專利名稱：用于基板制程的熱交換系統(tǒng)的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種熱交換系統(tǒng)，特別是涉及一種用于基板制程的熱交換 系統(tǒng)。
背景技術：
現今許多工廠為提升產值和增加毛利，所以對于產品制程都盡量降低 其生產成本，以增加市場上的竟爭力。
這對于電子產業(yè)中的基板制程來說也是如此，在基板制程中，不論是 顯影、蝕刻或干燥等各個制程皆需藉由電熱裝置所產生的熱能來進行干燥 (如氣體)或是對藥液(例如蝕刻液)加熱，以促使電路板或玻璃基板的表面 能順利完成電路的制作，避免該基板在顯影、蝕刻或干燥等步驟時，因基 板表面與藥液反應或是干燥不完全而造成的電路形成于基板上產生瑕疵， 因此對基板制程而言，電熱裝置是不可或缺的。
在目前基板的制程中，其電熱裝置最常使用的是電熱絲加熱氣體或液
體，電熱絲用于基板制程中的缺點為
(1) 電熱絲耗電量大，相對其所花費的電費十分昂貴；
(2) 因基板制程中所使用的設備多為塑料材質，故電熱絲若溫度控制 不當易引起火災，造成工廠不必要的損失；
(3) 電熱絲為金屬材質，使用年限短暫常需更換，對于現今基板制程 毛利率的提高有所違背，并不敷市場所需。
有鑒于上述現有的基板制程中的電熱裝置存在的缺陷，習用基板制程 中使用電熱絲做為加熱氣體或液體所產生的不經濟，本發(fā)明人基于從事此 類產品設計制造多年豐富的實務經驗及專業(yè)知識，并配合學理的運用，積 極加以研究創(chuàng)新，以期創(chuàng)設一種新用于基板制程的熱交換系統(tǒng)，能夠改進 一般現有的基板制程中的電熱裝置，使其更具有實用性。經過不斷的研究 設計，并經過反復試作樣品及改進后，終于創(chuàng)設出確具實用價值的本發(fā)明。

發(fā)明內容
本發(fā)明的目的在于，克服現有的基板制程中的電熱裝置存在的缺陷，而 提供一種新的用于基板制程的熱交換系統(tǒng)，所要解決的技術問題是使其藉 由熱泵裝置所產生的熱源以供應基板制程中加熱氣體或藥液的所需，藉此 可降低對電力的依賴程度，進而達到降低生產成本及提高安全性的目的，非常適于實用。
本發(fā)明的目的及解決其技術問題是采用以下技術方案來實現的。依據
本發(fā)明提出的熱交換系統(tǒng)，其包括 一熱泵裝置； 一個以上的熱交換裝置； 一集熱裝置，設于熱泵裝置與熱交換裝置之間；兩條以上的連接管，該連
接管的一端連接于熱泵裝置上，另一端則連^f矣于集熱裝置上；兩條以上的
分配管，該分配管兩端連接于集熱裝置與熱交換裝置間；以及一條以上的
輸送管，其兩端分別連接于熱交換裝置上。
本發(fā)明的目的及解決其技術問題還可采用以下技術措施進一步實現。 前述的熱交換系統(tǒng)，其中所述的熱泵裝置由一蒸發(fā)器、 一壓縮機、一
冷凝器、 一膨脹閥和多個通管所組成，該蒸發(fā)器藉由通管連接于膨脹閥與
壓縮機之間，且該冷凝器亦藉由通管連接于膨脹閥與壓縮機之間，以構成
一循環(huán)裝置。
前述的熱交換系統(tǒng)，其中所述的連接管的一端連"l妄于集熱裝置上，另 一端則連接于熱泵裝置的容器。
前述的熱交換系統(tǒng)，其中所述的熱交換裝置由一殼體與部分設于殼體 內的輸送管所組成。
前述的熱交換系統(tǒng)，其中所述的熱泵裝置與集熱裝置之間的連接管上、 集熱裝置與各熱交換裝置之間的分配管上、各熱交換裝置與各制程設備上 的輸送管之間分設有 一泵浦。
前述的熱交換系統(tǒng)，其中所述的殼體內的輸送管呈一連續(xù)曲折狀。
前述的熱交換系統(tǒng)，其中所述的集熱裝置內形成有呈一連續(xù)曲折狀的 連接管。
