專(zhuān)利名稱：廢氣凈化裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種廢氣凈化裝置，尤其是凈化化學(xué)氣相沉積、等離子酸洗或類(lèi)似過(guò)程產(chǎn)生的廢氣凈化裝置，帶有至少一個(gè)垂直設(shè)置在一外管內(nèi)的燃燒室，該燃燒室的上端由-傘形蓋件限界，并帶有一個(gè)內(nèi)混合或外混合的燃燒器，燃燒器的燃?xì)鈬娮焐烊肴紵覂?nèi)，其中間燃燒器輸送燃?xì)?、氧氣或空氣和廢氣，以有帶有將氧化劑和/或吸附劑輸送給燃燒室外的洗滌室內(nèi)的器件。
通常這類(lèi)廢氣的凈化分兩步進(jìn)行，其中對(duì)廢氣首先進(jìn)行燃燒并接著通過(guò)洗滌凈化。在此是利用氣體驅(qū)動(dòng)的燃燒器在-燃燒室內(nèi)實(shí)現(xiàn)廢氣燃燒或氧化的。
在EP 0348 893 B1中記載了這樣一種凈化廢氣的裝置，該裝置由一向下基本閉合的并且在上端開(kāi)放的、帶有圓形截面的基體構(gòu)成。該基體由一圓筒狀外壁和一與外壁同心設(shè)置的內(nèi)壁構(gòu)成，該內(nèi)壁對(duì)燃燒室限界。一個(gè)用于燃燒與燃?xì)庖黄疠斔徒o燃燒用的廢氣的燃燒器伸入該基體的燃燒室內(nèi)。該燃燒室的上端由一防噴濺保護(hù)件限界，在防噴濺保護(hù)件的上方有一洗滌或沖洗室。在該沖洗室有一同心設(shè)置的噴嘴，利用此噴嘴產(chǎn)生沖洗劑的霧錐，利用該霧錐將經(jīng)燃燒的廢氣中的氣溶膠和固體成分沖洗出。采用該防噴濺保護(hù)件防止了沖洗劑噴入燃燒室并隨之噴到燃燒器上或火焰中。
沖洗出的殘?jiān)c沖洗劑一起沿圓筒狀的外壁的內(nèi)側(cè)向下輸送并經(jīng)一在基體上的排出口被排出。
該廢氣凈化裝置的缺點(diǎn)在于，裝置的凈化過(guò)程的代價(jià)過(guò)高并且清洗燃燒室特別困難。另外幾乎不能避免燃?xì)鈬娮旌蛷U氣噴嘴的污染，因而為保證可靠的運(yùn)轉(zhuǎn)，必須對(duì)燃燒器進(jìn)行定期維護(hù)。
本發(fā)明的目的在于提出一種凈化廢氣的裝置，該裝置制做費(fèi)用低廉并可避免已有技術(shù)的缺點(diǎn)。
本發(fā)明的目的是在本說(shuō)明書(shū)介紹部分中所述方式的廢氣凈化裝置中的解決方案如下，燃燒器同心固定在蓋件上，燃燒器具有燃?xì)鈬娮旌椭辽僖粋€(gè)廢氣噴嘴，燃?xì)鈬娮旌蛷U氣噴嘴垂直向下指向燃燒室并且在燃燒過(guò)程中產(chǎn)生的反應(yīng)產(chǎn)物沿外管內(nèi)側(cè)被導(dǎo)入洗滌室內(nèi)。
利用此易于實(shí)現(xiàn)的凈化廢氣的裝置實(shí)現(xiàn)了較高的使用性，并大大改進(jìn)了廢氣凈化裝置。尤其是避免了沉積在燃燒器上、燃燒室內(nèi)或在外管內(nèi)側(cè)上及燃燒室底部上的燃燒殘?jiān)鼘?duì)燃燒過(guò)程的影響。而且還避免了燃?xì)鈬娮焱ǔ？赡艿慕孛孀冋蚨氯?br> 為了實(shí)現(xiàn)燃?xì)馀c廢氣非常均勻的混合，燃燒器具有多個(gè)廢氣噴嘴，這些噴嘴被燃?xì)鈬娮焱沫h(huán)圍。
為避免可能過(guò)熱的出現(xiàn)，為燃燒器配備一個(gè)冷卻裝置。為此在外管內(nèi)和燃燒器上方設(shè)置有一個(gè)吸附劑或洗滌劑噴霧嘴，該噴霧嘴一方面用于沖洗由燃燒室出來(lái)的廢氣并且另一方面同時(shí)對(duì)燃燒器外殼進(jìn)行冷卻。噴霧嘴可以是環(huán)形噴嘴、全錐噴嘴式內(nèi)錐噴嘴，因而有充足量的沖擊液沖擊到燃燒器的外殼上。
