專利名稱：具火焰通道的半導(dǎo)體廢氣處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種具火焰通道的半導(dǎo)體廢氣處理裝置。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體制程產(chǎn)生的廢氣中是有一種具強(qiáng)力侵蝕性的氟化性氣體，其需要在一千度(℃)高溫以上才能夠被熱分解成無(wú)害氣體，習(xí)用的半導(dǎo)體廢氣處理裝置在處理廢氣時(shí)，大都直接將燃?xì)庥深^座噴入廢氣處理槽內(nèi)，并在頭座的燃?xì)獬隹诙藢⑷細(xì)恻c(diǎn)燃，使廢氣處理槽內(nèi)能夠形成一高溫火焰，用以將廢氣中的氟化性氣體予以熱分解成無(wú)害的氣體，以達(dá)到凈化廢氣的目的。
但是，上述廢氣處理槽內(nèi)的高溫火焰，是一種軟性火焰，其火焰燃燒密度較為松散，廢氣能夠輕易由火焰燃燒的空隙中穿過(guò)，且火焰燃燒的區(qū)域也僅只有位在燃?xì)獬隹诙耍瑹o(wú)法將廢氣處理槽內(nèi)的廢氣逐一凈化。
而且，上述廢氣在經(jīng)過(guò)高溫火焰燃燒后，廢氣中的可燃性有害物質(zhì)是會(huì)被燃燒形成灰燼，此一灰燼是會(huì)在廢氣中飄散并附著于槽壁上，在經(jīng)過(guò)長(zhǎng)時(shí)間的使用后，附著于槽壁的灰燼會(huì)逐漸變厚變硬，會(huì)導(dǎo)致廢氣處理槽無(wú)法繼續(xù)正常作業(yè)。
另外，上述習(xí)用的廢氣處理槽在經(jīng)過(guò)高溫火焰加熱后，其槽壁的溫度是會(huì)升高到達(dá)至少五、六百度(℃)以上，而廢氣中的氟化性氣體在此一溫度下的侵蝕性也最活躍，槽壁在此一溫度下所受的侵蝕也最嚴(yán)重，在經(jīng)過(guò)長(zhǎng)時(shí)間的使用后，會(huì)造成廢氣處理槽的槽壁損壞。
新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種具有火焰通道的半導(dǎo)體廢氣處理裝置，能夠凈化廢氣并促進(jìn)廢氣凈化效率，及防止槽壁受蝕與卡垢。
本實(shí)用新型采用了以下技術(shù)1.凈化廢氣的技術(shù)；是在廢器處理槽頂部頭座的廢氣出口端架構(gòu)形成一火焰通道，并產(chǎn)生密集火網(wǎng)將廢氣中的有害物質(zhì)充份的凈化。
2.促進(jìn)廢氣凈化效率的技術(shù)；是在廢氣處理槽的廢氣入口端加載純氧或燃?xì)猓古c廢氣充份預(yù)混形成含氧或燃?xì)獾幕旌蠌U氣，以利在通過(guò)上述火網(wǎng)時(shí)得到更好的燃燒效果。
3.防止槽壁受蝕與卡垢的技術(shù)；是在火焰通道出口處噴灑霧化水氣，將廢氣中殘留的氟離子轉(zhuǎn)化形成穩(wěn)定的氫氟酸，避免對(duì)廢氣處理槽的槽壁造成侵蝕，同時(shí)藉由霧化水氣亦能與廢氣中四處漂浮的燃燒灰燼相結(jié)合并凝結(jié)成水珠，以清除廢氣燃燒所產(chǎn)生的灰燼，防止槽壁受蝕與卡垢。
