專利名稱：隔離裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及隔離裝置，更詳細(xì)地說(shuō)，涉及能夠用于使內(nèi)部保持無(wú)菌狀態(tài)的作業(yè)、也能夠用于在內(nèi)部處理對(duì)人體有影響的物質(zhì)的作業(yè)的、安全性高的隔離裝置。
背景技術(shù)：
在潔凈的氣氛中進(jìn)行的作業(yè)，例如半導(dǎo)體、電子零件的制造階段的作業(yè)，或者醫(yī)藥品的制造階段的作業(yè)中，在以污染物質(zhì)不從外部環(huán)境進(jìn)入的方式使內(nèi)部保持無(wú)菌/無(wú)塵狀態(tài)的潔凈的作業(yè)環(huán)境中進(jìn)行作業(yè)。當(dāng)進(jìn)行相關(guān)作業(yè)的作業(yè)環(huán)境規(guī)模較小時(shí)，利用如下隔離裝置使用與外部環(huán)境隔絕的腔室等，作業(yè)者能夠從該腔室的外部通過(guò)手套、半身衣進(jìn)行作業(yè)。將這樣的隔離裝置特別稱為無(wú)菌隔離器。
另一方面，在處理對(duì)人體有影響的物質(zhì)的作業(yè)，例如醫(yī)藥品的制造階段的作業(yè)，在醫(yī)學(xué)、生物學(xué)領(lǐng)域處理毒性較強(qiáng)的微生物的作業(yè)，或者處理放射性物質(zhì)的作業(yè)等中，需要保護(hù)作業(yè)者免受對(duì)人體有影響的化學(xué)物質(zhì)、微生物等的污染，另外，需要防止這些對(duì)人體有影響的化學(xué)物質(zhì)、微生物等從作業(yè)環(huán)境泄漏到外部環(huán)境。在相關(guān)作業(yè)中，也利用能夠從與外部環(huán)境隔絕的腔室的外部通過(guò)手套、半身衣進(jìn)行作業(yè)的隔離裝置。將這樣的隔離裝置特別稱為封入隔離器。
隔離裝置與作業(yè)者進(jìn)行作業(yè)的外部環(huán)境氣密性隔斷，另外，通過(guò)過(guò)濾器凈化外部的空氣而供給到腔室內(nèi)，·并且通過(guò)過(guò)濾器凈化腔室內(nèi)的空氣并排放到外部。因此,基本上這樣的隔離裝置既可以作為無(wú)菌隔離器使用也可以作為封入隔離器使用。
另外，使用隔離裝置時(shí)，通過(guò)按照目的來(lái)調(diào)節(jié)腔室內(nèi)的氣壓，能夠更加提高安全性。即，當(dāng)作為無(wú)菌隔離器使用時(shí)，使腔室內(nèi)的氣壓比外部的氣壓高(以下稱為正壓)，即使腔室發(fā)生泄漏時(shí)，由于空氣從腔室側(cè)流向外部，因此浮游菌等也不會(huì)從外部侵入到腔室內(nèi)。
另一方面，當(dāng)作為封入隔離器使用時(shí)，使腔室內(nèi)的氣壓比外部的氣壓低(以下稱為負(fù)壓)而使用，從而即使腔室發(fā)生泄漏時(shí)，由于空氣從外部流向腔室內(nèi)，因此腔室內(nèi)的化學(xué)物質(zhì)等也不會(huì)污染外部環(huán)境。
然而，在隔離裝置中設(shè)置有能夠從外部從觀察腔室內(nèi)的玻璃窗、作業(yè)者進(jìn)行作業(yè)的手套、以及用于向腔室內(nèi)搬入設(shè)備或進(jìn)行維護(hù)的開關(guān)門等。因此，難以完美地將隔離裝置的腔室氣密性封閉，還考慮到隔離裝置在工作時(shí)封閉性被破壞。進(jìn)一步，即使調(diào)節(jié)腔室內(nèi)的氣壓，因外部的氣壓的變動(dòng)等各種原因而總是設(shè)定壓力差也有界限。
這樣，若隔離裝置稍微發(fā)生泄漏，則在無(wú)菌隔離器中無(wú)法維持腔室內(nèi)的無(wú)菌/無(wú)塵狀態(tài)，另外，在封入隔離器中在腔室內(nèi)處理的化學(xué)物質(zhì)、微生物等會(huì)泄漏到外部環(huán)境。
作為避免隔離裝置工作時(shí)的這樣的危險(xiǎn)性的方法，在下述專利文獻(xiàn)I中提出了如下的隔離裝置的潔凈維持裝置在設(shè)置于腔室的接合部的內(nèi)周緣設(shè)置相對(duì)于腔室內(nèi)部及外部均為負(fù)壓的負(fù)壓空氣吸入路徑，由負(fù)壓空氣吸入路徑吸引通過(guò)接合部的內(nèi)周緣的空氣。
另一方面，作為伴隨著隔離裝置的工作完成后的危險(xiǎn)性的作業(yè)，存在更換使用后的過(guò)濾器的作業(yè)。例如，在封入隔離裝置中，經(jīng)由用于凈化其內(nèi)部的空氣的過(guò)濾器除去空氣CN 102946970 A書明說(shuō)2/25 頁(yè)中的化學(xué)物質(zhì)等，并將凈化的空氣排放到外部環(huán)境。由此，防止在隔離裝置等的內(nèi)部處理的化學(xué)物質(zhì)等泄漏到外部環(huán)境。
這些用于凈化空氣的過(guò)濾器使用HEPA過(guò)濾器或ULPA過(guò)濾器等高性能過(guò)濾器，在使用后的過(guò)濾器中附著有從空氣中除去的大量化學(xué)物質(zhì)等。因此，更換這些使用后的過(guò)濾器時(shí)，為了作業(yè)者的安全和防止泄漏到外部環(huán)境而要求謹(jǐn)慎的作業(yè)。
在該過(guò)濾器更換作業(yè)中最廣泛采用的方法為袋進(jìn)袋出(BAG IN-BAG OUT)方式，但是在該現(xiàn)有的方式中，收容過(guò)濾器的箱體的結(jié)構(gòu)復(fù)雜，過(guò)濾器更換作業(yè)繁瑣。
另外，通過(guò)過(guò)濾器劃分箱體的內(nèi)部，沿著氣流在過(guò)濾器的上游側(cè)的面附著化學(xué)物質(zhì)等，而過(guò)濾器的下游側(cè)的面未受到污染。在這樣的狀態(tài)下，將使用完的過(guò)濾器從箱體內(nèi)的安裝板拆下并收容到袋內(nèi)，但在至收容到袋內(nèi)為止的階段可能會(huì)產(chǎn)生附著在過(guò)濾器的上游側(cè)的面上的化學(xué)物質(zhì)等污染箱體內(nèi)的過(guò)濾器的下游部的情況。
這樣，若箱體內(nèi)的過(guò)濾器的下游部被化學(xué)物質(zhì)等污染，則更換過(guò)濾器后使隔離裝置工作時(shí)，污染箱體內(nèi)的過(guò)濾器的下游部的化學(xué)物質(zhì)等會(huì)泄漏到外部環(huán)境。
作為避免這樣的危險(xiǎn)性的方法，在下述專利文獻(xiàn)2中提出了按箱體拆下收容使用完的過(guò)濾器的箱體而更換收容新·過(guò)濾器的新箱體的安全的過(guò)濾器箱體更換方式。
在該過(guò)濾器箱體更換方式中，從在箱體上面開口的吸氣口吸入隔離裝置等的室內(nèi)的空氣，通過(guò)箱體內(nèi)收容的過(guò)濾器凈化空氣，從在箱體側(cè)面開口的排氣口排除潔凈空氣。在此，將箱體的吸氣口連結(jié)為能夠相對(duì)于隔離裝置等的作業(yè)腔室的插入口拆裝，另一方面，將箱體的排氣口連結(jié)為能夠相對(duì)于排氣側(cè)管道拆裝。
更換該箱體時(shí)，首先，蓋上隔離裝置等的作業(yè)腔室側(cè)的吸氣口從而將箱體內(nèi)的受到污染的部分即過(guò)濾器上游部密封。接下來(lái)，對(duì)作業(yè)腔室內(nèi)進(jìn)行清洗后從作業(yè)腔室的插入口拆下箱體的吸氣口。另外，從排氣側(cè)管道拆下箱體的排氣口并蓋住。
在該過(guò)濾器箱體更換方式中，與現(xiàn)有的袋進(jìn)袋出方式相比，過(guò)濾器的更換作業(yè)比較簡(jiǎn)單，能夠減少在箱體的拆下作業(yè)期間污染外部環(huán)境的危險(xiǎn)性。另外，拆下的箱體由于吸排氣口均被密封從而不會(huì)污染外部環(huán)境。
現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)I :日本特開2000-346418號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)2 W02007/131376號(hào)公報(bào)發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的課題
作為避免隔離裝置工作時(shí)的危險(xiǎn)性的方法，在上述專利文獻(xiàn)I中提出的隔離裝置的潔凈維持裝置，提供一種目的在于能夠維持高度無(wú)菌/無(wú)塵狀態(tài)的無(wú)菌隔離器，未將提供封入隔離器作為目的。另外，為了在該潔凈維持裝置中維持高度的安全性，需要在隔離裝置的所有接合部分別設(shè)置負(fù)壓空氣吸入路徑，存在裝置的結(jié)構(gòu)復(fù)雜且隔離裝置的維護(hù)成本變高的問(wèn)題。
另外，在上述專利文獻(xiàn)I的說(shuō)明書中，提出了具備上述潔凈維持裝置的雙層 (double-wall)隔離裝置，該隔離裝置設(shè)置在與裝置筐體之間形成間隙的內(nèi)壁而作為空氣5的環(huán)繞路徑，在該環(huán)繞路徑形成上升氣流，即使污染空氣從外部侵入也會(huì)被環(huán)繞路徑隔斷， 防護(hù)性更加提高(該文獻(xiàn)說(shuō)明書段落0030 0031)。
該雙層隔離裝置適用于無(wú)菌隔離器，在環(huán)繞路徑中流動(dòng)的空氣是從裝置內(nèi)吸引的，不能適用于裝置內(nèi)的空氣中包含化學(xué)物質(zhì)等的封入隔離器。
另一方面，作為避免隔離裝置工作完成后的危險(xiǎn)性的方法，在上述專利文獻(xiàn)2所提出的過(guò)濾器箱體更換方式中，需要具有復(fù)雜的結(jié)構(gòu)的專用箱體從而制造成本變高。另外， 當(dāng)更換過(guò)濾器時(shí)，不僅是使用完的過(guò)濾器，專用箱體本身也變成一次性使用物，存在包含廢棄成本在內(nèi)的隔離裝置的維護(hù)成本變高的問(wèn)題。
另一方面，HEPA過(guò)濾器、ULPA過(guò)濾器等高性能過(guò)濾器在制造后為了確認(rèn)滿足額定捕獲效率以及過(guò)濾器無(wú)泄漏而進(jìn)行泄漏檢查。該泄漏檢查方法例如有美國(guó)規(guī)范 IEST-RP-CC006. 2、ISO CD14644-3 (1998)，在這些方法中，對(duì)作為更換零件的各個(gè)過(guò)濾器的排氣面要求掃描測(cè)試。
該掃描測(cè)試的方法為，將混合試驗(yàn)粒子的試驗(yàn)空氣從試驗(yàn)過(guò)濾器的上游側(cè)供給到試驗(yàn)過(guò)濾器的整個(gè)吸氣面，通過(guò)掃描試驗(yàn)過(guò)濾器的下游側(cè)的排氣面的粒子檢測(cè)器檢測(cè)透過(guò)試驗(yàn)過(guò)濾器的粒子。在該掃描測(cè)試中，特定部位的檢測(cè)粒子較多時(shí)，能夠確認(rèn)在該部位發(fā)生泄漏。
然而，在上述過(guò)濾器箱體更換方式中，將過(guò)濾器完全收容在具有復(fù)雜結(jié)構(gòu)的專用箱體的內(nèi)部，過(guò)濾器的排氣面未露出到箱體的外部。因此，掃描測(cè)試的粒子檢測(cè)器無(wú)法掃描過(guò)濾器的排氣面。
因此，收容到箱體內(nèi)部之前的各個(gè)過(guò)濾器可以進(jìn)行掃描測(cè)試，但在組裝于箱體的狀態(tài)下無(wú)法通過(guò)掃描測(cè)試實(shí)施完全性檢查。因此，存在無(wú)法確認(rèn)過(guò)濾器箱體更換方式的更換零件即過(guò)濾器箱體本身的安全性的問(wèn)題。
因此，本發(fā)明的目的在于提供一種應(yīng)對(duì)隔離裝置工作時(shí)的危險(xiǎn)性、具有簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)且能夠確保高安全性的隔離裝置，其作為無(wú)菌隔離器能夠維持高度的無(wú)菌/無(wú)塵狀態(tài)， 并且作為封入隔離器能夠高度防止化學(xué)物質(zhì)、微生物等泄漏到外部環(huán)境。
進(jìn)一步，本發(fā)明的目的在于提供一種具有空氣潔凈用過(guò)濾器單元的隔離裝置，該空氣潔凈用過(guò)濾器單元應(yīng)對(duì)隔離裝置工作完成后的危險(xiǎn)性，過(guò)濾器更換作業(yè)簡(jiǎn)單且通過(guò)該更換作業(yè)污染外部環(huán)境的危險(xiǎn)性得以降低，另外，具有簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)且包括制造成本及廢棄成本在內(nèi)的隔離裝置的維護(hù)成本低廉，進(jìn)一步，能夠?qū)嵤呙铚y(cè)試的完全性檢查從而容易確認(rèn)安全性。
用于解決課題的手段
解決上述課題時(shí)，本申請(qǐng)發(fā)明人經(jīng)銳意研究的結(jié)果，為應(yīng)對(duì)隔離裝置工作時(shí)的危險(xiǎn)性，而在雙層隔離裝置中研究設(shè)置于腔室內(nèi)的隔壁、在腔室內(nèi)流動(dòng)的氣流及設(shè)置于腔室的排氣口的位置之間的關(guān)系，從而發(fā)現(xiàn)能夠?qū)崿F(xiàn)本發(fā)明的目的而完成本發(fā)明。
S卩，本發(fā)明的隔離裝置，根據(jù)技術(shù)方案I的記載，其具備作業(yè)室(10);供氣構(gòu)件(20)，向上述作業(yè)室的內(nèi)部供給從上方朝向下方的單向流的空氣；以及排氣構(gòu)件(30)，從上述作業(yè)室的下方排出上述單向流的空氣，所述隔離裝置的特征在于，具備隔壁(11a)， 沿上述單向流的空氣與上述作業(yè)室的周壁部(IOa)平行設(shè)置；和長(zhǎng)條狀的排氣口(18a、 18b)，在上述隔壁的下端部的下方沿該下端部的寬度方向開口。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，通過(guò)供氣構(gòu)件向作業(yè)室的內(nèi)部供給從上方朝向下方的單向流(所謂的層流)的空氣。在該作業(yè)室的內(nèi)部，在沿上述單向流的氣流的方向上設(shè)置有隔壁。該隔壁與作業(yè)室的周壁部平行地形成，通過(guò)隔壁將作業(yè)室的內(nèi)部空間劃分為中央的空間(以下稱為中央空間)、和隔壁與周壁部之間的空間(以下稱為周邊空間)。因此，在作業(yè)室內(nèi)從上方朝向下方的單向流的空氣分為在中央空間從上方朝向下方的單向流的空氣和在周邊空間從上方朝向下方的單向流的空氣而流動(dòng)。
