專利名稱：生產(chǎn)高純度氮?dú)獾难b置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及生產(chǎn)高純度氮?dú)獾囊环N裝置。
盡管電子工業(yè)消耗大量的氮?dú)猓瑸楸３衷母呔?，對它們所用氮?dú)獾募兌扔袊?yán)格的要求。氮?dú)庖话闶怯煽諝馔ㄟ^一系列生產(chǎn)步驟得出的，這些生產(chǎn)步驟包括用壓縮機(jī)壓縮空氣，讓壓縮空氣流經(jīng)一吸收塔，除去其中的二氧化碳和水份，排出的空氣再通入一換熱器，在換熱器中與一致冷介質(zhì)進(jìn)行熱交換而使空氣得到深冷，深冷后的空氣再送入一精餾塔，使之實(shí)現(xiàn)低溫液化和分離作用而制得氮?dú)?，最后再讓制得的氮?dú)饬魅肷鲜龅膿Q熱器，將氮?dú)饧訜岬浇咏髿鉁囟?。這種常規(guī)的氮?dú)馍a(chǎn)設(shè)備采用一種膨脹透平機(jī)，用來深冷從壓縮機(jī)出來的壓縮空氣進(jìn)行熱交換的致冷介質(zhì)，這一透平機(jī)是由聚集在精餾塔中的液化空氣產(chǎn)生氣化作用所產(chǎn)生的氣體的壓力驅(qū)動(dòng)的，(由于低溫液化和分離作用的結(jié)果，低沸點(diǎn)的氮?dú)饩碗x開精餾塔，其余以富氧液化空氣的形式聚集在精餾塔里)。然而，膨脹透平機(jī)旋轉(zhuǎn)速度很高，達(dá)到每分鐘幾萬轉(zhuǎn)，不容易追隨負(fù)荷的變化，因此需要由訓(xùn)練有素的操作人員。此外，高速的膨脹透平機(jī)除了需要由訓(xùn)練有素的人員加工操作之外，不但需要構(gòu)造上高度地精確，而且成本也是很高的。這些難題都是因?yàn)榕蛎浲钙綑C(jī)是一種高速轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)械引起的，因此也就有強(qiáng)烈的要求，淘汰這種具有高速轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)制的膨脹透平機(jī)，為了滿足這種要求，本發(fā)明者開發(fā)了一種裝置，采用來自裝置外部的液氮來代替由膨脹透平機(jī)產(chǎn)生的冷卻作用。在日本已經(jīng)有一系列的專利申請，包括申請?zhí)枮?9-146332(公開號(hào)61-24968)和申請?zhí)枮?8-38050(公開號(hào)為59-164874)的日本專利。作為本發(fā)明基礎(chǔ)的這一裝置，采用由另外的液氮生產(chǎn)設(shè)備產(chǎn)生的液氮做為冷卻源，液氮通過罐車或類似設(shè)備輸送到裝置上，貯存在裝置上作冷卻源用的液氮貯罐中，並能產(chǎn)生比來自外部提供的液氮大十倍那么多的氣體氮?dú)猱a(chǎn)物。由于從構(gòu)成本發(fā)明基礎(chǔ)的裝置中淘汰了膨脹透平機(jī)，所以也就沒有上述的由于有膨脹透平機(jī)所造成的任何缺點(diǎn)了。雖然在外部的另外設(shè)備中生產(chǎn)的做為冷卻用的液氮必需輸送到裝置上來，但是它的輸送量只是產(chǎn)生的氣體氮?dú)獾氖种唬驗(yàn)檠b置上能產(chǎn)生比提供做為冷卻用的液體氮大十倍那么多的氣體氮?dú)?。為此可比擬這樣一種情況，即在工廠現(xiàn)場安裝一臺(tái)蒸發(fā)器用于蒸發(fā)液氮，液氮是在另一臺(tái)液氮生產(chǎn)設(shè)備中制造，並提供給蒸發(fā)器，再在蒸發(fā)器中蒸發(fā)成氣體氮?dú)?這種氮?dú)饫缭诠S中則可用于半導(dǎo)體的生產(chǎn))，而需要輸送到本發(fā)明者開發(fā)的裝置的液體氮?dú)饬績H為所需用的氣體氮?dú)饬康氖种痪蛪蛄?。這樣也就不必頻繁地輸送液體氮了。
