專利名稱：一種廢水排放控制系統(tǒng)以及廢水排放系統(tǒng)的制作方法
一種廢水排放控制系統(tǒng)以及廢水排放系統(tǒng)
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種廢水排放控制系統(tǒng)以及廢水排放系統(tǒng)。背景技術(shù)：
化學(xué)機(jī)械拋光是一種對(duì)圓片進(jìn)行平坦化加工的工藝?；瘜W(xué)機(jī)械拋光設(shè)備在跑貨時(shí)，使用NH4OH對(duì)圓片進(jìn)行清洗，產(chǎn)生包含氨水的污水，而不跑貨只產(chǎn)生工藝水(Ultra pure water，UPW)。傳統(tǒng)化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備所產(chǎn)生的廢水(包括氨水和工藝水)均接入氨水排放管路，最終一起流入氨水處理系統(tǒng)。而實(shí)際上只有氨水才需要排放到氨水處理系統(tǒng)中，工藝水不需要進(jìn)行特別處理。

發(fā)明內(nèi)容基于此，有必要提供一種將氨水和工藝水排放到不同管路的廢水排放控制系統(tǒng)。此外，還提供一種將氨水和工藝水排放到不同管路的廢水排放系統(tǒng)。一種廢水排放控制系統(tǒng)，包括污水排放管路，此外，還包括工藝水排放管路以及控制單元，所述控制單元根據(jù)系統(tǒng)控制信號(hào)分別控制污水排放管路和工藝水排放管路的開啟和關(guān)閉。優(yōu)選的，所述污水排放管路和工藝水排放管路上分別設(shè)置氣動(dòng)閥門，所述控制單元通過控制所述氣動(dòng)閥門實(shí)現(xiàn)污水排放管路和工藝水排放管路的開啟和關(guān)閉。優(yōu)選的，所述系統(tǒng)控制信號(hào)包括產(chǎn)生污水時(shí)的污水排放信號(hào)和停止產(chǎn)生污水時(shí)的工藝水排放信號(hào)；所述控制單元根據(jù)所述污水排放信號(hào)，開啟設(shè)置在污水排放管路上的氣動(dòng)閥門， 關(guān)閉設(shè)置在工藝水排放管路上的氣動(dòng)閥門；所述控制單元根據(jù)所述工藝水排放信號(hào)，關(guān)閉設(shè)置在污水排放管路上的氣動(dòng)閥門，開啟設(shè)置在工藝水排放管路的氣動(dòng)閥門。優(yōu)選的，其特征在于，所述控制單元包括接收系統(tǒng)控制信號(hào)的可編程控制器和控制所述氣動(dòng)閥門開啟和關(guān)閉的電磁閥。一種廢水排放系統(tǒng)，包括產(chǎn)生廢水并發(fā)出系統(tǒng)控制信號(hào)的化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備、與所述化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備連接的污水排放管路，此外，還包括與所述化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備連接的工藝水排放管路以及控制單元，所述控制單元根據(jù)系統(tǒng)控制信號(hào)分別控制污水排放管路和工藝水排放管路的開啟和關(guān)閉。優(yōu)選的，所述污水排放管路和工藝水排放管路上分別設(shè)置一氣動(dòng)閥門，所述控制單元通過控制所述氣動(dòng)閥門實(shí)現(xiàn)污水排放管路和工藝水排放管路的開啟和關(guān)閉。優(yōu)選的，所述系統(tǒng)控制信號(hào)包括產(chǎn)生污水時(shí)的污水排放信號(hào)和停止產(chǎn)生污水時(shí)的工藝水排放信號(hào)；所述控制單元根據(jù)所述污水排放信號(hào)，開啟設(shè)置在污水排放管路上的氣動(dòng)閥門， 關(guān)閉設(shè)置在工藝水排放管路上的氣動(dòng)閥門；所述控制單元根據(jù)所述工藝水排放信號(hào)，關(guān)閉設(shè)置在污水排放管路上的氣動(dòng)閥門，開啟設(shè)置在工藝水排放管路的氣動(dòng)閥門。
優(yōu)選的，所述控制單元包括接收系統(tǒng)控制信號(hào)的可編程控制器和控制所述氣動(dòng)閥門開啟和關(guān)閉的電磁閥。優(yōu)選的，所述廢水排放系統(tǒng)還包括與污水排放管路連接并對(duì)污水進(jìn)行無害化處理的污水處理管路。優(yōu)選的，所述廢水排放系統(tǒng)還包括與工藝水排放管路連接并將排出的工藝水回收的回收管路。這種廢水排放系統(tǒng)讓化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備廢水合理排放，不僅降低了廢水處理系統(tǒng)的工作壓力，還能對(duì)工藝水進(jìn)行回收，降低了系統(tǒng)運(yùn)行成本的同時(shí)節(jié)省了資源。

圖1為廢水排放控制系統(tǒng)的一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)圖。圖2為廢水排放系統(tǒng)的一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)圖。
