基板干燥裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種可防止基板的干燥不良的基板干燥裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]通常，在制造顯示裝置時在基板上形成薄膜元件，并執(zhí)行表面處理工序。在表面處理工序中，必須要有洗凈作業(yè)和干燥作業(yè)。
[0003]在洗凈工序中貼附于基板的表面或薄膜元件的雜質(zhì)被洗凈液除去。洗凈工序過后殘留在基板的洗凈液被風(fēng)刀之類的基板干燥裝置除去。基板干燥裝置將高壓的空氣噴射于基板上而除去殘留在基板的洗凈液。
[0004]在將高壓的空氣提供到基板上的情況下，洗凈液的一部分可能會作為碎狀的水汽殘留在工藝室內(nèi)。在將高壓的空氣提供到基板上的情況下，水汽可隨高壓的空氣所形成的氣流而在工藝室內(nèi)移動并相互結(jié)合。
[0005]相互結(jié)合的水汽可能形成為大小更大的水珠而掉落在基板上。因此，可能會發(fā)生基板的干燥不良。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的在于提供一種可防止基板的干燥不良的基板干燥裝置。
[0007]根據(jù)本發(fā)明的實施例的基板干燥裝置包括:第一基板干燥部，布置于基板的上部而將高壓的空氣噴射于所述基板的上表面；第二基板干燥部，布置于所述基板的下部而將所述高壓的空氣噴射于所述基板的下表面，其中，所述第一基板干燥部包括:第一殼體；第一噴嘴，連接于所述第一殼體的下部而將所述高壓的空氣噴射于所述基板的所述上表面；蒸發(fā)部，布置于面向所述基板的移送方向的所述第一殼體的正面的下部的預(yù)定區(qū)域而向與所述基板的移送方向相反的方向突出；加熱部，加熱所述蒸發(fā)部。
[0008]所述蒸發(fā)部的一側(cè)連接于所述第一殼體的所述正面，所述蒸發(fā)部的另一側(cè)具有傾斜面，所述蒸發(fā)部的上表面的長度比所述蒸發(fā)部的下表面的長度更長。
[0009]所述第一噴嘴朝面向所述基板的移送方向的方向彎折為具有預(yù)定的角度，從而布置為使所述第一噴嘴的下部朝向所述基板的所述上表面。
[0010]所述第一基板干燥部還包括:第一氣體供應(yīng)管，布置為與作為所述第一殼體的所述正面的相反側(cè)面的所述第一殼體的背面相面對而產(chǎn)生所述高壓的空氣；第一氣體移送部，沿第一方向延伸并連接于所述第一氣體供應(yīng)管而獲得所述高壓的空氣；第二氣體移送部，朝與所述第一方向交叉的第二方向延伸而被所述第一殼體收容，并連接于所述第一氣體移送部而從所述第一氣體移送部獲得所述高壓的空氣而提供給所述第一噴嘴。
[0011]所述第一噴嘴連接于所述第二氣體移送部的下部而將通過所述第二氣體移送部獲得的所述高壓的空氣噴射于所述基板的所述上表面。
[0012]所述第一噴嘴包括第一孔，所述第一孔布置為連接于所述第二氣體移送部的所述下部而朝向所述基板的所述上表面，且所述第一孔將通過所述第二氣體移送部獲得的所述高壓的空氣噴射于所述基板的所述上表面。
[0013]所述基板沿所述第一方向具有長邊，且沿與所述第一方向和所述第二方向交叉的第三方向具有短邊，并朝所述第一方向得到移送，而所述第一殼體、所述第一噴嘴以及所述蒸發(fā)部沿所述第三方向延伸。
[0014]所述基板干燥裝置還包括:工藝室，用于布置并移送所述基板，并收容所述第一基板干燥部和第二基板干燥部；虛設(shè)蒸發(fā)部，布置于所述工藝室的上部的內(nèi)側(cè)面的預(yù)定區(qū)域；虛設(shè)加熱部，加熱所述虛設(shè)蒸發(fā)部。
[0015]所述虛設(shè)蒸發(fā)部布置為重影于所述高壓的空氣與所述基板的所述上表面之間的接觸點(diǎn)，且布置為避免與所述蒸發(fā)部重影。
[0016]所述虛設(shè)蒸發(fā)部的一側(cè)布置為以投影方式接觸于未連接于所述第一殼體的所述正面的所述蒸發(fā)部的側(cè)面，且相鄰于朝上部和下部方向延伸的延伸軸，且所述虛設(shè)蒸發(fā)部從所述延伸軸朝沒有布置所述蒸發(fā)部的方向延伸預(yù)定區(qū)域。
[0017]所述蒸發(fā)部突出為具有小于從所述第一殼體的所述正面到所述高壓的空氣與所述基板的所述上表面之間的接觸點(diǎn)為止的距離的大小，從而布置為避免重影于所述高壓的空氣與所述基板的所述上表面之間的接觸點(diǎn)。
[0018]所述加熱部和所述虛設(shè)加熱部將所述蒸發(fā)部和所述虛設(shè)蒸發(fā)部加熱至能夠使所述基板的所述上表面上殘留的洗凈液被所述高壓的空氣除去時產(chǎn)生的水汽蒸發(fā)的溫度。
[0019]本發(fā)明的基板干燥裝置可防止基板的干燥不良。
【附圖說明】
[0020]圖1為概略地表示根據(jù)本發(fā)明的實施例的基板干燥裝置的圖。
[0021]圖2為概略地表示通過第一基板干燥部和第二基板干燥部執(zhí)行的基板干燥工序的圖。
[0022]圖3為示例性表示當(dāng)通過第一基板干燥部執(zhí)行基板干燥工序時水汽的移動流向的圖。
[0023]圖4A至圖4F為表示第一基板干燥部的蒸發(fā)部的多種多樣的實施例的圖。
[0024]符號說明:
