本申請基于2014年10月3日申請的日本專利申請第2014-204924號(hào)并且主張?jiān)撋暾埖膬?yōu)先權(quán)，通過參照將其內(nèi)容整體引用于本說明書。

本公開涉及軋制裝置以及傳感器單元。

背景技術(shù)：

專利文獻(xiàn)1公開了用于向一對輥之間供給材料進(jìn)行軋制，來制造具有大致均勻的厚度的片狀產(chǎn)品的壓延裝置。為了使該產(chǎn)品的厚度大致均勻，需要將一對輥之間的間隙保持為恒定。因此在專利文獻(xiàn)1記載的壓延裝置中，使用非接觸式距離傳感器測量一對輥之間的間隙。

專利文獻(xiàn)1：日本特開平6-055561號(hào)公報(bào)

近年來，為了提高用一對輥對材料進(jìn)行軋制所制造的產(chǎn)品的品質(zhì)，需要更高精度地對產(chǎn)品厚度的均勻性進(jìn)行管理。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

因此，本公開對為了獲得更均勻的厚度的產(chǎn)品，而能夠極高精度地檢測一對輥之間的間隙的軋制裝置以及傳感器單元進(jìn)行說明。

本公開的一個(gè)觀點(diǎn)的軋制裝置具備：相鄰的第一輥以及第二輥；第一軸箱，其將第一輥的軸以能夠旋轉(zhuǎn)的方式支承；第二軸箱，其將第二輥的軸以能夠旋轉(zhuǎn)的方式支承并且與第一軸箱相鄰；調(diào)節(jié)部，其以使第一輥與第二輥接近以及分離的方式調(diào)節(jié)第一軸箱的位置；傳感器單元，其夾設(shè)于第一軸箱與第二軸箱之間并且與該兩者接觸；以及控制器，傳感器單元包括：距離傳感器，其具備在第一軸箱以及第二軸箱排列的一個(gè)方向上伸縮的伸縮部；第一部件，其保持距離傳感器；以及第二部件，其與伸縮部抵接并且能夠沿著一個(gè)方向滑動(dòng)地相對于第一部件安裝；控制器基于伸縮部的伸縮量來控制調(diào)節(jié)部。

本公開的其他觀點(diǎn)的傳感器單元具備：距離傳感器，其具備在一個(gè)方向上伸縮的伸縮部；第一部件，其保持距離傳感器并且與一對測定對象物的一方接觸；以及第二部件，其與伸縮部抵接，能夠沿著一個(gè)方向滑動(dòng)地相對于第一部件安裝，并且與一對測定對象物的另一方接觸。

根據(jù)本公開的軋制裝置以及傳感器單元，能夠極高精度地檢測出一對輥之間的間隙。

附圖說明

圖1是表示壓延裝置的概要的側(cè)視圖。

圖2是主要概略地表示輥以及傳感器單元的關(guān)系的側(cè)視圖。

圖3(a)表示從傾斜方向觀察時(shí)一對輥的概略圖，圖3(b)表示一對輥重合的情況。

圖4(a)表示傳感器單元的截面，圖4(b)表示圖4(a)的B-B線截面。

具體實(shí)施方式

以下說明的本公開的實(shí)施方式是用于說明本發(fā)明的例示，因此本發(fā)明不應(yīng)被限定于以下內(nèi)容。

[1]實(shí)施方式的概要

本實(shí)施方式的一個(gè)觀點(diǎn)的軋制裝置具備：相鄰的第一輥以及第二輥；第一軸箱，其將第一輥的軸以能夠旋轉(zhuǎn)的方式支承；第二軸箱，其將第二輥的軸以能夠旋轉(zhuǎn)的方式支承并且與第一軸箱相鄰；調(diào)節(jié)部，其以使第一輥與第二輥接近以及分離的方式調(diào)節(jié)第一軸箱的位置；傳感器單元，其夾設(shè)于第一軸箱與第二軸箱之間并且與該兩者接觸；以及控制器，傳感器單元包括：距離傳感器，其具備在第一軸箱以及第二軸箱排列的一個(gè)方向上伸縮的伸縮部；第一部件，其保持距離傳感器；以及第二部件，其與伸縮部抵接并且能夠沿著一個(gè)方向滑動(dòng)地相對于第一部件安裝；控制器基于伸縮部的伸縮量來控制調(diào)節(jié)部。