另外，排氣口位于隔壁的下端部的下方、即上述各單向流的空氣的下游側(cè)，并沿該下端部的寬度方向開口為長(zhǎng)條狀。由此，由于在中央空間及周邊空間從上方流向下方的各單向流的空氣的流動(dòng)方向未發(fā)生變化，因而不會(huì)擾亂其層流狀態(tài)而將其從上述排氣口排出。
在上述結(jié)構(gòu)的隔離裝置中進(jìn)行的作業(yè)在中央空間進(jìn)行，在該中央空間和外部環(huán)境之間形成有周邊空間。在該狀態(tài)下，在中央空間及周邊空間，由供氣構(gòu)件供給的潔凈的空氣分別獨(dú)立流動(dòng)，并分別將這些空氣從排氣口排出。
因此，隔離裝置作為無(wú)菌隔離器使用時(shí)，從外部環(huán)境進(jìn)入周邊空間的浮游菌等會(huì)沿在周邊空間流動(dòng)的潔 凈的單向流的空氣從排氣口排出。由此，不會(huì)使中央空間的無(wú)菌/ 無(wú)塵狀態(tài)受到污染，能夠維持無(wú)菌隔離器的高度的安全性。
另一方面，隔離裝置作為封入隔離器使用時(shí)，從中央空間泄漏到周邊空間的化學(xué)物質(zhì)等會(huì)沿在周邊空間流動(dòng)的潔凈的單向流的空氣從排氣口排出。由此，化學(xué)物質(zhì)等不會(huì)泄漏到外部環(huán)境，能夠維持封入隔離器的高度的安全性。
因此，技術(shù)方案I所述的發(fā)明能夠提供應(yīng)對(duì)隔離裝置工作時(shí)的危險(xiǎn)性、具有簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)而能夠確保高安全性的隔離裝置，其作為無(wú)菌隔離器能夠維持高度的無(wú)菌/無(wú)塵狀態(tài)，并且作為封入隔離器能夠高度防止化學(xué)物質(zhì)、微生物等泄漏到外部環(huán)境。
另外，本發(fā)明根據(jù)技術(shù)方案2的記載，在技術(shù)方案I所述的隔離裝置中，其特征在于，具備其他隔壁(11b)，與其他周壁部(IOb)平行設(shè)置，所述其他周壁部與上述周壁部相對(duì)；和長(zhǎng)條狀的其他排氣口(18C、18d)，在上述其他隔壁的下端部的下方沿該下端部的寬度方向開口。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，與隔離裝置的相對(duì)的兩個(gè)周壁部分別平行地設(shè)置有隔壁，在各隔壁的下端部的下方分別開口有排氣口。由此，在中央空間從上方朝向下方的單向流的空氣分別被在相對(duì)的方向開口的兩個(gè)排氣口分開排出，作業(yè)室內(nèi)的空氣更加穩(wěn)定地流動(dòng)，并從排氣口排出。
因此，在技術(shù)方案2所述的發(fā)明中，能夠進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)與技術(shù)方案I所述的發(fā)明同樣的作用效果。
另外，本發(fā)明根據(jù)技術(shù)方案3的記載，在技術(shù)方案I或2所述的隔離裝置中，其特征在于，上述排氣口形成于上述作業(yè)室的底壁部，且在上述下端部的正下方開口或比正下方靠向上述作業(yè)室的中央開口。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，排氣口形成于作業(yè)室的底壁部且在隔壁的下端部的正下方開口或比正下方靠向中央空間開口。如上所述，中央空間為進(jìn)行作業(yè)的空間，當(dāng)然比周邊空間占有更大的容積。因此，流經(jīng)中央空間的空氣的流量比流經(jīng)周邊空間的空氣的流量多，通過(guò)使排氣口在隔壁的下端部的正下方開口或比正下方靠向中央空間開口，作業(yè)室內(nèi)的空氣更加穩(wěn)定地流動(dòng)并從排氣口排出。
因此，在技術(shù)方案3所述的發(fā)明中，能夠進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)與技術(shù)方案I或2所述的發(fā)明同樣的作用效果。
另外，本發(fā)明根據(jù)技術(shù)方案4的記載，在技術(shù)方案I 3的任意一項(xiàng)所述的隔離裝置中，其特征在于，上述排氣口相對(duì)于上述隔壁分別由一個(gè)或兩個(gè)以上的開口部構(gòu)成，上述一個(gè)或兩個(gè)以上的開口部的長(zhǎng)度方向的開口長(zhǎng)度的總和相對(duì)于上述下端部的寬度方向的長(zhǎng)度為50% 100%的比例。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，在各隔壁設(shè)置的排氣口可以由一個(gè)開口部構(gòu)成，另外，也可以分成兩個(gè)以上的開口部構(gòu)成。進(jìn)一步優(yōu)選，這些開口部的長(zhǎng)度方向的開口長(zhǎng)度的總和在預(yù)定的長(zhǎng)度以上。由此，沿隔壁流動(dòng)的空氣，其方向不會(huì)發(fā)生較大改變而更加穩(wěn)定地流動(dòng)，并從排氣口排出。
因此，在技術(shù)方案4所述的發(fā)明中，能夠進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)與技術(shù)方案I 3的任意一項(xiàng)所述的發(fā)明同樣的作用效果。
另外，本發(fā)明根據(jù)技術(shù)方案5的記載，在技術(shù)方案I 4的任意一項(xiàng)所述的隔離裝置中，其特征在于，上述供氣構(gòu)件具有形成上述單向流的空氣的整流部件(23)，上述整流部件具備由多根框材(24a)構(gòu)成的框體(24)和以覆蓋該框體的上面及底面的方式固定于上述框材的多孔性薄片(25a、25b)，上述框材具備從其上面貫通至底面的多個(gè)貫通口(24b)， 上述多孔性薄片在與上述框材抵接并固定于該框材的部分，僅覆蓋上述 貫通口的開口部即上述框材的上面開口部或底面開口部中的任意一個(gè)開口部。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，供氣構(gòu)件具有由框體和覆蓋該框體的上面及底面的多孔性薄片構(gòu)成的整流部件。由于由供氣構(gòu)件向作業(yè)室的內(nèi)部供給的空氣能夠通過(guò)該整流部件中的多孔性薄片的部分(整流部件的中央部分)，因此整理其流動(dòng)而形成在作業(yè)室的內(nèi)部從上方朝向下方的單向流的空氣。
另一方面，空氣無(wú)法通過(guò)整流部件中的框體的部分(整流部件的周緣部分)。由此認(rèn)為難以向整個(gè)作業(yè)室的內(nèi)部空間供給均勻的單向流的空氣。因此，在構(gòu)成框體的框材設(shè)置從其上面貫通至底面的多個(gè)貫通口。由此，也能夠從貫通框材的貫通口的部分供給空氣。
但是，即使在框材設(shè)置多個(gè)貫通口，空氣也無(wú)法從框材的未開有貫通口的部分通過(guò)。因此，來(lái)自整個(gè)框材的空氣的流量(表觀的流量)與來(lái)自貫通口的部分的空氣的流量相等。因此，使整流部件的中央部分和周緣部分(貫通口的部分)的多孔性薄片的覆蓋張數(shù)存在差別。即，在整流部件的中央部分，在上面及底面兩個(gè)部位覆蓋多孔性薄片，另一方面，在周緣部分(貫通口的部分)，僅在上面開口部或底面開口部的任一開口部覆蓋多孔性薄片。
由此，貫通口的部分的空氣的通過(guò)阻力比整流部件的中央部分的空氣的通過(guò)阻力小，貫通口的部分的空氣的流速比中央部分的空氣的流速大。其結(jié)果是，貫通口的部分的空氣的流量比中央部分的空氣的流量多。因此，整流部件的中央部分的空氣的流量和周緣部分的空氣的流量(表觀的流量)的差別變小，通過(guò)整流部件的空氣從整個(gè)整流部件成為在作業(yè)室的內(nèi)部從上方朝向下方的單向流的空氣而更加穩(wěn)定地流動(dòng)。
因此，在技術(shù)方案5所述的發(fā)明中，能夠進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)與技術(shù)方案I 4的任意一項(xiàng)所述的發(fā)明同樣的作用效果。
另外，本發(fā)明根據(jù)技術(shù)方案6所述，在技術(shù)方案5所述的隔離裝置中，其特征在于， 上述多孔性薄片為具有連通表里的無(wú)數(shù)個(gè)細(xì)孔的網(wǎng)紗。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，多孔性薄片具有連通其表里的無(wú)數(shù)個(gè)細(xì)孔。由此，通過(guò)整流部件的空氣通過(guò)這些細(xì)孔整理其流動(dòng)，而形成穩(wěn)定的單向流的空氣。
因此，在技術(shù)方案6所述的發(fā)明中，能夠進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)與技術(shù)方案5所述的發(fā)明同樣的作用效果。
另外，本發(fā)明根據(jù)技術(shù)方案7的記載，在技術(shù)方案5或6所述的隔離裝置中，其特征在于，向上述整流部件供給預(yù)定量的空氣時(shí)，在通過(guò)該整流部件而流動(dòng)的空氣中，將在上述上面開口部或上述底面開口部中被上述多孔性薄片覆蓋且該多孔性薄片為一層的部分通過(guò)的空氣的流速設(shè)為VI，將在上述多孔性薄片不與上述框材抵接且該多孔性薄片為兩層的部分通過(guò)的空氣的流速設(shè)為V2時(shí)，以使上述多孔性薄片所覆蓋的上述開口部相對(duì)于上述框材的上面或底面的面積的開口率X(%)由下式表示的方式在上述框材開口上述貫通口 X=(V2/V1)X100。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，通過(guò)上式求出在框材設(shè)置的貫通口的開口率X(%)。由此，設(shè)計(jì)整流部件時(shí)，通過(guò)測(cè)定多孔性薄片為一層的部分的空氣的流速和多孔性薄片為兩層的部分的空氣的流速，能夠更加正確地調(diào)節(jié)整流部件的中央部分的空氣的流量和周緣部分的空氣的流量(表觀的流量)。其結(jié)果是，通過(guò)整流部件的空氣從整個(gè)整流部件成為在作業(yè)室的內(nèi)部從上方朝向下方的單向流的空氣而更加穩(wěn)定地流動(dòng)。
因此，在技術(shù)方案7所述的發(fā)明中，能夠進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)與技術(shù)方案5或6所述的發(fā)明同樣的作用效果。
另外，本申請(qǐng)發(fā)明人應(yīng)對(duì)隔離裝置工作完成后的危險(xiǎn)性，通過(guò)研究在雙層隔離裝置的排氣口安裝的空氣潔凈用過(guò)濾器單元的結(jié)構(gòu)，發(fā)現(xiàn)能夠?qū)崿F(xiàn)本發(fā)明的目的，從而完成本發(fā)明。
即，本發(fā)明根據(jù)技術(shù)方案8的記載，在技術(shù)方案I 3的任意一項(xiàng)所述的隔離裝置中，其特征在于，上述排氣構(gòu)件(260)具備空氣潔凈用過(guò)濾器單元(210)，所述空氣潔凈用過(guò)濾器單元安裝為能夠相對(duì)于從上述長(zhǎng)條狀的排氣口(262)排出的上述單向流的空氣的流路拆裝，上述空氣潔凈用過(guò)濾器單元具備矩形筒體(211)，具有第I壁部和第2壁部，其中，所述第I壁部設(shè)置有用于導(dǎo)入空氣的長(zhǎng)條狀的空氣導(dǎo)入口部(214)，所述第2壁部形成為與上述第I壁部交叉，并設(shè)置有用于排出從上述空氣導(dǎo)入口部導(dǎo)入的空氣的空氣排出口部(213);和過(guò)濾器部件(212)，以構(gòu)成上述空氣排出口部的外壁面的方式設(shè)置于該空氣排出口部，用于過(guò)濾上述導(dǎo)入的空氣，該空氣潔凈用過(guò)濾器單元以使上述空氣導(dǎo)入口部與上述排氣口相對(duì)的方式安裝到上述作業(yè)室的外部。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，排氣構(gòu)件所具備的空氣潔凈用過(guò)濾器單元設(shè)置為能夠相對(duì)于從作業(yè)室排出的的空氣的流路拆裝，能夠從流經(jīng)該流路的空氣中將在作業(yè)室使用的對(duì)人體有害的化學(xué)物質(zhì)等截留在過(guò)濾器單元的內(nèi)部。
另外，經(jīng)由在作業(yè)室開口的排氣口，將空氣潔凈用過(guò)濾器單元直接從外部安裝到作業(yè)室。由此，能夠使從作業(yè)室排出的化學(xué)物質(zhì)等在剛剛排出后就被有效地截留。
另外，該排氣口在作業(yè)室的底壁部開口為長(zhǎng)條狀，另一方面，過(guò)濾器單元的空氣導(dǎo)入口也按照該排氣口的形狀構(gòu)成為長(zhǎng)條狀。由此，過(guò)濾器單元的更換作業(yè)等維護(hù)的安全性和作業(yè)性提高。
在此，空氣潔凈用過(guò)濾器單元為筒體和過(guò)濾器部件一體地構(gòu)成。由于該過(guò)濾器部件的排氣面構(gòu)成空氣排出口部的外壁面，因而過(guò)濾器部件的吸氣面收容于筒體的內(nèi)部。這樣，本發(fā)明的空氣潔凈用過(guò)濾器單元結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，從而能夠按該過(guò)濾器單元安裝到從處理對(duì)人體有害的化學(xué)物質(zhì)等的作業(yè)室排出的空氣的流路。