本發(fā)明與現有技術相比具有明顯的優(yōu)點和有益效果。由以上可知，為達 到上述目的，本發(fā)明提供了一種用于基板制程的熱交換系統(tǒng)，其熱泵裝置 可將熱交換裝置所產生的熱能對循環(huán)于熱泵裝置與集熱裝置之間的液態(tài)媒 介加熱，再藉由分配管的運送將加熱后的液體輸送至各熱交換裝置中，使 該熱交換裝置能運用該液體進行另 一次的熱交換，而對基板制程中的氣體 或藥液進行加熱。借由上述技術方案，本發(fā)明用于基板制程的熱交換系統(tǒng) 具有的優(yōu)點及有益效果可降低基板制程中所使用的電費支出及需求，使 該基板的制程能符合現今要求提高毛利的目標，使該基板制程能增加市場 的竟爭性。
綜上所述，本發(fā)明一種用于基板制程的熱交換系統(tǒng)，主要由一熱泵裝 置、 一個以上的熱交換裝置、 一設于熱泵裝置與熱交換裝置之間的集熱裝 置、兩條以上連接于熱泵裝置與集熱裝置的連接管、兩條以上連接于集熱 裝置與熱交換裝置的分配管與一條以上連接于熱交換裝置的輸送管所組 成；前述系統(tǒng)藉由熱泵裝置吸收熱能而產生熱源，并收集于集熱裝置中，再
4藉由分配管輸送至各熱交換裝置中，使該熱交換裝置能運用外界的熱能對 基板制程中使用的藥液或氣體進行熱交換以提高其溫度，藉此降低基板制 程的生產成本。本發(fā)明具有上述優(yōu)點及實用價值，其不論在裝置結構或功 能上皆有較大改進，在技術上有顯著的進步，并產生了好用及實用的效果， 且較現有的基板制程中的電熱裝置具有增進的功效，從而更加適于實用， 并具有產業(yè)的廣泛利用價值，誠為一新穎、進步、實用的新設計。
上述說明僅是本發(fā)明技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的 技術手段，而可依照說明書的內容予以實施，并且為了讓本發(fā)明的上述和 其他目的、特征和優(yōu)點能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實施例，并配合附 圖，詳細說明如下。


圖1是本發(fā)明用于基板制程的熱交換系統(tǒng)較佳實施例的局部放大示意圖。
圖2是本發(fā)明用于基板制程的熱交換系統(tǒng)較佳實施例的示意圖。
圖3是本發(fā)明用于基板制程的熱交換系統(tǒng)另 一較佳實施例的示意圖。
10熱泵裝置11:蒸發(fā)器
12壓縮機13:冷凝器
14膨脹閥15A/15B/15C:通管
20集熱裝置30:熱交換裝置
31殼體40A/40B:連接管
50A/50B:分配管 60:輸送管
60A/60B:輸送管 7 0A/70B/7 0C:泵浦
80:顯影裝置 81:蝕刻裝置
82:干燥裝置 90:特定空間
具體實施例方式
為更進一步闡述本發(fā)明為達成預定發(fā)明目的所采取的技術手段及功 效，以下結合附圖及較佳實施例，對依據本發(fā)明提出的用于基板制程的熱交 換系統(tǒng)其具體實施方式
、結構、特征及其功效，詳細說明如后。為了方便 說明，在以下的實施例中，相同的元件以相同的編號表示。
請參考圖l和圖2，為本發(fā)明一種熱交換系統(tǒng)的實施例，由一熱泵裝置 10、 一集熱裝置20、 一個以上的熱交換裝置30、兩條以上的連"l妄管40A和 40B、兩條以上的分配管50A和50B以及一條以上的輸送管60所組成。
該熱泵裝置10由一蒸發(fā)器11、 一壓縮機12、 一冷凝器13、 一膨脹閥 14和多個通管15A、 15B、 15C所組成，該蒸發(fā)器11藉由通管15A、 15C連 接于膨脹閥14與壓縮機12之間，且該冷凝器13亦藉由通管15B連接于膨脹閥14與壓縮機12之間，以構成一循環(huán)空間，且該循環(huán)空間中容置冷媒 供吸取外界熱能所需，其中由冷凝管所組成的冷凝器13容置于i殳有液體的 容器16中，此液體可為水或其他易于導熱的液體，容器16設有二連接管 40A、 40B與集熱裝置20相連通，其中一連接管40A可以讓容器16內的液 體流向集熱裝置20,另一連接管40B可以-使流入集熱裝置20的液體流回容 器16內。
