽13；當液面達到M液位時，系統(tǒng)將會發(fā)出警報，此時必須加大(自動或以人員手動)第三閥43的流量S207，防止過多的冷凝液累積在第二緩沖槽中。
當一切正常的時候，冷凝液從冷凝器11經(jīng)由第一管路71流入第二緩沖槽13，接著經(jīng)由第二管路72流入第一緩沖槽，最后再經(jīng)由第四管路74進入回收再利用系統(tǒng)520從上述實施例中可知，本發(fā)明所設置的第二緩沖槽是用以緩沖冷凝器所收集的冷凝液，并且利用自動控制流量系統(tǒng)，在當冷凝液含水量于穩(wěn)定狀況時，自動調整流量將冷凝器所收集的冷凝液小量地導入第一緩沖槽(亦即已知的剝離液緩沖槽)中，使得剝離液回收系統(tǒng)的進料成分能夠保持在固定比例，進而達到系統(tǒng)穩(wěn)定操作的目的，并且確?；厥找旱钠焚|，另一方面亦能提高回收系統(tǒng)的回收率，減少可利用化學物質的排放量，增進系統(tǒng)的經(jīng)濟效率并達成廢物減量的環(huán)保訴求。
同時，若冷凝液含水量有突然過高的異常發(fā)生時，亦可利用即時濃度計來監(jiān)控冷凝器中的水分濃度，將含水量過高的冷凝液排至廢水處理系統(tǒng)，而不致影響回收系統(tǒng)的運轉。
上述實施例僅是為了方便說明而舉例而已，本發(fā)明所主張的權利范圍自應以申請專利范圍所述為準，而非僅限于上述實施例。
權利要求
1.一種剝離液冷凝回收設備，其特征在于，主要包括一剝離液冷凝器；一第一緩沖槽；一第二緩沖槽，其中該第二緩沖槽是以一第一管路連接至該剝離液冷凝器，并以一第二管路連接至該第一緩沖槽；一回收利用裝置，該回收利用裝置是以一第四管路連接至該第一緩沖槽；一第一泵，該第一泵是位于該第一管路上；一第二泵，該第二泵是位于該第二管路上；一濃度偵測裝置，該濃度偵測裝置是位于該剝離液冷凝器之中；以及一控制裝置，其中該控制裝置是電連接至該濃度偵測裝置以接收其所偵測的信號，且該控制裝置同時電連接至該第一泵以及該第二泵以傳遞開、關信號至該二泵。
2.如權利要求1所述的剝離液冷凝回收設備，其特征在于，其中還包括一廢水處理裝置，該廢水處理裝置是以一第三管路連接至該第一管路。
3.如權利要求2所述的剝離液冷凝回收設備，其特征在于，其中還包括有一第一閥位于該第三管路上。
4.如權利要求3所述的剝離液冷凝回收設備，其特征在于，其中還包括有一第二閥位于該第一管路上。
5.如權利要求4所述的剝離液冷凝回收設備，其特征在于，其中還包括有一第三閥位于該第二管路上。
6.如權利要求5所述的剝離液冷凝回收設備，其特征在于，其中該第一閥、第二閥、以及第三閥分別電連接至該控制器。
7.如權利要求1所述的剝離液冷凝回收設備，其特征在于，其中還包括一流量計，該流量計是位于該第二管路上。
8.如權利要求7所述的剝離液冷凝回收設備，其特征在于，其中還包括至少一液高感測器，該液高感測器是位于該第二緩沖槽中。
9.如權利要求8所述的剝離液冷凝回收設備，其特征在于，其中該控制裝置還電連接至該流量計及該液高感測器以接收其所偵測的信號。
10.如權利要求9所述的剝離液冷凝回收設備，其特征在于，其中該液高感測器是有二個，分別位于該剝離液冷凝器以及該第二緩沖槽中，該二液高感測器分別電連接至該控制裝置。
