技術(shù)總結(jié)
本實用新型公開了一種監(jiān)測裝置及超聲波清洗機，所述監(jiān)測裝置用于監(jiān)測一超聲波發(fā)生器的工作狀態(tài)，所述監(jiān)測裝置包括：一彈性球、一用于反彈所述彈性球的平面和一標識，所述標識表示分別在所述超聲波發(fā)生器的N個檔位下，所述彈性球被反彈的高度位置。根據(jù)所述彈性球的反彈原理，通過觀察所述彈性球被反彈的高度，與所述標識進行比較，便可直觀的判斷出所述超聲波發(fā)生器的工作狀態(tài)是否正常。同時，將所述監(jiān)測裝置應用于超聲波清洗機中，可以有效提高清洗效率和良率。

技術(shù)研發(fā)人員：董明;邵業(yè)明;沈雪松;錢文明
受保護的技術(shù)使用者：中芯國際集成電路制造（天津）有限公司;中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
文檔號碼：201621196791
技術(shù)研發(fā)日：2016.10.28
技術(shù)公布日：2017.05.17