然而，這類裝置不易有效地將隨空氣帶來的極少量的氫和氮?dú)夥蛛x掉(難于利用它們之間的沸點(diǎn)差加以分離，因?yàn)闅浜秃さ姆悬c(diǎn)比氮的沸點(diǎn)低)。本發(fā)明者已經(jīng)注意到，在裝置連續(xù)運(yùn)行操作的某些情況下，上述的氫和氮?dú)馐亲鰹殡s質(zhì)混合在產(chǎn)出的氮?dú)庵械摹?br> 本發(fā)明的目標(biāo)是提供一種不采用膨脹透平機(jī)而能連續(xù)生產(chǎn)高純度氮?dú)獾难b置。
為了達(dá)到完成上述的目標(biāo)，本發(fā)明提供的用于生產(chǎn)高純度氮?dú)獾难b置包括一種用來壓縮取自外界空氣的壓縮設(shè)備，一種除去來自該壓縮設(shè)備的壓縮空氣中的二氧化碳和水的設(shè)備，一種熱交換設(shè)備，使來自已除去二氧化碳和水的壓縮空氣能深度冷卻到一低溫溫度，一臺(tái)精餾塔用來使一部份來自該換熱器的低溫壓縮空氣得以液化，並收集在精餾塔的下部，純的氮?dú)鈩t從精餾塔的上部取出，在精餾塔的上部，還有一個(gè)帶有冷凝器的分凝器，一根供料導(dǎo)管，來引導(dǎo)收集在精餾塔下部的液化空氣到分凝器去，用作冷卻該分凝器的冷卻介質(zhì)，一根排氣管用來將在分凝器中產(chǎn)生的已被氣化了的液化空氣排放到外界，一根第一回流液管用來引導(dǎo)在精餾塔中產(chǎn)生的一部份氮?dú)獾皆摾淠髦?，一根第二回流液管用來使冷凝器中產(chǎn)生的液氮，做為回流液返回到精餾塔，一個(gè)液氮貯罐用來貯存來自裝置外部的液氮，一根導(dǎo)管用來引導(dǎo)液氮貯罐中的液氮到精餾塔中，一根取出管，用于取出產(chǎn)生的氮?dú)猓@一股純氮?dú)鈦碜詢煞矫?，一方面來自精餾塔，另一方面來自在精餾塔中做冷卻源的液氮使用后氣化了的氮?dú)?，在精餾塔頂部有一鐘罩形的穹頂，該穹頂裝有一收集氣體的設(shè)施和一根排放雜質(zhì)氣體的排放管，排放管一端連在該收集氣體的設(shè)施上，另一端通向大氣。
不采用膨脹透平機(jī)生產(chǎn)高純度氮?dú)獾谋景l(fā)明裝置具有以下所述的效果。裝置上雖然不采用膨脹透平機(jī)，但卻應(yīng)用了一種貯存液氮的設(shè)備，例如不帶旋轉(zhuǎn)元件的液氮貯罐。因此，整個(gè)裝置沒有旋轉(zhuǎn)零件，所以不會(huì)出故障。此外，膨脹透平機(jī)價(jià)格昂貴，而液氮貯罐則不昂貴，而且不需要有特別的操作人員，再有，膨脹透平機(jī)是在極高的速度(達(dá)每分鐘數(shù)千轉(zhuǎn))下驅(qū)動(dòng)的(由收集在氮?dú)饩s塔內(nèi)的液化空氣氣化產(chǎn)生的氣體壓力驅(qū)動(dòng))，難于追隨精細(xì)的負(fù)荷改變(即取出產(chǎn)品氮?dú)獾牧髀实母淖?。因此也就很難按照取出產(chǎn)品氮?dú)獾淖兓?。?zhǔn)確地變化提供給膨脹透平機(jī)的液化空氣量，結(jié)果使做為氮?dú)庠系膲嚎s空氣很難深冷到始終是恒定的溫度。由此改變了產(chǎn)品氮?dú)獾募兌?，因?yàn)榈图兌鹊漠a(chǎn)品往往就會(huì)被取出而影響了產(chǎn)品總的質(zhì)量。
