專利名稱：一種快速高溫退火爐的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種快速高溫退火爐。
背景技術：
在新型材料研究及薄膜生長中，快速退火是提高材料性能的一個至關重要的環(huán)節(jié)。目前的退火爐技術存在的技術問題有1.由于依靠循環(huán)水冷卻腔體，且用大功率加熱元件升溫，加熱功率基本由循環(huán)冷卻水吸收而損耗掉，造成了能源不必要的流失；2.金屬腔體加上金屬的表面處理的加熱腔使之制造耗費材料也很大，該產品高昂價格與大量的耗電量使得很多在新型材料領域做研究的人望而止步。

實用新型內容本實用新型的目的在于克服上述現(xiàn)有技術的不足，提供一種高效高性價比的快速高溫退火爐。本實用新型提供的快速高溫退火爐包括上保溫腔體、下保溫腔體，所述上保溫腔體、下保溫腔體一側通過鉸鏈連接；上保溫腔體、下保溫腔體內分別設有保溫纖維材料及加熱元件，裝有試樣的石英腔體安裝在上保溫腔體、下保溫腔體的加熱元件之間；所述石英腔體一端通過抽氣端密封法蘭連接在真空泵上、另一端通過進氣端密封法蘭連接在試驗氣氛上。優(yōu)選地，所述石英腔體抽氣端設有石英磨砂擋板。優(yōu)選地，所述石英腔體內設有與試樣平行設置的熱電偶。優(yōu)選地，所述石英腔體內設有試樣載物架，抽氣端密封法蘭外側連接有載物活動架。本實用新例的工作腔未采用金屬元器件，而是采用了耐極高溫度的保溫纖維和石英材料，保溫材料防止熱量遺失提高熱量使用率，考慮到降溫的速率該實用新型采用開啟式，在降溫時可使保溫材料敞開化，使工作腔體暴露，使得降溫速度得到保證，實現(xiàn)了加溫節(jié)能，降溫迅速的功能，其次保溫材料和石英腔體的成本遠低于以往的金屬鍍金的水冷腔體，降低其造價。

圖1是本實用新型的結構示意圖。圖2是本實用新型升溫狀態(tài)側視圖。圖3是本實用新型降溫狀態(tài)側視圖。
具體實施方式
以下結合具體實施例，對本實用新型做進一步說明。應理解，以下實施例僅用于說明本實用新型而非用于限制本實用新型的范圍。[0013]實施例1參見圖1及圖2，本實用新型提供的快速高溫退火爐包括上保溫腔體1、下保溫腔體2，所述上保溫腔體1、下保溫腔體2 —側通過鉸鏈連接；上保溫腔體1、下保溫腔體2內分別設有保溫纖維材料3及加熱元件4，裝有試樣5的石英腔體6安裝在上保溫腔體1、下保溫腔體2的加熱元件之間；參見圖1，所述石英腔體6 —端通過抽氣端密封法蘭7連接在真空泵上、另一端通過進氣端密封法蘭8連接在試驗氣氛9上。優(yōu)選地，所述石英腔體6抽氣端設有石英磨砂擋板10。優(yōu)選地，所述石英腔體6內設有與試樣5平行設置的熱電偶11。優(yōu)選地，所述石英腔體6內設有試樣載物架12，抽氣端密封法蘭7外側連接有載物活動架13。實施例2使用時，當處于升溫狀態(tài)(參見圖幻，上下保溫腔體閉合，由保溫纖維材料與加熱元件形成密閉的加熱腔體以提供有別以往快速高溫退火爐的無損失加熱良好的升溫環(huán)境，再由與試樣5處于同一位置的熱電偶11進行實時溫度監(jiān)控，保證溫度的精確性。試樣可放置于石英腔體6內的試樣載物架12上，石英腔體6的兩端通過抽氣端密封法蘭7和進氣端密封法蘭8進行密封，以完成石英腔體6內絕對的潔凈，真空和要求氣氛環(huán)境，進氣端密封法蘭 8由進氣管輸入氣體已達到各種氣氛環(huán)境，抽氣端密封法蘭7可以輸出氣體以達到真空環(huán)境。當處于降溫狀態(tài)(參見圖3)，將密閉保溫環(huán)境開放，將上保溫腔體1打開，將石英腔體6暴露于常溫狀態(tài)，以此達到快速降溫狀態(tài)，在此降溫狀態(tài)下，由于石英的透明性，可以無需破壞試樣所處環(huán)境直接觀測試樣的試驗情況，優(yōu)越向以往的快速高溫退火爐想觀測時，必須將試樣取出的方式。
權利要求1.一種快速高溫退火爐，其特征在于包括上保溫腔體、下保溫腔體，所述上保溫腔體、下保溫腔體一側通過鉸鏈連接；上保溫腔體、下保溫腔體內分別設有保溫纖維材料及加熱元件，裝有試樣的石英腔體安裝在上保溫腔體、下保溫腔體的加熱元件之間；所述石英腔體一端通過抽氣端密封法蘭連接在真空泵上、另一端通過進氣端密封法蘭連接在試驗氣氛上。
2.根據(jù)權利要求1所述的快速高溫退火爐，其特征在于所述石英腔體抽氣端設有石英磨砂擋板。
3.根據(jù)權利要求1所述的快速高溫退火爐，其特征在于所述石英腔體內設有與試樣平行設置的熱電偶。
4.根據(jù)權利要求1所述的快速高溫退火爐，其特征在于所述石英腔體內設有試樣載物架，抽氣端密封法蘭外側連接有載物活動架。
專利摘要本實用新型公開了一種快速高溫退火爐，快速高溫退火爐包括上保溫腔體、下保溫腔體，所述上保溫腔體、下保溫腔體一側通過鉸鏈連接；上保溫腔體、下保溫腔體內分別設有保溫纖維材料及加熱元件，裝有試樣的石英腔體安裝在上保溫腔體、下保溫腔體的加熱元件之間；所述石英腔體一端通過抽氣端密封法蘭連接在真空泵上、另一端通過進氣端密封法蘭連接在試驗氣氛上。本實用新型在工作過程中可防止熱量遺失提高熱量使用率，采用開啟式設計使得降溫速度得到保證，實現(xiàn)了加溫節(jié)能，降溫迅速的功能，其次保溫材料和石英腔體的成本遠低于以往的金屬鍍金的水冷腔體，降低其造價。
文檔編號F27B17/02GK202024603SQ201120077168
公開日2011年11月2日 申請日期2011年3月22日 優(yōu)先權日2011年3月22日
發(fā)明者王偉, 邾根祥 申請人:合肥科晶材料技術有限公司