本實(shí)用新型的上述目的是這樣實(shí)現(xiàn)的，一種具火焰通道的半導(dǎo)體廢氣處理裝置，包括在廢器處理槽頂部頭座的廢氣出口端架構(gòu)形成一火焰通道，該火焰通道包括具有至少一層或一層以上的燃?xì)鈬姯h(huán)，各噴環(huán)皆具有燃?xì)獠?，以環(huán)狀方式藏設(shè)于頭座內(nèi)，并連接一外部燃?xì)鈱?dǎo)管，該燃?xì)鈬姯h(huán)上設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)呈現(xiàn)放射狀開(kāi)制的噴氣孔，同時(shí)該火焰通道底端延制形成有一錐口狀的噴火嘴，該噴火嘴與廢氣處理槽相連通，且該火焰通道內(nèi)設(shè)有一點(diǎn)火棒。
以下結(jié)合附圖以具體實(shí)例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。


圖1是本實(shí)用新型揭示出廢氣處理槽頂部頭座的上視圖；圖2是本實(shí)用新型揭示第一款實(shí)施例的圖1A-A剖示圖；圖3是本實(shí)用新型揭示出第二款實(shí)施例的剖示圖；圖3a是揭示圖3的局部放大剖示圖；圖4是本實(shí)用新型揭示出第三款實(shí)施例的剖示圖；圖5是本實(shí)用新型揭示出第四款實(shí)施例的剖示圖；圖6是本實(shí)用新型第四款實(shí)施例的附加實(shí)施剖示圖；圖7是本實(shí)用新型揭示出第五款實(shí)施例的剖示圖。
附圖標(biāo)記說(shuō)明頭座1；廢氣出口端11；廢氣流道10；氮?dú)饬鞯?00；火焰通道12；燃?xì)鈬姯h(huán)13；環(huán)面131；噴氣孔132；燃?xì)獠?4；噴火嘴15；保焰區(qū)151；純氧(或燃?xì)?槽16；出氣孔161；集水槽17；噴水孔171；空氣槽18；空氣噴孔181；點(diǎn)火棒19；溫度感測(cè)棒191；廢氣處理槽2；槽壁21；燃?xì)鈱?dǎo)管3、82；純氧(或燃?xì)?導(dǎo)管4；水管5；霧化水氣51；空氣導(dǎo)管6；廢氣7；混合廢氣71；氮?dú)鈱?dǎo)管72；噴火環(huán)8；噴火孔81；燃?xì)馔ǖ?3；防火陶瓷9、91。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖說(shuō)明本實(shí)用新型的第一至五實(shí)施例。
實(shí)施例一圖1及圖2是揭示出一種具火焰通道的半導(dǎo)體廢氣處理裝置的結(jié)構(gòu)配置形態(tài)，包括在廢氣處理槽2頂部頭座1的廢氣出口端11架構(gòu)形成一火焰通道12；該火焰通道12由至少一層或一層以上的燃?xì)鈬姯h(huán)13構(gòu)成，該噴環(huán)13上設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)呈現(xiàn)放射狀開(kāi)制的噴氣孔132，且該噴環(huán)13的環(huán)面131及其上的復(fù)數(shù)噴氣孔132可分別制成平面狀或斜錐狀，該火焰通道12底端延制形成一錐口狀的噴火嘴15，使噴火嘴15與廢氣處理槽2相通，該噴火嘴15內(nèi)部端緣處形成有一火焰保焰區(qū)151，使廢氣大量進(jìn)入而火焰也絕不熄滅，又該火焰通道12內(nèi)設(shè)具抗氧化及腐蝕的點(diǎn)火棒19及溫度感測(cè)棒191，此外，該火焰通道12的內(nèi)壁上覆蓋有防火陶瓷9及91。