環(huán)形噴嘴固定在蓋件上方的外管內(nèi)壁上。由此產(chǎn)生的噴霧環(huán)在此情況時(shí)既平行于外管的內(nèi)壁，又集中在燃燒器的外殼上，因而在外管內(nèi)的整個(gè)截面被覆蓋。
如果噴霧嘴通過(guò)一供斜管道與燃燒器內(nèi)的一個(gè)室相連接，吸附劑或清洗劑通過(guò)此供料管道輸送給噴霧嘴，則將會(huì)大大改善對(duì)燃燒器的冷卻。
采用此方式對(duì)燃燒由實(shí)施內(nèi)冷卻，因而可以容許較高的燃燒溫度。因此這種實(shí)施尤其適用于氫燃燒器，其中在燃?xì)鈬娮炫c廢氣噴嘴間環(huán)圍燃?xì)鈬娮斓卦O(shè)置有室。
為避免對(duì)蓋件和燃燒器過(guò)度加熱，在燃燒室和蓋件間設(shè)置有一個(gè)同心環(huán)圍燃燒器的并向下延伸的熱屏。此外，該熱屏還起著防止對(duì)待燃燒廢氣被劇烈冷卻的作用。
在外管內(nèi)備有一個(gè)對(duì)燃燒室側(cè)面限界的內(nèi)管，該內(nèi)管由蓋件向下延伸并環(huán)圍熱屏。
在熱屏與內(nèi)管的內(nèi)壁間形成一個(gè)環(huán)縫，其中蓋件與熱屏間的空間通過(guò)孔與外管外的空間連接。因此并配合以燃燒室內(nèi)的負(fù)壓實(shí)現(xiàn)了對(duì)熱屏與蓋件間的空間的不間斷的沖洗。
在本發(fā)明的進(jìn)一步設(shè)計(jì)中，在蓋件和熱屏間的空間內(nèi)設(shè)置有一個(gè)帶有輸送清洗劑的噴嘴的噴嘴環(huán)，這些噴嘴指向內(nèi)管的內(nèi)壁。這樣在裝置工作間歇時(shí)就可以用水或吸附劑對(duì)燃燒室進(jìn)行清洗，而不必為此將燃燒室打開(kāi)。
燃燒室下端的封閉是由一帶有錐形或向下成拱的底部的基體實(shí)現(xiàn)的，在該底部的最低處備有一排出口。這樣在不影響燃燒過(guò)程的情況下保證了對(duì)吸附劑或沖洗劑的不間斷的排出。
為實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體的良好的導(dǎo)向，尤其是對(duì)經(jīng)凈化的氣體的導(dǎo)向并被送入洗滌室，內(nèi)管伸入基體內(nèi)并終結(jié)于底部上方的一定距離處。
在一種特殊的設(shè)計(jì)中，外管和內(nèi)管分別由一上段和一下段構(gòu)成，這兩段可以可拆卸地連接在一起，其中基體可以可拆卸地與外管或外管的下段連接在一起。這樣就實(shí)現(xiàn)了對(duì)清洗或維護(hù)過(guò)程的明顯的簡(jiǎn)化，此點(diǎn)還通過(guò)帶有固定在外管上段的燃燒器、蓋件、內(nèi)管上段、熱屏、孔和噴嘴環(huán)的外管上段可軸向向上移動(dòng)或基體可軸向向下移動(dòng)，得到進(jìn)一步的改善。
在本發(fā)明的另一改型方案中，內(nèi)管上段的下端具有一截面縮口，該截面縮口與下段的上端構(gòu)成一圓杯縫。這樣由于因此可促使一部分已經(jīng)燃燒的廢氣的再循環(huán)，該廢氣被反復(fù)地輸送給燃燒過(guò)程，從而提高了燃燒過(guò)程的效率。此外因此還實(shí)現(xiàn)了對(duì)內(nèi)管內(nèi)側(cè)的沖洗并減少了沉積。