在上述過(guò)濾器單元中，將從作業(yè)室排出的含有化學(xué)物質(zhì)等的空氣從空氣導(dǎo)入口部引導(dǎo)至該過(guò)濾器單元的內(nèi)部。將引導(dǎo)至該過(guò)濾器單元的內(nèi)部的空氣從過(guò)濾器部件的吸氣面吸入并過(guò)濾，從該過(guò)濾器部件的排氣面排出到上述過(guò)濾器單元的外部。由此，通過(guò)上述過(guò)濾器部件過(guò)濾的化學(xué)物質(zhì)等附著在該過(guò)濾器部件的吸氣面上而被截留在上述過(guò)濾器單元的內(nèi)部。
接下來(lái)，更換上述過(guò)濾器單元時(shí)，通過(guò)封閉空氣導(dǎo)入口部能夠簡(jiǎn)單地密封該過(guò)濾器單元的內(nèi)部。由此，能夠防止被截留在上述過(guò)濾器單元的內(nèi)部的化學(xué)物質(zhì)等泄漏到外部環(huán)境。因此，通過(guò)按過(guò)濾器單元來(lái)更換上述過(guò)濾器單元，能夠簡(jiǎn)單地進(jìn)行過(guò)濾器更換作業(yè)， 另外，通過(guò)該更換作業(yè)污染外部環(huán)境的危險(xiǎn)性被抑制為較小。
另外，如上所述，空氣潔凈用過(guò)濾器單元由筒體和過(guò)濾器部件構(gòu)成，為簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)。因此，該過(guò)濾器單元制造成本變低，另外，按過(guò)濾器單元進(jìn)行廢棄時(shí)的廢棄成本也變低。 因此，包含這些制造成本及廢棄成本在內(nèi)的隔離裝置的維護(hù)成本被抑制為較低。
進(jìn)一步，通過(guò)將空氣導(dǎo)入口部開口為長(zhǎng)條狀，能夠使該空氣導(dǎo)入口部開口的第I 壁部的形狀為長(zhǎng)條矩形，使其長(zhǎng)邊較長(zhǎng)并將其短邊抑制為較短。第2壁部與該第I壁部的長(zhǎng)邊側(cè)的邊界交叉，在該第2壁部設(shè)置有過(guò)濾器部件。
因此，第I壁部的長(zhǎng)邊的長(zhǎng)度左右過(guò)濾器部件的排氣面的大小。另一方面，第I 壁部的短邊位于與過(guò)濾器部件的排氣面交叉的方向上，該短邊的長(zhǎng)度左右過(guò)濾器單元的進(jìn)深。因此，通過(guò)使第I壁部的形狀為長(zhǎng)條矩形，能夠使過(guò)濾器單元的排氣面的面積較大而進(jìn)深較窄。
由此，過(guò)濾器單元的形狀變得緊湊，另一方面，能夠使排氣面的面積較大。因此，安裝到從作業(yè)室排出的空氣的排氣路徑時(shí)，場(chǎng)所的限制減少?gòu)亩岣吒綦x裝置設(shè)計(jì)上的自由度。
另外，如上所述，過(guò)濾器部件的排氣面構(gòu)成空氣排出口部的外壁面。該過(guò)濾器部件的排氣面形成為平面，能夠進(jìn)行與通常的HEPA過(guò)濾器等的泄漏試驗(yàn)同樣的掃描測(cè)試。由此，在上述過(guò)濾器單元本身的泄漏試驗(yàn)中，能夠用現(xiàn)有的方法對(duì)該排氣面進(jìn)行基于掃描測(cè)試的完全性檢查。
因此，技術(shù)方案8所述的發(fā)明能夠提供一種具備空氣潔凈用過(guò)濾器單元的隔離裝置，所述空氣潔凈用過(guò)濾器單元應(yīng)對(duì)隔離裝置工作完成后的危險(xiǎn)性，過(guò)濾器更換作業(yè)簡(jiǎn)單且通過(guò)該更換作業(yè)污染外部環(huán)境的危險(xiǎn)性得以降低，另外，具有簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)且包含制造成本及廢棄成本在內(nèi)的隔離裝置的維護(hù)成本低廉，進(jìn)一步，能夠?qū)嵤┗趻呙铚y(cè)試的完全性檢查從而容易進(jìn)行安全性的確認(rèn)。
另外，本發(fā)明根據(jù)技術(shù)方案9的記載，在技術(shù)方案8所述的隔離裝置中，其特征在于，上述空氣潔凈用過(guò)濾器單元具備其他過(guò)濾器部件，上述筒體具有第3壁部，所述第3壁部形成為與上述第2壁部相對(duì)，并設(shè)置有用于排出上述導(dǎo)入空氣的其他空氣排出口部，上述其他過(guò)濾器部件在其排氣面以構(gòu)成上述其他空氣排出口部的外壁面的方式設(shè)置于該其他空氣排出口部，將上述過(guò)濾的空氣排出。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，空氣潔凈用過(guò)濾器單元在相對(duì)的兩個(gè)壁部具有兩個(gè)空氣排出口部，在這些空氣排出口部分別設(shè)置有過(guò)濾器部件。由此，能夠獲得較寬的過(guò)濾器單元的通風(fēng)正面積，從而提高過(guò)濾器效率。換言之，減小過(guò)濾器單元所需要的過(guò)濾器容積，能夠提供小型的過(guò)濾器單元。
因此，在技術(shù)方案9所述的發(fā)明中，能夠?qū)崿F(xiàn)與技術(shù)方案8所述的發(fā)明同樣的作用效果，并且能夠提供具備過(guò)濾器效率良好的小型空氣潔凈用過(guò)濾器單元的隔離裝置。
另外，本發(fā)明根據(jù)技術(shù)方案10的記載，在技術(shù)方案8或9所述的隔離裝置中，其特征在于，上述空氣潔凈用過(guò)濾器單元具備封閉上述空氣導(dǎo)入口部的能夠拆裝的蓋體 (216);和墊片(216a)，氣密性地安裝于該蓋體的外周緣部與上述空氣導(dǎo)入口部的內(nèi)周緣部之間。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，過(guò)濾器單元的筒體具備封閉空氣導(dǎo)入口部的蓋體和將該蓋體密封于空氣導(dǎo)入口部的·墊片。因此，從排氣路徑更換使用完的過(guò)濾器單元時(shí)，通過(guò)密封地安裝該蓋體，能夠進(jìn)一步抑制被截留在過(guò)濾器單元的內(nèi)部的化學(xué)物質(zhì)等泄漏到外部環(huán)境。
因此，在技術(shù)方案10所述的發(fā)明中，能夠進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)與技術(shù)方案8或9所述的發(fā)明同樣的作用效果。
另外，本發(fā)明根據(jù)技術(shù)方案11的記載，在技術(shù)方案8或9所述的隔離裝置中，其特征在于，上述空氣潔凈用過(guò)濾器單元具備開關(guān)部件(516)，所述開關(guān)部件具有從上述空氣導(dǎo)入口部的外周緣部向內(nèi)側(cè)延伸且能夠開關(guān)地封閉該空氣導(dǎo)入口部的多張可撓性薄片 (516a,516b)。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，代替技術(shù)方案10所述的可拆裝的蓋體，固定地設(shè)置具有可撓性薄片的開關(guān)部件。該開關(guān)部件通常處于封閉空氣導(dǎo)入口部的狀態(tài)，但該開關(guān)部件具有多張可撓性薄片，能夠?qū)⑦@些可撓性薄片壓彎從而打開空氣導(dǎo)入口部。
因此，將過(guò)濾器單元安裝到排氣流路而凈化空氣時(shí)，將該可撓性薄片壓彎而打開空氣導(dǎo)入口部。另一方面，從排氣路徑更換使用完的過(guò)濾器單元時(shí)，該可撓性薄片恢復(fù)而封閉空氣導(dǎo)入口部。由此，能夠進(jìn)一步抑制截留在過(guò)濾器單元的內(nèi)部的化學(xué)物質(zhì)等泄漏到外部環(huán)境。
因此，在技術(shù)方案11所述的發(fā)明中，能夠進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)與技術(shù)方案8或9所述的發(fā)明同樣的作用效果。
此外，上述各構(gòu)件的括號(hào)內(nèi)的符號(hào)表示與后述的實(shí)施方式所述的具體的構(gòu)件之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系。


圖I是從側(cè)面看本發(fā)明第I實(shí)施方式的隔離裝置的內(nèi)部的示意圖。
圖2是從上面看圖I所示的隔離裝置的內(nèi)部的示意圖。
圖3是從側(cè)面看現(xiàn)有的雙層隔離裝置的內(nèi)部的示意圖。
圖4是表示將空氣吸引到圖I所示的隔離裝置的排氣口的狀況的示意圖。
圖5是從側(cè)面看將空氣吸引到排氣口的狀況的示意圖，㈧表示排氣口在比隔壁的正下方靠向腔室的中央開口的情況，(B)表示排氣口在隔壁的正下方開口的情況。
圖6是從側(cè)面看將空氣吸引到排氣口的狀況的示意圖，(C)表示排氣口在腔室前壁的下端部開口的情況，(D)表示排氣口在從腔室前壁的下端部向腔室內(nèi)部突出設(shè)置的排氣管道的側(cè)壁開口的情況。
圖7是表示圖I所示的隔離裝置的整流板的結(jié)構(gòu)的分解立體圖。
圖8是將圖I的圓形部分E所示的整流板的安裝部放大的局部剖視圖。
圖9是從前面看本發(fā)明的第2實(shí)施方式的隔離裝置的圖，是沿圖10所示的Y-Y線的剖視圖。
圖10是從左側(cè)面看圖9所示的隔離裝置的圖，是沿圖9所示的X-X線的剖視圖。
圖11是俯視圖9所示的隔離裝置的圖，是沿圖10所示的Z-Z線的剖視圖。
圖12是表示圖9所示的隔離裝置中組裝的空氣潔凈用過(guò)濾器單元的實(shí)施方式2A 的立體圖。
圖13是表示從側(cè)面看將圖12所示的空氣潔凈用過(guò)濾器單元安裝到箱體的狀態(tài)的首1J視圖。
圖14是表示在圖13所示的空氣潔凈用過(guò)濾器單元安裝蓋體的狀態(tài)的局部剖視圖。
圖15是表示圖9所示的隔離裝置中組裝的空氣潔凈用過(guò)濾器單元的其他實(shí)施方式2B的立體圖。
圖16是在圖9所示的隔離裝置中組裝的空氣潔凈用過(guò)濾器單元的其他實(shí)施方式 2C中表示液體密封件的部分的從側(cè)面看的局部剖視圖。
圖17是表示圖9所示的隔離裝置中組裝的空氣潔凈用過(guò)濾器單元的其他實(shí)施方式2D的立體圖。
圖18是表示將圖17所示的空氣潔凈用過(guò)濾器單元安裝到箱體之前的狀態(tài)的從側(cè)面看的剖視圖。
圖19是表示將圖17所示的空氣潔凈用過(guò)濾器單元安裝到箱體的狀態(tài)的從側(cè)面看的剖視圖。
圖20是表示圖9所示的隔離裝置中組裝的空氣潔凈用過(guò)濾器單元的其他實(shí)施方式2E的立體圖。
圖21是表示將圖20所示的空氣潔凈用過(guò)濾器單元安裝到箱體的狀態(tài)的從側(cè)面看的剖視圖。
圖22是表示在圖21所示的空氣潔凈用過(guò)濾器單元安裝蓋體的狀態(tài)的局部剖視圖。
具體實(shí)施方式
下面，根據(jù)

本發(fā)明的隔離裝置的各實(shí)施方式。
第I實(shí)施方式
圖I是從側(cè)面看本發(fā)明的隔離裝置的內(nèi)部的示意圖，隔離裝置A由放置在地面上的架臺(tái)B、和該架臺(tái)B上裝載的隔離器主體C構(gòu)成。
架臺(tái)B周圍被由不銹鋼制金屬板構(gòu)成的壁材覆蓋，其內(nèi)部收容有四個(gè)(僅圖示兩個(gè))排氣用一次過(guò)濾器單元31 (后述)、和電氣設(shè)備及機(jī)械室(未圖示)。
隔離器主體C具備腔室10、供氣機(jī)構(gòu)20及排氣機(jī)構(gòu)30。
腔室10由不銹鋼制金屬板的箱體構(gòu)成，除限制的吸氣口及排氣口以外，與作業(yè)者 D進(jìn)行作業(yè)的外部環(huán)境氣密性隔絕。該腔室10具備對(duì)內(nèi)部進(jìn)行清洗的清洗液用噴霧嘴和排水槽(均未圖示)。
圖2是從上面看隔離裝置A的內(nèi)部的示意圖，在腔室10的內(nèi)部，在腔室10的前壁部IOa及背壁部IOb各自的內(nèi)側(cè)與兩壁部10a、10b平行地分別配置有前隔壁Ila及背隔壁 lib。兩隔壁IlaUlb以使左右兩端部分別與相對(duì)的腔室10的左右兩側(cè)壁部10c、IOd抵接的方式被該兩側(cè)壁部10c、IOd支撐。
另外，兩隔壁IlaUlb的下端部分別與相對(duì)的腔室10的底壁部IOe不抵接而設(shè)置有一定的空間。進(jìn)一步，兩隔壁IlaUlb的上端部分別與在相對(duì)的腔室10的上壁部IOf的下方設(shè)置的整流板23 (后述)不抵接而設(shè)置有一定的空間(參照?qǐng)DI)。
這樣，通過(guò)在腔室10的內(nèi)部設(shè)置的兩隔壁lla、llb，將腔室10的內(nèi)部空間12劃分為兩隔壁IlaUlb之間的空間(以下稱為中央空間12a)、和兩隔壁11a、Ilb與前后兩壁部 10a、10b之間的兩個(gè)空間(以下稱為周邊空間12b、12c)。
在腔室10的前壁部IOa設(shè)置透明的玻璃窗13，另外，在與前壁部IOa平行地設(shè)置的前隔壁Ila也設(shè)置透明的玻璃窗14。由此，站在腔室10的前面的作業(yè)者D能夠經(jīng)由玻璃窗13及玻璃窗14觀察腔室10的內(nèi)部(參照?qǐng)DI)。
設(shè)于前壁部IOa的玻璃窗13具有使外部與腔室10的內(nèi)部空間12連通的兩個(gè)作業(yè)用開口部13a。另外，設(shè)于前隔壁Ila的玻璃窗14在與作業(yè)用開口部13a相對(duì)的位置具有使中央空間12a與周邊空間12b連通的兩個(gè)輔助開口部14a。通過(guò)安裝框13b將樹脂制的手套15的基端部分別氣密性安裝到各作業(yè)用開口部13a，進(jìn)一步，通過(guò)輔助框14b將這些手套15安裝到各輔助開口部14a而使前端部插入到中央空間12a中(參照?qǐng)D2)。
在腔室10的左側(cè)壁部IOc的外側(cè)，沿腔室10的左側(cè)面朝上設(shè)置與收容于架臺(tái)B 中的四個(gè)排氣用一次過(guò)濾器單元31連通的管道16 (參照?qǐng)D2)。