該頭座1內(nèi)規(guī)劃形成有與噴環(huán)13數(shù)量相等的燃?xì)獠?4(如圖2所示)，并自外界銜接有燃?xì)鈱?dǎo)管3供應(yīng)燃?xì)?，且各燃?xì)獠?4皆以環(huán)狀方式藏設(shè)于火焰通道12周?chē)?br> 當(dāng)在實(shí)施時(shí)，先利用點(diǎn)火棒19點(diǎn)燃噴環(huán)13所噴出的燃?xì)?配合圖1及圖2所示)，并利用溫度感測(cè)棒191檢測(cè)火焰燃燒溫度，使火焰通道12內(nèi)形成至少一層或一層以上呈現(xiàn)出星鉆般的高密度火網(wǎng)，并聚結(jié)成強(qiáng)力火焰而自噴火嘴15噴入廢氣處理槽2內(nèi)，隨后廢氣7由頭座1的廢氣出口端11送入火焰通道12內(nèi)，使廢氣7能夠聚結(jié)在火焰通道12中，藉高密度火網(wǎng)形成的強(qiáng)力火焰，在廢氣7進(jìn)入廢氣處理槽2之前將其瞬間凈化。
實(shí)施例二本實(shí)用新型亦可在上述第一款實(shí)施例的頭座1的復(fù)數(shù)個(gè)廢氣出口端11開(kāi)設(shè)復(fù)數(shù)個(gè)出氣孔161{如圖3及圖3(a)所示}，使該等出氣孔161的一端與廢氣出口端11相連通，且該等出氣孔161另一端并與一純氧(或燃?xì)?槽16相連通，可自外界銜接一純氧(或燃?xì)?導(dǎo)管4供應(yīng)純氧(或燃?xì)?，使廢氣7能夠在廢氣出口端11先與純氧(或燃?xì)?充分預(yù)混形成含氧(或含有燃?xì)?的混合廢氣71，藉混合廢氣71中含有助燃的氧或燃?xì)猓軌蛟诹鹘?jīng)上述至少一層或復(fù)數(shù)層火網(wǎng)時(shí)，使廢氣7中有害物質(zhì)被火焰燒失及凈化的效果得以更加顯著。
實(shí)施例三本實(shí)用新型亦可在上述第一或二款實(shí)施例的頭座1的燃?xì)獠?4外圍附加開(kāi)設(shè)一環(huán)狀的集水槽17(如圖4所示)，并自外界銜接有一水管5供應(yīng)高壓水流，該集水槽17底部設(shè)具復(fù)數(shù)噴水孔171，使復(fù)數(shù)噴水孔171與廢氣處理槽2相通；該集水槽17外圍開(kāi)設(shè)有一環(huán)狀空氣槽18(如圖4所示)，并自外界銜接有一高壓空氣導(dǎo)管6供應(yīng)高壓空氣，該空氣槽18底部是設(shè)具有復(fù)數(shù)斜向的空氣噴孔181，該空氣噴孔181對(duì)準(zhǔn)噴水孔171的出口處并與廢氣處理槽2相通；藉由上述的結(jié)構(gòu)，使自噴水孔171噴入廢氣處理槽2內(nèi)的高壓水流，能夠被空氣噴孔181噴出的高壓空氣吹散形成霧化水氣51，并將廢氣7中殘留的氟離子轉(zhuǎn)化形成穩(wěn)定的氫氟酸，避免殘留的氟離子對(duì)廢氣處理槽2的槽壁21造成侵蝕，此外，藉由霧化水氣51亦能夠與廢氣7中四處漂浮的燃燒灰燼相結(jié)合并凝結(jié)成水珠，以有效清除廢氣7燃燒所產(chǎn)生的灰燼，避免廢氣7中的灰燼對(duì)槽壁21造成卡垢現(xiàn)象。
