一種外延爐尾氣處理器的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種外延爐尾氣處理器，其特征在于，包括封閉容腔和排氣管；所述排氣管包括第一排氣管和第二排氣管；所述容腔與所述第一排氣管的進(jìn)氣口連通；所述第一排氣管的出氣口與所述第二排氣管的進(jìn)氣口連通；所述第一排氣管與所述第二排氣管之間的夾角α大于0度且小于180度；所述容腔內(nèi)的氣體通過所述第一排氣管和所述第二排氣管排出。本實(shí)用新型提供的外延爐尾氣處理器，較傳統(tǒng)的外延爐尾氣處理器，排氣結(jié)構(gòu)簡單、無需額外的排氣蓋即可防止雨水入侵。
【專利說明】一種外延爐尾氣處理器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種外延爐尾氣處理器。
【背景技術(shù)】
[0002]外延爐作業(yè)過程中產(chǎn)生的氣體經(jīng)尾氣處理器處理后通過排氣管排出。如圖1所示，傳統(tǒng)的外延爐尾氣處理器排氣管出氣口朝上，雨水、灰塵等雜質(zhì)很容易通過出氣口進(jìn)入排氣管，造成排氣管堵塞，尾氣處理器受雨水侵蝕，存在腐蝕、損壞的危險(xiǎn)。
[0003]如圖2所示，現(xiàn)有的外延爐尾氣處理器在排氣管出氣口上加蓋了一個(gè)可往兩邊排氣的排氣蓋。排氣蓋的設(shè)計(jì)雖然能防止雨水入侵，但排氣口仍易受到室外風(fēng)力影響，導(dǎo)致排氣不暢，當(dāng)外界刮風(fēng)時(shí)，冷空氣可從排氣蓋兩邊的出氣口吹入，形成冷風(fēng)倒灌。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實(shí)用新型的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種排氣結(jié)構(gòu)簡單、能有效避免雨水入侵的外延爐尾氣處理器。
[0005]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):
[0006]一種外延爐尾氣處理器，其特征在于，包括封閉容腔和排氣管；所述排氣管包括第一排氣管和第二排氣管；所述容腔與所述第一排氣管的進(jìn)氣口連通；所述第一排氣管的出氣口與所述第二排氣管的進(jìn)氣口連通；所述第一排氣管與所述第二排氣管之間的夾角α大于O度且小于180度；所述容腔內(nèi)的氣體通過所述第一排氣管和所述第二排氣管排出。
[0007]優(yōu)選地是，所述第一排氣管與所述第二排氣管之間的夾角α為10-170度。
[0008]優(yōu)選地是，所述第二排氣管的出氣口低于所述第二排氣管的進(jìn)氣口。
[0009]優(yōu)選地是，所述排氣管還包括第三排氣管；所述第三排氣管與所述第二排氣管的出氣口連通；所述第二排氣管與所述第三排氣管之間的夾角β大于O度且小于180度；所述第二排氣管出氣口流出的氣體通過所述第三排氣管排出。
[0010]優(yōu)選地是，所述第二排氣管與所述第三排氣管之間的夾角β為10?170度。
[0011]優(yōu)選地是，所述第三排氣管為豎直管路。
[0012]優(yōu)選地是，所述第三排氣管的兩端具有開口 ；所述第二排氣管出氣口流出的氣體通過所述第三排氣管兩端的開口排出。
[0013]優(yōu)選地是，所述第三排氣管與所述第二排氣管的出氣口連通的位置為所述第三排氣管兩端開口之間。
[0014]優(yōu)選地是，所述排氣管還包括第四排氣管和第五排氣管；所述第一排氣管的出氣口還與所述第四排氣管的進(jìn)氣口連通；所述第四排氣管的出氣口與所述第五排氣管連通；所述第五排氣管兩端具有開口 ；所述第四排氣管與所述第二排氣管沿所述第一排氣管的出氣口的中垂線作軸對稱；所述第五排氣管與所述第三排氣管沿所述第一排氣管的出氣口的中垂線作軸對稱；所述容腔內(nèi)的氣體還通過所述第一排氣管、第四排氣管和第五排氣管排出。[0015]本實(shí)用新型提供的外延爐尾氣處理器，較傳統(tǒng)的外延爐尾氣處理器，排氣結(jié)構(gòu)簡單、無需額外的排氣蓋即可防止雨水入侵。通過設(shè)置第二排氣管與第一排氣管連通，并形成一定角度，可有效避免雨水直接從排氣管出氣口進(jìn)入容腔；可根據(jù)雨水下落的方向，設(shè)置第一排氣管與第二排氣管的夾角α，理論上夾角α小于O度大于180度均可實(shí)現(xiàn)一定的防雨效果，但受制造工藝限制，一般設(shè)在10-170度之間；當(dāng)?shù)诙艢夤艿某鰵饪诘陀谄溥M(jìn)氣口時(shí)，相當(dāng)于第二排氣管向下傾斜，此時(shí)，即使雨水被吹入第二排氣管，也會(huì)沿著傾斜的管路向下排出，防雨效果較好。通過設(shè)置第二排氣管與第三排氣管連通，并形成一定角度，使部分風(fēng)被擋在第三排氣管外，有效減少外界刮風(fēng)的影響；當(dāng)?shù)谌艢夤軆啥司哂虚_口時(shí)，從第三排氣管一端開口進(jìn)入的冷風(fēng)，可從另一端開口排出，擋風(fēng)效果較好，排氣壓力穩(wěn)定。可根據(jù)風(fēng)向，設(shè)置第二排氣管與第三排氣管的夾角β，理論上夾角β小于O度大于180度均可實(shí)現(xiàn)一定的擋風(fēng)效果，但受制造工藝限制，一般設(shè)在10-170度之間；由于風(fēng)斜向刮的特性，當(dāng)?shù)谌艢夤転樨Q直管路時(shí)，擋風(fēng)效果最好。在第一排氣管的另一側(cè)設(shè)置對稱的第四排氣管和第五排氣管，可加快容腔內(nèi)氣體的排放速度，同時(shí)避免雨水及外界刮風(fēng)對另一側(cè)排氣管的影響。
