專利名稱:濕度調(diào)節(jié)系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種濕度調(diào)節(jié)系統(tǒng),特別是一種適用于無塵室中的濕度調(diào)節(jié)系統(tǒng)。
背景技術(shù):
在高科技產(chǎn)業(yè)中,由于對(duì)產(chǎn)品的精密程度要求極高,因此必須在無塵、無污染且恒溫恒濕的無塵室環(huán)境中進(jìn)行產(chǎn)品制造及加工等作業(yè),以確保產(chǎn)品的品質(zhì)。圖1為現(xiàn)有技術(shù)的一種無塵室的溫濕度調(diào)節(jié)系統(tǒng)的配置示意圖。請(qǐng)參照?qǐng)D1,現(xiàn)有技術(shù)的無塵室100是利用外氣空調(diào)裝置102來控制進(jìn)入無塵室100內(nèi)的氣體的溫度及濕度。詳細(xì)來說,外氣空調(diào)裝置102具有入風(fēng)單元101以及出風(fēng)單元103,并包括濾網(wǎng)110、溫度調(diào)節(jié)單元120、加濕單元130、溫度調(diào)節(jié)單元140、送風(fēng)單元150以及濾網(wǎng)160。當(dāng)外界氣體由入風(fēng)單元101進(jìn)入外氣空調(diào)裝置102內(nèi)后,會(huì)先經(jīng)由濾網(wǎng)110初步過濾雜質(zhì),并通過溫度調(diào)節(jié)單元120將通過過濾單元110的氣體預(yù)冷卻或預(yù)加熱,再利用加濕單元130所噴灑出的水霧提高氣體的濕度。由于在加濕過程中氣體的溫度會(huì)微幅降低,因此在進(jìn)行加濕后需再通過溫度調(diào)節(jié)單元140對(duì)氣體進(jìn)行加熱,以使氣體達(dá)到目標(biāo)溫度,然后再通過送風(fēng)單元150將此氣體g往出風(fēng)單元103送,使氣體g在通過濾網(wǎng)160后,可經(jīng)由出風(fēng)單元103輸送至無塵室100內(nèi)。由上述可知,現(xiàn)有技術(shù)需利用外氣空調(diào)裝置102對(duì)欲輸送無塵室內(nèi)的氣體進(jìn)行二次加熱,以使氣體達(dá)預(yù)定的溫度及濕度。然而,此種做法的耗能需求量大,不但增加工藝成本,亦難以符合現(xiàn)今節(jié)能環(huán)保的趨勢。而且,無塵室100內(nèi)各個(gè)不同主機(jī)臺(tái)工作區(qū)104的環(huán)境溫度及濕度均是通過外氣空調(diào)裝置102來控制,并無法針對(duì)具有特殊需求的主機(jī)臺(tái)工作區(qū)104進(jìn)行特定的溫/濕度調(diào)整。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種濕度調(diào)節(jié)系統(tǒng),以節(jié)省維護(hù)無塵室的耗能費(fèi)用,并提高其使用彈性。為了實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提供了一種濕度調(diào)節(jié)系統(tǒng),適用于無塵室中,此無塵室包括多個(gè)主機(jī)臺(tái)工作區(qū)與大體環(huán)繞這些主機(jī)臺(tái)工作區(qū)的外圍區(qū)。各主機(jī)臺(tái)工作區(qū)分別通過其氣體入口與氣體出口通道連通至外圍區(qū)。此濕度調(diào)節(jié)系統(tǒng)包括外氣空調(diào)裝置、多個(gè)噴霧裝置以及多個(gè)第一溫度/濕度感測器,其中外氣空調(diào)裝置包括入風(fēng)單元、送風(fēng)單元以及溫度調(diào)節(jié)單元。溫度調(diào)節(jié)單元是配置于入風(fēng)單元與送風(fēng)單元之間而與其相鄰。