在本實(shí)施方式的一個(gè)觀點(diǎn)的軋制裝置中，傳感器單元夾設(shè)于第一軸箱與第二軸箱之間并且與該兩者接觸。另外傳感器單元包括：具備在第一軸箱以及第二軸箱排列的一個(gè)方向上伸縮的伸縮部的距離傳感器、保持距離傳感器的第一部件、以及與伸縮部抵接并且能夠沿著一個(gè)方向滑動(dòng)地相對于第一部件安裝的第二部件。因此在第一軸箱以及第二軸箱接近的情況下，第二部件向一個(gè)方向滑動(dòng)該接近的大小，且伸縮部向一個(gè)方向收縮該接近的大小。另一方面，在第一軸箱以及第二軸箱分離的情況下，第二部件向一個(gè)方向滑動(dòng)該分離的大小且伸縮部向一個(gè)方向伸長該分離的大小。這樣，能夠直接測量第一軸箱以及第二軸箱向一個(gè)方向的移動(dòng)量作為伸縮部的伸縮量。因此能夠使用傳感器單元極高精度地檢測出一對輥之間的間隙。

兩個(gè)傳感器單元也可以配置為使連結(jié)第一輥的軸與第二輥的軸的假想直線位于兩個(gè)傳感器單元之間。在該情況下，即便第一軸箱以及第二軸箱中的一方相對于另一方傾斜，也能夠用由兩個(gè)傳感器單元測量出的兩個(gè)伸縮量的例如平均值，從而極高精度地檢測出一對輥之間的間隙。

也可以是第一部件以及第二部件的一方固定于第一軸箱以及第二軸箱的一方，第一部件以及第二部件的另一方包括接觸面，該接觸面不固定于第一軸箱以及第二軸箱的另一方，而抵接于第一軸箱以及第二軸箱的另一方的表面并且能夠在該表面的面內(nèi)移動(dòng)。在該情況下，即便在與一個(gè)方向正交的假想平面內(nèi)第一輥以及第二輥中的一方以相對于另一方偏移的方式移動(dòng)，接觸面追隨其而與第一軸箱以及第二軸箱的另一方的表面抵接，并且在該表面的面內(nèi)移動(dòng)。因此能夠抑制在沿著該假想平面的方向上對傳感器單元產(chǎn)生載荷的情況。另外，伸縮部的伸縮方向被保持為一個(gè)方向原樣不變，因此即便在第一輥以及第二輥之間產(chǎn)生上述那樣的偏移的情況下，也能夠極高精度地檢測出一對輥之間的間隙。

傳感器單元還可以包括供給路，該供給路用于向距離傳感器供給冷卻氣體。在軋制裝置的動(dòng)作中，由于第一輥以及第二輥被加熱，因此若距離傳感器因該熱量而被加熱，則來自距離傳感器的輸出值有可能因溫度偏差而發(fā)生變動(dòng)。然而在上述情況下，能夠通過供給路用冷卻氣體對距離傳感器進(jìn)行冷卻。因此能夠更高精度地檢測出一對輥之間的間隙。

本實(shí)施方式的其他觀點(diǎn)的傳感器單元具備：距離傳感器，其具備在一個(gè)方向上伸縮的伸縮部；第一部件，其保持距離傳感器并且與一對測定對象物的一方接觸；以及第二部件，其與伸縮部抵接，能夠沿著一個(gè)方向滑動(dòng)地相對于第一部件安裝，并且與一對測定對象物的另一方接觸。