該集熱裝置20設于熱泵裝置IO與熱交換裝置30之間，供集中熱能之 用；連接管40A、 40B連接于熱泵裝置10的容器16與集熱裝置20，使液體 可藉由泵浦70A在該冷凝器13的容器16與集熱裝置20間形成一循環(huán)。
該熱交換裝置30由一殼體31與部分設于殼體31內的輸送管60所組 成，且該殼體31內的輸送管60呈一連續(xù)曲折狀，以增加其熱交換面積，輸 送管60內的液體可為水或其他易導熱的液體；該分配管50A、 50B其兩端 分別連接于集熱裝置20與熱交換裝置30的殼體31上，分配管5OA可以讓 集熱裝置20的液體流入熱交換裝置30的殼體31內，50B可以讓熱交換裝 置30的殼體31內液體，藉由泵浦70B流回集熱裝置20內供分配集熱裝置 20中的液體熱能于各熱交換裝置30中；而該輸送管60A、 60B分別連接至 各基板的制程中去利用。
該輸送管60A、 60B連接至各基板的制程中的顯影裝置80、蝕刻裝置 81與干燥裝置82，其中輸送管60A連接至各基板制程中的顯影裝置80、蝕 刻裝置81與干燥裝置82的一端，使輸送管60A內的液體可以流入顯影裝 置80、蝕刻裝置81與干燥裝置82內，輸送管60B可將顯影裝置80、蝕刻 裝置81與干燥裝置82內液體利用泵浦70C送回熱交換裝置30的殼體31。
又前述熱泵裝置10的容器16與集熱裝置20之間的連接管40A上、集 熱裝置20與各熱交換裝置30之間的分配管50A上、各熱交換裝置30與各 制程設備上的輸送管60A之間分設的泵浦70A、 70B、 70C，可以配合溫度感 應器(圖中未示)分別控制進入集熱裝置20、熱交換裝置30及顯影裝置 80、蝕刻裝置81與干燥裝置82內的液體流量大小，進而達到調整液體溫 度的目的。
本系統(tǒng)工作時，熱泵裝置10的壓縮機12將經由蒸發(fā)器11及通管15A 流入的氣態(tài)冷媒壓縮為液體后，經由通管15B送入冷凝器13，冷凝器13內 的冷媒會吸收外部的冷度而將熱度藉由冷凝管管壁排出，具有一定溫度的 冷媒再經由膨脹閥14汽化后由通管15C送入蒸發(fā)器11，蒸發(fā)器11內汽化 的冷媒會吸收外部的熱度而將冷度藉由蒸發(fā)管的管壁排出，經由蒸發(fā)器11 的冷媒會再被送入壓縮機11壓縮而形成不斷的熱交換循環(huán)；本系統(tǒng)可將蒸 發(fā)器11的冷空氣利用風扇輸送至如室內、水水筒或機器等特定空間90作 為冷卻之用；而經由冷凝器13所排出的熱度將成為熱源，可加熱容器16內的液體，加熱后的液體可流入集熱裝置20內，集熱裝置20內的液體再 經由通管40B流回至容器16內持續(xù)吸收熱度，待集熱裝置20內的液體至 預定溫度后，再藉由分配管50A流入各熱交換裝置30內，各熱交換裝置30 內的液體亦會回流至集熱裝置20持續(xù)保持熱度；加熱后的交換裝置30內 液體可再加熱位于各輸送管60內的液體，^皮加熱后輸送管60內的液體被 送至顯影裝置80、蝕刻裝置81與干燥裝置82內做為加熱各裝置內藥液或 氣體的熱源，而顯影裝置80、蝕刻裝置81與干燥裝置82并不需要改變其 各自原有的設計，且本系統(tǒng)可以利用泵浦70C控制流入顯影裝置80、蝕刻 裝置81與干燥裝置82內的水量，進一步可以調整各顯影裝置80、蝕刻裝 置81與干燥裝置82內的液體溫度，以符合各裝置內藥液或氣體的最佳工 作溫度，例如可控制顯影裝置的藥液溫度為3(TC，蝕刻裝置的藥液溫度為 45°C，干燥裝置的氣體溫度則為55°C。
再請參考圖3所示，為本發(fā)明的另一實施例，其中連接管40A、 40B亦 可在集熱裝置20內形成為連續(xù)曲折狀，以均勻加熱集熱裝置20內的液體； 分配管50A、 50B亦可在熱交換裝置30內形成為連續(xù)曲^"狀，以均勻加熱 熱交換裝置30內的液體。