實(shí)施例四本實(shí)用新型亦可在上述第一、二或三實(shí)施例的頭座1的噴火嘴15出口端架設(shè)一筒狀噴火環(huán)8(如圖5所示)，該噴火環(huán)8內(nèi)開(kāi)設(shè)有復(fù)數(shù)噴火孔81，該復(fù)數(shù)噴火孔81自外界銜接有另一燃?xì)鈱?dǎo)管82供應(yīng)燃?xì)?；藉由上述的結(jié)構(gòu)，使自噴火孔81能夠噴出燃?xì)庑纬闪硪换鹁W(wǎng)，進(jìn)而能夠?qū)U氣進(jìn)行二次凈化的作業(yè)，以達(dá)到充分凈化廢氣的目的。
此外，上述的噴火環(huán)8內(nèi)的復(fù)數(shù)噴火孔81亦可直接利用一燃?xì)馔ǖ?3與頭座1內(nèi)的燃?xì)獠?4相連通(如圖6所示)，藉由燃?xì)獠?4供應(yīng)燃?xì)?，不需在另外銜接一燃?xì)鈱?dǎo)管82。
上述各款實(shí)施例的燃?xì)獠?4內(nèi)所使用的燃?xì)?配合圖2、圖3及圖4所示)，包括有瓦斯(甲烷、丙烷、丁烷)或氫氣……等等，是可依照使用者需要自行使用單一種類或混合復(fù)數(shù)種類搭配使用，又，上述第二例實(shí)施例的純氧槽16內(nèi){配合圖3及圖3a所示}，亦能夠依照使用者需要使用上述燃?xì)?，使廢氣7能夠在通過(guò)火網(wǎng)前與燃?xì)獬浞只旌闲纬珊細(xì)獾幕旌蠌U氣71，以有效促進(jìn)廢氣7的凈化效率。
實(shí)施例五本實(shí)用新型亦可延伸出另一第五款實(shí)施方式，即是在上述各實(shí)施例的頭座1中心處開(kāi)設(shè)一氮?dú)饬鞯?00(如圖7所示)，其入口端與外界的氮?dú)鈱?dǎo)管72相銜接，出口端并分別插接至頭座內(nèi)各個(gè)廢氣出口端11上緣的廢氣流道10內(nèi)；藉此可預(yù)防當(dāng)上述噴火孔81及噴氣孔132的火焰失效熄滅時(shí)，透過(guò)氮?dú)饬鞯?00而把極具安定性的氮?dú)夥至鞴?yīng)至各個(gè)廢氣流道10內(nèi)，將有助于混合并稀釋廢氣流道10內(nèi)不相融的半導(dǎo)體制程廢氣(諸如SiH4與NF3、Cl2、HCl…等等)，避免該等制程廢氣發(fā)生爆炸危險(xiǎn)，亦屬本實(shí)用新型的應(yīng)用領(lǐng)域。
綜上所述，本實(shí)用新型的一種具火焰通道的半導(dǎo)體廢氣處理裝置，是能夠凈化廢氣并促進(jìn)廢氣凈化效率，且能防止槽壁受蝕與卡垢，同時(shí)亦可在火焰失效熄滅時(shí)導(dǎo)入氮?dú)獗苊獠话捕ǖ闹瞥虖U氣發(fā)生爆炸。
權(quán)利要求1.一種具火焰通道的半導(dǎo)體廢氣處理裝置，其特征在于包括在廢器處理槽頂部頭座的廢氣出口端架構(gòu)形成一火焰通道，該火焰通道包括具有至少一層或一層以上的燃?xì)鈬姯h(huán)，各噴環(huán)皆具有燃?xì)獠郏原h(huán)狀方式藏設(shè)于頭座內(nèi)，并連接一外部燃?xì)鈱?dǎo)管，該燃?xì)鈬姯h(huán)上設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)呈現(xiàn)放射狀開(kāi)制的噴氣孔，同時(shí)該火焰通道底端延制形成有一錐口狀的噴火嘴，該噴火嘴與廢氣處理槽相連通，且該火焰通道內(nèi)設(shè)有一點(diǎn)火棒。