相反，由于本發(fā)明裝置采用液氮貯罐來代替膨脹透平機(jī)，並采用可精細(xì)控制其供給量的液氮做冷卻介質(zhì)，生產(chǎn)裝置也就可因負(fù)荷的變化而進(jìn)行精細(xì)的調(diào)節(jié)，由此就能生產(chǎn)出純度極高而又一直不變的氮?dú)狻?br> 再者，這一生產(chǎn)高純度氮?dú)獾难b置除了由于取消了膨脹透平機(jī)而有上述的效果外，還有如下的效果。因?yàn)榫s塔的穹頂是鐘罩形的，鐘罩形頂部裝有收集氣體的設(shè)施，而存在于氮?dú)庵械谋戎乇鹊獨(dú)庑〉枚嗟臍錃夂秃?，由于它們的乏重小，?dāng)?shù)獨(dú)膺_(dá)到精餾塔上部而從取出管被取出時(shí)，氫氣和氦氣就與氮?dú)夥珠_，並沿鐘罩形穹頂上升，而有效地被收集在收集氣體的設(shè)施中。結(jié)果，從氮?dú)馊〕龉芤莩龅牡獨(dú)?，其純度就變得很純，而氫氣和氦氣做為雜質(zhì)被除掉了。來自氣體收集設(shè)施中的氫氣和氦氣經(jīng)過不純氣體排放管排放到大氣中。在本生產(chǎn)裝置中，氫氣和氦氣是利用分子量的差別和產(chǎn)品氮?dú)夥蛛x的。由于氫氣和氦氣的沸點(diǎn)都低于氮?dú)猓詺錃夂秃馔獨(dú)獾姆蛛x難于利用它們之間的沸點(diǎn)差來實(shí)現(xiàn)。


圖1是本發(fā)明的一個(gè)方案的工藝流程2是圖1A-A′截面的放大剖視3是別的一種方案的主要部份的放大示意4是又一個(gè)方案的主要部份的放大示意5是又一個(gè)方案的工藝流程簡6是圖5所示方案的主要部份的放大透面視圖。
實(shí)施例
圖1展示的是本發(fā)明的一個(gè)方案。
在圖1中，標(biāo)記數(shù)碼9表示一臺(tái)空氣壓縮機(jī)，10是一個(gè)油水分離器，11是一臺(tái)氟利昂冷凍機(jī)，12是一對吸收塔。每一臺(tái)吸收塔內(nèi)填充有一種分子篩，用以吸收和除去從空氣壓縮機(jī)9送來的壓縮空氣中的CO2和H2O。8所指示的是一根管線，用來輸送已被吸收因而不含CO2和H2O的壓縮空氣。13表示一臺(tái)第一換熱器，用以接受自一對吸收塔12來的不含CO2和水的壓縮空氣。第二換熱器14接受來自第一換熱器13的壓縮空氣。15是指一個(gè)精餾塔，其頂有一個(gè)帶有冷凝器21a的分凝器21。在精餾塔中，在第一和第二換熱器13和14中已被深冷到低溫，並經(jīng)管線17進(jìn)入精餾塔的壓縮空氣在精餾塔中進(jìn)一步地深冷，其中一部份壓縮空氣液化成液化空氣18收集在精餾塔底部，而其中的氮?jiǎng)t成氣態(tài)匯集在精餾塔上部。裝有液氮(高純度產(chǎn)品)的液氮貯罐23通過輸送管24a將液氮送進(jìn)精餾塔15的上部，用做冷卻引入塔中的壓縮空氣的冷卻介質(zhì)。現(xiàn)在詳細(xì)地說明精餾塔15。精餾塔15的頂部是一鐘罩形的穹頂20，穹頂20的中央向上凸起形成一個(gè)收集氣體的設(shè)施22。排放管22a用于將聚集在該收集氣體設(shè)施22中的氫氣和氦氣等不純氣體排放到大氣中去。精餾塔15和分凝器21是通過第一回流管21b和第二回流管21c相互連通，分凝器21的冷凝器21a通過回流管21b被供入收集在精餾塔上部的一部份氮?dú)猓帜?1內(nèi)部的壓力比精餾塔15內(nèi)的壓力為低，匯集在精餾塔15底部的液化空氣(N250-70%，O230-50%)，通過帶有膨脹閥19a的管路19，進(jìn)入分凝器，並在其中膨脹氣化，使分凝器的內(nèi)部溫度降到低于液氮沸點(diǎn)以下的程度。