為防止在此情況時(shí)沖洗或吸附劑進(jìn)入燃燒室，在外管上段和內(nèi)管上段間設(shè)置有一個(gè)保護(hù)管，該保護(hù)管對(duì)下段的上邊緣起遮蓋作用。
在本發(fā)明的進(jìn)一步設(shè)計(jì)中，燃燒室通過(guò)導(dǎo)管與管外的空間連接，在導(dǎo)管內(nèi)設(shè)置有用于對(duì)燃燒器點(diǎn)火或監(jiān)視的裝置；或燃燒器本身含有對(duì)其點(diǎn)火和監(jiān)視的裝置。
另外，在蓋件和外管內(nèi)側(cè)間有一刷形棱，該刷形棱將沖洗劑或吸附劑排導(dǎo)到外管的內(nèi)側(cè)并同時(shí)起著對(duì)廢氣強(qiáng)化潤(rùn)濕的作用。
外管在蓋件上方通過(guò)一個(gè)或多個(gè)分離器與一用于在燃燒室和洗滌室內(nèi)產(chǎn)生負(fù)壓的抽風(fēng)設(shè)備相連接。由于產(chǎn)生的此負(fù)壓一方面實(shí)現(xiàn)了對(duì)燃燒室內(nèi)廢氣的抽吸并且同時(shí)避免了廢氣經(jīng)沖洗孔和排出口的排出。
下面將對(duì)照一實(shí)施例對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步的說(shuō)明。在附圖中示出

圖1本發(fā)明廢氣凈化裝置的剖面圖；圖2帶有可分燃燒室的圖1的裝置；圖3帶有廢氣循環(huán)的廢氣凈化裝置；圖4不帶專(zhuān)用燃燒室的廢氣凈化的簡(jiǎn)化裝置；圖5帶有附加冷卻裝置的燃燒器的剖面圖；圖6備有燃?xì)鈬娮旌蛷U氣噴嘴的燃燒器的剖面圖；圖7圖6燃燒器的俯視圖。
如圖1所示，廢氣凈化裝置由一垂直設(shè)置的外管1構(gòu)成，外管的下端被一基體2閉合?；w2具有一錐形的或向下成拱的底部3，底部在其最低點(diǎn)備有一個(gè)排出口4。
在外管1內(nèi)設(shè)置有一個(gè)向下伸展的、傘狀的蓋件5，該蓋件將下面的燃燒室6與位于其上面的洗滌室7分開(kāi)。在外管1內(nèi)的蓋件5的固定是采用備有孔8的連接件9實(shí)現(xiàn)的，例如蓋件5固定在其上的管件。為了實(shí)現(xiàn)氣體由燃燒室6至洗滌室7的通道，蓋件5的直徑小于外管1的內(nèi)徑。因此在外管1的內(nèi)壁范圍內(nèi)就留出了一個(gè)環(huán)形縫10，該縫被一固定在蓋件5上的刷形棱11遮蓋。
另外，在傘狀蓋件5的中心固定有一個(gè)帶指向下方的燃?xì)鈬娮旌蛷U氣噴嘴13、14的燃燒器12。燃燒器12在蓋件5上的固定可以采用螺絲或卡圈加以實(shí)現(xiàn)。為實(shí)現(xiàn)通過(guò)廢氣噴嘴14加入的廢氣與燃?xì)獾木鶆虻某浞只旌?，廢氣噴嘴14為中心噴嘴，該噴嘴被一個(gè)環(huán)形燃?xì)鈬娮?3或多個(gè)燃?xì)鈬娮?3環(huán)圍。在這里作為燃?xì)庥绕淇紤]采用天然氣，該天然氣用過(guò)量氧氣燃燒，或氫，該氫同樣用過(guò)量氧氣燃燒。
在蓋件5的下方有一個(gè)環(huán)圍燃燒器12及燃?xì)鈬娮旌蛷U氣噴嘴13、14的熱屏15，該熱屏成錐形向下伸展并且尤其用于減少蓋件5上的熱負(fù)荷。有一固定在蓋件上的內(nèi)管16由蓋件5向下延伸，以便對(duì)燃燒室6進(jìn)行限界，該內(nèi)管環(huán)圍熱屏15。同時(shí)在熱屏15與內(nèi)管16的內(nèi)壁之間保留有一環(huán)縫17，從而使蓋件5和熱屏15間的空間通過(guò)孔8與外管1外的空間連接。因此在燃燒室6內(nèi)為負(fù)壓時(shí)，實(shí)現(xiàn)了對(duì)蓋件5與熱屏15間的空間的吹洗。
