專利名稱：橢圓隔板式噴淋吸收廢氣處理裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及用于電子工業(yè)廢氣處理的橢圓隔板式噴淋吸收廢氣處理裝置。
在半導體材料和器件生產過程中將排放大量的廢氣，這些廢氣中以砷、磷、硫、氟及氮氧化合物等最多。如果將上述廢氣任意排放，將會對大氣造成嚴重的污染，其后果難以想象。因此，在電子工業(yè)，特別是半導體材料和器件生產過程中對上述的廢氣的治理是刻不容緩的。
治理上述廢氣都是采用噴淋裝置，并力入氧化劑和堿混合物吸收，亦即將各種形態(tài)的砷、磷等分別氧化為AsO43-和PO43-等，其中使用的氧化劑為KMnO4或H2O2。在噴淋裝置內主要完成的反應為
氣相的各種酸蒸汽，如H3AsO3,H2SO4,HNO3,HCl,HF等均能與噴淋液中的堿中和成鹽，處理后的溶液，排入廢水池中統(tǒng)一處理。
為實現上述反應，目前國內外的治理設備均為單一圓柱體或雙筒串聯(lián)噴淋塔，這類噴淋塔當氣體通過時由于內阻大，處理效果不好，且還存在占地面積大的缺點。另外也有方形的上進氣上噴淋的順流式噴淋塔，它存在有死角，吸收不完全的缺點，因此，效果欠佳。
本實用新型的目的在于提供一種橢圓隔板式噴淋吸收廢氣處理裝置。
本實用新型的上述目的是通過以下解決方案實現的。
按照本實用新型的橢圓隔板式噴淋吸收廢氣處理裝置包括一個噴淋吸收塔，塔的上部一側具有一個進風口，該口經進風管道與風機相通，另一側有一排風口，塔內上部裝有噴淋裝置，該裝置經連接到塔外的第一管道，循環(huán)泵，第二管道和塔下部的引出管形成噴淋循環(huán)裝置，所述的塔內放有多密球填料，其特征在于所述的塔內壁的橫截面呈橢圓形，所述的塔內有一垂直放置的隔板，該板將所述塔的內腔分成兩個處理室，每個室內置有一噴淋裝置并放有多密球填料，所述的板與所述的噴淋吸收塔底部的內壁之間具有氣水相通的通道。
按照本實用新型的橢圓隔板式噴淋吸收廢氣處理裝置，當被處理的廢氣經風機加壓從進風口進入噴淋吸收塔后將沿進風口與隔板一側向塔的下部方向，亦即按順流方向前進，其間與頂部的噴淋裝置噴灑成霧狀的藥物相接觸并通過多密度填料的吸收。當廢氣到達底部后，由于進風口與隔板間的壓力大于隔板與排風口間的壓力，它只能通過隔板與塔底部內壁間的通道由塔的底部向塔的另一側上部前進，亦即按氣水逆流方向前進，廢氣在向上運動的過程中再通過多密球填料和與另一組裝在頂部的噴淋裝置噴灑成霧狀的藥物相接觸，最后由排氣口排出至大氣。
按照上述的氣路與已有技術相比較具有氣液接觸面積大，延長了汽水的接觸時間，處理效果好。解決了一般的上進氣上噴水結構氣體容易短流，處理效果差的缺點。還具有氣流通過下部的通道順暢，阻力小，只有雙塔串聯(lián)中間連接管阻力的1/5(8.8Pa∶42.8Pa)，結構簡單、合理。與已有技術的噴淋吸收塔相較，在同樣的抽風量的條件下可選用低速風機，節(jié)電。噴淋裝置由于采用多個乳頭交叉噴灑，不存在死角。本實用新型的橢圓隔板式噴淋吸收廢氣處理裝置還具有占地面積小、維修方便、易操作、運行穩(wěn)定等優(yōu)點，且在處理廢氣的能力上遠高于已有技術的其它結構的裝置。經環(huán)保部門檢測認為本裝置是理想的廢氣處理裝置。
本實用新型的上述目的和其它目的及其優(yōu)點通過
以下結合附圖所示實施例的詳細說明將會更加清楚，附圖有


圖1是按照本實用新型的橢圓隔板式噴淋吸收廢氣處理裝置的正視圖；圖2是
圖1的俯視圖；圖3是按Ⅲ-Ⅲ剖面線的剖視圖；圖4是按Ⅳ-Ⅳ剖面線的剖視圖；參照附圖，按照本實用新型橢圓隔板式噴淋吸收廢氣處理裝置包括一個噴淋吸收塔1，該塔的橫向截面呈橢圓形。按照本實用新型的一個優(yōu)選實施例，該橢圓形的橫軸和縱軸長度分別為2m和1m。塔的上部一側開有通風口2，該口經法藍3與進風管4的一端相連，其另一端經法藍5與風機6相連。半導體材料或器件制備時的廢氣經風機6、進風管4和進風口2送入噴淋吸收塔1。塔的上部另一側開有排風口7。進入塔1的廢氣經處理后由該口排出。噴淋吸收塔1內具有兩個分別供下面將要說明的兩個處理室用的噴淋裝置9和9′，噴淋裝置9,9′分別出多個相通的圓管10組成，每個圓管上有多個乳頭11，從而形成交叉的霧狀噴灑，解決了死角問題。噴淋裝置的另一端通過第一管道12,12′引出塔外，再經循環(huán)泵13，第二管道15與塔1底部的引出管19相接，以形成噴淋循環(huán)裝置。