由于這一深冷的結(jié)果，進(jìn)入冷卻器21a的氮?dú)庖夯恕?5是一個(gè)液位計(jì)。為了保持分凝器21中的液化空氣液面穩(wěn)定，閥門26是用于調(diào)節(jié)控制來自液氮貯罐23的液氮量。精餾塔15的上部通過一下降管21c接受來自分凝器21的冷凝器21a所產(chǎn)生的液氮，同時(shí)也通過24a管路接受來自液氮貯罐23的液氮，這兩股液氮從精餾塔內(nèi)的液氮槽21d向下流動(dòng)，並與從精餾塔15底部上升的壓縮空氣進(jìn)行逆流接觸，並加以冷卻，由此使部份壓縮空氣液化，在這一過程中，壓縮空氣中的高沸點(diǎn)組份液化並聚集在精餾塔15的底部，而低沸點(diǎn)組份的氮?dú)鈩t積集在精餾塔15的上部。27是一根取出管，用于取走在精餾塔15上部冷卻的氮?dú)庾鰹楫a(chǎn)品氮?dú)?。這一管路引導(dǎo)低濕氮?dú)獾降诙偷谝粨Q熱器14和13，同引入到其中的壓縮空氣進(jìn)行熱交換，使氮?dú)膺_(dá)到環(huán)境溫度而進(jìn)入總管28。與此同時(shí)，難于同氮?dú)夥珠_的氫氣和氦氣，也同氮?dú)庖黄鸬竭_(dá)精餾塔15的上部。本發(fā)明提供了一種新的結(jié)構(gòu)來解決這一問題。也即精餾塔15的頂部是做成鐘罩形，其中央部份向外凸起形成一氣體收集區(qū)22，而出口通道27的一端是側(cè)向地開在精餾塔15上部的周壁上，如圖2所示。在精餾塔15內(nèi)的氮?dú)?，?dāng)它從出口管27流出時(shí)形成的流動(dòng)力，使氮?dú)庠阽娦务讽數(shù)南虏恐苓呑髦芟虻男D(zhuǎn)流動(dòng)，如圖2的箭頭A所示。此時(shí)，分子量大的氮?dú)庥捎陔x心力的作用就流向外周邊，而分子量小的氦氣和氫氣則滯留在中央，由于分子量的差別，氦氣和氫氣等雜質(zhì)就同氮?dú)夥珠_了。分出的氦氣和氫氣沿穹頂上升，聚集在穹頂中央的氣體收集區(qū)22，並通過圖1所示的排放管22a，從氣體收集區(qū)22排出。管路29及其中的壓力調(diào)節(jié)閥29a是用來將分凝器21氣化了的液態(tài)空氣送到第二和第一換熱器14和13，30指的是一后援系統(tǒng)的管路，一旦壓縮空氣管路出了故障，可將液氮貯罐23的液氮借助于蒸發(fā)器31加以蒸發(fā)送入總管28中，以避免氮?dú)夤?yīng)的中斷。32是一個(gè)雜質(zhì)分析器，用來分析進(jìn)入總管28的氮?dú)猱a(chǎn)品的純度，一旦出現(xiàn)純度過低，就會(huì)觸動(dòng)閥門34和34a，將氮?dú)猱a(chǎn)品排向箭頭B所示的方向去。
以上所述的裝置，以如下的方式生產(chǎn)氮?dú)猱a(chǎn)品?？諝鈮嚎s機(jī)9用來壓縮原料空氣，油水分離器10用于除去壓縮空氣中的水份。氟利昂冷凍機(jī)11用來深冷壓縮空氣，深冷以后的空氣送進(jìn)吸收塔12，空氣中的CO2和H2O被吸收而除去。不含CO2和H2O的壓縮空氣再送到第一和第二換熱器13和14，把它深冷到低溫，換熱器13和14是由精餾塔15通過管路27送出的產(chǎn)品氮?dú)馑鋮s。深冷后的空氣直接送到精餾塔15的下部。這種深冷后的壓縮空氣與通過送料管路24a從液氮貯罐23送進(jìn)精餾塔15的液氮和塔內(nèi)由液氮槽21d溢流而下的液氮進(jìn)行接觸而被深度冷卻，其中的一部份空氣液化成為液態(tài)空氣18收集在精餾塔15的底部，在這一過程中，由于氮和氧的沸點(diǎn)不同(氧的沸點(diǎn)為-183℃，氮的沸點(diǎn)為-196℃)，壓縮空氣中的高沸點(diǎn)組份氧就液化了，而氮?jiǎng)t仍然是氣體，保持氣體狀的氮?dú)饩屯ㄟ^取出管路27取走。