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加熱爐爐殼的制作方法

文檔序號(hào):4709188閱讀:382來源:國(guó)知局
專利名稱:加熱爐爐殼的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)能電池片及半導(dǎo)體設(shè)備制造領(lǐng)域,尤其涉及太陽(yáng)能和半導(dǎo)體制造設(shè)備中的加熱爐。
背景技術(shù)
在太陽(yáng)能電池片和半導(dǎo)體材料制造過程中,現(xiàn)有的加熱爐的爐殼采用保溫棉外覆不銹鋼鋼板進(jìn)行保溫隔熱,保溫棉包覆的松緊等對(duì)爐體的性能有較大的影響。同時(shí)隨著所需爐體溫度的升高,需增加保溫棉的厚度,爐絲產(chǎn)生的一部分熱量被用于加熱保溫棉,造成升溫慢和能量的浪費(fèi)。同時(shí),不斷加厚的保溫棉導(dǎo)致爐殼外徑增加,爐體需要更大的安裝空間。而且采用現(xiàn)有結(jié)構(gòu)爐殼的爐體實(shí)際使用過程中控溫精度一般只能達(dá)到±1°C,不能滿足一些對(duì)控溫精度要求較高的工藝。
發(fā)明內(nèi)容為了解決以上技術(shù)問題,本實(shí)用新型提供了一種體積小、控溫精度高、熱量損失小、爐體升溫快的加熱爐爐殼。本實(shí)用新型所述加熱爐爐殼包括石英管及黃金層,所述黃金層鍍?cè)谑⒐軆?nèi)壁。其優(yōu)點(diǎn)在于因黃金熔點(diǎn)高、反射性好,利用反射原理,黃金層可反射爐絲輻射的熱量,使熱量集中在石英管內(nèi)部。因此采用本實(shí)用新型所述爐殼的爐體升溫速率是現(xiàn)有爐體升溫速率的多倍,節(jié)約了工藝時(shí)間,同時(shí)熱量散失少,同功率下可達(dá)到更高的溫度節(jié)約了能源;同時(shí)爐殼的直徑遠(yuǎn)小于現(xiàn)有爐殼,減少安裝空間。此外,配合爐體可使控溫精度達(dá)到±0.1°c,可滿足對(duì)控溫精度高的工藝。所述黃金層可以是不同純度的黃金層,也可以是其他材料。

圖1為本實(shí)用新型所述爐殼的示意圖。圖中各件號(hào)說明1-石英管;2-黃金層。
具體實(shí)施方式
結(jié)合圖1,對(duì)本實(shí)用新型所述爐殼進(jìn)行詳細(xì)說明。本實(shí)用新型所述爐殼包括石英管I及黃金層2,所述黃金層2鍍?cè)谑⒐躀內(nèi)壁。本實(shí)用新型通過對(duì)透明石英管I內(nèi)壁鍍不同純度的黃金,使內(nèi)壁產(chǎn)生黃金鍍層2。因黃金熔點(diǎn)高反射性好利用反射原理,反射爐絲輻射的熱量,使熱量集中在石英管內(nèi)部。本實(shí)用新型主要利用了黃金爐殼對(duì)熱量的反射達(dá)到更快的升溫速率和控溫精度的目的。
權(quán)利要求1.一種加熱爐爐殼,其特征在于它包括石英管及黃金層,所述黃金層鍍?cè)谑⒐軆?nèi)壁。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種加熱爐爐殼,包括石英管及黃金層,所述黃金層鍍?cè)谑⒐軆?nèi)壁;因黃金熔點(diǎn)高反射性好利用反射原理,反射爐絲輻射的熱量,使熱量集中在石英管內(nèi)部。本實(shí)用新型主要利用了黃金爐殼對(duì)熱量的反射達(dá)到更快的升溫速率和控溫精度的目的。
文檔編號(hào)F27D1/00GK202836207SQ201220436649
公開日2013年3月27日 申請(qǐng)日期2012年8月30日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月30日
發(fā)明者孟令錦 申請(qǐng)人:青島賽瑞達(dá)電子科技有限公司
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