另外，在腔室10的底壁部10e，在各隔壁IlaUlb的下端部的下方分別開口有各兩個(gè)排氣口 18a 18d(參照?qǐng)D2)。這些排氣口 18a 18d沿各隔壁lla、llb的下端部的寬度方向設(shè)置為長(zhǎng)條狀，在比各隔壁IlaUlb的下端部的正下方靠向中央的位置、即靠向中央空間12a形成。
供氣機(jī)構(gòu)20具備供氣用鼓風(fēng)機(jī)21，用于向腔室10內(nèi)供給外氣；供氣用過(guò)濾器單元22，用于過(guò)濾從該供氣用鼓風(fēng)機(jī)21供給的空氣；以及整流板23，用于對(duì)在腔室10的內(nèi)部由供氣用過(guò)濾器單元22過(guò)濾了的空氣進(jìn)行整流并向腔室10內(nèi)供氣(參照?qǐng)DI)。
供氣用鼓風(fēng)機(jī)21經(jīng)由在供氣用過(guò)濾器單元22的上壁部開口的一次吸氣口 22a(未圖示)與供氣用過(guò)濾器單元22的外部側(cè)連接。將從該供氣用鼓風(fēng)機(jī)21排出的空氣供給到供氣用過(guò)濾器單元22的內(nèi)部空間。
供氣用過(guò)濾器單元22經(jīng)由在腔室10的上壁部IOf開口的二次吸氣口 17設(shè)置在腔室10的上部。該供氣用過(guò)濾器單元22面向二次吸氣口 17而具備用于過(guò)濾從供氣用鼓風(fēng)機(jī)21供給的空氣的HEPA過(guò)濾器22b。經(jīng)由在HEPA過(guò)濾器22b的下部、腔室10的內(nèi)部空間12的上部經(jīng)整個(gè)面設(shè)置的整流板23，將被該HEPA過(guò)濾器22b凈化了的空氣供給到腔室10的內(nèi)部空間12 (參照?qǐng)DI)。
整流板23在其表面具備連通表里的無(wú)數(shù)個(gè)細(xì)孔，使供給到腔室10的空氣的流動(dòng)均勻化。由此，從HEPA過(guò)濾器22b供氣的空氣經(jīng)由整流板23形成在腔室10的內(nèi)部空間12 從上方朝向下方的單向流(所謂的層流)的空氣。
排氣機(jī)構(gòu)30具備用于凈化腔室10的內(nèi)部空間12的空氣的排氣用一次過(guò)濾器單元31、排氣用二次過(guò)濾器單元32及用于將被凈化的空氣排出到腔室10外部的排氣用鼓風(fēng)機(jī)33。
如上所述，排氣用一次過(guò)濾器單元31在架臺(tái)B收容四個(gè)并經(jīng)由在腔室10的底壁部IOe開口的四個(gè)排氣口 18a 18d(參照?qǐng)D2)分別與腔室10連通。該排氣用一次過(guò)濾器單元31具備用于過(guò)濾從排氣口 18a 18d排出的空氣的HEPA過(guò)濾器31a。另外，在該排氣用一次過(guò)濾器單元31，在架臺(tái)B的前面及背面密封且可開關(guān)地設(shè)置有用于更換內(nèi)部的 HEPA過(guò)濾器31a的開關(guān)門31b (參照?qǐng)DI)。
排氣用二次過(guò)濾器單元32在腔室10的上部設(shè)置在供氣用過(guò)濾器單元22的前部， 經(jīng)由管道16與排氣用一次過(guò)濾器單元31連通。該排氣用二次過(guò)濾器單元32具有用于再次過(guò)濾由排氣用一次過(guò)濾器單元31過(guò)濾了的空氣的HEPA過(guò)濾器32a。另外，該排氣用二次過(guò)濾器單元32密封且可開關(guān)地設(shè)置有用于更換內(nèi)部的HEPA過(guò)濾器32a的開關(guān)門32b (參照?qǐng)DI)。
排氣用鼓風(fēng)機(jī)33與排氣用二次過(guò)濾器單元32的上部開口部連通而設(shè)置在排氣用二次過(guò)濾器單元32的上壁部。該排氣用鼓風(fēng)機(jī)33將通過(guò)排氣用一次過(guò)濾器單元31及排氣用二次過(guò)濾器單元32過(guò)濾后的潔凈空氣排出到腔室10的外部。
在此，說(shuō)明在如上構(gòu)成的本第I實(shí)施方式的隔離裝置A中工作時(shí)的空氣的流動(dòng)。
首先，供氣用鼓風(fēng)機(jī)21及排氣用鼓風(fēng)機(jī)31起動(dòng)后,如上所述,從供氣用鼓風(fēng)機(jī)21 排出的空氣在供氣用過(guò)濾器單元22的內(nèi)部空間中使得壓力均勻化并被供給到HEPA過(guò)濾器 22b。被該HEPA過(guò)濾器22b凈化的空氣經(jīng)由整流板23形成在腔室10的內(nèi)部空間12從上方朝向下方的單向流的空氣。該整流板23的結(jié)構(gòu)及作用將后述。
圖I用箭頭表示腔室10內(nèi)的氣流。在圖I中，經(jīng)由整流板23供給到下方的被凈化的空氣中的大部分的空氣，通過(guò)腔室10的內(nèi)部空間12中的中央空間12a，形成從上方朝向下方的單向流的空氣。由此，作業(yè)者D通過(guò)手套15進(jìn)行作業(yè)的中央空間12a的空氣沿從上方朝向下方的單向流從在腔室10的底壁部IOe開口的排氣口 18a 18d排出。
因此，隔離裝置A作為無(wú)菌隔離器使用時(shí)，中央空間45a的無(wú)菌/無(wú)塵的空氣從排氣口 18a 18d排出。另一方面，隔離裝置A作為封入隔離器使用時(shí)，含有中央空間12a內(nèi)的作業(yè)所使用的化學(xué)藥品等的空氣從排氣口 18a 18d排出。
另外，經(jīng)由整流板23供給到下方的被凈化的空氣中的其他空氣，通過(guò)腔室10的內(nèi)部空間12中的周邊空間12b、12c，形成從上方朝向下方的單向流的空氣。該周邊空間12b、 12c通過(guò)隔壁IlaUlb與中央空間12a劃分開，不進(jìn)行作業(yè)者D的作業(yè)。
因此，不僅在隔離裝置A作為無(wú)菌隔離器使用時(shí)，在作為封入隔離器使用時(shí)也總是在該周邊空間12b、12c流通潔凈的空氣。在該周邊空間12b、12c流動(dòng)的潔凈空氣沿從上方朝向下方的單向流從在腔室10的底壁部IOe開口的排氣口 18a 18d排出。在這樣的狀態(tài)下，腔室10內(nèi)的中央空間12a及周邊空間12b、12c相對(duì)于外部總是維持正壓。
說(shuō)明在如此構(gòu)成的本第I實(shí)施方式的隔離裝置中隔壁及排氣口的作用效果。
(隔壁的作用效果)
首先，考慮隔離裝置A作為無(wú)菌隔離器使用的情況。從在腔室10的前壁部IOa設(shè)置的接合部、例如從在作業(yè)用開口部13a設(shè)置的安裝框13b發(fā)生泄漏，而使浮游菌等從外部侵入腔室10內(nèi)時(shí)，該浮游菌等會(huì)沿在周邊空間12b從上方朝向下方的潔凈空氣而從在腔室 10的底壁部IOe開口的排氣口 18a、18b排出。此時(shí)，周邊空間12b通過(guò)隔壁Ila與中央空間12a劃分開，因安裝框13b的泄漏而侵入的浮游菌等不會(huì)侵入到在無(wú)菌/無(wú)塵狀態(tài)下進(jìn)行作業(yè)的中央空間12a。
同樣地，隔離裝置A作為無(wú)菌隔離器使用時(shí)，從在隔壁Ila設(shè)置的接合部、例如從在輔助開口部14a設(shè)置的輔助框14b發(fā)生泄漏時(shí)，在周邊空間12b從上方朝向下方的單向流的空氣總是潔凈的空氣，即使因輔助框14b的泄漏而將空氣泄漏到中央空間12a，也不會(huì)使無(wú)菌/無(wú)塵狀態(tài)受到污染。
另一方面，考慮隔離裝置A作為封入隔離器使用的情況。從在隔壁Ila設(shè)置的接合部、例如從在輔助開口部14a設(shè)置的輔助框14b發(fā)生泄漏，而使在中央空間12a使用的化學(xué)藥品等泄漏到周邊空間12b時(shí)，將該化學(xué)藥品等會(huì)沿在周邊空間12b從上方朝向下方的潔凈空氣而從在腔室10的底壁部IOe開口的排氣口 18a、18b排出。此時(shí)，通過(guò)腔室10的前壁部IOa將周邊空間12b與外部環(huán)境氣密性隔絕，從而從輔助框14b泄漏的化學(xué)藥品 等不會(huì)污染外部環(huán)境。
同樣地，隔離裝置A作為封入隔離器使用時(shí)，從在腔室10的前壁部IOa設(shè)置的接合部、例如從在作業(yè)用開口部13a設(shè)置的安裝框13b發(fā)生泄漏時(shí)，在周邊空間12b從上方朝向下方的單向流的空氣總是潔凈的空氣，即使因安裝框13b的泄漏而將空氣泄漏到外部環(huán)境，也不會(huì)污染外部環(huán)境。
這樣，本第I實(shí)施方式的隔離裝置A無(wú)論作為無(wú)菌隔離器還是作為封入隔離器，在任何情況下都能確保高度的安全性。
在此，為了明確本第I實(shí)施方式的隔離裝置A的作用效果，對(duì)現(xiàn)有的雙層隔離裝置的氣流進(jìn)行說(shuō)明。圖3是從側(cè)面看現(xiàn)有的隔離裝置F的內(nèi)部的示意圖。圖3中用箭頭表示腔室110內(nèi)的氣流。圖3與圖I相比，將兩隔壁IllaUllb的上端部與腔室110的上壁部 IlOf抵接。另外，在腔室110的底壁部IlOe未設(shè)置排氣口。
由此，經(jīng)由整流板123供給到腔室110內(nèi)的空氣僅在中央空間112a形成從上方朝向下方的單向流的空氣。該僅在中央空間112a從上方朝向下方的單向流的空氣，其流動(dòng)方向在隔壁111a、Illb的下端部逆轉(zhuǎn)，而在周邊空間112b、112c從下方流向上方，并經(jīng)由排氣用過(guò)濾器單元131、132通過(guò)排氣用鼓風(fēng)機(jī)133排出到外部。
考慮該現(xiàn)有的隔離裝置F作為無(wú)菌隔離器使用的情況。從在腔室110的前壁部 IlOa設(shè)置的接合部、例如從在作業(yè)用開口部113a設(shè)置的安裝框113b發(fā)生泄漏，而使浮游菌等從外部侵入腔室110內(nèi)時(shí)，該浮游菌等沿著從中央空間112a供給、在周邊空間112b從下方朝向上方的潔凈空氣，被排出到在腔室HO的上部前方設(shè)置的排氣用過(guò)濾器單元131、 132。此時(shí)，周邊空間112b通過(guò)隔壁Illa與中央空間112a劃分開，因安裝框113b的泄漏而侵入的浮游菌等不會(huì)侵入到在無(wú)菌/無(wú)塵狀態(tài)下進(jìn)行作業(yè)的中央空間112a。這是現(xiàn)有的雙層隔離裝置的作用效果。
同樣地，現(xiàn)有的隔離裝置F作為無(wú)菌隔離器使用時(shí)，從在隔壁Illa設(shè)置的接合部、 例如從在輔助開口部114a設(shè)置的輔助框114b發(fā)生泄漏時(shí)，在周邊空間112b從下方朝向上方的單向流的空氣是從中央空間112a供給的潔凈空氣，即使因輔助框114b的泄漏而將空氣泄漏到中央空間112a，也不會(huì)使無(wú)菌/無(wú)塵狀態(tài)受到污染。這也是現(xiàn)有的雙層隔離裝置的作用效果。
另一方面，考慮現(xiàn)有的隔離裝置F作為封入隔離器使用的情況。從在腔室110的前壁部IlOa設(shè)置的接合部、例如從在作業(yè)用開口部113a設(shè)置的安裝框113b發(fā)生泄漏時(shí)， 從處理化學(xué)物質(zhì)等的中央空間112a供給在周邊空間112b從下方朝向上方的空氣。S卩，在周邊空間112b從下方朝向上方的空氣總是包含化學(xué)物質(zhì)等。由此，從安裝框113b發(fā)生泄漏時(shí)，對(duì)人體有害的化學(xué)物質(zhì)等會(huì)污染外部環(huán)境。因此，沒(méi)有雙層的效果，與通常的單層隔離裝置沒(méi)有改變，因此無(wú)法確保高度的安全性。
這樣，現(xiàn)有的隔離裝置F即使作為無(wú)菌隔離器能夠確保高度的安全性，作為封入隔離器也無(wú)法確保高度的安全性。
(排氣口的作用效果)
接下來(lái)，說(shuō)明在腔室10的底壁部IOe開口的排氣口 18a 18d的作用效果。在本第I實(shí)施方式中，如上所述，在腔室10的底壁部IOe中比各隔壁IlaUlb的下端部的正下方靠向中央空間12a地沿該下端部的長(zhǎng)度方向設(shè)置有排氣口 18a 18d。
在此，在圖4中說(shuō)明從腔室10內(nèi)吸入到排氣口 18a 18d的氣流。在隔壁Ila的圖示背面?zhèn)?中央空間12a)從上方流向下方的空氣al、a2被從隔壁Ila的圖示背面?zhèn)任脚艢饪?18a，在隔壁Ila的圖示前面?zhèn)?周邊空間12b)從上方流向下方的空氣bl、b2 被從隔壁Ila的圖示前面?zhèn)任脚艢饪?18a。
同樣地，在隔壁Ila的圖示背面?zhèn)?中央空間12a)從上方流向下方的空氣a3、a4 被從隔壁Ila的圖示背面?zhèn)任脚艢饪?18b，在隔壁Ila的圖示前面?zhèn)?周邊空間12b) 從上方流向下方的空氣b3、b4被從隔壁Ila的圖示前面?zhèn)任脚艢饪?18b。
這樣，在各隔壁IlaUlb的下端部的下方、即從上方流向下方的單向流的空氣的下游側(cè)，沿該下端部的寬度方向?qū)⒏髋艢饪?18a 18d設(shè)置為長(zhǎng)條狀，從而在中央空間12a 及周邊空間12b、12c從上方朝向下方的單向流的空氣的流動(dòng)方向不會(huì)發(fā)生變化，因此不會(huì)擾亂其層流狀態(tài)便被吸引到各排氣口 18a 18d。
接下來(lái)，說(shuō)明在腔室10的底壁部IOe的排氣口 18a 18d的位置。圖5是從側(cè)面看將腔室10內(nèi)的空氣吸引到排氣口 18a的狀況的示意圖。在圖5(A)中，排氣口 18a在比隔壁Ila的下端部的正下方靠向中央空間12a的位置開口。在該狀態(tài)下，在周邊空間12b 從上方流向下方的空氣Cl不會(huì)擾亂其層流狀態(tài)而被吸引到排氣口 18a。同樣地，在中央空間12a從上方流向下方的空氣c2、c3不會(huì)擾亂其層流狀態(tài)而被吸引到排氣口 18a。
在此，如上所述，中央空間12a為進(jìn)行作業(yè)的空間，當(dāng)然比周邊空間12b占有更大的容積，流經(jīng)中央空間12a的空氣的流量比流經(jīng)周邊空間12b的空氣的流量更多。因此，排氣口 18a在比隔壁Ila的下端部的正下方靠向中央空間12a的位置開口時(shí)，排氣口 18a附近的氣流不會(huì)擾亂其層流狀態(tài)而非常穩(wěn)定。