具體實(shí)施方式下面主要結(jié)合附圖對(duì)廢水排放控制系統(tǒng)、廢水排放系統(tǒng)進(jìn)行進(jìn)一步的說明。如圖1所示的廢水排放控制系統(tǒng)，包括污水排放管路120、工藝水排放管路130、可編程控制器140、電磁閥150和分別設(shè)置在污水排放管路和工藝水排放管路上的氣動(dòng)閥門 162,164ο上述廢水排放控制系統(tǒng)的可編程控制器140接收系統(tǒng)控制信號(hào)，并將接收到的系統(tǒng)控制信號(hào)發(fā)送給電磁閥150，電磁閥150根據(jù)系統(tǒng)控制信號(hào)控制氣動(dòng)閥門142、144的開啟和關(guān)閉。如圖2所示的一種廢水排放系統(tǒng)，包括化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備210、與化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備210連接的污水排放管路220、與化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備210連接的工藝水排放管路230、接收系統(tǒng)控制信號(hào)并將所述系統(tǒng)控制信號(hào)發(fā)出的可編程控制器Μ0、接收可編程控制器MO 發(fā)出的系統(tǒng)控制信號(hào)的電磁閥250和分別設(shè)置在污水排放管路220和工藝水排放管路130 上用來控制管路開啟和關(guān)閉的兩個(gè)氣動(dòng)閥門沈2、沈4，電磁閥250控制氣動(dòng)閥門沈2、264的開啟和關(guān)閉。優(yōu)選的，廢水排放系統(tǒng)還包括與污水排放管路連接的對(duì)污水進(jìn)行無害化處理的污水處理管路和與工藝水排放管路連接并將排出的工藝水回收的回收管路。廢水排放系統(tǒng)工作具體過程如下化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備210開始跑貨時(shí)，發(fā)出污水排放信號(hào)，可編程控制器240接收污水排放信號(hào)并將污水排放信號(hào)發(fā)送給電磁閥250，電磁閥250接收污水排放信號(hào)并控制設(shè)置于污水排放管路220的氣動(dòng)閥門262開啟污水排放管路220，設(shè)置于工藝水排放管路230 的氣動(dòng)閥門264關(guān)閉工藝水排放管路230，化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備210跑貨產(chǎn)生的污水進(jìn)入污水排放管路220 ；化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備210停止跑貨時(shí)，發(fā)出工藝水排放信號(hào)，可編程控制器240接收工藝水排放信號(hào)并將工藝水排放信號(hào)發(fā)送給電磁閥250，電磁閥250接收工藝水排放信號(hào)并控制設(shè)置于污水排放管路220的氣動(dòng)閥門262關(guān)閉污水排放管路220，設(shè)置于工藝水排放管路230的氣動(dòng)閥門264開啟工藝水排放管路230，化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備210產(chǎn)生的工藝水進(jìn)入工藝水排放管路230。優(yōu)選的，污水進(jìn)入污水排放管路后流入對(duì)污水進(jìn)行無害化處理污水處理管路，工藝水進(jìn)入工藝水排放管路后流入回收工藝水的回收管路。本實(shí)施例中，污水為氨水，在其他的實(shí)施例中，污水可以是硫酸銨廢水、氯化銨廢水等。在具體的實(shí)施例中，化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備氨水噴頭噴出氨水對(duì)圓片進(jìn)行清洗的同時(shí)，發(fā)出污水排放信號(hào)；化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備氨水噴頭停止噴出氨水的同時(shí)，發(fā)出工藝水排放信號(hào)。通過采用電磁閥控制廢水排放，能夠有效的將廢水分流。這種廢水排放系統(tǒng)讓化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備產(chǎn)生的廢水得到合理排放，不僅降低了廢水處理系統(tǒng)的工作壓力，還能對(duì)工藝水進(jìn)行回收，降低了系統(tǒng)運(yùn)行成本的同時(shí)節(jié)省了資源。以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本發(fā)明的一種或幾種實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對(duì)本發(fā)明專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。因此，本發(fā)明專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種廢水排放控制系統(tǒng)，包括污水排放管路，其特征在于，還包括工藝水排放管路以及控制單元，所述控制單元根據(jù)系統(tǒng)控制信號(hào)分別控制污水排放管路和工藝水排放管路的開啟和關(guān)閉。