在本實(shí)施方式的其他觀點(diǎn)的傳感器單元中，在一對測定對象物接近的情況下，第二部件向一個(gè)方向滑動(dòng)該接近的大小且伸縮部向一個(gè)方向收縮該接近的大小。另一方面，在一對測定對象物分離的情況下，第二部件向一個(gè)方向滑動(dòng)該分離的大小且伸縮部向一個(gè)方向伸長該分離的大小。這樣，能夠直接測量一對測定對象物向一個(gè)方向的移動(dòng)量作為伸縮部的伸縮量。因此能夠用傳感器單元極高精度地檢測出一對測定對象物的分離距離。

也可以是第一部件以及第二部件的一方固定于在一個(gè)方向上分離的一對測量對象物的一方，第一部件以及第二部件的另一方包括接觸面，該接觸面不固定于一對測定對象物的另一方，而抵接于一對測定對象物的另一方的表面并且能夠在該表面的面內(nèi)移動(dòng)。在該情況下，即便在與一個(gè)方向正交的假想平面內(nèi)一對測定對象物中的一方以相對于另一方偏移的方式移動(dòng)，接觸面也追隨其而與一對測定對象物的另一方的表面抵接并且在該表面的面內(nèi)移動(dòng)。因此能夠抑制在沿著該假想平面的方向上對傳感器單元產(chǎn)生載荷的情況。另外，伸縮部的伸縮方向被保持為一個(gè)方向原樣不變，因此即便在一對測定對象物中產(chǎn)生上述那樣的偏移的情況下，也能夠極高精度地檢測出一對測定對象物的分離距離。

還可以包括供給路，該供給路用于向距離傳感器供給冷卻氣體。根據(jù)安裝有傳感器單元的環(huán)境，有時(shí)在使用傳感器單元時(shí)距離傳感器因來自周圍的熱量而被加熱。此時(shí)，來自距離傳感器的輸出值有可能因溫度偏差而發(fā)生變動(dòng)。然而在上述情況下，能夠通過供給路用冷卻氣體對距離傳感器進(jìn)行冷卻。因此能夠更高精度地檢測出一對測定對象物的分離距離。

[2]實(shí)施方式的例示

以下，參照附圖對本公開的實(shí)施方式的壓延裝置1的一個(gè)例子進(jìn)行更詳細(xì)地說明。在以下的說明中，對具有相同要素或者相同功能的要素使用相同附圖標(biāo)記，并省略重復(fù)的說明。各要素的尺寸比率不限定于圖示的比率。

如圖1所示，壓延裝置1具備：框架10、輥(測定對象物)12A～12D、軸箱14A～14D、液壓缸(調(diào)節(jié)部)18A、18B、18D、輥橫軋機(jī)構(gòu)22A、22D、傳感器單元24A、24B、24D、以及控制部(控制器)26。

框架10設(shè)置于地面上?？蚣?0包括開口部10a～10c。從側(cè)方觀察時(shí)，開口部10a沿著相對于地面傾斜的X方向延伸。從側(cè)方觀察時(shí)，開口部10b沿著與X方向正交的Y方向延伸。開口部10b與開口部10a交叉。開口部10c相對于開口部10b朝向與開口部10a相反的一側(cè)沿著X方向延伸，但不與開口部10a位于相同直線上。開口部10c與開口部10b交叉。

輥12A配置于開口部10a內(nèi)。輥12A呈圓柱形狀。輥12A沿與X方向以及Y方向均正交的Z方向(相對于圖1的紙面垂直的方向)延伸。輥12A經(jīng)由從兩端沿著其軸心方向延伸的軸部以能夠旋轉(zhuǎn)的方式支承于一對軸箱14A(參照圖3(a))。一對軸箱14A在開口部10a內(nèi)經(jīng)由未圖示的滑塊安裝于框架10。因此輥12A能夠在開口部10a內(nèi)沿其延伸的方向(X方向)移動(dòng)。

液壓缸18A經(jīng)由殼體20A安裝于框架10。液壓缸18A位于開口部10a中在X方向上與開口部10b、10c分離的一側(cè)的端部。液壓缸18A的活塞連接于軸箱14A中在X方向上位于與軸箱14B相反的一側(cè)的端緣。液壓缸18A基于來自控制部26的信號(hào)，經(jīng)由軸箱14A而沿X方向推拉輥12A。

