專(zhuān)利名稱(chēng)：一種水氣復(fù)合冷卻藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐觀察窗的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，尤其是一種觀察窗。
背景技術(shù)：
目前國(guó)內(nèi)藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐多數(shù)使用俄羅斯技術(shù)，在引晶時(shí)操作者需使用觀察窗對(duì)引晶的情況進(jìn)行判斷，這種爐型使用了水冷的不銹鋼管套做觀察孔，在需要觀察時(shí)，把觀 察窗的擋片打開(kāi)，不需要時(shí)關(guān)閉擋片，保持觀察窗晶片的清潔。但是仍然會(huì)有揮發(fā)物揮發(fā)到觀察窗晶片上，在5-10h之內(nèi)，觀察窗就會(huì)被揮發(fā)物遮擋，從而看不清楚爐內(nèi)的晶體生長(zhǎng)情況，對(duì)于初學(xué)者來(lái)說(shuō)，非常不利，同時(shí)，頻繁的打開(kāi)和關(guān)閉觀察窗，旋轉(zhuǎn)觀察窗擋片的機(jī)構(gòu)密封圈會(huì)磨損，在極端情況下會(huì)造成真空泄露，并且，觀察窗擋片上也會(huì)有揮發(fā)物沉積，頻繁的操作觀察窗擋片，其上面沉積的揮發(fā)物會(huì)掉入坩堝中，使得晶體的生長(zhǎng)受到影響。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種水氣復(fù)合冷卻藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐觀察窗，解決觀察窗易污染導(dǎo)致晶體生長(zhǎng)受到影響的問(wèn)題。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明的技術(shù)方案為一種水氣復(fù)合冷卻藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐觀察窗，包括觀察窗鏡片，法蘭盤(pán)，密封圈，觀察窗通水管道，觀察窗通氣管道，進(jìn)氣口，觀察窗保護(hù)擋片和觀察窗擋片旋動(dòng)裝置，其特征在于，所述觀察窗使用水氣復(fù)合冷卻。上述一種水氣復(fù)合冷卻藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐觀察窗，其特征在于，所述觀察窗鏡片使用石英鏡片、藍(lán)寶石鏡片和普通耐溫玻璃鏡片三種鏡片中的任意一種。上述一種水氣復(fù)合冷卻藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐觀察窗，其特征在于，所述觀察窗通水管道使用雙層不銹鋼和碳鋼兩種材料中的任意一種，中間通水，管道焊接于上爐蓋上。上述一種水氣復(fù)合冷卻藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐觀察窗，其特征在于，其特征在于，所述觀察窗通氣管道焊接于通水管道上，使用單層不銹鋼和碳鋼兩種材料中的任意一種，外壁有氣體接入口，內(nèi)壁有氬氣出口。上述一種水氣復(fù)合冷卻藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐觀察窗，其特征在于，所述密封圈使用聚四氟乙烯和全弗橡膠或普通橡膠兩種材料中的任意一種。上述一種水氣復(fù)合冷卻藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐觀察窗，其特征在于，所述法蘭盤(pán)使用不銹鋼和碳鋼兩種材料中的任意一種材料加工而成。上述一種水氣復(fù)合冷卻藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐觀察窗，其特征在于，所述觀察窗保護(hù)擋片使用不銹鋼、鎢、鑰和碳鋼四種材料中的任意一種材料加工而成。上述一種水氣復(fù)合冷卻藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐觀察窗，其特征在于，所述觀察窗擋片旋動(dòng)機(jī)構(gòu)為一氣缸通過(guò)一根軸帶動(dòng)觀察窗保護(hù)擋片旋轉(zhuǎn)，來(lái)遮蔽和暴露觀察窗鏡片。上述一種水氣復(fù)合冷卻藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐觀察窗，其特征在于，所述軸使用不銹鋼、鎢和鑰三種材料中的任意一種。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于此種觀察窗設(shè)計(jì)可以使得藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐觀察窗持續(xù)使用48-96h以上，大大降低了晶體生長(zhǎng)爐因觀察窗污染而使得操作者無(wú)法操作的故障率。


下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。
圖I是藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐整體示意圖。
圖2是觀察窗示意圖。
圖3是觀察窗與上爐蓋結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
