一種用于光阻剝膜液的冷凝回收系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種用于光阻剝膜液的冷凝回收系統(tǒng)，主要用來(lái)回收光阻剝膜液，可以應(yīng)用于液晶玻璃基板的制作工藝中。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有技術(shù)中，液晶玻璃基板是液晶平板顯示器的重要組成部分，具有十分廣闊的發(fā)展前景。目前在商業(yè)上應(yīng)用的玻璃基板，其主要厚度為0.7 mm及0.5 mm，且即將邁入更薄(如0.4 mm)厚度之制程。超薄平板玻璃基材之特性主要取決于玻璃的組成，而玻璃的組成則影響玻璃的熱膨脹、黏度(應(yīng)變、退火、轉(zhuǎn)化、軟化和工作點(diǎn)）、耐化學(xué)性、光學(xué)穿透吸收及在各種頻率與溫度下的電氣特性，產(chǎn)品質(zhì)量除深受材料組成影響外，也取決于生產(chǎn)制程。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中，液晶玻璃基板的主要制程如下：（I)將主要由基板、鋁層、光阻層三層層疊設(shè)置的半成品設(shè)置掩膜，然后進(jìn)行UV照射；（2)采用顯影液溶解去除未被掩膜覆蓋部分的光阻層，露出下面的鋁層；（3)刻蝕，去除上述部分鋁層；（4)采用光阻剝膜液將剩余的光阻層全部去除。其中，步驟(4)中，光阻剝膜液一般采用乙醇胺(MEA)和二甲基亞砜(DMSO)的混合液;而且，步驟(4)一般是在高溫（約80°C)下進(jìn)行的，因此光阻剝膜液會(huì)發(fā)生出現(xiàn)揮發(fā)現(xiàn)象。因此，如何回收這部分揮發(fā)的光阻剝膜液成為了本領(lǐng)域必須解決的技術(shù)問(wèn)題之一。
[0004]針對(duì)上述問(wèn)題，現(xiàn)有方法是采用冷凝回收系統(tǒng)，現(xiàn)有的冷凝回收系統(tǒng)參見(jiàn)圖I所示，主要包括立式的冷凝器I，冷凝器一般包括冷凝盤管和其上的翅片2;其中，翅片是豎直設(shè)置的，以便于冷凝液的滴落。為了增加接觸面積，加大熱交換效果，氣體進(jìn)口和氣體出口均位于冷凝器的側(cè)面，使氣體流動(dòng)方向呈水平狀，參見(jiàn)圖I所示。
[0005]然而，實(shí)際應(yīng)用發(fā)現(xiàn)：由于冷凝盤管上設(shè)有大量的翅片，且翅片之間的間距較小，在冷凝處理一段時(shí)間后，翅片上會(huì)凝結(jié)大量的光阻剝膜液，且位于越下方的翅片上光阻剝膜液越多，甚至造成冷凝液堵塞翅片的現(xiàn)象，這便使翅片及冷凝器的冷凝效果大打折扣，影響了其正常使用。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本實(shí)用新型的目的是提供一種用于光阻剝膜液的冷凝回收系統(tǒng)。
[0007]為達(dá)到上述發(fā)明目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是：一種用于光阻剝膜液的冷凝回收系統(tǒng)，包括至少I個(gè)冷凝模組。
[0008]所述冷凝模組包括冷凝器、設(shè)于冷凝器下方的冷凝液收集槽，以及氣體進(jìn)口；冷凝器中的翅片豎直設(shè)置;所述氣體進(jìn)口位于冷凝器的正上方，使氣體流動(dòng)方向與翅片的設(shè)置方向相平行。
[0009]所述冷凝模組包括冷凝器、設(shè)于冷凝器下方的冷凝液收集槽，以及氣體進(jìn)口，這些都可以參照現(xiàn)有技術(shù)。
[0010]所述冷凝器中的翅片豎直設(shè)置;所述氣體進(jìn)口位于冷凝器的正上方，使氣體流動(dòng)方向與翅片的設(shè)置方向相平行；即氣體流動(dòng)方向與翅片平行，這便使氣體可以推動(dòng)（吹動(dòng)）翅片上的冷凝液，使冷凝液在氣體推動(dòng)（吹動(dòng)）和自身重力作用下盡快滴入冷凝液收集槽，從而可以防止冷凝液堵塞翅片，大大提高了冷凝器的冷凝效果。