11.一種增進剝離液的濃度均勻度的方法，其特征在于，主要包括以下步驟(A)提供一種剝離液冷凝回收的設備，主要包括一剝離液冷凝器；一第一緩沖槽；一第二緩沖槽，其中該第二緩沖槽是以一第一管路連接至該剝離液冷凝器，并以一第二管路連接至該第一緩沖槽；一廢水處理裝置，該廢水處理裝置是以一第三管路連接至該第一管路；一回收利用裝置，該回收利用裝置是以一第四管路連接至該第一緩沖槽；一第一泵，該第一泵是位于該第一管路上；一第二泵，該第二泵是位于該第二管路上；一濃度偵測裝置，該濃度偵測裝置是位于剝離液冷凝器之中；一流量計，該流量計是位于該第二管路上；至少一液高感測器，該液高感測器是位于該第二緩沖槽中；以及一控制裝置，其中該控制裝置分別電連接至該濃度偵測裝置、該流量計以及該液高成測器以接收其所偵測的信號，該控制裝置并同時電連接至該第一泵以及該第二泵以傳遞開、關信號至該二泵；其中包括有一第一閥位于該第三管路上、一第二閥位于該第一管路上、一第三閥位于該第二管路上；(B)自該剝離液冷凝器收集剝離液的冷凝液；(C)在該冷凝器中設定一剝離液中的水分濃度警報值；(D)利用該濃度偵測裝置偵測該剝離液的水分濃度，當該剝離液的水分濃度低于該濃度警報值時，開啟該第二閥并關閉該第一閥，使該剝離液流入該第二緩沖槽；當該剝離液的水分濃度高于該濃度警報值時，關閉該第二閥并開啟該第一閥，使該剝離液流入該廢水處理裝置；(E)該控制裝置依據(jù)該第一泵的啟動時間以及該第一泵所傳送的液體量計算得到一流量值，并將該流量值轉換為該第三閥的開度；以及(F)該第三閥依據(jù)該控制裝置所提供的開度信號調整流量，使得該第二緩沖槽中的剝離液流入該第一緩沖槽。
12.如權利要求11所述的增進剝離液的濃度均勻度的方法，其特征在于，其中該冷凝器還包括一第二液高感測器，并在該冷凝器中設定一第一高液位以及一第一低液位，該步驟(D)還包括(D’)當該冷凝器中的剝離液位超過該第一高液位時，啟動該第一泵當該冷凝器中的剝離液位低于該第一低液位時，關閉該第一泵。
13，如權利要求11所述的增進剝離液的濃度均勻度的方法，其特征在于，其中在該第二緩沖槽設定有一第二高液位、一第二中液位以及一第二低液位，其特征在于，該步驟(F)還包括(F’)當該緩沖槽中的剝離液低于該第二低液位時，關閉第二泵；當該緩沖槽中的剝離液位高于該第二高液位時，關閉該第二閥并開啟該第一閥。
14.如權利要求13所述的增進剝離液的濃度均勻度的方法，其特征在于，其中該第二緩沖槽中的該第二高液位與該第二低液位之間的體積差，是大于該冷凝器中該第一高液位與該第一低液位之間的體積差。
15.如權利要求11所述的增進剝離液的濃度均勻度的方法，其特征在于，其中該步驟(E)中該流量值是依據(jù)一方程式(I)而得流量＝(體積/時間) (1)其中該式(1)中的體積是代表自該第一泵啟動至關閉之間，該第二緩沖槽中所增加的剝離液體積；該式(I)中的時間是代表近五次該第一泵啟動時，自每一次啟動至下一次啟動的平均時間。
16.如權利要求15所述的增進剝離液的濃度均勻度的方法，其特征在于，當該冷凝器中的剝離液的水分濃度高于該濃度警報值時，該第一泵的該次啟動時間不列入該式(I)的時間。
全文摘要
本發(fā)明是有關于一種剝離液冷凝回收的設備，主要包括一剝離液冷凝器；一第一緩沖槽；一第二緩沖槽，其中該第二緩沖槽是以一第一管路連接至該剝離液冷凝器，并以一第二管路連接至該第一緩沖槽；一廢水處理裝置，該廢水處理裝置是以一第三管路連接至該第一管路；一回收利用裝置，該回收利用裝置是以一第四管路連接至該第一緩沖槽；一第一泵，該第一泵是位于該第一管路上；一第二泵，該第二泵是位于該第二管路上；一濃度偵測裝置，該濃度偵測裝置是位于剝離液冷凝器的中；一流量計，該流量計是位于該第二管路上；至少一液高感測器，該液高感測器是位于該第二緩沖槽中；以及一控制裝置。
文檔編號B01D5/00GK1552498SQ03140920
公開日2004年12月8日 申請日期2003年6月6日 優(yōu)先權日2003年6月6日
發(fā)明者蘇大森, 周劍, 陳紀綸 申請人:友達光電股份有限公司