噴淋吸收塔1內有一塊隔板17，該隔板自上向下，它在塔內頂部與塔1是氣密的，而在塔的下部與塔1的底部之間形成一氣水相通的通道，從而形成兩個相通的處理室，每個室內還充填有具吸收作用的多密球填料18，填料18的充填高度必須保證進入噴淋吸收塔1內的廢氣能充分地受到噴淋裝置9,9′的噴淋。按照本實用新型的一個實施例，塔高為2.78m，填料的高度為1.5m。
噴淋吸收塔1的側面有一進藥管8，處理廢氣用的藥物通過該管送入塔內。進藥管8的下面有一觀察窗16，該窗的作用有兩個方面，一是在處理廢氣時操作者可通過該孔觀察處理運行是否正常；二是在處理裝置維護時可打開觀察窗更換多密球填料，因此，觀察窗16與噴淋吸收塔1之間是氣密的。
噴淋吸收塔1的下部還有一水位計14，用于檢測塔內水位。一旦噴淋裝置9,9′循環(huán)的含藥物的水過少時可從水位計14上檢測到，并通過進藥口8補充。
按照本實用新型的橢圓隔板式噴淋吸收廢氣處理裝置，塔的內襯為玻璃鋼，吸收液循環(huán)泵為玻璃鋼耐腐蝕泵，如40FS-20。其它受腐蝕介質接觸的另件均采用改性環(huán)氧玻璃纖維增強塑性材料制成。因此，能輸送0-120℃的各種腐蝕性液體。
經測試，按照本實用新型的橢圓隔板式廢氣吸收處理裝置的出口測試結果列于下列表中
表一排放口排放的不同廢氣濃度(mg/m3)
表二廢氣處理前后雜質濃度比
均符合GB-16297-96大氣污染物排放標準。
申請人已就本實用新型的構思和實施例作出詳細說明，本專業(yè)的技術人員在此基礎上可以作出各種變換和改進，但這些變換和改進都沒有脫離本實用新型的精神，都在權利要求書限定的保護范圍內。
權利要求1．橢圓隔板式噴淋吸收廢氣處理裝置，包括一個噴淋吸收塔，塔的上部一側具有一個進氣口，該口經進風管道與風機相通，另一側有一排風口，塔內上部裝有噴淋裝置，該裝置經連接到塔外的第一管道，循環(huán)泵，第二管道和塔下部的引出管形成噴淋循環(huán)裝置，所述的塔內放有多密球填料，其特征在于所述的塔內壁的橫截面呈橢圓形，所述的塔內有一垂直放置的隔板，該板將所述塔的內腔分成兩個處理室，每個室內置有一噴淋裝置并放有多密球填料，所述的板與所述的噴淋吸收塔底部的內壁之間具有氣水相通的通道。
2．根據權利要求1所述的處理裝置，其特征在于所述的呈橢圓形的橫截面的長軸為2m，短軸為1m，塔內高2.78m，填料高度為1.5m。
3．根據權利要求1所述的處理裝置，其特征在于所述的吸收液循環(huán)泵為玻璃鋼耐腐蝕泵，其它受腐蝕介質接觸的零件均采用改性環(huán)氧玻璃纖維增強塑性材料制成。
4．根據權利要求1所述的處理裝置，其特征在于所述的噴淋裝置由多根相通的圓管制成，每個圓管上有多個能形成交叉噴霧的乳頭。
5．根據權利要求1所述的處理裝置，其特征在于所述的還包括一個進藥管，一個觀察窗和一個水位計。
專利摘要本實用新型公開了一種橢圓隔板式噴淋吸收廢氣的處理裝置,其中噴淋吸收塔的內壁在橫截面上呈橢圓形,縱向上有一隔板,該隔板將塔內分成兩個處理室,每個室有一噴淋裝置,其內充填多密球充填物,所述隔板與塔底部內壁間有一氣水相通的通道。所述處理裝置還包括經通風管道與風機相通的用于向塔內輸入廢氣的進氣口,一個輸出處理后廢氣的排放口,與噴淋裝置連接的是噴淋循環(huán)裝置。本實用新型的裝置具有處理效果好、結構簡單、易操作等優(yōu)點。
文檔編號B01D47/06GK2461643SQ0025823
公開日2001年11月28日 申請日期2000年10月20日 優(yōu)先權日2000年10月20日
發(fā)明者聞瑞梅, 黃嫻瑋 申請人:北京中環(huán)康裕環(huán)保工程技術有限公司, 同濟大學