2.如權(quán)利要求1所述的廢水排放控制系統(tǒng)，其特征在于，所述污水排放管路和工藝水排放管路上分別設(shè)置氣動(dòng)閥門，所述控制單元通過控制所述氣動(dòng)閥門實(shí)現(xiàn)污水排放管路和工藝水排放管路的開啟和關(guān)閉。
3.如權(quán)利要求2所述的廢水排放控制系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)控制信號(hào)包括產(chǎn)生污水時(shí)的污水排放信號(hào)和停止產(chǎn)生污水時(shí)的工藝水排放信號(hào)；所述控制單元根據(jù)所述污水排放信號(hào)，開啟設(shè)置在污水排放管路上的氣動(dòng)閥門，關(guān)閉設(shè)置在工藝水排放管路上的氣動(dòng)閥門；所述控制單元根據(jù)所述工藝水排放信號(hào)，關(guān)閉設(shè)置在污水排放管路上的氣動(dòng)閥門，開啟設(shè)置在工藝水排放管路的氣動(dòng)閥門。
4.如權(quán)利要求1 3中任意一項(xiàng)所述的廢水排放控制系統(tǒng)，其特征在于，所述控制單元包括接收系統(tǒng)控制信號(hào)的可編程控制器和控制所述氣動(dòng)閥門開啟和關(guān)閉的電磁閥。
5.一種廢水排放系統(tǒng)，包括產(chǎn)生廢水并發(fā)出系統(tǒng)控制信號(hào)的化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備、與所述化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備連接的污水排放管路，其特征在于，還包括與所述化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備連接的工藝水排放管路以及控制單元，所述控制單元根據(jù)系統(tǒng)控制信號(hào)分別控制污水排放管路和工藝水排放管路的開啟和關(guān)閉。
6.如權(quán)利要求5所述的廢水排放系統(tǒng)，其特征在于，所述污水排放管路和工藝水排放管路上分別設(shè)置一氣動(dòng)閥門，所述控制單元通過控制所述氣動(dòng)閥門實(shí)現(xiàn)污水排放管路和工藝水排放管路的開啟和關(guān)閉。
7.如權(quán)利要求6所述的廢水排放系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)控制信號(hào)包括產(chǎn)生污水時(shí)的污水排放信號(hào)和停止產(chǎn)生污水時(shí)的工藝水排放信號(hào)；所述控制單元根據(jù)所述污水排放信號(hào)，開啟設(shè)置在污水排放管路上的氣動(dòng)閥門，關(guān)閉設(shè)置在工藝水排放管路上的氣動(dòng)閥門；所述控制單元根據(jù)所述工藝水排放信號(hào)，關(guān)閉設(shè)置在污水排放管路上的氣動(dòng)閥門，開啟設(shè)置在工藝水排放管路的氣動(dòng)閥門。
8.如權(quán)利要求5 7任意一項(xiàng)所述的廢水排放系統(tǒng)，其特征在于，所述控制單元包括接收系統(tǒng)控制信號(hào)的可編程控制器和控制所述氣動(dòng)閥門開啟和關(guān)閉的電磁閥。
9.如權(quán)利要求8所述的廢水排放系統(tǒng)，其特征在于，所述廢水排放系統(tǒng)還包括與污水排放管路連接并對(duì)污水進(jìn)行無害化處理的污水處理管路。
10.如權(quán)利要求9所述的廢水排放系統(tǒng)，其特征在于，所述廢水排放系統(tǒng)還包括與工藝水排放管路連接并將排出的工藝水回收的回收管路。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種廢水排放控制系統(tǒng)，包括污水排放管路，此外，還包括工藝水排放管路以及控制單元，所述控制單元根據(jù)系統(tǒng)控制信號(hào)分別控制污水排放管路和工藝水排放管路的開啟和關(guān)閉。這種廢水排放系統(tǒng)讓化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備廢水得到合理排放，不僅降低了廢水處理系統(tǒng)的工作壓力，還能對(duì)工藝水進(jìn)行回收，降低了系統(tǒng)運(yùn)行成本的同時(shí)節(jié)省了資源。本發(fā)明還提供一種廢水排放系統(tǒng)。
文檔編號(hào)C02F1/00GK102464359SQ20101053100
公開日2012年5月23日 申請(qǐng)日期2010年11月3日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月3日
發(fā)明者袁曉君 申請(qǐng)人:無錫華潤(rùn)上華半導(dǎo)體有限公司, 無錫華潤(rùn)上華科技有限公司