[0016]本實(shí)用新型對外延爐尾氣處理器的排氣管結(jié)構(gòu)進(jìn)行了改進(jìn)，成本低、易于實(shí)現(xiàn)。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]圖1為傳統(tǒng)的外延爐尾氣處理器排氣管的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018]圖2為現(xiàn)有技術(shù)中外延爐尾氣處理器排氣管的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019]圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例1中外延爐尾氣處理器排氣管的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0020]下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)的描述:
[0021]實(shí)施例1
[0022]如圖3所示，一種外延爐尾氣處理器，包括封閉容腔7和排氣管6，排氣管6包括:第一排氣管1、第二排氣管2、第三排氣管3、第四排氣管4和第五排氣管5 ;第一排氣管I和第二排氣管2形成銳角夾角α，第二排氣管2和第三排氣管3形成銳角夾角β ;容腔7與第一排氣管I的進(jìn)氣口連通，第一排氣管I的出氣口分別與第二排氣管2的進(jìn)氣口和第四排氣管4的進(jìn)氣口連通；第二排氣管2的出氣口低于第二排氣管2的進(jìn)氣口 ；第二排氣管2的出氣口與第三排氣管3連通的位置在第三排氣管3的中部；第四排氣管4與第五排氣管5連通；第三排氣管3和第五排氣管5的兩端均具有開口，且均為豎直管路；第二排氣管2和第四排氣管4沿第一排氣管I出氣口的中垂線作軸對稱，第三排氣管3和第五排氣管5沿第一排氣管I出氣口的中垂線作軸對稱。
[0023]工作時(shí)，容腔7內(nèi)的氣體進(jìn)入第一排氣管I的進(jìn)氣口，經(jīng)第一排氣管I的出氣口分兩路，分別由第二排氣管2和第三排氣管3、第四排氣管4和第五排氣管5排出。由于第二排氣管2的出氣口低于第二排氣管2的進(jìn)氣口，即使有雨水被風(fēng)吹入，也能沿著傾斜的管路及時(shí)排出，有效防止了雨水入侵；豎直管路第三排氣管3和第五排氣管5將大部分風(fēng)擋在管夕卜，有效避免了外界刮風(fēng)的影響，排氣壓力穩(wěn)定；左右兩邊排氣管的對稱設(shè)計(jì)更加快了容腔7內(nèi)的氣體排放速度。[0024]本實(shí)用新型中的實(shí)施例僅用于對本實(shí)用新型進(jìn)行說明，并不構(gòu)成對權(quán)利要求范圍的限制，本領(lǐng)域內(nèi)技術(shù)人員可以想到的其他實(shí)質(zhì)上等同的替代，均在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種外延爐尾氣處理器，其特征在于，包括封閉容腔和排氣管；所述排氣管包括第一排氣管和第二排氣管；所述容腔與所述第一排氣管的進(jìn)氣口連通；所述第一排氣管的出氣口與所述第二排氣管的進(jìn)氣口連通；所述第一排氣管與所述第二排氣管之間的夾角α大于O度且小于180度；所述容腔內(nèi)的氣體通過所述第一排氣管和所述第二排氣管排出。
2.如權(quán)利要求1所述的外延爐尾氣處理器，其特征在于，所述第一排氣管與所述第二排氣管之間的夾角α為10-170度。
3.如權(quán)利要求1所述的外延爐尾氣處理器，其特征在于，所述第二排氣管的出氣口低于所述第二排氣管的進(jìn)氣口。
4.如權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的外延爐尾氣處理器，其特征在于，所述排氣管還包括第三排氣管；所述第三排氣管與所述第二排氣管的出氣口連通；所述第二排氣管與所述第三排氣管之間的夾角β大于O度且小于180度；所述第二排氣管出氣口流出的氣體通過所述第三排氣管排出。
5.如權(quán)利要求4所述的外延爐尾氣處理器，其特征在于，所述第二排氣管與所述第三排氣管之間的夾角β為10-170度。
6.如權(quán)利要求4所述的外延爐尾氣處理器，其特征在于，所述第三排氣管為豎直管路。
7.如權(quán)利要求4所述的外延爐尾氣處理器，其特征在于，所述第三排氣管的兩端具有開口 ；所述第二排氣管出氣口流出的氣體通過所述第三排氣管兩端的開口排出。
8.如權(quán)利要求7所述的外延爐尾氣處理器，其特征在于，所述第三排氣管與所述第二排氣管的出氣口連通的位置為所述第三排氣管兩端開口之間。
9.如權(quán)利要求7所述的外延爐尾氣處理器，其特征在于，所述排氣管還包括第四排氣管和第五排氣管；所述第一排氣管的出氣口還與所述第四排氣管的進(jìn)氣口連通；所述第四排氣管的出氣口與所述第五排氣管連通；所述第五排氣管兩端具有開口 ；所述第四排氣管與所述第二排氣管沿所述第一排氣管的出氣口的中垂線作軸對稱；所述第五排氣管與所述第三排氣管沿所述第一排氣管的出氣口的中垂線作軸對稱；所述容腔內(nèi)的氣體還通過所述第一排氣管、第四排氣管和第五排氣管排出。
【文檔編號(hào)】F27D17/00GK203744748SQ201420047833
【公開日】2014年7月30日 申請日期:2014年1月24日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月24日
【發(fā)明者】謝芳吉 申請人:上海晶盟硅材料有限公司