向基體延伸的內(nèi)管16同時(shí)用于將燃燒室6內(nèi)的火焰與在熱反應(yīng)段添加的廢氣分離，該廢氣作為反應(yīng)氣體由基體2開(kāi)始在外管1的內(nèi)側(cè)向上被引入洗滌室7。
在洗滌室7內(nèi)，在燃燒器12上方的一定間隔處有一噴霧嘴18，該噴霧嘴用于輸送和均勻分布吸附劑，以及產(chǎn)生吸附劑的最小液滴。該吸附劑用于對(duì)在廢氣燃燒時(shí)產(chǎn)生的氣體或固體的反應(yīng)產(chǎn)物進(jìn)行洗滌。其中噴霧嘴18的霧錐是一個(gè)外圓錐并且延伸到外管1的內(nèi)側(cè)。采用此方式同時(shí)實(shí)現(xiàn)了對(duì)燃燒器12的冷卻。
通過(guò)噴霧嘴18吸附劑象氣溶膠一樣被均勻地分布在洗滌室7內(nèi)并接著通過(guò)蓋件5和固定在其上的刷形棱11被引導(dǎo)到外管1的內(nèi)側(cè)并由此處流入基體2內(nèi)并經(jīng)排出口4進(jìn)入圖中未示出的貯槽內(nèi)。
在蓋件5上的內(nèi)管上端有一個(gè)用于凈化內(nèi)管16內(nèi)側(cè)的噴嘴環(huán)19，利用該噴嘴環(huán)可以在工作間歇時(shí)用水或吸附劑對(duì)內(nèi)管16的內(nèi)側(cè)進(jìn)行噴射，從而可以消除或減少在該處的沉積。
一個(gè)用于抑制固體或液體氣溶膠的分離器20構(gòu)成洗滌室7的上端部，該分離機(jī)與一圖中未示出的抽風(fēng)設(shè)備相連接，該抽風(fēng)設(shè)備同時(shí)產(chǎn)生必要的負(fù)壓。
為點(diǎn)燃燃燒器火焰并為了對(duì)燃燒過(guò)程進(jìn)行監(jiān)視有一導(dǎo)管21由外管，穿過(guò)蓋件5延伸到熱屏15。在導(dǎo)管內(nèi)可以設(shè)置一個(gè)升火噴嘴和/或一個(gè)紫外線-火焰探測(cè)器。
圖2示出一基本相同的廢氣凈化裝置，其中外管和內(nèi)管1、18分段實(shí)施，因而該裝置的拆卸及維護(hù)尤為簡(jiǎn)便。外管1為此由一上段和一下段1a、1b構(gòu)成并且內(nèi)管16由上段和一下段16a、16b構(gòu)成，它們分別可以可拆卸地連接在一起。另外基體2可以與外管1或外管1的下段1a可拆卸地連接在一起。
帶有固定在外管上段的燃燒器12、蓋件5、內(nèi)管16的上段16a、熱屏15、孔8和噴嘴杯20的外管1的上段1a也可以軸向向上，或者基體2可以軸向向下可移動(dòng)地實(shí)施。因此對(duì)燃燒室6的凈化尤為簡(jiǎn)便。
圖3示出本發(fā)明的一特殊變型，其中實(shí)現(xiàn)了廢氣內(nèi)回流和內(nèi)管16的內(nèi)沖洗。其基本結(jié)構(gòu)與圖2中所示的變型相符，其中內(nèi)管16的上段16a在其下端具有一截面縮口22，該縮口與下段16b同心并伸入下段內(nèi)。通過(guò)以此方式形成的圓環(huán)縫23在下段16b和下段1b內(nèi)側(cè)之間向上輸送的廢氣的一部分被再次輸送給燃燒室6并在此處重新承受劇熱的火焰。另外通過(guò)此回流實(shí)現(xiàn)了對(duì)下段16b內(nèi)側(cè)的吹洗，從而至少部分地避免了顆粒在該處的沉積。