2.如權(quán)利要求1所述具火焰通道的半導(dǎo)體廢氣處理裝置，其特征在于，該廢氣出口端設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)純氧或燃?xì)獾某鰵饪住?br> 3.如權(quán)利要求1所述具火焰通道的半導(dǎo)體廢氣處理裝置，其特征在于，該噴環(huán)的環(huán)面及其上的噴氣孔制成平面狀或斜錐狀。
4.如權(quán)利要求1所述具火焰通道的半導(dǎo)體廢氣處理裝置，其特征在于，該噴火嘴內(nèi)部端緣處形成一保焰區(qū)。
5.如權(quán)利要求1所述具火焰通道的半導(dǎo)體廢氣處理裝置，其特征在于，該燃?xì)獠弁鈬O(shè)有一集水槽，此集水槽底部設(shè)有復(fù)數(shù)噴水孔與廢氣處理槽相通。
6.如權(quán)利要求5所述具火焰通道的半導(dǎo)體廢氣處理裝置，其特征在于，該集水槽外圍設(shè)有一空氣槽，此空氣槽底部設(shè)有復(fù)數(shù)斜向的空氣噴孔與廢氣處理槽相通，且各空氣噴孔對(duì)準(zhǔn)各噴水孔。
7.如權(quán)利要求1所述具火焰通道的半導(dǎo)體廢氣處理裝置，其特征在于，該噴火嘴出口端設(shè)有一噴火環(huán)。
8.如權(quán)利要求7所述具火焰通道的半導(dǎo)體廢氣處理裝置，其特征在于，該噴火環(huán)內(nèi)開(kāi)設(shè)有復(fù)數(shù)噴火孔，所述噴火孔自外部銜接一燃?xì)鈱?dǎo)管。
9.如權(quán)利要求7所述具火焰通道的半導(dǎo)體廢氣處理裝置，其特征在于，該噴火環(huán)內(nèi)開(kāi)設(shè)有復(fù)數(shù)噴火孔，藉一燃?xì)馔ǖ琅c頭座的燃?xì)獠巯噙B通。
10.如權(quán)利要求1所述具火焰通道的半導(dǎo)體廢氣處理裝置，其特征在于，該頭座中心處設(shè)有氮?dú)饬鞯?，其入口端與外部氮?dú)鈱?dǎo)管相銜接，其出口端分別插接至頭座內(nèi)各個(gè)廢氣出口端上緣的廢氣流道內(nèi)。
11.如權(quán)利要求1所述具火焰通道的半導(dǎo)體廢氣處理裝置，其特征在于，該火焰通道內(nèi)設(shè)有一溫度感測(cè)棒。
專利摘要本實(shí)用新型是一種具火焰通道的半導(dǎo)體廢氣(尾氣)處理裝置，主要是在廢氣處理槽頂部頭座的廢氣出口端架構(gòu)形成一火焰通道，包括具有至少一層或一層以上的燃?xì)鈬姯h(huán)，各噴環(huán)皆具有燃?xì)獠?，是以環(huán)狀方式藏設(shè)于頭座內(nèi)，同時(shí)該火焰通道底端延制形成有一錐口狀的噴火嘴，并于噴火嘴內(nèi)形成火焰保焰區(qū)，且火焰通道內(nèi)設(shè)有點(diǎn)火棒及溫度感測(cè)棒，藉以點(diǎn)燃自上述噴環(huán)中所噴出的燃?xì)?，使火焰通道?nèi)形成至少一層或一層以上呈現(xiàn)出星鉆般的高密度火網(wǎng)，并聚結(jié)成強(qiáng)力火焰而自噴火嘴噴入廢氣處理槽內(nèi)。當(dāng)廢氣通過(guò)火焰通道時(shí)，藉該高密度火網(wǎng)所形成的強(qiáng)力火焰瞬間充分凈化廢氣中的有害物質(zhì)。
文檔編號(hào)F23C7/08GK2641474SQ03265748
公開(kāi)日2004年9月15日 申請(qǐng)日期2003年6月3日 優(yōu)先權(quán)日2003年6月3日
發(fā)明者馮五良 申請(qǐng)人:馮五良