本發(fā)明涉及一種烤爐降溫控制方法，尤其是涉及一種無(wú)氧化烤爐氣水冷降溫斜率控制方法。

背景技術(shù)：

目前對(duì)烤爐的降溫方式是通過(guò)多次手動(dòng)定值降溫，而烤爐內(nèi)箱空間一定，從而使得烤爐內(nèi)的溫度降低時(shí)難以保持溫度下降的曲線趨于平滑，通常是溫度呈現(xiàn)直線下降而且無(wú)法控制，參閱圖4中所示，降溫曲線曲率較大，溫度和時(shí)間線性較差，從而影響了烘烤效率和質(zhì)量。如在晶圓涂料導(dǎo)電層的固化和封裝的制程上使用的烤爐,如果快速降溫的話(huà)會(huì)造成晶圓的龜裂的現(xiàn)象和導(dǎo)電層的導(dǎo)電率變差,從而影響產(chǎn)品的質(zhì)量。所以讓降溫曲線平滑可以保證產(chǎn)品的良率，避免二次烘烤，提升效率。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的上述不足，提供一種降溫曲線平滑、烘烤效率高、產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定的無(wú)氧化烤爐氣水冷降溫斜率控制方法。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種無(wú)氧化烤爐氣水冷降溫斜率控制方法，該控制方法是先通過(guò)溫控器時(shí)間信號(hào)控制恒流量的烤爐夾層風(fēng)冷降溫和水冷降溫，使烤爐的溫度由350度降至160度；再通過(guò)溫控器的PID控制風(fēng)路和水路的流量改變使烤爐內(nèi)以每分鐘降5度的方式降溫至80度為止。

作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，通過(guò)溫控器時(shí)間信號(hào)控制烤爐夾層風(fēng)冷降溫的風(fēng)路的流量恒定，使烤爐的溫度由350度降至210度降溫后，如果溫度流失過(guò)慢，往水管內(nèi)注入氣體加強(qiáng)冷卻，使溫度由210度降到190度。

作為本發(fā)明的更進(jìn)一步改進(jìn)，在往水管注入氣體后，如果再次出現(xiàn)溫度流失過(guò)慢，則開(kāi)啟水路，并限制水路的流量是水管最大輸出的10％，使溫度由190度降到160度。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：利用溫控器PID控制可隨時(shí)改變風(fēng)路和水路的流量的大小從而控制住溫度的流失，改變烤爐內(nèi)的溫度，從而能夠有效的讓溫度曲線趨于平滑，保證烘烤效率和質(zhì)量；如果溫度流失過(guò)慢則注入氣體加強(qiáng)冷卻，從而可進(jìn)一步使得溫度曲線區(qū)域平滑，進(jìn)一步保證烘烤效率和質(zhì)量；如果在注入氣體過(guò)程溫度流失再次過(guò)慢，則開(kāi)啟水路，利用溫控器對(duì)水路流量的控制，從而可進(jìn)一步使得溫度曲線區(qū)域平滑，進(jìn)一步保證烘烤效率和質(zhì)量。

通過(guò)以下的描述并結(jié)合附圖，本發(fā)明將變得更加清晰，這些附圖用于解釋本發(fā)明的實(shí)施例。

附圖說(shuō)明

圖1為溫控器發(fā)送控制信號(hào)的組成單元結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為冷水比例閥結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為排風(fēng)馬達(dá)控制電路接線結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是傳統(tǒng)降溫曲線圖；

圖5是本發(fā)明降溫曲線圖。

具體實(shí)施方式

現(xiàn)在參考附圖描述本發(fā)明的實(shí)施例，附圖中類(lèi)似的元件標(biāo)號(hào)代表類(lèi)似的元件。

如圖1至圖3所示，本發(fā)明的無(wú)氧化烤爐氣水冷降溫斜率控制方法是：先通過(guò)溫控器REX-PF900時(shí)間信號(hào)控制恒定流量的烤爐夾層風(fēng)冷降溫，使烤爐的溫度由350度降至210度；如果溫度流失過(guò)慢，則通過(guò)水管往烤爐夾層內(nèi)注入氣體10分鐘加強(qiáng)冷卻，使溫度由210度降到190度。在通過(guò)水管注入氣體后，如果再次出現(xiàn)溫度流失過(guò)慢，則開(kāi)啟水路，即利用水管通水進(jìn)入烤爐的夾層，并限制水路的流量是水管最大輸出的10％，使溫度由190度降到160度。之后，利用溫控器REX-PF900的PID對(duì)風(fēng)路的流量改變使烤爐內(nèi)以每分鐘降5度的方式降溫至80度為止。

溫控器REX-PF900的輸出信號(hào)通過(guò)模擬量輸入模塊FX2N-2AD和模擬量輸出模塊FX2N-2DA轉(zhuǎn)換成兩路信號(hào)分別給冷卻水比例閥1和變頻器1HP，從而對(duì)風(fēng)路與水路的流量進(jìn)行控制。

參閱圖5所示，是本發(fā)明的方法，用于晶圓涂料后固化降溫曲線圖，可以看出，圖中方框內(nèi)的降溫曲線，非常接近線性，降溫平滑，大大提高了產(chǎn)品的質(zhì)量良品率和產(chǎn)能。

以上結(jié)合最佳實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了描述，但本發(fā)明并不局限于以上揭示的實(shí)施例，而應(yīng)當(dāng)涵蓋各種根據(jù)本發(fā)明的本質(zhì)進(jìn)行的修改、等效組合。