在精餾塔15上部的氮?dú)庠阽娬中务讽斚虏康闹苓呑魉降男D(zhuǎn)流動(dòng)，這是在排出氮?dú)馐顾c其不純物氫氣和氦氣分離時(shí)的氣流促成的。氫氣和氦氣通過管路22a由氣體收集區(qū)22排向大氣，不含氫氣和氦氣的氮?dú)馑偷降诙偷谝粨Q熱器14和13，在其中換熱到接近于環(huán)境溫度。這種氮?dú)饩蛷目偣?8取出做為產(chǎn)品氮?dú)?。與此同時(shí)，由于空氣壓縮機(jī)9的壓力和液氮的蒸汽壓力，精餾塔15里面仍然保持著高壓力，所以從取出管路27取出的產(chǎn)品氮?dú)獾膲毫σ彩呛芨叩?。?dāng)?shù)獨(dú)庥糜谧龃迪从玫臍怏w時(shí)這是很有利的。再有，因?yàn)槭歉邏?，所以大量的氣體就可用一定直徑的管路來輸送，如果其輸送量是恒定的話，則可采用直徑較小的管路，這樣，裝置的成本就可下降了，另一方面，收集在精餾塔15下部的液體空氣18則輸送到分凝器21去，用來冷卻冷凝器21a。由于這一冷卻作用，由精餾塔15上部送進(jìn)冷凝器21a的氮?dú)饩捅灰夯蔀樗?nèi)的回流液，經(jīng)過管路21c流回精餾塔15內(nèi)。而用以冷卻冷凝器21a的液態(tài)空氣18則被氣化并經(jīng)過管路29流入第二和第一換熱器14和13，使這兩個(gè)換熱器得以深度冷卻，然后就排放到大氣中。通過輸入管路24a由液氮貯罐23輸往精餾塔15的液氮，是作為使壓縮空氣液化的冷卻介質(zhì)的，在氣化之后從管路27排出，也做為產(chǎn)品氮?dú)獾囊徊糠荨＿@樣，來自液氮貯罐23的液氮，在完成了壓縮空氣的液化作用之后並不廢棄，而是與壓縮空氣制成的高純度氮?dú)庖黄鸪蔀楫a(chǎn)品氮?dú)?，所以可以?shí)現(xiàn)無損耗的利用。
此外，在上述方案的裝置中，如圖3所示，可采用其一端是敝口100的一塊擋板101傾斜地安裝在出口管27的下面，並使出口管道27的位置低于該一端敝口100的位置，從而使比重小的氫氣和氦氣上升而同氮?dú)夥珠_。這樣由于有氣體旋轉(zhuǎn)和上升的聯(lián)合效應(yīng)，氫氣、氦氣同氮?dú)獾姆蛛x就更好。
圖5是圖1所示方案裝置的一種變化，其中精餾塔15和第一、第二換熱器13和14是包容在一真空的冷卻殼里(由點(diǎn)劃線示出)，出口管路27的一端伸展進(jìn)入精餾塔15內(nèi)部，伸展進(jìn)去的部份27a如圖6所示，沿精餾塔的內(nèi)壁彎曲成圓環(huán)狀，在伸展進(jìn)去的27a部份的圓環(huán)內(nèi)側(cè)壁上，在給定的間隔位置上安裝許多氮?dú)獾奈胄」?7b。由于氮?dú)饨?jīng)由許多小管27b吸入，使精餾塔15上部的氮?dú)饬靼醇^所示的方向強(qiáng)烈地旋轉(zhuǎn)。另外，在圖5的總管28上安裝有一臺(tái)增壓泵100，在總管28，增壓泵100下游處分出一根小口徑的管路101。管路101經(jīng)過第一和第二換熱器后經(jīng)過精餾塔15的周壁伸展進(jìn)入精餾塔15內(nèi)部。與此同時(shí)，如同圖6所示，小口徑管路101伸展進(jìn)入精餾塔15內(nèi)部的101a部分是位于從出口管27伸展進(jìn)入精餾塔內(nèi)的27a管子的下面，並且與從出口管27伸展進(jìn)來的27a管子一樣，沿精餾塔15的內(nèi)壁彎曲成圓環(huán)狀。在伸展進(jìn)去的101a小直徑圓環(huán)管子的內(nèi)側(cè)壁上，在給定的圓周間隔位置上，安裝很多吹出小管101b，它們的安裝方向與伸展進(jìn)塔內(nèi)的27a圓環(huán)管上的那些吸入小管27b的安裝方向相反。