[0011]優(yōu)選的，所述冷凝模組的數(shù)量至少為2個(gè)，且冷凝模組層疊設(shè)置。
[0012]上文中，所述冷凝回收系統(tǒng)包括層疊設(shè)置的至少2個(gè)冷凝模組，每個(gè)冷凝模組即可形成一道冷凝體系，本實(shí)用新型采用的是多道冷凝體系，且各個(gè)冷凝體系層疊設(shè)置，形成串聯(lián)結(jié)構(gòu)，即待處理的氣體先通過(guò)上方的冷凝模組進(jìn)行第一道冷凝，然后進(jìn)入下方的冷凝模組進(jìn)行第二道冷凝，即進(jìn)行多次冷凝，從而到的更佳的冷凝效果。
[0013]優(yōu)選的，所述冷凝模組的數(shù)量為2?4個(gè)。
[0014]優(yōu)選的，所述冷凝器為板式換熱器。
[0015]上文中，所述板式換熱器可以采用現(xiàn)有技術(shù)，其具有良好的傳熱強(qiáng)度。板式換熱器具有進(jìn)水口、出水口，以及氣體入口和氣體出口 ；板式換熱器的進(jìn)水口與供水管路連通;所述板式換熱器的出水口與排水管路連通。所述板式換熱器內(nèi)設(shè)有氣體通道和冷卻水通道，兩者通過(guò)熱交換來(lái)對(duì)氣體進(jìn)行冷凝。
[0016]優(yōu)選的，所述板式換熱器為不銹鋼板式換熱器。
[0017]由于上述技術(shù)方案運(yùn)用，本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點(diǎn)：
[0018]1、本實(shí)用新型設(shè)計(jì)了一種全新的用于光阻剝膜液的冷凝回收系統(tǒng)，通過(guò)將翅片豎直設(shè)置，并使氣體流動(dòng)方向與翅片的設(shè)置方向相平行;使氣體可以推動(dòng)（吹動(dòng))翅片上的冷凝液，使冷凝液在氣體推動(dòng)（吹動(dòng))和自身重力作用下盡快滴入冷凝液收集槽，從而可以防止冷凝液堵塞翅片，大大提高了冷凝器的冷凝效果；
[0019]2、本實(shí)用新型采用的是多道冷凝體系，且各個(gè)冷凝體系層疊設(shè)置，形成串聯(lián)結(jié)構(gòu)，待處理的氣體先通過(guò)上方的冷凝模組進(jìn)行第一道冷凝，然后進(jìn)入下方的冷凝模組進(jìn)行第二道冷凝，即進(jìn)行多次冷凝，從而到的更佳的冷凝效果；
[0020]3、本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于制備和使用，適于推廣應(yīng)用。
【附圖說(shuō)明】
[0021 ]圖I是【背景技術(shù)】中冷凝回收系統(tǒng)的示意圖。
[0022]圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例一的示意圖。
[0023]圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例一中氣體流動(dòng)示意圖。
[0024]其中：I、冷凝器;2、翅片;3、冷凝模組;4、冷凝液收集槽。
【具體實(shí)施方式】
[0025]下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述：
[0026]實(shí)施例一
[0027]參見(jiàn)圖2?3所示，一種用于光阻剝膜液的冷凝回收系統(tǒng)，包括層疊設(shè)置的2個(gè)冷凝模組3。
[0028]所述冷凝模組包括冷凝器I、設(shè)于冷凝器下方的冷凝液收集槽4，以及氣體進(jìn)口；冷凝器中的翅片豎直設(shè)置;所述氣體進(jìn)口位于冷凝器的正上方，使氣體流動(dòng)方向與翅片的設(shè)置方向相平行。