[0025]100:基板干燥裝置110:第一基板干燥部
[0026]120:第二基板干燥部 111:第一氣體供應(yīng)管
[0027]112:第一氣體移送部 113:第二氣體移送部
[0028]114:第一殼體115:第一噴嘴
[0029]116:加熱部117:蒸發(fā)部
[0030]121:第二氣體供應(yīng)管 122:第三氣體移送部
[0031]123:第四氣體移送部 124:第二殼體
[0032]125:第二噴嘴10:工藝室
[0033]21:虛設(shè)加熱部22:虛設(shè)蒸發(fā)部
[0034]30:洗凈液R0L:棍子
[0035]SUB:基板H1:第一孔H2:第二孔
【具體實施方式】
[0036]如果參照結(jié)合附圖而在后面詳述的實施例，則本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)、特征以及用于達(dá)到目的的方法將會變得明確。然而本發(fā)明并不局限于以下公開的實施例而可以實現(xiàn)為不同的多種形態(tài)，本發(fā)明的實施例是為了徹底公開本發(fā)明并將本發(fā)明的范圍完整地介紹給本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有普通知識的人員而提供的，本發(fā)明只由權(quán)利要求的范圍來定義。貫穿整個說明書，相同的附圖標(biāo)記指相同的構(gòu)成要素。
[0037]所謂的元件(elements)或?qū)游挥谄渌驅(qū)拥摹吧厦妗被蛘摺吧戏健保粌H包括緊鄰其他元件或?qū)拥那樾?，而且連中間夾設(shè)有其他層或其他元件的情形也都包括。相反，如果說是元件在“直接的上面(directly on) ”或“緊鄰的上面”，則表示中間沒有夾設(shè)其他元件或?qū)?。“?或”包括涉及的項目中的單個以及一個以上的項目的所有組合。
[0038]作為空間上的相對性術(shù)語的“下面(below) ”、“下方(beneath) ”、“下部(lower) ”、“上面(above) ”、“上部(upper) ”等可以為了便于闡述一個元件或構(gòu)成要素與其他元件或構(gòu)成要素之間的如圖中所示的相關(guān)關(guān)系而使用?？臻g上具有相對性的術(shù)語不僅應(yīng)該理解為包括圖中所示的方向的術(shù)語，而且還應(yīng)該理解為包括在使用或者操作時的元件的不同方向的術(shù)語。貫穿整個說明書，相同的附圖標(biāo)記指相同的構(gòu)成要素。
[0039]雖然為了闡述多種多樣的元件、構(gòu)成要素和/或部分而使用“第一”、“第二”等，然而這些元件、構(gòu)成要素和/或部分自然不會局限于這些術(shù)語。這些術(shù)語只是為了將一個元件、構(gòu)成要素或部分與其他元件、構(gòu)成要素或部分區(qū)別開而使用。因此，以下涉及的第一元件、第一構(gòu)成要素或第一部分在本發(fā)明的技術(shù)思想內(nèi)當(dāng)然也可能是第二元件、第二構(gòu)成要素或第二部分。
[0040]在本說明書中記載的實施例將會參考作為本發(fā)明的理想化的概略圖的平面圖和剖面圖而進(jìn)行說明。于是，因制造技術(shù)和/或允許誤差等而可能引起示例圖的形態(tài)的變形。因此，本發(fā)明的實施例并不局限于圖示的特定形態(tài)，而是還包括伴隨制造工藝而發(fā)生的形態(tài)變化。因此，在附圖中舉例示出的區(qū)域具有概略性的屬性，在圖中所示的區(qū)域的形狀只是為了舉例表示元件的區(qū)域的特定形態(tài)，而不是用于限制本發(fā)明的范圍。
[0041]以下，參照附圖而更加詳細(xì)地說明本發(fā)明的優(yōu)選實施例。
[0042]圖1為概略地圖示出根據(jù)本發(fā)明的實施例的基板干燥裝置的圖。
[0043]參照圖1，基板干燥裝置100包括工藝室10、基板干燥部(或風(fēng)刀)110、120、虛設(shè)加熱部21、虛設(shè)蒸發(fā)部22以及輥子R0L。
[0044]基板干燥部110、120和虛設(shè)蒸發(fā)部22以及輥子R0L布置于工藝室10內(nèi)。虛設(shè)加熱部21可布置于工藝室10的外部。然而并不局限于此，虛設(shè)加熱部21可布置于工藝室10的內(nèi)部。
[0045]工藝室10包括基板運(yùn)入部11、基板運(yùn)出部12以及排氣管13。作為示例性的實施例，基板運(yùn)入部11可布置于工藝室10的左側(cè)而基板運(yùn)出部12可布置于工藝室10的右側(cè)。而且，排氣管13可布置于工藝室10的下部。已執(zhí)行洗凈工序的基板SUB通過基板運(yùn)入部11而運(yùn)入到工藝室10。
[0046]運(yùn)入到工藝室10的基板SUB通過工藝室10內(nèi)布置的輥子R0L而得到移送。輥子R0L可沿預(yù)定的方向旋轉(zhuǎn)并將基板SUB朝第一方向D1移送。作為示例性的實施例，基板SUB可通過沿順時針方向旋轉(zhuǎn)的輥子R0L而從第一方向D1的左側(cè)朝右側(cè)方向移動。
[0047]基板干燥部110、120為固定狀態(tài)，通過輥子R0L而將