輥橫軋機(jī)構(gòu)22A包括：馬達(dá)28A、軸30A以及齒輪箱32A。馬達(dá)28A安裝于框架10的外側(cè)。軸30A沿著Y方向從框架10的外側(cè)向開口部10a延伸。軸30A的前端連接于軸箱14A中沿X方向延伸的側(cè)緣。齒輪箱32A將馬達(dá)28A的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為軸30A在Y方向的直線運(yùn)動(dòng)。因此，馬達(dá)28A基于來自控制部26的信號(hào)而使軸30A沿Y方向進(jìn)退，從而沿Y方向推拉軸箱14A。由此從相鄰的輥12A、12B排列的方向(X方向)觀察時(shí)，輥12A相對于輥12B以規(guī)定的角度θ傾斜(參照圖3(b))。

若輥12A相對于輥12B傾斜，則在未向壓延裝置1供給材料時(shí)，輥12A、12B之間的間隙在輥12A、12B的中央部變窄，在輥12A、12B的兩端部變寬。另一方面，若向輥12A、12B之間供給材料，則輥12A、12B的中央部的間隙擴(kuò)寬，輥12A、12B的中央部朝向外側(cè)撓曲。因此輥12A、12B之間的間隙變得大致恒定，因而能夠?qū)⑼ㄟ^輥12A、12B之間而軋制后的材料形成為大致均勻的厚度。

輥12B配置于開口部10b內(nèi)。輥12B呈圓柱形狀。輥12B沿Z方向(相對于圖1的紙面垂直的方向)延伸。輥12B經(jīng)由從兩端沿著其軸心方向延伸的軸部以能夠旋轉(zhuǎn)的方式支承于一對軸箱14B(參照圖3(a))。一對軸箱14B在開口部10b內(nèi)經(jīng)由未圖示的滑塊安裝于框架10。因此輥12B能夠在開口部10b內(nèi)沿其延伸的方向(Y方向)移動(dòng)。一對軸箱14B在X方向上與一對軸箱14A相鄰。

液壓缸18B經(jīng)由殼體20B安裝于框架10。液壓缸18B位于開口部10b中在Y方向上與開口部10a、10c分離的一側(cè)的端部。液壓缸18B的活塞連接于軸箱14B中在Y方向上位于與軸箱14C相反的一側(cè)的端緣。液壓缸18B基于來自控制部26的信號(hào)經(jīng)由軸箱14B而沿Y方向推拉輥12B。

輥12C配置于開口部10c內(nèi)。輥12C呈圓柱形狀。輥12C沿Z方向(相對于圖1的紙面垂直的方向)延伸。輥12C經(jīng)由從兩端沿其軸心方向延伸的軸部而能夠旋轉(zhuǎn)地支承于一對軸箱14C。一對軸箱14C位于開口部10c中靠開口部10a、10b側(cè)的端部，并固定于開口部10c內(nèi)。因此輥12C在開口部10c內(nèi)不移動(dòng)。一對軸箱14C在Y方向上與一對軸箱14B相鄰。

輥12D配置于開口部10c內(nèi)。輥12D呈圓柱形狀。輥12D沿與X方向以及Y方向均正交的Z方向(相對于圖1的紙面垂直的方向)延伸。輥12D經(jīng)由從兩端沿著其軸心方向延伸的軸部而能夠旋轉(zhuǎn)地支承于一對軸箱14D。一對軸箱14D在開口部10c內(nèi)經(jīng)由未圖示的滑塊安裝于框架10。因此輥12D能夠在開口部10c內(nèi)沿其延伸的方向(X方向)移動(dòng)。一對軸箱14D在X方向上與一對軸箱14C相鄰。

液壓缸18D經(jīng)由殼體20D安裝于框架10。液壓缸18D位于開口部10c中在X方向上與開口部10a、10b分離的一側(cè)的端部。液壓缸18D的活塞連接于軸箱14D中在X方向上位于與軸箱14C相反的一側(cè)的端緣。液壓缸18D基于來自控制部26的信號(hào)，經(jīng)由軸箱14D而沿X方向推拉輥12D。