為避免吸附劑通過(guò)圓杯縫23進(jìn)入燃燒室，在外管1的上段1a與上段16a有一個(gè)保護(hù)管24，該保護(hù)管對(duì)下段16b的上邊緣起著遮蓋作用。
通過(guò)此保護(hù)管24同時(shí)還防止了對(duì)燃燒室6上段的過(guò)度冷卻。
圖4示出本發(fā)明的一種簡(jiǎn)化的變型，其中燃燒室6僅由外管1環(huán)圍。為了在此實(shí)現(xiàn)對(duì)燃燒器12較為充分的冷卻，吸附劑通過(guò)燃燒器12向噴霧嘴18加料，其中如下所述，供料管道25通向燃燒器12的外殼內(nèi)。
圖5示出一種冷卻燃燒器12的特別有效的變型。為此在廢氣噴嘴14與一個(gè)或多個(gè)燃?xì)鈬娮?3之間設(shè)置一個(gè)室26，該室同心環(huán)圍廢氣噴嘴14。該室26一方面通過(guò)管道27與噴霧嘴18并且另一方面與沖洗或吸附劑的供料裝置連接。采用此方式可實(shí)現(xiàn)對(duì)燃燒器的特別強(qiáng)化的冷卻，而又不會(huì)影響燃燒過(guò)程本身的溫度。因此本變型特別適用于氫燃燒器或溫度較高的燃燒過(guò)程。
圖6、7示出一種用于同時(shí)對(duì)來(lái)自不同過(guò)程的廢氣的同時(shí)燃燒的配置。為此如圖6所示，與燃燒器12直接相鄰地設(shè)置有兩個(gè)廢氣噴嘴14、14′，其中通過(guò)分開(kāi)的放心氣供料口29、29′實(shí)現(xiàn)廢氣的輸入。燃?xì)鈬娮?3環(huán)圍廢氣噴嘴14、14′并且通過(guò)一在環(huán)形均衡室30上方的圖中未示出的燃?xì)夤┝瞎艿拦┝?。一條附加的氧氣供氣管道28負(fù)責(zé)為燃燒提供特別高的過(guò)量氧。
采用此配置實(shí)現(xiàn)了對(duì)廢氣的同時(shí)燃燒，該廢氣在燃燒室外混合時(shí)不受控制地相互反應(yīng)，從而同時(shí)實(shí)現(xiàn)了對(duì)廢氣凈化裝置的非常有效的利用。
原則上講，對(duì)廢氣輸送管道29、29′的數(shù)量是沒(méi)有限制的，其中僅燃燒器12的尺寸限制了廢氣噴嘴14、14′的數(shù)量。為了在用多根廢氣輸送管道對(duì)實(shí)現(xiàn)可靠的運(yùn)行，僅僅要注意的是，必須可靠地避免廢氣回流到廢氣輸送管道29、29′內(nèi)。
附圖標(biāo)記對(duì)照表1 外管1a 上段1b 下段2 基體3 底部4 排出口5 蓋件6 燃燒室7 洗滌室8 孔9 連接件10 縫11 刷形棱12 燃燒器13 燃?xì)鈬娮?4 廢氣噴嘴15 熱屏16 內(nèi)管16a上段16b下段17 環(huán)縫18 噴霧嘴19 噴嘴環(huán)
20 分離器21 導(dǎo)管22 截面縮口23 圓環(huán)縫24 保護(hù)管25 供料管道26 室27 管道28 氧氣供氣管道29 廢氣供氣管道30 均衡室
權(quán)利要求