另外，在圖5(B)中，排氣口 18a在隔壁Ila的下端部的正下方開口。在該狀態(tài)下， 在周邊空間12b從上方流向下方的空氣dl不會(huì)擾亂其層流狀態(tài)而被吸引到排氣口 18a。同樣地，在中央空間12a從上方流向下方的空氣d2、d3不會(huì)擾亂其層流狀態(tài)而被吸引到排氣口 18a。這樣，排氣口 18a在隔壁Ila的下端部的正下方開口時(shí)，排氣口 18a附近的氣流也不會(huì)擾亂其層流狀態(tài)而穩(wěn)定。
與此相對(duì)，在圖6(C)中，排氣口 19a在腔室10的前壁部IOa的下端部開口。在該狀態(tài)下，在周邊空間12b從上方流向下方的空氣el及在中央空間12a從上方流向下方的空氣e2、e3被吸引到排氣口 19a，但由于流經(jīng)中央空間12a的大量空氣通過(guò)隔壁Ila的下端部，因此認(rèn)為在該下端部附近會(huì)產(chǎn)生輕微的亂流e4。但是，由于排氣口 19a在前壁部IOa的下端部的較低位置開口，因而該亂流e4會(huì)被引入在周邊空間12b從上方流向下方的空氣el 而從排氣口 19a排出，并不會(huì)成為問(wèn)題。
另外，在圖6(D)中，排氣口 19b在從腔室10的前壁部IOa的下端部向腔室內(nèi)部凸出設(shè)置的排氣管道19的側(cè)壁開口。在該狀態(tài)下，在周邊空間12b從上方流向下方的空氣f I 及在中央空間12a從上方流向下方的空氣f2、f3雖然被吸引到排氣口 19b，但流經(jīng)周邊空間12b的空氣fl會(huì)因隔壁Ila的下端部和排氣管道19的外壁導(dǎo)致其流路縮窄而使流速增加，沒(méi)有消除排氣口 19b附近的氣流擾亂的情況而被吸引到排氣口 19b。
另外，根據(jù)本第I實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)，在隔離裝置A的前壁部IOa及背壁部IOb分別設(shè)置隔壁11a、11b，在各隔壁IlaUlb的下端部的下方分別開口排氣口 18a 18d。由此， 在中央空間12a從上方朝向下方的單向流的空氣分別在相對(duì)的兩個(gè)方向的排氣口(18a和 18b、18c和18d)分開排出。因此，中央空間12a的空氣能夠不擾亂其層流狀態(tài)而更加穩(wěn)定地流動(dòng)。
另外，根據(jù)本第I實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)，在各隔壁IlaUlb的下端部的下方設(shè)置的各排氣口分別由兩個(gè)開口部(18a和18b、18c和18d)構(gòu)成。但是，各排氣口對(duì)一個(gè)隔壁并不限定于兩個(gè)開口部，也可以由一個(gè)開口部構(gòu)成，或者，也可以由三個(gè)以上的開口部分開構(gòu)成。此時(shí)優(yōu)選，這些開口部的長(zhǎng)度方向的開口長(zhǎng)度的總計(jì)在預(yù)定的長(zhǎng)度以上。
在本第I實(shí)施方式中，如圖2所示，在設(shè)于隔壁Ila的下端部的下方的兩個(gè)排氣口中，排氣口 18a的開口長(zhǎng)度(Yl)和排氣口 18b的開口長(zhǎng)度(Y2)的總和(Y1+Y2)相對(duì)于隔壁Ila的下端部的寬度方向的長(zhǎng)度(Z)為60%。
另一方面，在設(shè)于隔壁I Ib的下端部的下方的兩個(gè)排氣口中，排氣口 18c的開口長(zhǎng)度(Y3)和排氣口 18d的開口長(zhǎng)度(Y4)之和(Y3+Y4)相對(duì)于隔壁Ilb的下端部的寬度方向的長(zhǎng)度⑵為60%。
在此優(yōu)選，對(duì)于各隔壁，在其下端部設(shè)置的各排氣口的開口長(zhǎng)度的總和相對(duì)于隔壁的下端部的寬度方向的長(zhǎng)度為50% 100%的比例，另外，更優(yōu)選為60% 100%的比例。 由此，沿隔壁流動(dòng)的空氣，其方向不會(huì)發(fā)生較大改變而從排氣口排出，并且腔室10內(nèi)的空氣能夠不擾亂其層流狀態(tài)而更加穩(wěn)定地流動(dòng)。
由此，在本第I實(shí)施方式中，能夠提供一種應(yīng)對(duì)隔離裝置工作時(shí)的危險(xiǎn)性、具有簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)且能夠確保高安全性的隔離裝置，其作為無(wú)菌隔離器能夠維持高度的無(wú)菌/無(wú)塵狀態(tài)，并且作為封入隔離器能夠高度防止化學(xué)物質(zhì)、微生物等泄漏到外部環(huán)境。
(整流板的結(jié)構(gòu)及作用效果)
接下來(lái)，根據(jù)圖7及圖8說(shuō)明在本第I實(shí)施方式的隔離裝置A中使在中央空間12a 及周邊空間12b、12c從上方朝向下方的單向流的空氣更加穩(wěn)定地被供給的整流板23的結(jié)構(gòu)及作用。
如上所述，整流板23在HEPA過(guò)濾器22b的下部且在腔室10的內(nèi)部空間12的上部經(jīng)整個(gè)面設(shè)置(參照?qǐng)DI)。該整流板23由不銹鋼制金屬的矩形框體24和以覆蓋該框體 24的上面及底面的方式粘貼到框體24的網(wǎng)紗25a、25b構(gòu)成(參照?qǐng)D8)。
框體24以覆蓋腔室10的內(nèi)部的橫截面形狀(參照?qǐng)D2)的周緣部的方式將四根矩形管24a組裝成矩形。構(gòu)成該框體的矩形管24a具備從其上面貫通至底面的多個(gè)貫通口 24b。另外，用于承接框體24的底面并將其架設(shè)到腔室10的側(cè)壁部IOa IOd的承接部件 26由截面為L(zhǎng)字形的不銹鋼制金屬板構(gòu)成，在其底板26a上與貫通口 24b相對(duì)的位置具備同樣的貫通口 26b (參照?qǐng)D7)。這些貫通口 24b及貫通口 26b的作用將后述。
網(wǎng)紗25a、25b為一般由合成纖維長(zhǎng)纖維構(gòu)成的織物，通過(guò)該織物的經(jīng)紗和緯紗的間隙形成連通表里的無(wú)數(shù)個(gè)細(xì)孔。由此，通過(guò)整流板23的空氣經(jīng)這些無(wú)數(shù)個(gè)細(xì)孔整理其流動(dòng)，在腔室10的內(nèi)部空間12形成從上方朝向下方的穩(wěn)定的單向流的空氣。
形成該網(wǎng)紗25a、25b的合成纖維長(zhǎng)纖維的絲徑優(yōu)選為30 200 μ m,孔徑優(yōu)選為 30 200 μ m。另外，網(wǎng)紗25a、25b的材料可以任意，但在本第I實(shí)施方式中使用聚乙烯紗。
將這樣構(gòu)成的整流板23與從框體24的底面承接該框體24的承接部件26 —起架設(shè)到腔室10的上部。首先，承接部件26承載在部分地設(shè)置于腔室10的周壁部IOa IOd 的上部的小型橫梁IOg上(參照?qǐng)D2)，通過(guò)緊固件26d將其鉛垂板26c氣密性地固定到腔室10的周壁部IOa 10d。從上方將整流板23氣密性地裝載到該承接部件26的L字部。 此時(shí)，以使彼此的貫通口 24b、26b連通的方式固定整流板23和承接部件26。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，容易進(jìn)行整流板23的清洗及更換。
這樣，在腔室10的內(nèi)部空間12的上方架設(shè)整流板23，考慮通過(guò)該整流板23將潔凈的空氣供給到內(nèi)部空間12的情況。如圖8所示，在不存在矩形管24a的部分(以下稱為整流板23的中央部分)和存在矩形管24a的部分(以下稱為整流板23的周緣部分)，空氣的通過(guò)狀態(tài)不同。
在整流板23的周緣部分，若未在矩形管24a開口貫通口 24b，則空氣無(wú)法從該部分通過(guò)。另外，在該整流板23的周緣部分的下方，存在通過(guò)隔壁Ila劃分的周邊空間12b。 由此，在腔室10內(nèi)的中央空間12a和周邊空間12b之間空氣的流量不同。此時(shí)，流經(jīng)中央空間12a和周邊空間12b的空氣的狀態(tài)可能會(huì)產(chǎn)生差異，若在腔室10的下方擾亂空氣的層流狀態(tài)，則難以確保隔離裝置A的高安全性。
因此，在本第I實(shí)施方式中，如上所述，在框體24的矩形管24a及承接部件26設(shè)置從上面貫通至底面的貫通口 24b、26b(參照?qǐng)D8)。由此，由于空氣也從貫通矩形管24a和承接部件26的貫通口 24b、26b的部分通過(guò)，因此也能夠?qū)⒖諝夤┙o到整流板23的周緣部分的下方。
但是，為了維持框體24的強(qiáng)度，能夠在矩形管24a開口的貫通口 24b的開口率存在界限。因此，增多來(lái)自貫通口 24b、26b的部分的空氣的流量，使來(lái)自整流板23的整個(gè)周緣部分的空氣的流量(表觀的流量)接近來(lái)自整流板23的中央部分的空氣的流量。因此， 整流板23的中央部分和周緣部分(貫通口的部分)的網(wǎng)紗的覆蓋張數(shù)存在差別。即，在整流板23的中央部分，在上面及底面覆蓋兩張網(wǎng)紗25a、25b，另一方面，在周緣部分(貫通口的部分)，僅在底面開口部覆蓋一張網(wǎng)紗25a(參照?qǐng)D8)。
由此，整流板23的貫通口部分的空氣的通過(guò)阻力比整流板23的中央部分的空氣的通過(guò)阻力小，貫通口 24b部分的空氣的流速比中央部分的空氣的流速大。其結(jié)果是，貫通口 24b部分的空氣的流量比中央部分的空氣的流量多。因此，整流板23的中央部分的空氣的流量與周緣部分的空氣的流量(表觀的流量)的差別變小。由此，通過(guò)整流板23的空氣從整個(gè)整流板23成為在腔室10的內(nèi)部空間12從上方朝向下方的單向流的空氣而穩(wěn)定地流動(dòng)，從而腔室內(nèi)的層流狀態(tài)更加穩(wěn)定且能夠維持高安全性。
進(jìn)一步，通過(guò)調(diào)節(jié)與矩形管24a的底面的面積相對(duì)的貫通口 24b的開口率，從而能夠確保更高的安全性。在該方法中，將通過(guò)只覆蓋了網(wǎng)紗25a的貫通口 24b的底面部(網(wǎng)紗為一層的部分)的空氣的流速設(shè)為VI，將通過(guò)覆蓋了網(wǎng)紗25a及網(wǎng)紗25b的部分(網(wǎng)紗為兩層的部分)的空氣的流速設(shè)為V2時(shí)，通過(guò)下式求出貫通口 24b的開口率X(%)
X=(V2/V1) XlOO0
由此，設(shè)計(jì)整流板23時(shí)，通過(guò)測(cè)定網(wǎng)紗為一層的部分的空氣的流速和網(wǎng)紗為兩層的部分的空氣的流速，能夠更加正確地調(diào)節(jié)整流板23的中央部分的空氣的流量和周緣部分的空氣的流量(表觀的流量)。其結(jié)果是，通過(guò)整流板23的空氣從整個(gè)整流板23成為在腔室10的內(nèi)部空間12從上方朝向下方的單向流的空氣而更加穩(wěn)定地流動(dòng)。
第2實(shí)施方式
根據(jù)

本發(fā)明的隔離裝置的第2實(shí)施方式。如圖9 圖11所示，隔離裝置 A由放置在地面上的架臺(tái)B、和該架臺(tái)B上裝載的隔離器主體C構(gòu)成。
架臺(tái)B周圍被由不銹鋼制金屬板構(gòu)成的壁材覆蓋，其內(nèi)部收容有用于安裝空氣潔凈用過(guò)濾器單元210(以下稱為過(guò)濾器單元210)的四個(gè)箱體220、和電氣設(shè)備及機(jī)械室 230。在該架臺(tái)B的前面及背面密封且可開關(guān)地設(shè)置有用于從各箱體220更換過(guò)濾器單元 210的開關(guān)門221。
四個(gè)箱體220中，在圖9中，在架臺(tái)B的前面?zhèn)仁杖莸膬蓚€(gè)箱體220相互連通，在架臺(tái)B的背面?zhèn)仁杖莸膬蓚€(gè)箱體220相互連通。
隔離器主體C具備腔室240、供氣機(jī)構(gòu)250及排氣用機(jī)構(gòu)260。
腔室240由不銹鋼制金屬板的箱體構(gòu)成，與作業(yè)者進(jìn)行作業(yè)的外部環(huán)境氣密性隔絕，該腔室240具備清洗內(nèi)部的清洗液用噴霧嘴和排水槽(均未圖示)。
在腔室240的前面及背面的兩壁部241a分別設(shè)置能夠觀察內(nèi)部的透明的玻璃窗 242。另外，在腔室240的內(nèi)部，在各玻璃窗242的內(nèi)側(cè)分別與玻璃窗242平行地配置有玻璃隔壁243。各玻璃隔壁243在使上下左右的各端部243a 243c不與分別相對(duì)的壁面 241b 241e抵接而保持一定的距離的狀態(tài)下被四個(gè)支撐件244從前面及背面的兩壁部 241a支撐。由此，將腔室240的內(nèi)部空間245劃分為中央空間245a和前面及背面的兩個(gè)周邊空間245b。
各玻璃窗242分別具有使外部與腔室240的內(nèi)部空間245連通的兩個(gè)作業(yè)用開口部246。另外，各玻璃隔壁243在與作業(yè)用開口部246相對(duì)的位置分別具有使中央空間245a 與周邊空間245b連通的兩個(gè)輔助開口部247。通過(guò)安裝框246a將樹脂制的手套248的基端部分別氣密性安裝到各作業(yè)用開口部246，進(jìn)一步，再通過(guò)輔助框247a將這些手套248安裝到各輔助開口部247而將其前端部配置到中央空間245a。
在腔室240的右側(cè)面的壁部241b密封且可開關(guān)地設(shè)置有用于向腔室240內(nèi)搬入設(shè)備及維護(hù)內(nèi)部的開關(guān)門241 (參照?qǐng)D11)。另外，在腔室240的左側(cè)面的壁部241c的外側(cè)，沿腔室240的左側(cè)面朝上設(shè)置與收容于架臺(tái)B的四個(gè)箱體220連通的管道249 (參照?qǐng)D 9)。