輥橫軋機(jī)構(gòu)22D包括：馬達(dá)28D、軸30D以及齒輪箱32D。馬達(dá)28D安裝于框架10的外側(cè)。軸30D沿著Y方向從框架10的外側(cè)向開口部10c延伸。軸30D的前端連接于軸箱14D中沿X方向延伸的側(cè)緣。齒輪箱32D將馬達(dá)28D的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為軸30D在Y方向的直線運(yùn)動(dòng)。因此馬達(dá)28D基于來自控制部26的信號(hào)而使軸30D沿Y方向進(jìn)退，從而沿Y方向推拉軸箱14D。由此從相鄰的輥12C、12D排列的方向(X方向)觀察時(shí)，輥12D相對于輥12C傾斜規(guī)定的角度。

若輥12D相對于輥12C傾斜，則在未向壓延裝置1供給材料時(shí)，輥12C、12D之間的間隙在輥12C、12D的中央部變窄，在輥12C、12D的兩端部變寬。另一方面，若向輥12C、12D之間供給材料，則輥12C、12D的中央部的間隙擴(kuò)寬而輥12C、12D的中央部朝向外側(cè)撓曲。因此輥12C、12D之間的間隙變?yōu)榇笾潞愣?，因此能夠?qū)⑼ㄟ^輥12C、12D之間軋制后的材料形成為大致均勻的厚度。

傳感器單元24A夾設(shè)于軸箱14A與軸箱14B之間且與該兩者接觸(參照圖1～圖3)。在軸箱14A與軸箱14B之間以沿Y方向排列的方式配置有兩個(gè)傳感器單元24A。兩個(gè)傳感器單元24A配置為使連結(jié)輥12A的軸與輥12B的軸的假想直線位于其間。

傳感器單元24B夾設(shè)于軸箱14B與框架10之間且與該兩者接觸(參照圖1以及圖2)。傳感器單元24B位于軸箱14B的側(cè)緣中在Y方向上與液壓缸18B相反的一側(cè)。

傳感器單元24D夾設(shè)于軸箱14C與軸箱14D之間且與該兩者接觸(參照圖1以及圖2)。在軸箱14C與軸箱14D之間以沿Y方向排列的方式配置有兩個(gè)傳感器單元24D。兩個(gè)傳感器單元24D配置為使連結(jié)輥12C的軸與輥12D的軸的假想直線位于其間。

對傳感器單元24A、24B、24D的結(jié)構(gòu)進(jìn)行更詳細(xì)地說明。傳感器單元24A、24B、24D的結(jié)構(gòu)均相同，因此以下參照圖4對傳感器單元24A的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明，并省略其他傳感器單元24B、24D的說明。

傳感器單元24A包括：距離傳感器34、框體(第一部件)36、框體(第二部件)38、引導(dǎo)部件40、兩個(gè)螺栓42以及兩個(gè)螺旋彈簧44。距離傳感器34包括伸縮部34a和傳感器主體部34b。伸縮部34a能夠沿其長度方向(圖4的左右方向)伸縮。伸縮部34a若在其長度方向上被施加外力，則收縮，若除去該外力，則恢復(fù)為原來的長度。傳感器主體部34b經(jīng)由圓柱狀的連結(jié)部件34d而與伸縮部34a連接。傳感器主體部34b將伸縮部34a的伸縮量轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。在傳感器單元24A中，伸縮部34a的伸縮方向是軸箱14A、14B相鄰的方向(X方向)。

框體36包括：內(nèi)側(cè)筒狀部(第一部件)36a、底壁(第一部件)36b、外側(cè)筒狀部36c以及連接壁36d。內(nèi)側(cè)筒狀部36a收容傳感器主體部34b。在內(nèi)側(cè)筒狀部36a的側(cè)壁，兩個(gè)貫通孔(供給路)H1、H2形成于不同的位置。內(nèi)側(cè)筒狀部36a的一端固定于軸箱14A、14B的一方。