1.廢氣凈化裝置，尤其是化學(xué)氣相沉積、等離子酸洗或類(lèi)似過(guò)程產(chǎn)生的廢氣凈化裝置，帶有至少一個(gè)垂直設(shè)置在外管內(nèi)的燃燒室，由一傘形蓋件對(duì)該燃燒室的上端限界，并帶有一個(gè)內(nèi)混合或外混合的燃燒器，燃燒器的燃?xì)鈬娮焐烊肴紵?，其中向燃燒器輸送燃?xì)狻⒀鯕饣蚩諝夂蛷U氣，以及帶有將氧化劑和/或吸附劑輸送給燃燒室外的洗滌室并將其排出的器件，其特征在于燃燒器(12)同心地固定在蓋件(5)上，燃燒器(12)具有燃?xì)鈬娮?13)和至少一個(gè)廢氣噴嘴(14)，廢氣噴嘴垂地向下指向燃燒室(6)并且在燃燒過(guò)程中產(chǎn)生的反應(yīng)產(chǎn)物沿外管(1)內(nèi)側(cè)被導(dǎo)入洗滌室(7)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的裝置，其特征在于燃?xì)鈬娮?13)同心環(huán)圍廢氣噴嘴。
3.根據(jù)權(quán)利要求1和2的裝置，其特征在于為燃燒器(12)配備有一個(gè)冷卻裝置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任一項(xiàng)的裝置，其特征在于在外管(1)內(nèi)和燃燒器(12)上方設(shè)置有一個(gè)吸附劑或洗滌劑的噴霧嘴(18)，該噴霧嘴為環(huán)形噴嘴、全錐噴嘴或內(nèi)錐噴嘴。
5.根據(jù)權(quán)利要求4的裝置，其特征在于噴霧嘴(18)通過(guò)管道(27)與燃燒器(12)內(nèi)的室(26)相連接，吸附劑或洗滌劑通過(guò)該管道被輸送給噴霧嘴(18)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5的裝置，其特征在于在燃?xì)鈬娮?13)和廢氣噴嘴(14)間設(shè)置有室(26)并且該室同心環(huán)圍廢氣噴嘴。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6的裝置，其特征在于在燃燒室(6)和蓋件(5)之間設(shè)置有一同心環(huán)圍燃燒器(12)并向下伸展的熱屏(15)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7的裝置，其特征在于在外管(1)內(nèi)備有一內(nèi)管(16)，該內(nèi)管從蓋件(5)開(kāi)始向下延伸并環(huán)圍熱屏(15)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8的裝置，其特征在于在熱屏(15)與內(nèi)管(16)內(nèi)壁間形成一環(huán)縫(17)并且蓋件(5)與熱屏(15)間的空間通過(guò)孔(8)與外管(1)外的空間連接。
10.根據(jù)權(quán)利要求1至9中的任一項(xiàng)的裝置，其特征在于在蓋件(5)與熱屏(15)間的空間內(nèi)設(shè)置有一個(gè)帶有輸送清洗劑的噴嘴的噴嘴環(huán)(19)，這些噴嘴指向內(nèi)管(16)的內(nèi)壁。
11.根據(jù)權(quán)利要求1至10中的任一項(xiàng)的裝置，其特征在于燃燒室(6)的下端被一基體(2)閉合，基體的最低位置有一排出口(4)。
12.根據(jù)權(quán)利要求1至11中的任一項(xiàng)的裝置，內(nèi)管(16)伸入基體(2)內(nèi)并在底部上方一定間距處終結(jié)。
13.根據(jù)權(quán)利要求1至12中的任一項(xiàng)的裝置，其特征在于外管和內(nèi)管(1、16)分別由一上段和一下段(1a、16a；16、16b)構(gòu)成，上段和下段可拆卸地相互連接在一起。