供氣機(jī)構(gòu)250具備供氣用鼓風(fēng)機(jī)251，用于向腔室240內(nèi)供給外氣；供氣用過(guò)濾器252，用于過(guò)濾從該供氣用鼓風(fēng)機(jī)251供給的空氣；以及整流板253，用于對(duì)過(guò)濾的空氣進(jìn)行整流并向腔室240內(nèi)供氣。
供氣用鼓風(fēng)機(jī)251經(jīng)由在腔室240的上壁部241d開口的吸氣口 254 (未圖示)與腔室240的外部側(cè)連接。該供氣用鼓風(fēng)機(jī)251吸入外部的空氣，從該供氣用鼓風(fēng)機(jī)251排出的空氣供給到供氣用過(guò)濾器252。
供氣用過(guò)濾器252設(shè)置在腔室240的內(nèi)部空間245的上部，由用于過(guò)濾從供氣用鼓風(fēng)機(jī)251供給的空氣的HEPA過(guò)濾器構(gòu)成。經(jīng)由在供氣用過(guò)濾器252的下部且在腔室240 內(nèi)的上部經(jīng)整個(gè)面設(shè)置的整流板253，將被該供氣用過(guò)濾器252凈化的空氣供給到腔室240 的內(nèi)部空間245。
該整流板253具有多個(gè)空氣通過(guò)孔而使氣流均勻化。由此，從供氣用過(guò)濾器252 供給的空氣經(jīng)由整流板253形成在腔室240的內(nèi)部空間245從上方朝向下方的單向流(所謂的層流)的空氣。
排氣機(jī)構(gòu)260具備用于凈化腔室240的內(nèi)部空間245的空氣的過(guò)濾器單元210、和用于將被該過(guò)濾器單元210凈化的空氣經(jīng)由箱體220及管道249排出到腔室240的外部的排氣用鼓風(fēng)機(jī)261。
過(guò)濾器單元210安裝在經(jīng)由在腔室240的底壁部241e開口的排氣口 262與腔室 240連通的箱體220內(nèi)。該過(guò)濾器單元210的結(jié)構(gòu)及在箱體220內(nèi)的安裝狀態(tài)將后述。
排氣用鼓風(fēng)機(jī)261與管道249的上部開口部連通而設(shè)置在腔室240的上壁部241d 的外側(cè)、供氣用鼓風(fēng)機(jī)251的背面?zhèn)?。該排氣用鼓風(fēng)機(jī)261將經(jīng)由箱體220及管道249送來(lái)的空氣排出到腔室240的外部。
(空氣潔凈用過(guò)濾器單元的實(shí)施方式2A)
在此，說(shuō)明過(guò)濾器單元210的結(jié)構(gòu)。在圖12中，過(guò)濾器單元210為內(nèi)部具有空洞的矩形筒體，具備由不銹鋼制金屬板構(gòu)成的筒體211和兩個(gè)HEPA過(guò)濾器212。
筒體211由頂板21 la、底板21 Ib及兩張橫板211c構(gòu)成，其前面和背面分別作為空氣排出口部213而矩形狀地開放。另外，在頂板211a上設(shè)置有沿空氣排出口部213的面與頂板211a交叉的邊界線211d開口為長(zhǎng)條狀的空氣導(dǎo)入口部214。
兩個(gè)HEPA過(guò)濾器212由以下部件構(gòu)成將由玻璃纖維構(gòu)成的濾材折彎成波狀而形成的過(guò)濾器212a ;和保持該過(guò)濾器212a的周緣部的矩形外框212b。兩個(gè)HEPA過(guò)濾器212 分別以覆蓋空氣排出口部213的方式以外框212b的外緣部固定于筒體211的內(nèi)緣部。
由此，兩個(gè)HEPA過(guò)濾器212以使彼此的吸氣面212c朝向過(guò)濾器單元210的內(nèi)側(cè)且彼此相對(duì)的方式并行排列。另一方面，兩個(gè)HEPA過(guò)濾器212使彼此的排氣面212d朝向過(guò)濾器單元210的外側(cè)，通過(guò)這些排氣面212d構(gòu)成過(guò)濾器單元210的前面和背面的外壁面。
另外，過(guò)濾器單元210具備作為環(huán)狀的密封部件的橡膠制的墊片215，其環(huán)繞在頂板211a上開口的空氣導(dǎo)入口部214。
接下來(lái)，說(shuō)明將如上構(gòu)成的過(guò)濾器單元210安裝到箱體220內(nèi)的狀態(tài)。圖13是從側(cè)面看安裝有過(guò)濾器單元210的箱體220的剖視圖。
在圖13中，箱體220由不銹鋼制金屬板的箱體構(gòu)成，如上所述，收容于架臺(tái)B。箱體220的上壁部220a是與腔室240的底壁部241e共用的壁部，如上所述，在箱體220的前面的壁部220b密封且可開關(guān)地設(shè)置有用于從箱體220更換過(guò)濾器單元210的開關(guān)門221。
如上所述，箱體220與相鄰的箱體220連通，并且與管道249連通，形成從在腔室 240的底壁部241e (與箱體220的上壁部220a對(duì)應(yīng))開口的排氣口 262朝向排氣用鼓風(fēng)機(jī) 261的排氣流路(參照?qǐng)D9)。
在開口于箱體220的上壁部220a的排氣口 262的周緣部形成有環(huán)狀的上方延伸部262a和環(huán)狀的下方延伸部262b，其中，所述上方延伸部262a在周緣部的全周向腔室240 側(cè)(上方側(cè))延伸，所述下方延伸部262b在周緣部的全周向箱體220側(cè)(下方側(cè))延伸。
在箱體220的底壁部220c設(shè)置有配置于排氣口 262的下方部并用于將過(guò)濾器單元210推壓到排氣口 262的兩個(gè)單元推壓件222 (參照?qǐng)D9及圖13)。該單元推壓件222由承接過(guò)濾器單元210的下端部的承接部件222a和使該承接部件222a絲杠式上下移動(dòng)的可動(dòng)部件222b構(gòu)成。
在這樣構(gòu)成的箱體220內(nèi)，將過(guò)濾器單元210安裝為使空氣導(dǎo)入口部214與排氣口 262相對(duì)并使墊片215沿下方延伸部262b的外周部與箱體220的上壁部220a抵接。此時(shí)，過(guò)濾器單元210的下端部被承接部件222a承接并由可動(dòng)部件222b向上方推壓，過(guò)濾器單元210經(jīng)由其空氣導(dǎo)入口部214通過(guò)墊片215密封地安裝到排氣口 262。
在此，說(shuō)明如上構(gòu)成的本第2實(shí)施方式的隔離裝置A中工作時(shí)的氣流。
在圖10中，供氣用鼓風(fēng)機(jī)251及排氣用鼓風(fēng)機(jī)261起動(dòng)后,如上所述,從供氣用鼓風(fēng)機(jī)251排出的空氣供給到供氣用過(guò)濾器252。被該供氣用過(guò)濾器252凈化的空氣經(jīng)由整流板253形成在腔室240的內(nèi)部空間245從上方朝向下方的單向流的空氣。
換言之，經(jīng)由整流板253供給到下方的被凈化的空氣中的大部分的空氣,通過(guò)腔室240的內(nèi)部空間245中的中央空間245a，形成從上方朝向下方的單向流的空氣。由此，在中央空間245a內(nèi)的作業(yè)所使用的化學(xué)藥品等通過(guò)中央空間245a沿從上方朝向下方的單向流從排氣口 262排出。
另一方面，經(jīng)由整流板253供給到下方的被凈化的空氣中的其他空氣，通過(guò)腔室 240的內(nèi)部空間245中的周邊空間245b，形成從上方朝向下方的單向流的空氣。該周邊空間245b通過(guò)玻璃隔壁243與中央空間245a劃分開，不直接進(jìn)行使用化學(xué)藥品等的作業(yè)。因此，在周邊空間245b內(nèi)流通被凈化的空氣。由此，即使在手套248的安裝框246a等處發(fā)生泄漏時(shí)，中央空間245a內(nèi)的化學(xué)藥品等也不會(huì)泄漏到腔室240的外部。
這樣，通過(guò)排氣用鼓風(fēng)機(jī)261的吸引，將流經(jīng)內(nèi)部空間245a及周邊空間245b的各單向流的空氣從在腔室240內(nèi)設(shè)置的四個(gè)排氣口 262(參照?qǐng)D11)排出到腔室240外。
從排氣口 262排出到腔室240外的空氣包含中央空間245a內(nèi)的作業(yè)所使用的化學(xué)藥品等。如圖10及圖13所示，從排氣口 262排出的空氣從密封地安裝到排氣口 262的過(guò)濾器單元210的空氣導(dǎo)入口部214導(dǎo)入至過(guò)濾器單元210的內(nèi)部空間。導(dǎo)入至該過(guò)濾器單元210的內(nèi)部的空氣被從兩個(gè)HEPA過(guò)濾器212的吸氣面212c吸引，被這些HEPA過(guò)濾器 212凈化后，從兩個(gè)HEPA過(guò)濾器212的排氣面212d排出到箱體220內(nèi)。
從過(guò)濾器單元210的排氣面212d排出的被凈化的空氣從箱體220的內(nèi)部通過(guò)管道249，通過(guò)排氣用鼓風(fēng)機(jī)261的吸引而排出到腔室240的外部(參照?qǐng)D9)。
這樣使用的過(guò)濾器單元210使大量化學(xué)藥品等附著到其內(nèi)部的空間及HEPA過(guò)濾器212的吸氣面212c上。在此，對(duì)將該使用完的過(guò)濾器單元210從箱體220拆下的作業(yè)進(jìn)行說(shuō)明。
首先，停止供氣用鼓風(fēng)機(jī)251及排氣用鼓風(fēng)機(jī)261，使用清洗液用噴霧嘴(未圖示)清洗腔室240的內(nèi)部。另外，清洗排出口 262的周邊，實(shí)施使處于過(guò)濾器單元210內(nèi)部的HEPA過(guò)濾器212的吸氣面212c濕潤(rùn)的加濕操作(wet down)。通過(guò)該加濕操作能夠防止大量附著在HEPA過(guò)濾器212的吸氣面212c的化學(xué)物質(zhì)等的飛散。
接下來(lái)，將蓋體216從腔室240的內(nèi)部安裝到過(guò)濾器單元210的空氣導(dǎo)入口部 214(參照?qǐng)D14)。該蓋體216具有在全周環(huán)繞其外周緣的橡膠制的墊片216a。通過(guò)墊片 216a將該蓋體216密封地安裝到在空氣導(dǎo)入口部214設(shè)置的安裝槽214a。由此，將被化學(xué)物質(zhì)等污染的過(guò)濾器單元210的內(nèi)部密封，從而內(nèi)部的化學(xué)物質(zhì)等不會(huì)泄漏到外部環(huán)境。
在這樣將過(guò)濾器單元210的內(nèi)部密封的狀態(tài)下，打開箱體220的開關(guān)門221，將向上方推壓過(guò)濾器單元210的可動(dòng)部件222b的螺絲擰松，將承接部件222a拉到下方從而將過(guò)濾器單元210從排氣口 262拆下。
在如上構(gòu)成的本第2實(shí)施方式的隔離裝置A中組裝的過(guò)濾器單元的實(shí)施方式2A 中，筒體與兩個(gè)HEPA過(guò)濾器成為一體而構(gòu)成過(guò)濾器單元。該兩個(gè)HEPA過(guò)濾器的排氣面均構(gòu)成空氣排出口部的外壁面。另一方面，兩個(gè)HEPA過(guò)濾器的吸氣面均收容在筒體的內(nèi)部。 這樣，本實(shí)施方式2A的過(guò)濾器單元結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，按該過(guò)濾器單元安裝到與處理對(duì)人體有害的化學(xué)物質(zhì)等的隔離裝置的腔室的排氣口連通設(shè)置的箱體。
在上述過(guò)濾器單元中，將從腔室的排氣口排出的包含化學(xué)物質(zhì)等的空氣從空氣導(dǎo)入口部引導(dǎo)至該過(guò)濾器單元的內(nèi)部。將引導(dǎo)至該過(guò)濾器單元的內(nèi)部的空氣從兩個(gè)HEPA過(guò)濾器的吸氣面吸入并過(guò)濾，從這兩個(gè)HEPA過(guò)濾器的排氣面排出到過(guò)濾器單元的外部。由此，通過(guò)兩個(gè)HEPA過(guò)濾器過(guò)濾的空氣中包含的化學(xué)物質(zhì)等附著在這兩個(gè)HEPA過(guò)濾器的吸氣面而被截留在過(guò)濾器單元的內(nèi)部。
接下來(lái)，更換上述過(guò)濾器單元時(shí)，通過(guò)用蓋體關(guān)閉空氣導(dǎo)入口部能夠簡(jiǎn)單地密封過(guò)濾器單元的內(nèi)部。由此，能夠防止被截留在過(guò)濾器單元內(nèi)部的化學(xué)物質(zhì)等泄漏到外部環(huán)境。因此，通過(guò)按過(guò)濾器單元來(lái)更換過(guò)濾器單元，能夠簡(jiǎn)單地進(jìn)行過(guò)濾器更換作業(yè)，另外，通過(guò)該更換作業(yè)將污染外部環(huán)境的危險(xiǎn)性抑制為較小。
另外，在本第2實(shí)施方式的隔離裝置A中組裝的過(guò)濾器單元的實(shí)施方式2A中，如上所述，為由筒體和兩個(gè)HEPA過(guò)濾器構(gòu)成的簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)。因此，該過(guò)濾器單元的制造成本變低，另外，按過(guò)濾器單元進(jìn)行廢棄時(shí)廢棄成本也變低。因此，將包含這些制造成本及廢棄成本在內(nèi)的隔離裝置的維護(hù)成本抑制為較低。
另外，根據(jù)本第2實(shí)施方式的隔離裝置A中組裝的過(guò)濾器單元的實(shí)施方式2A，通過(guò)將空氣導(dǎo)入口部開口為長(zhǎng)條狀，能夠使該空氣導(dǎo)入口部開口的頂板的形狀為長(zhǎng)條矩形，使其長(zhǎng)邊較長(zhǎng)并將其短邊抑制為較短。各HEPA過(guò)濾器的排氣面在該頂板的長(zhǎng)邊側(cè)的兩個(gè)邊界交叉。因此，頂板的長(zhǎng)邊的長(zhǎng)度左右HEPA過(guò)濾器的排氣面的大小。另一方面，頂板的短邊位于與兩個(gè)HEPA過(guò)濾器的排氣面交叉的方向上，該短邊的長(zhǎng)度左右過(guò)濾器單元的進(jìn)深。 因此，通過(guò)使頂板的形狀為長(zhǎng)條矩形而使長(zhǎng)邊較長(zhǎng)、短邊較短，能夠使過(guò)濾器單元的排氣面的面積較大且使進(jìn)深較窄。