貫通孔H1與未圖示的氣體供給源連接。從貫通孔H1向內(nèi)側(cè)筒狀部36a內(nèi)導(dǎo)入冷卻氣體(例如空氣)。從貫通孔H2并從內(nèi)側(cè)筒狀部36a將在內(nèi)側(cè)筒狀部36a內(nèi)與傳感器主體部34b進(jìn)行了熱交換之后的冷卻氣體排出。貫通孔H2用于將連接于傳感器主體部34b的信號(hào)線34c向傳感器單元24A外取出。

底壁36b將內(nèi)側(cè)筒狀部36a的另一端閉塞。在底壁36b形成有將內(nèi)側(cè)筒狀部36a的內(nèi)外連通的貫通孔H3。以伸縮部34a位于內(nèi)側(cè)筒狀部36a的外側(cè)且傳感器主體部34b位于內(nèi)側(cè)筒狀部36a的內(nèi)側(cè)的方式，將連結(jié)部件34d插通于貫通孔H3。因此連結(jié)部件34d由貫通孔H3支承。即，距離傳感器34保持于內(nèi)側(cè)筒狀部36a。

外側(cè)筒狀部36c位于內(nèi)側(cè)筒狀部36a的外側(cè)，并與內(nèi)側(cè)筒狀部36a在同軸上延伸。連接壁36d將內(nèi)側(cè)筒狀部36a以及外側(cè)筒狀部36c連接。在連接壁36d形成有沿伸縮部34a的伸縮方向延伸的四個(gè)貫通孔H4。

框體38包括：筒狀部(第二部件)38a、底壁(第二部件)38b以及凸緣部38c。筒狀部38a位于內(nèi)側(cè)筒狀部36a與外側(cè)筒狀部36c之間。筒狀部38a與內(nèi)側(cè)筒狀部36a以及外側(cè)筒狀部36c在同軸上延伸。

底壁38b將筒狀部38a的一端閉塞。伸縮部34a的前端抵接于底壁38b中面向內(nèi)側(cè)筒狀部36a的內(nèi)表面F1。底壁38b中的外表面F2是不固定于軸箱14A、14B的另一方而抵接于軸箱14A、14B的另一方的表面并且能夠在該表面的面內(nèi)移動(dòng)的接觸面。

凸緣部38c呈環(huán)狀，并朝向筒狀部38a的外側(cè)延伸。在凸緣部38c形成有沿伸縮部34a的伸縮方向延伸的四個(gè)貫通孔H5。從伸縮部34a的伸縮方向觀察時(shí)，各貫通孔H5分別與對應(yīng)的貫通孔H4重合。

引導(dǎo)部件40夾設(shè)于內(nèi)側(cè)筒狀部36a的外周面與筒狀部38a的內(nèi)周面之間。引導(dǎo)部件40將筒狀部38a支承為能夠相對于內(nèi)側(cè)筒狀部36a旋轉(zhuǎn)，并且將筒狀部38a支承為能夠相對于內(nèi)側(cè)筒狀部36a沿伸縮部34a的伸縮方向引導(dǎo)該筒狀部38a。因此筒狀部38a(框體38)經(jīng)由引導(dǎo)部件40安裝于內(nèi)側(cè)筒狀部36a(框體36)。

螺栓42分別插通于貫通孔H4、H5內(nèi)。螺栓42的前端與凸緣部38c旋合。因此螺栓42具有將筒狀部38a沿伸縮部34a的伸縮方向相對于內(nèi)側(cè)筒狀部36a引導(dǎo)的功能。