圖1，圖2和圖3所示，藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐包括觀察窗1，上爐蓋2和上隔熱屏3。 觀察窗I包括觀察窗鏡片8，法蘭盤(pán)9，密封圈10，觀察窗通水管道13，觀察窗通氣管道12， 進(jìn)氣口 5，觀察窗保護(hù)擋片17和觀察窗擋片旋動(dòng)裝置15，其特征在于，所述觀察窗I使用水氣復(fù)合冷卻。觀察窗鏡片8材料為石英玻璃，觀察窗通水管道13材料為不銹鋼，焊接于上爐蓋2上，中間有冷卻水通過(guò)，其上有進(jìn)水管道4和出水管道14。觀察窗通氣管 道12材料為不銹鋼，焊接于觀察窗通水管道13上，外壁有進(jìn)氣孔6連接進(jìn)氣管5，內(nèi)壁有出氣孔11， 進(jìn)入爐腔的氣體由真空系統(tǒng)帶走。觀察窗通氣管道12上口自下而上依次放置密封圈10，觀察窗鏡片8和法蘭盤(pán)9。密封圈10使用材料為聚四氟乙烯，法蘭盤(pán)9使用材料為不銹鋼，法蘭盤(pán)9通過(guò)夾具7將觀察窗鏡片8和密封圈10密封固定于觀察窗通氣管道12上。觀察窗擋片17位于上隔熱屏3和上爐蓋2中間，使用連接軸16與觀察窗擋片旋動(dòng)機(jī)構(gòu)15連接， 觀察窗擋片17使用材料為鑰，觀察窗擋片旋動(dòng)機(jī)構(gòu)15為一氣動(dòng)電機(jī)通過(guò)連接軸16帶動(dòng)觀察窗擋片17旋轉(zhuǎn)，來(lái)遮蔽和暴露觀察窗鏡片8，連接軸使用材料為鑰。
權(quán)利要求
1.一種水氣復(fù)合冷卻藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐觀察窗，包括觀察窗鏡片，法蘭盤(pán)，密封圈，觀察窗通水管道，觀察窗通氣管道，進(jìn)氣口，觀察窗保護(hù)擋片和觀察窗擋片旋動(dòng)裝置，其特征在于，所述觀察窗使用水氣復(fù)合冷卻。
2.根據(jù)權(quán)利I所述一種水氣復(fù)合冷卻藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐觀察窗，其特征在于，所述觀察窗鏡片使用石英鏡片、藍(lán)寶石鏡片和普通耐溫玻璃鏡片三種鏡片中的任意一種。
3.根據(jù)權(quán)利I所述一種水氣復(fù)合冷卻藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐觀察窗，其特征在于，所述觀察窗通水管道使用雙層不銹鋼和碳鋼兩種材料中的任意一種，中間通水，管道焊接于上爐蓋上。
4.根據(jù)權(quán)利I所述一種水氣復(fù)合冷卻藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐觀察窗，其特征在于，其特征在于，所述觀察窗通氣管道焊接于通水管道上，使用單層不銹鋼和碳鋼兩種材料中的任意一種，外壁有氣體接入口，內(nèi)壁有氬氣出口。
5.根據(jù)權(quán)利I所述一種水氣復(fù)合冷卻藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐觀察窗，其特征在于，所述密封圈使用聚四氟乙烯和全弗橡膠或普通橡膠兩種材料中的任意一種。
6.根據(jù)權(quán)利I所述一種水氣復(fù)合冷卻藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐觀察窗，其特征在于，所述法蘭盤(pán)使用不銹鋼和碳鋼兩種材料中的任意一種材料加工而成。
7.根據(jù)權(quán)利I所述一種水氣復(fù)合冷卻藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐觀察窗，其特征在于，所述觀察窗保護(hù)擋片使用不銹鋼、鎢、鑰和碳鋼四種材料中的任意一種材料加工而成。
8.根據(jù)權(quán)利I所述一種水氣復(fù)合冷卻藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐觀察窗，其特征在于，所述觀察窗擋片旋動(dòng)機(jī)構(gòu)為一氣動(dòng)電機(jī)通過(guò)一根軸帶動(dòng)觀察窗保護(hù)擋片旋轉(zhuǎn)，來(lái)遮蔽和暴露觀察窗鏡片。
9.根據(jù)權(quán)利8所述一種水氣復(fù)合冷卻藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐觀察窗，其特征在于，所述軸使用不銹鋼、鎢和鑰三種材料中的任意一種。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種水氣復(fù)合冷卻藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐觀察窗，包括觀察窗鏡片，法蘭盤(pán)，密封圈，觀察窗通水管道，觀察窗通氣管道，進(jìn)氣口，觀察窗保護(hù)擋片和觀察窗擋片旋動(dòng)裝置，其特征在于，所述觀察窗使用水氣復(fù)合冷卻。此種觀察窗設(shè)計(jì)可以使得藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐觀察窗持續(xù)使用48-96h以上，大大降低了晶體生長(zhǎng)爐因觀察窗污染而使得操作者無(wú)法操作的故障率。
文檔編號(hào)F27D21/02GK102978712SQ20121053872
公開(kāi)日2013年3月20日 申請(qǐng)日期2012年12月13日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月13日
發(fā)明者滑喜寶 申請(qǐng)人:蘇州工業(yè)園區(qū)杰士通真空技術(shù)有限公司