流入外氣空調(diào)裝置的外界氣體是依序通過入風(fēng)單元、溫度調(diào)節(jié)單元以及送風(fēng)單元,以通過送風(fēng)單元將其供應(yīng)至各主機(jī)臺(tái)工作區(qū)內(nèi)。噴霧裝置配置于無塵室的外圍區(qū)而鄰近各主機(jī)臺(tái)工作區(qū)的氣體出口通道,用以提供水霧,以對(duì)自主機(jī)臺(tái)工作區(qū)流向外圍區(qū)的氣體進(jìn)行降溫及加濕。這些第一溫度/濕度感測器則是分別設(shè)置于外圍區(qū)且鄰近氣體入口。上述的濕度調(diào)節(jié)系統(tǒng)還包括多個(gè)冷卻裝置,配置于外圍區(qū)而相對(duì)噴霧裝置鄰近各主機(jī)臺(tái)工作區(qū)的氣體出口通道,用以降溫自主機(jī)臺(tái)工作區(qū)流向外圍區(qū)的氣體。上述的濕度調(diào)節(jié)系統(tǒng),外氣空調(diào)裝置配置于無塵室外,并通過氣體通道連接至外 圍區(qū)。上述的濕度調(diào)節(jié)系統(tǒng),外氣空調(diào)裝置配置于外圍區(qū)內(nèi)。上述的濕度調(diào)節(jié)系統(tǒng),還包括多個(gè)第二溫/濕度感測器,分別設(shè)置于無塵室的各 主機(jī)臺(tái)工作區(qū)內(nèi)且鄰近各氣體入口。上述的濕度調(diào)節(jié)系統(tǒng),噴霧裝置的工作壓力介于7bar至IOObar。上述的濕度調(diào)節(jié)系統(tǒng),水霧的顆粒粒徑介于40微米至50微米。上述的濕度調(diào)節(jié)系統(tǒng),送風(fēng)單元包括風(fēng)車及濾網(wǎng),其中上述外界氣體在通過送風(fēng) 單元時(shí),依序通過風(fēng)車與濾網(wǎng)。上述濕度調(diào)節(jié)系統(tǒng),這些第一溫度/濕度感測器分別設(shè)置于外界氣體通過送風(fēng)單 元后且未進(jìn)入主機(jī)臺(tái)工作區(qū)之前的路徑上。上述的濕度調(diào)節(jié)系統(tǒng),入風(fēng)單元包括至少一個(gè)濾網(wǎng)。本發(fā)明的技術(shù)效果在于本發(fā)明是在無塵室的外圍區(qū)內(nèi)設(shè)置噴霧裝置,以對(duì)機(jī)臺(tái) 在工作中所產(chǎn)生的高溫氣體進(jìn)行等焓加濕,因而無須耗費(fèi)額外的能量來對(duì)氣體進(jìn)行加濕前 的加熱。而且由于各個(gè)主機(jī)臺(tái)工作區(qū)旁的回風(fēng)道均有配置對(duì)應(yīng)的噴霧裝置及溫度/濕度感 測器,因此可針對(duì)各主機(jī)臺(tái)工作區(qū)的環(huán)境需求來調(diào)整自回風(fēng)道流入主機(jī)臺(tái)工作區(qū)的氣體的 濕度,進(jìn)而提升無塵室內(nèi)的工藝彈性。以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)描述,但不作為對(duì)本發(fā)明的限定。
圖1為現(xiàn)有技術(shù)一種無塵室的溫濕度調(diào)節(jié)系統(tǒng)的配置示意圖;圖2為本發(fā)明一實(shí)施例的一種濕度調(diào)節(jié)系統(tǒng)的配置示意圖;圖3為本發(fā)明另一實(shí)施例的一種濕度調(diào)節(jié)系統(tǒng)的配置示意圖。其中,附圖標(biāo)記100、300 無塵室
102、250外氣空調(diào)裝置
150、255 送風(fēng)單元
110、160、251、256 濾網(wǎng)
130加濕單元
210噴霧裝置
230第一溫/濕度感測器
254風(fēng)車
314氣體出口通道
322回風(fēng)道
324過濾室
402氣體通道
101、251 入風(fēng)單元
103出風(fēng)單元
104、310 主機(jī)臺(tái)工作區(qū)
120、140、253 溫度調(diào)節(jié)單元
200濕度調(diào)節(jié)系統(tǒng)