螺旋彈簧44分別被螺栓42插通。螺旋彈簧44配置在連接壁36d與凸緣部38c之間。螺旋彈簧44向使連接壁36d與凸緣部38c分離的方向?qū)烧咧g賦予作用力。

具有以上結(jié)構(gòu)的傳感器單元24A以伸縮部34a收縮規(guī)定量且未完全收縮的狀態(tài)(以下，稱為“基準(zhǔn)狀態(tài)”。)配置于軸箱14A、14B之間。因此在軸箱14A、14B之間的分離距離變大的情況下，伸縮部34a也追隨其而伸長。其結(jié)果距離傳感器34檢測出伸縮部34a相對于基準(zhǔn)狀態(tài)的伸長量，并基于該伸長量計(jì)算出相鄰的輥12A、12B之間的間隙。另一方面，在軸箱14A、14B之間的分離距離變小的情況下，伸縮部34a也追隨其而收縮。其結(jié)果距離傳感器34檢測出伸縮部34a相對于基準(zhǔn)狀態(tài)的收縮量，并基于該收縮量計(jì)算出相鄰的輥12A、12B之間的間隙。這樣，距離傳感器34基于伸縮部34a的伸縮量來測量相鄰的輥12A、12B之間的間隙。

返回圖1，控制部26由一個(gè)或多個(gè)控制用計(jì)算機(jī)構(gòu)成，并控制壓延裝置1?？刂撇?6具有：基于控制條件而執(zhí)行壓延裝置1各部的控制處理的處理部(未圖示)、和從計(jì)算機(jī)能夠讀取的記錄介質(zhì)讀取程序的讀取部(未圖示)。記錄于該記錄介質(zhì)的程序是用于使壓延裝置1的各部執(zhí)行控制處理的程序。作為記錄介質(zhì)，例如也可以是半導(dǎo)體存儲(chǔ)器、光記錄盤、磁記錄盤、光磁記錄盤。

具體而言，控制部26控制壓延裝置1，利用輥12B、12C將片狀的基材S1與供給至輥12A、12B之間的材料M1以及供給至輥12C、12D之間的M2一起進(jìn)行軋制，從而使壓延裝置1制造在基材S1的各面成形有材料M1、M2的膜而成的片狀的產(chǎn)品S2(參照圖2)。此時(shí)，控制部26基于來自距離傳感器34的信號(hào)，以使相鄰的輥12A、12B之間的間隙、相鄰的輥12B、12C間的間隙以及相鄰的輥12C、12D之間的間隙成為恒定的方式，控制各液壓缸18A、18B、18D。

例如，在由距離傳感器34測量出的相鄰的輥12A、12B之間的間隙小于目標(biāo)值的情況下，以使輥12A從輥12B分離的方式將軸箱14A向液壓缸18A側(cè)拉近。另一方面，在由距離傳感器34測量出的相鄰的輥12A、12B之間的間隙大于目標(biāo)值的情況下，借助液壓缸18A按壓軸箱14A以使輥12A接近輥12B。

在以上那樣的本實(shí)施方式中，傳感器單元24A夾設(shè)于軸箱14A與軸箱14B之間并且與該兩者接觸。另外，傳感器單元24A包括：距離傳感器34，其具備在軸箱14A、14B排列的一個(gè)方向上伸縮的伸縮部34a；框體36，其保持距離傳感器34；框體38，其與伸縮部34a抵接并且能夠沿一個(gè)方向滑動(dòng)地相對于框體36安裝。因此在軸箱14A、14B接近的情況下，框體38向一個(gè)方向滑動(dòng)該接近的大小，且伸縮部34a向一個(gè)方向收縮該接近的大小。另一方面，在軸箱14A、14B分離的情況下，框體38向一個(gè)方向滑動(dòng)該分離的大小，且伸縮部34a向一個(gè)方向伸長該分離的大小。這樣，能夠直接測量軸箱14A、14B在一個(gè)方向的移動(dòng)量作為伸縮部34a的伸縮量。因此能夠用傳感器單元24A極高精度地檢測出輥12A、12B之間的間隙。特別是使用了專利文獻(xiàn)1中記載的那樣的非接觸式距離傳感器的情況下的精度，例如為10μm以上，但利用伸縮部34a直接測量軸箱14A、14B在一個(gè)方向的移動(dòng)量作為伸縮量的情況下的精度，例如為1μm左右。其結(jié)果控制部26基于該伸縮量來控制液壓缸18A，由此關(guān)于輥12A、12B之間的間隙實(shí)現(xiàn)極高精度的控制。

