硅片烘干箱的制作方法
【專利摘要】一種硅片烘干箱，包括箱體、紅外線燈、回流管道和管道風(fēng)機(jī)，在所述箱體內(nèi)的左側(cè)、右側(cè)及上側(cè)分別設(shè)置所述紅外線燈；所述回流管道的一端與箱體頂端貫通連接，另一端與箱體底端貫通連接，所述管道風(fēng)機(jī)貫通連接在所述回流管道中■’所述箱體上設(shè)置有門體。本實(shí)用新型通過紅外線燈對硅片進(jìn)行烘烤，不采用電熱絲，維修方便，而且紅外燈的數(shù)量根據(jù)需求投入，使用方便；通過在箱體上設(shè)置回流管道，使箱內(nèi)氣體循環(huán)，提高了硅片烘烤效率。
【專利說明】硅片烘干箱

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種硅片烘干箱。

【背景技術(shù)】
[0002]在硅片制作工藝中，傳統(tǒng)的硅片烘烤都采用專用烤箱，但烤箱成本高，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，維修困難，如果發(fā)生損壞，需要返廠維修，不僅維修成本高，而且對生產(chǎn)造成影響，而且，烤箱內(nèi)的氣體也不能循環(huán)流動，硅片烘烤時間長。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)存在的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡單，維修方便，烤箱內(nèi)氣體可循環(huán)流動的硅片烘干箱。
[0004]為了解決上述問題，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案:一種硅片烘干箱，其特征在于，包括箱體、紅外線燈、回流管道和管道風(fēng)機(jī)，在所述箱體內(nèi)的左側(cè)、右側(cè)及上側(cè)分別設(shè)置所述紅外線燈；所述回流管道的一端與箱體頂端貫通連接，另一端與箱體底端貫通連接，所述管道風(fēng)機(jī)貫通連接在所述回流管道中；所述箱體上設(shè)置有門體。
[0005]進(jìn)一步的，在所述箱體內(nèi)的底部設(shè)置有氣流分散盒，所述氣流分散盒的上端設(shè)置有若干通孔，所述回流管道的下端與氣流分散盒貫通連接。
[0006]優(yōu)選的，若干所述紅外線燈并聯(lián)，每一所述紅外線燈對應(yīng)一個開關(guān)按鈕。
[0007]進(jìn)一步的，在所述箱體上設(shè)置有耐高溫溫度計(jì)。
[0008]本實(shí)用新型的有益效果是:它通過紅外線燈對硅片進(jìn)行烘烤，不采用電熱絲，維修方便，而且紅外燈的數(shù)量根據(jù)需求投入，使用方便；通過在箱體上設(shè)置回流管道，使箱內(nèi)氣體循環(huán)，提聞了娃片烘烤效率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0009]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型做進(jìn)一步的說明:
[0010]圖1為本實(shí)用新型的整體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0011]圖2為本實(shí)用新型氣流分散盒的剖視圖。
[0012]圖中，I箱體、11門體、12耐高溫溫度計(jì)、2紅外線燈、3回流管道、4管道風(fēng)機(jī)、5氣流分散盒、51通孔。

【具體實(shí)施方式】
[0013]如圖1和圖2所示，本實(shí)用新型的具體實(shí)施例包括箱體1、紅外線燈2、回流管道3、管道風(fēng)機(jī)4和氣流分散盒5。
[0014]在所述箱體I內(nèi)的左側(cè)、右側(cè)及上側(cè)分別設(shè)置所述紅外線燈2，本實(shí)施例中在每一側(cè)設(shè)置四個紅外線燈，紅外線燈的功率可以根據(jù)箱體的大小選擇。所述回流管道3的一端與箱體I頂端貫通連接，另一端與箱體I底端貫通連接，所述管道風(fēng)機(jī)4貫通連接在所述回流管道3中。所述箱體I上設(shè)置有門體11。所述箱體1、回流管道3和氣流分散盒5均采用不銹鋼材質(zhì)，在箱體I和回流管道3的外側(cè)還可以設(shè)置金屬網(wǎng)，防止?fàn)C傷。
[0015]為了使回流的氣體從箱體I底部充分?jǐn)U散，在所述箱體I內(nèi)的底部設(shè)置有氣流分散盒5，所述氣流分散盒5的上端設(shè)置有若干通孔51，所述回流管道3的下端與氣流分散盒5貫通連接。
[0016]優(yōu)選的，若干所述紅外線燈2采用并聯(lián)形式，每一所述紅外線燈2對應(yīng)一個開關(guān)按鈕，當(dāng)然也可以兩個紅外線燈用一個開關(guān)按鈕。
[0017]為了防止工作人員忘記烘烤時間，對硅片過度烘烤，本方案中還可以加入定時裝置，可對所述紅外線燈的工作時間進(jìn)行定時，簡單的，采用時間繼電器即可實(shí)現(xiàn)該功能，當(dāng)然也可以采用數(shù)字式定時裝置。
[0018]為了能直觀的觀察到箱體I內(nèi)的溫度，在所述箱體I上設(shè)置有耐高溫溫度計(jì)12。
[0019]使用時，根據(jù)需要及放入硅片的多少，選擇開啟幾個紅外線燈2，管道風(fēng)機(jī)4的電源開關(guān)也獨(dú)立設(shè)置，用戶可根據(jù)需要決定是否開啟管道風(fēng)機(jī)。
[0020]以上所述只是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，對于本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也被視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種硅片烘干箱，其特征在于，包括箱體、紅外線燈、回流管道和管道風(fēng)機(jī)，在所述箱體內(nèi)的左側(cè)、右側(cè)及上側(cè)分別設(shè)置所述紅外線燈；所述回流管道的一端與箱體頂端貫通連接，另一端與箱體底端貫通連接，所述管道風(fēng)機(jī)貫通連接在所述回流管道中；所述箱體上設(shè)置有門體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片烘干箱，其特征在于，在所述箱體內(nèi)的底部設(shè)置有氣流分散盒，所述氣流分散盒的上端設(shè)置有若干通孔，所述回流管道的下端與氣流分散盒貫通連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的硅片烘干箱，其特征在于，若干所述紅外線燈并聯(lián)，每一所述紅外線燈對應(yīng)一個開關(guān)按鈕。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的硅片烘干箱，其特征在于，其特征在于，在所述箱體上設(shè)置有耐高溫溫度計(jì)。
【文檔編號】F26B21/02GK204027228SQ201420406697
【公開日】2014年12月17日 申請日期:2014年7月23日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月23日
【發(fā)明者】彭雷 申請人:濟(jì)南晶博電子有限公司