220冷卻裝置
240第二溫/濕度感測器
312氣體入口
320外圍區(qū)
323風(fēng)車濾網(wǎng)組
326回風(fēng)收集室
A、g、O氣體
I外界氣體
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的結(jié)構(gòu)原理和工作原理作具體的描述圖2是本發(fā)明一實(shí)施例的一種濕度調(diào)節(jié)系統(tǒng)的配置示意圖。請(qǐng)參照?qǐng)D2,濕度調(diào)節(jié)系統(tǒng)200適用于無塵室300中,且無塵室300包括多個(gè)主機(jī)臺(tái)工作區(qū)310與外圍區(qū)320,其中外圍區(qū)320環(huán)繞這些主機(jī)臺(tái)工作區(qū)310,而各主機(jī)臺(tái)工作區(qū)310分別具有風(fēng)車濾網(wǎng)組323 所供應(yīng)無塵室300的氣體入口 312與氣體出口通道314,并通過氣體入口 312與氣體出口通道314連通至外圍區(qū)320。具體來說,主機(jī)臺(tái)工作區(qū)310為工藝機(jī)臺(tái)所放置的區(qū)域,相關(guān)人員也是在主機(jī)臺(tái)工作區(qū)310內(nèi)操作機(jī)臺(tái)以進(jìn)行工作。外圍區(qū)320則是包括回風(fēng)道322、過濾室324以及回風(fēng)收集室326。過濾室3 位于主機(jī)臺(tái)工作區(qū)310上方,并通過氣體入口 312連通至主機(jī)臺(tái)工作區(qū)310。過濾室324內(nèi)可設(shè)有多個(gè)風(fēng)車濾網(wǎng)組323,其中各風(fēng)車濾網(wǎng)組323分別對(duì)應(yīng)至一個(gè)氣體入口 312,用以過濾外界氣體I并將其引入主機(jī)臺(tái)工作區(qū)310內(nèi)。承上述,回風(fēng)收集室3 位于主機(jī)臺(tái)工作區(qū)310下方,并通過氣體出口通道314連通至主機(jī)臺(tái)工作區(qū)310,氣體出口通道314舉例可為一個(gè)或多個(gè),在此并不局限。回風(fēng)道322 則位在主機(jī)臺(tái)工作區(qū)310的側(cè)邊,并連通于過濾室3M與回風(fēng)收集室3 之間。據(jù)此,在主機(jī)臺(tái)工作區(qū)310內(nèi)的氣體A可將污染物從氣體出口通道314攜帶至回風(fēng)收集室326,再經(jīng)由回風(fēng)道322回流至過濾室324,以通過風(fēng)車濾網(wǎng)組323將污染物濾除,進(jìn)而維持主機(jī)臺(tái)工作區(qū)310內(nèi)的潔凈度。濕度調(diào)節(jié)系統(tǒng)200包括噴霧裝置210、第一溫/濕度感測器230以及外氣空調(diào)裝置 250,其中外氣空調(diào)裝置250包括入風(fēng)單元251、溫度調(diào)節(jié)單元253以及送風(fēng)單元255。在本實(shí)施例中,外氣空調(diào)裝置250是配置于無塵室300的外圍區(qū)320的過濾室324內(nèi)。在另一實(shí)施例中,如圖3所示,外氣空調(diào)裝置250也可以配置于無塵室300外,并通過氣體通道402連通至外圍區(qū)320的過濾室324。請(qǐng)參照?qǐng)D2及圖3,溫度調(diào)節(jié)單元253是與入風(fēng)單元251及送風(fēng)單元255相鄰并位于兩者之間,因此當(dāng)外界氣體I經(jīng)由入風(fēng)單元251進(jìn)入后,外氣空調(diào)裝置250是先通過溫度調(diào)節(jié)單元253將外界氣體I的溫度調(diào)整至與無塵室300中所需的環(huán)境溫度相同或相近,之后再通過送風(fēng)單元255將具有適當(dāng)溫度的外界氣體I送至無塵室300內(nèi),以使其經(jīng)由氣體入口 312流入各主機(jī)臺(tái)工作區(qū)310內(nèi)。