由此，過(guò)濾器單元的形狀變得緊湊，與該緊湊的形狀相對(duì)，能夠使排氣面的面積較大。因此，安裝到從腔室排出的空氣的排氣路徑時(shí)，場(chǎng)所的限制減少?gòu)亩岣吒綦x裝置設(shè)計(jì)上的自由度。由此，在本實(shí)施方式2A中，能夠在腔室的下部設(shè)置箱體，并在隔離裝置的架臺(tái)收容四個(gè)該箱體。
進(jìn)一步，根據(jù)本實(shí)施方式2A，過(guò)濾器單元具備兩個(gè)HEPA過(guò)濾器。這樣，如上所述， 通過(guò)使用兩個(gè)HEPA過(guò)濾器，能夠獲得較寬的過(guò)濾器單元的通風(fēng)正面積，從而提高過(guò)濾器效率。因此，減小過(guò)濾器單元所需要的過(guò)濾器容積，能夠提供小型的過(guò)濾器單元。
另外，如上所述，兩個(gè)HEPA過(guò)濾器的排氣面構(gòu)成空氣排出口部的外壁面。該HEPA 過(guò)濾器的排氣面形成為平面，能夠?qū)嵤┡c通常的HEPA過(guò)濾器等的泄漏試驗(yàn)同樣的掃描測(cè)試。由此，在上述過(guò)濾器單元本身的泄漏試驗(yàn)中，能夠?qū)蓚€(gè)排氣面直接進(jìn)行掃描測(cè)試，能夠用現(xiàn)有的方法對(duì)過(guò)濾器單元進(jìn)行完全性檢查。
另一方面，在具備上述過(guò)濾器單元的本第2實(shí)施方式的隔離裝置中，由供氣機(jī)構(gòu)供給在腔室的內(nèi)部從上方朝向下方的單向流的空氣。另外，在該腔室的內(nèi)部，在沿上述單向流的氣流的方向上設(shè)置有隔壁。該隔壁與周壁部平行地形成，將腔室的內(nèi)部空間劃分為中央空間和周邊空間。因此，在腔室內(nèi)從上方朝向下方的單向流的空氣分為在中央空間從上方朝向下方的單向流的空氣和在周邊空間從上方朝向下方的單向流的空氣而流動(dòng)。
另外，在腔室內(nèi)處理的化學(xué)物質(zhì)等在中央空間內(nèi)進(jìn)行處理，并被流經(jīng)該中央空間內(nèi)的單向流的空氣引導(dǎo)至排氣口。另一方面，由于在周邊空間中不處理化學(xué)物質(zhì)等，因而在該周邊空間總是流通潔凈的單向流的空氣。因此，即使因某種原因?qū)е虑皇覂?nèi)的空氣泄漏到外部環(huán)境，因存在該周邊空間，在腔室內(nèi)處理的化學(xué)物質(zhì)等也不會(huì)泄漏到外部環(huán)境。
另外，在腔室的底壁部設(shè)置的排氣口沿隔壁的下端部的寬度方向開口為長(zhǎng)條狀。 因此，在中央空間及周邊空間從上方流向下方的各單向流的空氣不被擾亂而從該排氣口排出。凈化從這樣構(gòu)成的安全性較高的腔室排出的空氣時(shí)，通過(guò)采用上述過(guò)濾器單元，能夠確保更加高度的安全性。
另外，在現(xiàn)有的隔離裝置中，為了降低更換過(guò)濾器時(shí)的風(fēng)險(xiǎn)而在排氣路徑中采用多個(gè)過(guò)濾器。但是，在上述過(guò)濾器單元的更換作業(yè)中，高度防止了過(guò)濾的化學(xué)物質(zhì)等的泄漏。因此，在本第2實(shí)施方式的隔離裝置中，通過(guò)采用一個(gè)過(guò)濾器單元就能夠降低更換過(guò)濾器時(shí)的風(fēng)險(xiǎn)。更換的過(guò)濾器單元為一個(gè)即可，這對(duì)隔離裝置設(shè)計(jì)及維護(hù)成本的方面有利。
(空氣潔凈用過(guò)濾器單元的實(shí)施方式2B)
接下來(lái)，說(shuō)明本發(fā)明的過(guò)濾器單元的實(shí)施方式2B。如圖15所示，過(guò)濾器單元310 為內(nèi)部具有空洞的矩形筒體，具備由不銹鋼制金屬板構(gòu)成的筒體311和一個(gè)HEPA過(guò)濾器 212。
筒體311由頂板311a、底板311b、兩張橫板311c及背板311d構(gòu)成，其前面作為空氣排出口部213而矩形狀地開放。另外，在頂板311a上設(shè)置有沿空氣排出口部213的面與頂板311a交叉的邊界線311e開口為長(zhǎng)條狀的空氣導(dǎo)入口部214。
HEPA過(guò)濾器212與上述實(shí)施方式2A結(jié)構(gòu)相同。該HEPA過(guò)濾器212以覆蓋空氣排出口部213的方式以外框212b的外緣部固定于筒體311的內(nèi)緣部。
由此，HEPA過(guò)濾器212以使吸氣面212c朝向過(guò)濾器單元310的內(nèi)部且與背板311 d相對(duì)的方式并行排列。另一方面，HEPA過(guò)濾器212使排氣面212d朝向過(guò)濾器單元310的外側(cè)，通過(guò)該排氣面212d構(gòu)成過(guò)濾器單元310的前面的外壁面。
另外，過(guò)濾器單元310具備作為環(huán)狀的密封部件的橡膠制的墊片215，其環(huán)繞在頂板311a上開口的空氣導(dǎo)入口部214。
將如上構(gòu)成的過(guò)濾器單元310安裝到箱體220內(nèi)的狀態(tài)與上述實(shí)施方式2A相同。
如上構(gòu)成的本實(shí)施方式2B的過(guò)濾器單元在僅具有一個(gè)HEPA過(guò)濾器這一點(diǎn)上，與具備兩個(gè)HEPA過(guò)濾器的上述實(shí)施方式2A的過(guò)濾器單元不同。這意味著過(guò)濾器單元的排氣面積減小，處理的空氣的容量減少。但是，除此之外，與上述實(shí)施方式2A的過(guò)濾器單元沒(méi)有變化。
因此，本實(shí)施方式2B的過(guò)濾器單元在處理的空氣的容量較少的情況下、隔離裝置設(shè)計(jì)上的原因、或者需要更加小型且更加廉價(jià)的過(guò)濾器單元的情況下有效。另外，因HEPA 過(guò)濾器的排氣面為一面，因而更加易于進(jìn)行泄漏試驗(yàn)的掃描測(cè)試。
(空氣潔凈用過(guò)濾器單元的實(shí)施方式2C)
接下來(lái)，說(shuō)明本發(fā)明的過(guò)濾器單元的實(shí)施方式2C。過(guò)濾器單元410與上述實(shí)施方式2A的過(guò)濾器單元210結(jié)構(gòu)相同。但是，代替墊片215，具備液體密封件415 (參照?qǐng)D16)。 該液體密封件415由密封凸部415a、密封凹部415b及填充在它們之間的密封劑415c構(gòu)成。
圖16表示過(guò)濾器單元410使其空氣導(dǎo)入口部214對(duì)準(zhǔn)與在箱體220的上壁部220a 開口的排氣口 262相對(duì)的位置而安裝的狀態(tài)。在排氣口 262的周緣部形成有上方延伸部 262a，其在周緣部的全周向腔室240側(cè)(上方側(cè))延伸。另一方面，無(wú)在上述實(shí)施方式2A 中設(shè)置的下方延伸部262b，作為其替代，在比排氣口 262的周緣部向外側(cè)離開的位置形成環(huán)狀的密封凸部415a，其環(huán)繞排氣口 262并向箱體220側(cè)(下方側(cè))延伸。
另外，過(guò)濾器單元410具備環(huán)狀的密封凹部415b，其環(huán)繞在頂板411a上開口的空氣導(dǎo)入口部214且截面為凹狀。在該密封凹部415b的槽中填充液體有機(jī)硅等密封劑415c。
如圖16所示，在箱體220內(nèi)使空氣導(dǎo)入口部214與排氣口 262相對(duì)，并將密封凸部415a插入密封凹部415b的環(huán)狀的槽中，從而通過(guò)單元推壓件222 (未圖示)將這樣構(gòu)成的過(guò)濾器單元410推起。
此時(shí)，由于密封凸部415a在全周浸入密封凹部415b的槽中填充的密封劑415c 中，因而排氣口 262與空氣導(dǎo)入口部414密封性連通。由此，從排氣口 262導(dǎo)入至過(guò)濾器單元410的空氣被引導(dǎo)到過(guò)濾器單元410的內(nèi)部，并通過(guò)HEPA過(guò)濾器212除去化學(xué)物質(zhì)等。
如上構(gòu)成的本實(shí)施方式2C的過(guò)濾器單元在為了使其空氣導(dǎo)入口部與腔室的排氣口密封性連通而使用液體密封件作為密封部件這一點(diǎn)上，與使用墊片的上述實(shí)施方式2A 及實(shí)施方式2B的過(guò)濾器單元不同。但是，除此之外，與上述實(shí)施方式2A及實(shí)施方式2B的過(guò)濾器單元沒(méi)有變化。
(空氣潔凈用過(guò)濾器單元的實(shí)施方式2D)
接下來(lái)，說(shuō)明本發(fā)明的過(guò)濾器單元的實(shí)施方式2D。過(guò)濾器單元510與上述實(shí)施方式2A的過(guò)濾器單元210結(jié)構(gòu)相同。但是，代替在過(guò)濾器單元210的空氣導(dǎo)入口部214安裝的蓋體216，設(shè)置為可撓性的橡膠薄片516封閉空氣導(dǎo)入口部214 (參照?qǐng)D17)。
如圖17所示，橡膠薄片516由兩片大致梯形的橡膠薄片516a和兩片大致三角形的橡膠薄片516b構(gòu)成，在被過(guò)濾器單元510的頂板511a和橡膠制的墊片215夾持的狀態(tài)下固定而一體化。在該固定的狀態(tài)下，在橡膠薄片516的中央部形成沿空氣導(dǎo)入口部214 的長(zhǎng)度方向的一條狹縫516c和從該狹縫的兩端部朝向周緣部的四條狹縫516d。
在此，作為用于可撓性的橡膠薄片516的橡膠，只要具有可撓性即可。此外，在本實(shí)施方式2D中，橡膠薄片516使用3_厚的硅橡膠薄片。
接下來(lái)，說(shuō)明將如上構(gòu)成的過(guò)濾器單元510安裝到箱體220內(nèi)的狀態(tài)。圖18是從側(cè)面看安裝過(guò)濾器單元510之前的箱體220的剖視圖。
箱體220如圖18所示，在箱體220的上壁部220a開口的排氣口 262的開口寬度與上述實(shí)施方式2A相比變窄，另外，在排氣口 262的周緣部設(shè)置的下方延伸部262b的延伸長(zhǎng)度與上述實(shí)施方式2A相比變長(zhǎng)。
由此，將過(guò)濾器單元510安裝到排氣口 262時(shí)，下方延伸部262b將橡膠薄片516 壓彎并插入到過(guò)濾器單元510的空氣導(dǎo)入口部214的內(nèi)部。下面說(shuō)明該狀態(tài)。
在圖18中，過(guò)濾器單元510使其下端部被單元推壓件222的承接部件222a承接而配置在排氣口 262的下方。此時(shí)，承接部件222a處于被可動(dòng)部件222b拉到下方的狀態(tài)， 過(guò)濾器單元510的空氣導(dǎo)入口部214未安裝到排氣口 262。
接下來(lái)，如圖19所示，旋轉(zhuǎn)單元推壓件222的可動(dòng)部件222b的螺絲而將承接部件 222a推到上方后，排氣口 262的下方延伸部262b將橡膠薄片516向下方壓彎并插入到過(guò)濾器單元510的空氣導(dǎo)入口部214的內(nèi)部。此時(shí)，橡膠薄片516被插入到空氣導(dǎo)入口部214 的內(nèi)周部和下方延伸部262b的外周部之間而起到密封材料的作用。
在該狀態(tài)下，過(guò)濾器單元510安裝為使空氣導(dǎo)入口部214與排氣口 262相對(duì)且將墊片215與箱體220的上面的壁部220a抵接。此時(shí)，過(guò)濾器單元510的下端部被承接部件 222a承接并被可動(dòng)部件222b向上方推壓，過(guò)濾器單元510經(jīng)由該空氣導(dǎo)入口部214而通過(guò)墊片215密封地安裝到排氣口 262。
在上述那樣的狀態(tài)下使用的過(guò)濾器單元510使大量化學(xué)藥品等附著到其內(nèi)部空間及HEPA過(guò)濾器212的吸氣面212c上。因此，將該使用完的過(guò)濾器單元510從箱體220 拆下時(shí)，如上所述實(shí)施加濕操作。
此外，在過(guò)濾器單元510中，與上述實(shí)施方式2A不同，不將蓋體216安裝到空氣導(dǎo)入口部214，而是打開箱體220的開關(guān)門221，將向上方推壓過(guò)濾器單元510的可動(dòng)部件 222b的螺絲擰松，將承接部件222a拉到下方從而將過(guò)濾器單元510從排氣口 262拆下。
此時(shí)，被下方延伸部262b向下方壓彎的橡膠薄片516恢復(fù)到封閉空氣導(dǎo)入口部 214的位置。由此，將被化學(xué)物質(zhì)等污染的過(guò)濾器單元510的內(nèi)部密封，內(nèi)部的化學(xué)物質(zhì)等不會(huì)泄漏到外部環(huán)境。
如上述構(gòu)成的本實(shí)施方式2D的過(guò)濾器單元空氣導(dǎo)入口部固定地具備可撓性的橡膠薄片，在這一點(diǎn)上與具備可拆裝的蓋體從而密封過(guò)濾器單元的內(nèi)部的上述實(shí)施方式 2A 實(shí)施方式2C的過(guò)濾器單元不同。該可撓性的橡膠薄片由四張橡膠薄片組成，通常處于封閉空氣導(dǎo)入口部的狀態(tài)，但通過(guò)將這些橡膠薄片壓彎就能夠打開空氣導(dǎo)入口部。
因此，將過(guò)濾器單元安裝到箱體而凈化空氣時(shí)，將該可撓性的橡膠薄片壓彎而打開空氣導(dǎo)入口部。另一方面，從箱體更換使用完的過(guò)濾器單元時(shí)，該可撓性的橡膠薄片恢復(fù)而封閉空氣導(dǎo)入口部。由此，能夠抑制被截留在過(guò)濾器單元的內(nèi)部的化學(xué)物質(zhì)等泄漏到外部環(huán)境。
(空氣潔凈用過(guò)濾器單元的實(shí)施方式2E)
接下來(lái)，說(shuō)明本發(fā)明的過(guò)濾器單元的實(shí)施方式2E。過(guò)濾器單元610與上述實(shí)施方式2A的過(guò)濾器單元210結(jié)構(gòu)相同。但是，在開口于過(guò)濾器單元610的頂板611a的空氣導(dǎo)入口部214的周緣部設(shè)置有環(huán)狀的安裝口部217，其由在周緣部的全周向上方延伸的不銹鋼制金屬板構(gòu)成(參照?qǐng)D20)。