[0029]所述冷凝器為板式換熱器。所述板式換熱器為不銹鋼板式換熱器。
[0030]上文中，所述冷凝回收系統(tǒng)包括層疊設(shè)置的2個(gè)冷凝模組，每個(gè)冷凝模組即可形成一道冷凝體系，本實(shí)施例采用的是2道冷凝體系，且各個(gè)冷凝體系層疊設(shè)置，形成串聯(lián)結(jié)構(gòu)，即待處理的氣體先通過(guò)上方的冷凝模組進(jìn)行第一道冷凝，然后進(jìn)入下方的冷凝模組進(jìn)行第二道冷凝，從而到的更佳的冷凝效果。
[0031]所述冷凝模組包括冷凝器、設(shè)于冷凝器下方的冷凝液收集槽，以及氣體進(jìn)口，這些都可以參照現(xiàn)有技術(shù)。
[0032]所述冷凝器中的翅片豎直設(shè)置;所述氣體進(jìn)口位于冷凝器的正上方，使氣體流動(dòng)方向與翅片的設(shè)置方向相平行；即氣體流動(dòng)方向與翅片平行，這便使氣體可以推動(dòng)（吹動(dòng)）翅片上的冷凝液，使冷凝液在氣體推動(dòng)（吹動(dòng)）和自身重力作用下盡快滴入冷凝液收集槽，從而可以防止冷凝液堵塞翅片，大大提高了冷凝器的冷凝效果。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于光阻剝膜液的冷凝回收系統(tǒng)，其特征在于:包括至少I個(gè)冷凝模組(3);所述冷凝模組包括冷凝器(1)、設(shè)于冷凝器下方的冷凝液收集槽(4)，以及氣體進(jìn)口；冷凝器中的翅片豎直設(shè)置;所述氣體進(jìn)口位于冷凝器的正上方，使氣體流動(dòng)方向與翅片的設(shè)置方向相平行。2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于光阻剝膜液的冷凝回收系統(tǒng)，其特征在于:所述冷凝模組的數(shù)量至少為2個(gè)，且冷凝模組層疊設(shè)置。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于光阻剝膜液的冷凝回收系統(tǒng)，其特征在于:所述冷凝模組的數(shù)量為2?4個(gè)。4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于光阻剝膜液的冷凝回收系統(tǒng)，其特征在于:所述冷凝器為板式換熱器。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于光阻剝膜液的冷凝回收系統(tǒng)，其特征在于:所述板式換熱器為不銹鋼板式換熱器。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于光阻剝膜液的冷凝回收系統(tǒng)，包括至少1個(gè)冷凝模組；所述冷凝模組包括冷凝器、設(shè)于冷凝器下方的冷凝液收集槽，以及氣體進(jìn)口；冷凝器中的翅片豎直設(shè)置；所述氣體進(jìn)口位于冷凝器的正上方，使氣體流動(dòng)方向與翅片的設(shè)置方向相平行。本實(shí)用新型通過(guò)將翅片豎直設(shè)置，并使氣體流動(dòng)方向與翅片的設(shè)置方向相平行；使氣體可以推動(dòng)（吹動(dòng)）翅片上的冷凝液，使冷凝液在氣體推動(dòng)（吹動(dòng)）和自身重力作用下盡快滴入冷凝液收集槽，從而可以防止冷凝液堵塞翅片，大大提高了冷凝器的冷凝效果。
【IPC分類】F28B1/02
【公開(kāi)號(hào)】CN205156657
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520886697
【發(fā)明人】楊政諭
【申請(qǐng)人】亞翔系統(tǒng)集成科技（蘇州）股份有限公司
【公開(kāi)日】2016年4月13日
【申請(qǐng)日】2015年11月9日