具體來說,本實(shí)施例的入風(fēng)單元251例如是由一或多個(gè)濾網(wǎng)所構(gòu)成。溫度調(diào)節(jié)單元253可以包括預(yù)冷盤管及預(yù)熱盤管至少其中一種,以便于依據(jù)外界氣體I的溫度,視欲對(duì)外界氣體I加熱或降溫來決定需開啟預(yù)冷盤管或預(yù)熱盤管。送風(fēng)單元255例如是包括風(fēng)車 2M與濾網(wǎng)256,且風(fēng)車邪4相較濾網(wǎng)256鄰近溫度調(diào)節(jié)單元253。也就是說,外界氣體I在通過溫度調(diào)節(jié)單元253之后,通過風(fēng)車2M將其往濾網(wǎng)256方向吹,以便于在再次過濾外界氣體I后,將其送至無塵室300內(nèi)。噴霧裝置210是配置于無塵室300的外圍區(qū)320內(nèi)而鄰近氣體出口通道314,用以提供水霧,以對(duì)自主機(jī)臺(tái)工作區(qū)310流向外圍區(qū)320的氣體0進(jìn)行降溫及加濕。在本實(shí)施例中,噴霧裝置210例如是配置于回風(fēng)道322內(nèi),但本發(fā)明不限于此。在其他實(shí)施例中,噴霧裝置210也可以因應(yīng)實(shí)際需求而配置于過濾室3 或回風(fēng)收集室326內(nèi)。值得一提的是,粒徑愈小的水珠愈容易被蒸發(fā),因此本實(shí)施例的噴霧裝置210例如是以7bar至lOObar,且較佳為70bar的高壓噴灑出粒徑介于40微米至50微米的水霧, 以便于迅速提高氣體的濕度。另外,噴霧裝置210的噴嘴例如是斜上朝主機(jī)臺(tái)工作區(qū)310 而與水平面夾一銳角。在本實(shí)施例中,此銳角例如是70度。由圖2可知,外界氣體I進(jìn)入無塵室300后,會(huì)先經(jīng)過過濾室324內(nèi)的風(fēng)車濾網(wǎng)組 323將外界氣體I所攜帶的污染物濾除,并通過氣體入口 312將其輸送至主機(jī)臺(tái)工作區(qū)310 內(nèi)。之后,由于設(shè)置在主機(jī)臺(tái)工作區(qū)310內(nèi)的工作機(jī)臺(tái)(未繪示)在運(yùn)作時(shí)會(huì)產(chǎn)生熱能而使主機(jī)臺(tái)工作區(qū)310內(nèi)的氣體A溫度上升,因此當(dāng)氣體A從主機(jī)臺(tái)工作區(qū)310通過氣體出口 314流至外圍區(qū)320時(shí),可先通過配置于外圍區(qū)320而相對(duì)噴霧裝置210鄰近氣體出口 314的冷卻裝置220作溫度控制,再通過噴霧裝置210對(duì)經(jīng)由冷卻裝置220調(diào)節(jié)溫度后的氣體0進(jìn)行等焓加濕,一方面可使氣體0達(dá)到目標(biāo)濕度,另一方面亦可降低冷卻裝置220所使用的冰水用量,達(dá)到節(jié)能的目的。第一溫/濕度感測器230是配置于各外圍區(qū)320內(nèi)而鄰近氣體入口 312,用以感測流入主機(jī)臺(tái)工作區(qū)310的氣體A的溫/濕度。詳細(xì)來說,這些第一溫/濕度感測器230例如是配置于外界氣體I通過送風(fēng)單元255后且未進(jìn)入主機(jī)臺(tái)工作區(qū)310之前的路徑上。特別的是,本實(shí)施例的濕度調(diào)節(jié)系統(tǒng)200還可以包括多個(gè)第二溫/濕度感測器M0,分別設(shè)置于無塵室300的各主機(jī)臺(tái)工作區(qū)310內(nèi)且鄰近各氣體入口 312。具體來說,冷卻裝置220與噴霧裝置210的比例調(diào)整是依據(jù)第一溫/濕度感測器 230及第二溫/濕度感測器240所測得的數(shù)據(jù)來決定。舉例來說,冷卻裝置220的比例調(diào)整視第二溫/濕度感測器240的氣體溫度與目標(biāo)溫度之間的差值來做調(diào)整,而噴霧裝置210 的比例調(diào)整依及第一溫/濕度感測器230所測得的氣體濕度與目標(biāo)濕度之間的差值來做調(diào)離