接下來(lái)，說(shuō)明將如上構(gòu)成的過(guò)濾器單元610安裝到箱體220內(nèi)的狀態(tài)。圖21是從側(cè)面看安裝有過(guò)濾器單元610的箱體220的剖視圖。
在與上述實(shí)施方式2A結(jié)構(gòu)相同的箱體220中，過(guò)濾器單元610使空氣導(dǎo)入口部 214與排氣口 262相對(duì)，將安裝口部217沿下方延伸部262b的內(nèi)周部插入排氣口 262，并且將墊片215沿下方延伸部262b的外周部與箱體220的上壁部220a抵接。此時(shí)，過(guò)濾器單元610的下端部被承接部件222a承接并被可動(dòng)部件222b向上方推壓，過(guò)濾器單元610經(jīng)由該空氣導(dǎo)入口部214通過(guò)墊片215密封地安裝到排氣口 262。
另外，更換過(guò)濾器單元610時(shí)，通過(guò)墊片216a將與上述實(shí)施方式2A相同的蓋體 216密封地安裝到在安裝口部217設(shè)置的安裝槽217a。由此，將被化學(xué)物質(zhì)等污染的過(guò)濾器單元610的內(nèi)部密封，內(nèi)部的化學(xué)物質(zhì)等不會(huì)泄漏到外部環(huán)境。
如上構(gòu)成的本實(shí)施方式2E的過(guò)濾器單元在空氣導(dǎo)入口部設(shè)置有由不銹鋼制金屬板構(gòu)成的環(huán)狀的安裝口部，在這一點(diǎn)上與未設(shè)置該安裝口部的上述實(shí)施方式2A 實(shí)施方式2D的過(guò)濾器單元不同。
因此，將過(guò)濾器單元安裝到箱體時(shí)，能夠?qū)⒃摪惭b口部沿下方延伸部的內(nèi)周部插入到排氣口中，過(guò)濾器單元相對(duì)于箱體的安裝穩(wěn)定。另外，由于安裝蓋體的安裝口部的延伸端部延伸至下方延伸部，因而易于進(jìn)行蓋體的安裝。由此，過(guò)濾器單元的更換作業(yè)變得更加簡(jiǎn)單。
如上所述，在上述第2實(shí)施方式中，能夠提供一種具備空氣潔凈用過(guò)濾器單元的隔離裝置，所述空氣潔凈用過(guò)濾器單元應(yīng)對(duì)隔離裝置工作完成后的危險(xiǎn)性，過(guò)濾器更換作業(yè)簡(jiǎn)單且通過(guò)該更換作業(yè)污染外部環(huán)境的危險(xiǎn)性降低，另外，具有簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)且包含制造成本及廢棄成本在內(nèi)的隔離裝置的維護(hù)成本低廉，進(jìn)一步，能夠?qū)嵤┗趻呙铚y(cè)試的完全性檢查從而容易進(jìn)行安全性的確認(rèn)。
此外，實(shí)施本發(fā)明時(shí)，不限于上述各實(shí)施方式，列舉如下的各種變形例。
(I)在上述各實(shí)施方式中，在腔室的前面及背面設(shè)置兩個(gè)隔壁，但在腔室中設(shè)置的隔壁的數(shù)量并不限定于此，可以僅設(shè)置一面，或者，也可以設(shè)置三面、四面。
(2)在上述第I實(shí)施方式中，構(gòu)成整流板的框體的框材使用中空的矩形管，但并不限定于此，代替矩形管可以使用矩形金屬棒等。另外，截面形狀也可以不為矩形。
(3)在上述第I實(shí)施方式中，在構(gòu)成整流板的框體的矩形管開口的貫通口的形狀為橢圓，但并不限定于此，圓形或矩形等任何形狀均可。
(4)在上述第I實(shí)施方式中，在構(gòu)成整流板的框體的矩形管形成貫通口，但并不限定于此，也可以使用上面及底面均由沖孔板構(gòu)成的矩形管。
(5)在上述第I實(shí)施方式中，作為整流板的多孔性薄片，在上面及底面使用絲徑相同、孔徑相同的網(wǎng)紗，但并不限定于此，在上面和底面使用的網(wǎng)紗的絲徑或孔徑也可以不同。此時(shí)，例如，通過(guò)增大底面?zhèn)?粘貼到框材的一側(cè))的網(wǎng)紗的孔徑，能夠使一層的部分與兩層的部分的空氣的通過(guò)阻力的差別更大。另外，代替網(wǎng)紗，多孔性薄片也可以使用具有連通孔的多孔性陶瓷板等。
(6)在上述第I實(shí)施方式中，整流板采用了網(wǎng)紗為一層的部分和兩層的部分的組合，但并不限定于此，也可以采用兩層的部分和三層的部分的組合、或者一層的部分和三層的部分的組合等任意的組合。
(7)在上述各實(shí)施方式中，供氣用及排氣用的過(guò)濾器使用HEPA過(guò)濾器，但并不限定于HEPA過(guò)濾器，根據(jù)在腔室內(nèi)的作業(yè)的使用目的適當(dāng)選擇ULPA過(guò)濾器及其他的高性能過(guò)濾器即可。
(8)在上述第2實(shí)施方式中，過(guò)濾器單元的更換作業(yè)未使用袋進(jìn)袋出法。但并不限定于此，利用簡(jiǎn)略化的袋進(jìn)袋出法是有效的。例如，若在安裝過(guò)濾器單元時(shí)預(yù)先在承接部件的下方安裝袋，則在進(jìn)行加濕操作時(shí)能夠截留清洗水從排氣面的滲漏。另外，在拆下過(guò)濾器單元時(shí)通過(guò)收容在該袋中安全性更加提高。
(9)在上述第2實(shí)施方式中，在停止供氣用鼓風(fēng)機(jī)和排氣用鼓風(fēng)機(jī)的狀態(tài)下更換過(guò)濾器單元。但并不限定于此，例如，可以在排氣用鼓風(fēng)機(jī)工作的狀態(tài)下進(jìn)行更換作業(yè)。此時(shí)，即使在更換作業(yè)中因某種原因?qū)е禄瘜W(xué)物質(zhì)等飛散時(shí)，也能夠通過(guò)排氣用鼓風(fēng)機(jī)的吸氣來(lái)防止化學(xué)物質(zhì)等從箱體內(nèi)泄漏到外部環(huán)境。此時(shí)，在箱體的下游側(cè)安裝其他的過(guò)濾器是有效的。
符號(hào)說(shuō)明
A隔離裝置
B架臺(tái)
C隔離器主體
D作業(yè)者
10、240 腔室
IlaUlb 隔壁
243玻璃隔壁
12,245內(nèi)部空間
12a,245a 中央空間
12b、245b 周邊空間
13、14、242 玻璃窗
15,248手套
18a 18d、262 排氣口
20、250供氣機(jī)構(gòu)
21、251供氣用鼓風(fēng)機(jī)
252供氣用過(guò)濾器
254 吸氣口
22供氣用過(guò)濾器單元
22b、31a、32a、212 HEPA 過(guò)濾:
23、253整流板
24框體
24a 框材
24b、26b 貫通口
25a、25b 網(wǎng)紗
26承接部件
30、260排氣機(jī)構(gòu)
31排氣用一次過(guò)濾器單元
32排氣用二次過(guò)濾器單元
33排氣用鼓風(fēng)機(jī)
210空氣潔凈用過(guò)濾器單元
211 筒體
212a 過(guò)濾器
212b 外框
212c 吸氣面
212d 排氣面
213空氣排出口部
214空氣導(dǎo)入口部
215 墊片
216 蓋體
217 安裝口部
220 箱體
221開關(guān)門
222單元推壓件
222a承接部件
222b可動(dòng)部件
230電氣設(shè)備及機(jī)械室
246作業(yè)用開口部
247輔助開口部
249 管道
415液體密封件
516橡膠薄片。
權(quán)利要求
1.一種隔離裝置，具備作業(yè)室；供氣構(gòu)件，向上述作業(yè)室的內(nèi)部供給從上方朝向下方的單向流的空氣；以及排氣構(gòu)件，從上述作業(yè)室的下方排出上述單向流的空氣，所述隔離裝置的特征在于，具備隔壁，沿上述單向流的空氣與上述作業(yè)室的周壁部平行設(shè)置；和長(zhǎng)條狀的排氣口，在上述隔壁的下端部的下方沿該下端部的寬度方向開口。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的隔離裝置，其特征在于，具備其他隔壁，與其他周壁部平行設(shè)置，所述其他周壁部與上述周壁部相對(duì)；和長(zhǎng)條狀的其他排氣口，在上述其他隔壁的下端部的下方沿該下端部的寬度方向開口。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的隔離裝置，其特征在于，上述排氣口形成于上述作業(yè)室的底壁部，且在上述下端部的正下方開口或比正下方靠向上述作業(yè)室的中央開口。
4.根據(jù)權(quán)利要求I 3的任意一項(xiàng)所述的隔離裝置，其特征在于，上述排氣口相對(duì)于上述隔壁分別由一個(gè)或兩個(gè)以上的開口部構(gòu)成，上述一個(gè)或兩個(gè)以上的開口部的長(zhǎng)度方向的開口長(zhǎng)度的總和相對(duì)于上述下端部的寬度方向的長(zhǎng)度為50% 100%的比例。
5.根據(jù)權(quán)利要求I 4的任意一項(xiàng)所述的隔離裝置，其特征在于，上述供氣構(gòu)件具有形成上述單向流的空氣的整流部件，上述整流部件具備由多根框材構(gòu)成的框體和以覆蓋該框體的上面及底面的方式固定于上述框材的多孔性薄片，上述框材具備從其上面貫通至底面的多個(gè)貫通口，上述多孔性薄片在與上述框材抵接并固定于該框材的部分，僅覆蓋上述貫通口的開口部即上述框材的上面開口部或底面開口部中的任意一個(gè)開口部。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的隔離裝置，其特征在于，上述多孔性薄片為具有連通表里的無(wú)數(shù)個(gè)細(xì)孔的網(wǎng)紗。
7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的隔離裝置，其特征在于，向上述整流部件供給預(yù)定量的空氣時(shí)，在通過(guò)該整流部件而流動(dòng)的空氣中，將在上述上面開口部或上述底面開口部中被上述多孔性薄片覆蓋且該多孔性薄片為一層的部分通過(guò)的空氣的流速設(shè)為VI，將在上述多孔性薄片不與上述框材抵接且該多孔性薄片為兩層的部分通過(guò)的空氣的流速設(shè)為V2時(shí)，以使上述多孔性薄片所覆蓋的上述開口部相對(duì)于上述框材的上面或底面的面積的開口率X(%)由下式表示的方式在上述框材開口上述貫通口 X=(V2/V1) X100。
8.根據(jù)權(quán)利要求I 3的任意一項(xiàng)所述的隔離裝置，其特征在于，上述排氣構(gòu)件具備空氣潔凈用過(guò)濾器單元，所述空氣潔凈用過(guò)濾器單元安裝為能夠相對(duì)于從上述長(zhǎng)條狀的排氣口排出的上述單向流的空氣的流路拆裝，上述空氣潔凈用過(guò)濾器單元具備矩形筒體，具有第I壁部和第2壁部，其中，所述第I壁部設(shè)置有用于導(dǎo)入空氣的長(zhǎng)條狀的空氣導(dǎo)入口部，所述第2壁部形成為與上述第I壁部交叉，并設(shè)置有用于排出從上述空氣導(dǎo)入口部導(dǎo)入的空氣的空氣排出口部；和過(guò)濾器部件，以構(gòu)成上述空氣排出口部的外壁面的方式設(shè)置于該空氣排出口部，用于過(guò)濾上述導(dǎo)入的空氣，該空氣潔凈用過(guò)濾器單元以使上述空氣導(dǎo)入口部與上述排氣口相對(duì)的方式安裝到上述作業(yè)室的外部。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的隔離裝置，其特征在于，上述空氣潔凈用過(guò)濾器單元具備其他過(guò)濾器部件，上述筒體具有第3壁部，所述第3壁部形成為與上述第2壁部相對(duì)，并設(shè)置有用于排出上述導(dǎo)入空氣的其他空氣排出口部，上述其他過(guò)濾器部件在其排氣面以構(gòu)成上述其他空氣排出口部的外壁面的方式設(shè)置于該其他空氣排出口部，將上述過(guò)濾的空氣排出。
10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的隔離裝置，其特征在于，上述空氣潔凈用過(guò)濾器單元具備封閉上述空氣導(dǎo)入口部的能夠拆裝的蓋體；和墊片，氣密性地安裝于該蓋體的外周緣部與上述空氣導(dǎo)入口部的內(nèi)周緣部之間。
11.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的隔離裝置，其特征在于，上述空氣潔凈用過(guò)濾器單元具備開關(guān)部件，所述開關(guān)部件具有從上述空氣導(dǎo)入口部的外周緣部向內(nèi)側(cè)延伸且能夠開關(guān)地封閉該空氣導(dǎo)入口部的多張可撓性薄片。
全文摘要
提供一種應(yīng)對(duì)隔離裝置工作時(shí)的危險(xiǎn)性、具有簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)而能夠確保高安全性的隔離裝置。還提供一種具有空氣潔凈用過(guò)濾器單元的隔離裝置，該空氣潔凈用過(guò)濾器單元應(yīng)對(duì)隔離裝置工作完成后的危險(xiǎn)性，過(guò)濾器更換作業(yè)簡(jiǎn)單且通過(guò)該更換作業(yè)污染外部環(huán)境的危險(xiǎn)性降低，維護(hù)成本低廉。[解決手段]具備作業(yè)室；供氣構(gòu)件，向作業(yè)室的內(nèi)部供給從上方朝向下方的單向流的空氣；以及排氣構(gòu)件，從作業(yè)室的下方排出單向流的空氣，還具備隔壁，沿上述單向流的空氣與作業(yè)室的周壁部平行設(shè)置；和長(zhǎng)條狀的排氣口，在隔壁的下端部的下方沿該下端部的寬度方向開口。在該排氣口，將空氣潔凈用過(guò)濾器單元以使其空氣導(dǎo)入口部與上述排氣口相對(duì)的方式安裝于作業(yè)室的外部。
文檔編號(hào)F24F7/06GK102946970SQ201180030159
公開日2013年2月27日 申請(qǐng)日期2011年6月10日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月18日
發(fā)明者川崎康司, 宮本實(shí), 戶田俊永 申請(qǐng)人:株式會(huì)社愛瑞思