經(jīng)由出口管伸展部份27a吸入的氮?dú)饬魇咕s塔內(nèi)由氮?dú)饬餍纬尚D(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)速度，被從吹出管吹出的產(chǎn)品氮?dú)膺M(jìn)一步的加快了，因而分離氫氣和氦氣也就更為有效了。其他方面，這一裝置與圖1所示的裝置是一樣的。
在上述的方案中，出口管27的端部是伸展成圓環(huán)狀的伸展部27a，同時(shí)，吹出小管101b是安裝在伸展管101a上，來吹出增壓的氮?dú)猱a(chǎn)品而使氮?dú)庑D(zhuǎn)。這兩者並不需要同時(shí)采用，也就是說可以單獨(dú)采用圓環(huán)狀的伸展部27a，也可以單獨(dú)采用吹出小管。
權(quán)利要求
1.一套產(chǎn)生高純度氮?dú)獾难b置，包括一種壓縮取自外界空氣的設(shè)備，一種脫除來自空氣壓縮設(shè)備壓縮空氣中的二氧化碳和水份的設(shè)備，一種將來自脫除設(shè)備的壓縮空氣深度冷卻到低溫的換熱設(shè)備，一種精餾塔用于液化來自換熱設(shè)備的一部份低溫壓縮空氣，並把它收集在精餾塔的下部，而純的氮?dú)鈩t從精餾塔的上部引出，生產(chǎn)裝置中還包含一臺(tái)安裝在精餾塔上方，帶有冷凝器的分凝器，一根輸送管路，用于將收集在精餾塔下部的液態(tài)空氣輸送到分凝器，用作冷卻上述分凝器的冷卻介質(zhì)，一根排放管，用于將在分凝器中的液態(tài)空氣氣化后的空氣排向外界，一根帶一回流液管，用于將在精餾塔產(chǎn)生的一部份氮?dú)庖氲缴鲜龅睦淠?，一根第二回流液管，將在冷凝器產(chǎn)生的液氮做為回流液返回精餾塔，一種液氮貯存設(shè)備，用以貯存由裝置外部供來的液氮，一根導(dǎo)管用以將液氮貯存設(shè)備中的液氮導(dǎo)入精餾塔，一根出口管用以取出產(chǎn)品氮?dú)?，包括從精餾塔產(chǎn)生出來的純氮?dú)夂驮诰s塔里用做冷卻源后的液氮?dú)饣蟮牡獨(dú)?，一個(gè)位于精餾塔帶有冷凝器的分凝器下面的鐘罩形穹頂，一個(gè)安裝在鐘罩形穹頂頂部的氣體收集設(shè)施，一根排放不純氣體的管路，其一端連在氣體收集設(shè)施上，另一端通向大氣。
全文摘要
介紹了制備高純氮?dú)獾脑O(shè)備，包括液氮貯罐23代替常規(guī)氮?dú)馍a(chǎn)中的膨脹透平機(jī)。貯罐23與精餾塔15相接，塔上有帶冷凝器21a的分凝器21，經(jīng)管線24a以空氣壓縮機(jī)9向精餾塔通入空氣，以來自貯罐的液氮蒸發(fā)潛熱冷卻，以氮氧間沸點(diǎn)差分離二者后經(jīng)排氣管27取出氮?dú)狻＞s塔有鐘罩形穹頂20，中部裝有集氣裝置22，到達(dá)精餾塔上部的氮?dú)怆S排出出口通道27的氮?dú)饬饕黄鹦D(zhuǎn)排出，借助離心力收集氮?dú)猱a(chǎn)品中的雜質(zhì)氦和氫放入大氣。
文檔編號(hào)F25J3/04GK1044850SQ89100738
公開日1990年8月22日 申請日期1989年2月10日 優(yōu)先權(quán)日1984年7月13日
發(fā)明者吉野明 申請人:大同酸素株式會(huì)社