自主機(jī)臺(tái)工作區(qū)310所流出的氣體0在經(jīng)過冷卻裝置220對(duì)其進(jìn)行降溫冷卻,并經(jīng)由噴霧裝置210對(duì)其進(jìn)行加濕之后,會(huì)經(jīng)由回風(fēng)道322回流至過濾室324,然后再經(jīng)由氣體入口 312流至主機(jī)臺(tái)工作區(qū)310內(nèi),進(jìn)而使主機(jī)臺(tái)工作區(qū)310內(nèi)具有恒溫恒濕的環(huán)境氣體A。而且,由于各主機(jī)臺(tái)工作區(qū)310均對(duì)應(yīng)設(shè)置有一組噴霧裝置210、第一溫/濕度感測器230及第二溫/濕度感測器M0,因而可視各主機(jī)臺(tái)工作區(qū)310所需的濕度來調(diào)整噴霧裝置210的輸出水量,以對(duì)氣體0進(jìn)行適當(dāng)程度的降溫及加濕。綜上所述,本發(fā)明的濕度調(diào)節(jié)系統(tǒng)是在無塵室的外圍區(qū)內(nèi)設(shè)置噴霧裝置,以對(duì)機(jī)臺(tái)在工藝中所產(chǎn)生的高溫氣體進(jìn)行等焓加濕,因而無須在外氣空調(diào)裝置中設(shè)置多組加熱裝置來對(duì)氣體進(jìn)行加濕前的加熱,以降低耗能。而且,還可在提高氣體的濕度的同時(shí),亦消耗掉機(jī)臺(tái)所產(chǎn)生的熱能。之后,并利用等焓加濕后的氣體來維持無塵室的主機(jī)臺(tái)工作區(qū)的恒溫恒濕。由此可知,與現(xiàn)有技術(shù)需對(duì)氣體進(jìn)行二次加熱的方法相比,本發(fā)明可有效降低無塵室的運(yùn)轉(zhuǎn)成本,符合現(xiàn)今節(jié)能環(huán)保的趨勢。而且,由于外氣空調(diào)裝置內(nèi)無須設(shè)置加濕設(shè)備, 因此可縮小外氣空調(diào)裝置的體積,以節(jié)省空間。此外,本發(fā)明還可以個(gè)別依據(jù)各主機(jī)臺(tái)工作區(qū)的環(huán)境條件的需求,調(diào)整配置于各主機(jī)臺(tái)工作區(qū)旁的噴霧裝置的輸出水量,以提供不同溫度/濕度的氣體至各主機(jī)臺(tái)工作區(qū)內(nèi)。當(dāng)然,本發(fā)明還可有其它多種實(shí)施例,在不背離本發(fā)明精神及其實(shí)質(zhì)的情況下,熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員當(dāng)可根據(jù)本發(fā)明作出各種相應(yīng)的改變和變形,但這些相應(yīng)的改變和變形都應(yīng)屬于本發(fā)明所附的權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種濕度調(diào)節(jié)系統(tǒng),適用于一無塵室,其特征在于,該無塵室包括多個(gè)主機(jī)臺(tái)工作區(qū)與一外圍區(qū),該外圍區(qū)環(huán)繞該些主機(jī)臺(tái)工作區(qū),且各該主機(jī)臺(tái)工作區(qū)具有一氣體入口與一氣體出口通道,并且各該主機(jī)臺(tái)工作區(qū)通過該氣體入口與該氣體出口通道連通至該外圍區(qū),而該濕度調(diào)節(jié)系統(tǒng)包括一外氣空調(diào)裝置,包括 一入風(fēng)單元,適于供一外界氣體流入;一送風(fēng)單元,適于將該外界氣體送至該外圍區(qū),以使該外界氣體通過該些氣體入口流入各該主機(jī)臺(tái)工作區(qū)內(nèi);一溫度調(diào)節(jié)單元,與該入風(fēng)單元及該送風(fēng)單元相鄰而配置于其間,以使該外界氣體在通過該入風(fēng)單元后,接著直接通過該溫度調(diào)節(jié)單元,并且在通過該溫度調(diào)節(jié)單元后,再接著直接通過該送風(fēng)單元;多個(gè)噴霧裝置,分別配置于該外圍區(qū)而鄰近各該主機(jī)臺(tái)工作區(qū)的該氣體出口通道,各該噴霧裝置適于提供一水霧,以對(duì)自其所對(duì)應(yīng)的該主機(jī)臺(tái)工作區(qū)流向該外圍區(qū)的一氣體進(jìn)行降溫及加濕;以及多個(gè)第一溫度/濕度感測器分別設(shè)置于外圍區(qū)且鄰近各該氣體入口。