由上述可知，本發(fā)明主要藉由該熱泵裝置10進行熱交換，令冷凝器 13外部的容器16中溫度較高的液體利用連接管40A、 40B將液體集中至集 熱裝置20中，之后，再藉由分配管50A、 50B將其溫度較高的液體輸送至 熱交換裝置30的殼體31內，使其與連續(xù)曲折狀的輸送管60內的液體進行 另一次的熱交換，最后再藉由輸送管60將具有適當溫度的液體輸送各個制 程裝置中，以進行加熱藥液或加熱氣體使用。
當本發(fā)明各基板制程工作時，輸送管60中的液體溫度會降低，因此再 藉由其輸送管60B輸送至熱交換裝置30中重新加熱，而使各制程重新利用。
此外，該熱泵裝置10中所產生的冷空氣亦可輸送廠房之中，做為冷卻 廠房或機器溫度之用，以維持廠房的溫度及使減少機器因熱所產生的故障。
藉由熱泵裝置IO來吸收外界熱能，供基板各個制程所需，藉此以降低 基板制程中所使用的電費支出及需求，使該基板的制程能符合現今高毛利 的標準，進一步增加基板在市場上的竟爭性。
以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實施例而已，并非對本發(fā)明作任何形式 上的限制，雖然本發(fā)明已以較佳實施例揭露如上，然而并非用以限定本發(fā) 明，任何熟悉本專業(yè)的技術人員，在不脫離本發(fā)明技術方案范圍內，可利 用上述揭示的技術內容作出些許更動或修飾為等同變化的等效實施例，但 凡是未脫離本發(fā)明技術方案的內容，依據本發(fā)明的技術實質對以上實施例 所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術方案的范圍內。
權利要求
1、一種熱交換系統(tǒng)，其特征在于其包括一熱泵裝置；一個以上的熱交換裝置；一集熱裝置，設于熱泵裝置與熱交換裝置之間；兩條以上的連接管，該連接管的一端連接于熱泵裝置上，另一端則連接于集熱裝置上；兩條以上的分配管，該分配管兩端連接于集熱裝置與熱交換裝置間；以及一條以上的輸送管，其兩端分別連接于熱交換裝置上。
2、 如權利要求1所述的熱交換系統(tǒng)，其特征在于其中所述的熱泵裝 置由一蒸發(fā)器、 一壓縮機、 一冷凝器、 一膨脹閥和多個通管所組成，該蒸 發(fā)器藉由通管連接于膨脹閥與壓縮機之間，且該冷凝器亦藉由通管連接于 膨脹閥與壓縮機之間，以構成一循環(huán)裝置。
3、 如權利要求2所述的熱交換系統(tǒng)，其特征在于其中所述的連接管 的一端連接于集熱裝置上，另一端則連接于熱泵裝置的容器。
4、 如權利要求3所述的熱交換系統(tǒng)，其特征在于其中所述的熱交換裝置由一殼體與部分設于殼體內的輸送管所組成。
5、 如權利要求4所述的熱交換系統(tǒng)，其特征在于其中所述的熱泵裝 置與集熱裝置之間的連接管上、集熱裝置與各熱交換裝置之間的分配管上、各熱交換裝置與各制程設備上的輸送管之間分設有 一 泵浦。
6、 如權利要求4所述的熱交換系統(tǒng)，其特征在于其中所述的殼體內 的輸送管呈一連續(xù)曲折狀。
7、 如權利要求3所述的熱交換系統(tǒng)，其特征在于其中所述的集熱裝 置內形成有呈一連續(xù)曲折狀的連接管。
全文摘要
本發(fā)明是有關于一種用于基板制程的熱交換系統(tǒng)，主要由一熱泵裝置、一個以上的熱交換裝置、一設于熱泵裝置與熱交換裝置之間的集熱裝置、兩條以上連接于熱泵裝置與集熱裝置的連接管、兩條以上連接于集熱裝置與熱交換裝置的分配管與一條以上連接于熱交換裝置的輸送管所組成；前述系統(tǒng)藉由熱泵裝置吸收熱能而產生熱源，并收集于集熱裝置中，再藉由分配管輸送至各熱交換裝置中，使該熱交換裝置能運用外界的熱能對基板制程中使用的藥液或氣體進行熱交換以提高其溫度，藉此降低基板制程的生產成本。
文檔編號F28D7/08GK101514878SQ20081000931
公開日2009年8月26日 申請日期2008年2月18日 優(yōu)先權日2008年2月18日
發(fā)明者喬鴻培, 蘇勝義 申請人:揚博科技股份有限公司