在本實(shí)施方式中，兩個(gè)傳感器單元24A配置為使連結(jié)輥12A的軸與輥12B的軸的假想直線位于其間。因此即便軸箱14A、14B中的一方相對于另一方傾斜，也能夠使用由兩個(gè)傳感器單元24A測量出的兩個(gè)伸縮量的例如平均值，而極高精度地檢測出輥12A、12B之間的間隙。

在本實(shí)施方式中，內(nèi)側(cè)筒狀部36a(框體36)固定于軸箱14A。底壁38b(框體38)包括外表面F2，該外表面F2不固定于軸箱14B，并與軸箱14B的表面抵接，并且能夠在該表面的面內(nèi)移動(dòng)。因此即便輥12A、12B中的一方在與一個(gè)方向(伸縮部34a的伸縮方向)正交的假想平面中相對于另一方偏移地移動(dòng)，外表面F2也追隨其抵接于軸箱14B的表面并且在該表面的面內(nèi)移動(dòng)。因此能夠抑制在沿著該假想平面的方向上對傳感器單元24A產(chǎn)生載荷。另外，伸縮部34a的伸縮方向被保持為一個(gè)方向原樣不變，因此即便在輥12A、12B之間產(chǎn)生上述那樣的偏移的情況下，也能夠極高精度地檢測出輥12A、12B之間的間隙。

在壓延裝置1的動(dòng)作中，輥12A、12B被加熱，因此若距離傳感器34因該熱量而被加熱，則有可能因溫度偏差而使來自距離傳感器34的輸出值發(fā)生變動(dòng)。然而在本實(shí)施方式中，作為用于向距離傳感器34(傳感器主體部34b)供給冷卻氣體的供給路，在內(nèi)側(cè)筒狀部36a形成有貫通孔H1、H2。因此能夠通過貫通孔H1、H2用冷卻氣體對距離傳感器34進(jìn)行冷卻。因此能夠更高精度地檢測出輥12A、12B之間的間隙。

以上，對本實(shí)施方式進(jìn)行了詳細(xì)地說明，但本發(fā)明不限定于上述的實(shí)施方式。例如也可以將框體36、38的一方固定于軸箱14A、14B的一方，框體36、38的另一方包括接觸面，該接觸面不固定于軸箱14A、14B的另一方，而抵接于軸箱14A、14B的另一方的表面并且能夠在該表面的面內(nèi)移動(dòng)。

也可以在相鄰的一對軸箱之間夾設(shè)有至少一個(gè)傳感器單元。

在裝置動(dòng)作時(shí)，在距離傳感器34的周圍難以產(chǎn)生熱量的情況下，傳感器單元24A也可以不包括用于對距離傳感器34進(jìn)行冷卻的供給路。

也可以代替通過貫通孔H1、H2用冷卻氣體對距離傳感器進(jìn)行冷卻，而是用隔熱材料等形成框體36、38。在該情況下，能夠減少賦予距離傳感器34的熱量，因而能夠抑制溫度偏差產(chǎn)生的影響。因此能夠更高精度地檢測出輥12A、12B之間的間隙。

壓延裝置1也可以具備壓力轉(zhuǎn)換器，該壓力轉(zhuǎn)換器將液壓缸18A、18B、18D從輥12A、12B、12D分別受到的壓力轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。

在上述的實(shí)施方式中，對壓延裝置1進(jìn)行了說明，但本發(fā)明可以廣泛應(yīng)用于利用相鄰的一對輥軋制材料的軋制裝置。

附圖標(biāo)記說明：1…壓延裝置；12A～12D…輥；14A～14D…軸箱；18A、18B、18D…液壓缸；22A、22D…輥橫軋(roll cross)機(jī)構(gòu)；24A、24B、24D…傳感器單元；26…控制部；34…距離傳感器；34a…伸縮部；34b…傳感器主體部；36、38…框體；36a…內(nèi)側(cè)筒狀部；36b…底壁；38a…筒狀部；38b…底壁；H1、H2…貫通孔；F2…外表面。