2.如權(quán)利要求1所述的濕度調(diào)節(jié)系統(tǒng),其特征在于,還包括多個(gè)冷卻裝置,配置于該外圍區(qū)而相對(duì)各該噴霧裝置鄰近各該主機(jī)臺(tái)工作區(qū)的該氣體出口通道,用以降溫該氣體。
3.如權(quán)利要求1所述的濕度調(diào)節(jié)系統(tǒng),其特征在于,該外氣空調(diào)裝置配置于該無塵室外,并通過一氣體通道連接至該外圍區(qū)。
4.如權(quán)利要求1所述的濕度調(diào)節(jié)系統(tǒng),其特征在于,該外氣空調(diào)裝置配置于該外圍區(qū)內(nèi)。
5.如權(quán)利要求1所述的濕度調(diào)節(jié)系統(tǒng),其特征在于,還包括多個(gè)第二溫度/濕度感測器,分別設(shè)置于該無塵室的各該主機(jī)臺(tái)工作區(qū)內(nèi)且鄰近各該氣體入口。
6.如權(quán)利要求1所述的濕度調(diào)節(jié)系統(tǒng),其特征在于,各該噴霧裝置的工作壓力介于 7bar M IOObar0
7.如權(quán)利要求1所述的濕度調(diào)節(jié)系統(tǒng),其特征在于,該水霧的顆粒粒徑介于40至50微米。
8.如權(quán)利要求1所述的濕度調(diào)節(jié)系統(tǒng),其特征在于,該送風(fēng)單元包括一風(fēng)車及一濾網(wǎng), 其中該外界氣體在通過該送風(fēng)單元時(shí),依序通過該風(fēng)車與該濾網(wǎng)。
9.如權(quán)利要求1所述的濕度調(diào)節(jié)系統(tǒng),其特征在于,該些第一溫度/濕度感測器分別設(shè)置于該外界氣體通過該送風(fēng)單元后且未進(jìn)入該些主機(jī)臺(tái)工作區(qū)之前的路徑上。
10.如權(quán)利要求1所述的濕度調(diào)節(jié)系統(tǒng),其特征在于,該入風(fēng)單元包括至少一濾網(wǎng)。
全文摘要
一種濕度調(diào)節(jié)系統(tǒng),適用于無塵室中。此濕度調(diào)節(jié)系統(tǒng)包括外氣空調(diào)裝置、多個(gè)噴霧裝置以及多個(gè)溫度/濕度感測器。外氣空調(diào)裝置包括入風(fēng)單元、送風(fēng)單元以及溫度調(diào)節(jié)單元。流入外氣空調(diào)裝置的外界氣體會(huì)依序通過入風(fēng)單元、溫度調(diào)節(jié)單元以及送風(fēng)單元,再供應(yīng)至無塵室的各主機(jī)臺(tái)工作區(qū)內(nèi)。噴霧裝置配置于無塵室的外圍區(qū)而鄰近各主機(jī)臺(tái)工作區(qū)的氣體出口通道,用以提供水霧,以對(duì)自主機(jī)臺(tái)工作區(qū)流向外圍區(qū)的氣體進(jìn)行降溫及加濕。溫度/濕度感測器則是設(shè)置于外圍區(qū),用以感測自噴霧裝置加濕后供應(yīng)主機(jī)臺(tái)工作區(qū)流出的氣體的溫度/濕度狀態(tài)。
文檔編號(hào)F24F5/00GK102444946SQ20111040228
公開日2012年5月9日 申請(qǐng)日期2011年11月30日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月18日
發(fā)明者郭育廷 申請(qǐng)人:友達(dá)光電股份有限公司