14.根據(jù)權(quán)利要求13的裝置，其特征在于基體(2)與外管(1)或外管(1)的部分(1b)可拆卸地連接。
15.根據(jù)權(quán)利要求13和14的裝置，其特征在于帶有蓋件(5)和固定在其上的燃燒器(1)、內(nèi)管(16)的上段(16a)、熱屏(15)、孔(8)和噴嘴環(huán)(19)的外管(1)上段(1a)可軸向向上移動(dòng)。
16.根據(jù)權(quán)利要求13和14的裝置，其特征在于基體(2)可軸向向下移動(dòng)。
17.根據(jù)權(quán)利要求13至15的裝置，其特征在于內(nèi)管(16)上段(16a)的下端具有一截面縮口(22)，該截面縮口與下段(16b)的上端構(gòu)成圓環(huán)縫(23)。
18.根據(jù)權(quán)利要求17的裝置，其特征在于在外管(1)的上段(1a)和內(nèi)管(16)的上段(16a)之間設(shè)置有一個(gè)保護(hù)管(24)，該保護(hù)管遮蓋下段(16b)的上邊緣。
19.根據(jù)權(quán)利要求1至18的裝置，其特征在于燃燒室(6)通過(guò)導(dǎo)管(21)與管(1)外的空間連接在一起并且在導(dǎo)管(21)內(nèi)設(shè)置有用于對(duì)燃燒器(12)點(diǎn)火和監(jiān)視的裝置。
20.根據(jù)權(quán)利要求1至19的裝置，其特征在于燃燒器(12)含有用于對(duì)其點(diǎn)火和監(jiān)視的裝置。
21.根據(jù)權(quán)利要求1至20的裝置，其特征在于在蓋件(5)和外管(1)內(nèi)側(cè)有一刷形棱(11)。
22.根據(jù)權(quán)利要求1至21的裝置，其特征在于在蓋件(5)上方的外管(1)通過(guò)一個(gè)或多個(gè)分離器(21)與一用于產(chǎn)生燃燒室(6)和洗滌室(7)中負(fù)壓的抽風(fēng)設(shè)備連接。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種廢氣凈化裝置,尤其是化學(xué)氣相沉積、等離子酸洗或類(lèi)似過(guò)程產(chǎn)生的廢氣凈化裝置,帶有至少一個(gè)垂直設(shè)置在外管內(nèi)的燃燒室,該燃燒室的上端由一傘形蓋件限界,并帶有一個(gè)內(nèi)混合或外混合的燃燒室,其燃?xì)鈬娮焐烊肴紵覂?nèi),其中向燃燒器輸送燃?xì)?、氧氣或空氣和廢氣,以及帶有將氧化劑和/或吸附劑輸送給燃燒室上方的洗滌室并將其排出的器件。本發(fā)明的目的是提出一種廢氣凈化裝置,該裝置制作費(fèi)用低廉并消除了先有技術(shù)的缺點(diǎn)。本發(fā)明的特征在于,燃燒器(12)同心固定在蓋件(5)上,燃燒器(12)具有燃?xì)鈬娮?13)和至少一個(gè)廢氣噴嘴(14),該廢氣噴嘴垂直向下指向燃燒室(6)并且在燃燒過(guò)程中產(chǎn)生的反應(yīng)產(chǎn)物將沿外管(1)內(nèi)側(cè)導(dǎo)入洗滌室(7)內(nèi)。
文檔編號(hào)F23G7/06GK1180402SQ96191477
公開(kāi)日1998年4月29日 申請(qǐng)日期1996年1月19日 優(yōu)先權(quán)日1996年1月19日
發(fā)明者羅爾夫·哈通, 漢斯·奧滕瑞史, 岡特·克羅代爾, 盧茨·法比安¤, 迪特馬爾·雷施 申請(qǐng)人:森托塞姆投資兩合公司