晶圓料盒的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體晶圓片級(jí)封裝技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓料盒。
【背景技術(shù)】
[0002]圓片級(jí)封裝產(chǎn)品達(dá)到減薄工序前，圓片放置料盒由25槽的普通料盒更換為13槽的料盒。由于減薄后，圓片的厚度變薄，部分特殊結(jié)構(gòu)的產(chǎn)品圓片會(huì)出現(xiàn)翹曲，若仍使用普通料盒，在圓片級(jí)封裝后道工序的設(shè)備中無(wú)法完成圓片傳送，存在圓片與機(jī)械手臂碰撞產(chǎn)生裂片風(fēng)險(xiǎn)，因此需更換為13槽料盒。
[0003]在然而實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中部分特殊結(jié)構(gòu)產(chǎn)品減薄后的晶圓圓片會(huì)產(chǎn)生翹曲(通常在3_以內(nèi))，圓片級(jí)封裝后道工序如打印、植球和回流都將涉及到機(jī)械手臂將圓片傳送到預(yù)對(duì)位臺(tái)進(jìn)行圓片缺口預(yù)對(duì)位動(dòng)作，但由于圓片翹曲使得預(yù)對(duì)準(zhǔn)臺(tái)無(wú)法一次性通過(guò)圓片缺口對(duì)位，常常出現(xiàn)報(bào)警現(xiàn)象，影響作業(yè)效率。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]在下文中給出關(guān)于本實(shí)用新型的簡(jiǎn)要概述，以便提供關(guān)于本實(shí)用新型的某些方面的基本理解。應(yīng)當(dāng)理解，這個(gè)概述并不是關(guān)于本實(shí)用新型的窮舉性概述。它并不是意圖確定本實(shí)用新型的關(guān)鍵或重要部分，也不是意圖限定本實(shí)用新型的范圍。其目的僅僅是以簡(jiǎn)化的形式給出某些概念，以此作為稍后論述的更詳細(xì)描述的前序。
[0005]本實(shí)用新型的目的在于提供一種晶圓料盒。
[0006]本實(shí)用新型提供的晶圓料盒，包括盒體，所述盒體相對(duì)的兩側(cè)壁上分別設(shè)置有相互平行的隔板，每?jī)上噜徦龈舭逯g形成用于容納晶圓的槽，所述盒體的底部設(shè)置有用于對(duì)所述晶圓的缺口進(jìn)行定向的定向裝置。
[0007]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是:
[0008]通過(guò)在晶圓料盒的底部設(shè)置對(duì)晶圓的缺口進(jìn)行定向的定向裝置，使得放置于各槽內(nèi)的晶圓圓片的開(kāi)槽口都固定為同一個(gè)方向。即解決翹曲圓片預(yù)對(duì)準(zhǔn)臺(tái)通過(guò)率問(wèn)題，又能縮短圓片在預(yù)對(duì)位工作臺(tái)開(kāi)槽口對(duì)位時(shí)的時(shí)間，提高設(shè)備生產(chǎn)效率。
【附圖說(shuō)明】
[0009]參照下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例的說(shuō)明，會(huì)更加容易地理解本實(shí)用新型的以上和其它目的、特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)。附圖中的部件只是為了示出本實(shí)用新型的原理。在附圖中，相同的或類似的技術(shù)特征或部件將采用相同或類似的附圖標(biāo)記來(lái)表示。
[0010]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的晶圓料盒的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0011]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的定向裝置的示意圖。
[0012]附圖標(biāo)記說(shuō)明:
[0013]1-盒體；2_隔板；3_槽；4_直桿；5_固定桿
【具體實(shí)施方式】
[0014]下面參照附圖來(lái)說(shuō)明本實(shí)用新型的實(shí)施例。在本實(shí)用新型的一個(gè)附圖或一種實(shí)施方式中描述的元素和特征可以與一個(gè)或更多個(gè)其它附圖或?qū)嵤┓绞街惺境龅脑睾吞卣飨嘟Y(jié)合。應(yīng)當(dāng)注意，為了清楚的目的，附圖和說(shuō)明中省略了與本實(shí)用新型無(wú)關(guān)的、本領(lǐng)域普通技術(shù)人員已知的部件和處理的表示和描述。
[0015]如圖1所示，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的晶圓料盒，包括盒體1，例如但不限于，盒體I可以大體上呈方形，盒體I內(nèi)具有上下貫通的空腔，且空腔上部的開(kāi)口大于下部的開(kāi)口。盒體相對(duì)的兩側(cè)壁上分別設(shè)置有相互平行的隔板2，每?jī)上噜徃舭?之間形成用于容納晶圓的槽3，盒體I的底部設(shè)置有用于對(duì)晶圓的缺口進(jìn)行定向的定向裝置。
[0016]通過(guò)在晶圓料盒的底部設(shè)置對(duì)晶圓的缺口進(jìn)行定向的定向裝置，使得放置于各槽內(nèi)的晶圓圓片的缺口都固定為同一個(gè)方向。即解決翹曲圓片預(yù)對(duì)準(zhǔn)臺(tái)通過(guò)率問(wèn)題，又能縮短晶圓圓片在預(yù)對(duì)位工作臺(tái)缺口對(duì)位時(shí)的時(shí)間，提高設(shè)備生產(chǎn)效率。
[0017]優(yōu)選的，本實(shí)施例提供的定向裝置包括位于盒體底部中間的直桿4，直桿4垂直于隔板2。直桿4米用的材料為對(duì)晶圓圓片無(wú)磨損材料，如乙縮酸等，以減少晶圓圓片在晶圓料盒上的磨損。
[0018]進(jìn)一步，本實(shí)施例提供的直桿垂直于軸線的橫截面為三角形，與晶圓圓片的缺口形狀一致，使晶圓圓片缺口與直桿無(wú)縫隙配合，保證了晶圓圓片缺口方向定向的精確性。
[0019]進(jìn)一步，本實(shí)施例提供的直桿4呈三角形截面的一個(gè)頂點(diǎn)朝向盒體頂部的開(kāi)口，采用此種結(jié)構(gòu)可以在晶圓放入盒體時(shí)，具有自對(duì)準(zhǔn)的功能，能夠提高晶圓圓片放入后缺口方向定向的精確性。
[0020]進(jìn)一步地，另參見(jiàn)圖2，本實(shí)施例提供的直桿4的兩端均設(shè)置有固定桿5，直桿4通過(guò)所述固定桿5固定于盒體的底部，采用此種方式，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，連接可靠。
[0021]進(jìn)一步，固定桿5與直桿4相互垂直，便于固定桿的端部沿著隔板所形成的槽，向下安裝到盒體的底部，安放比較方便。
[0022]進(jìn)一步，兩固定桿5相互平行。
[0023]進(jìn)一步，固定桿的軸線與盒體I隔板2平行。
[0024]進(jìn)一步，盒體I容納晶圓的槽3的數(shù)目為13槽，當(dāng)然，根據(jù)實(shí)際的使用需要，還可以是其它數(shù)量的槽3。
[0025]具體的原理是:
[0026]對(duì)晶圓料盒底部加裝對(duì)晶圓缺口進(jìn)行定向的定向裝置，使得放置晶圓料盒各槽的晶圓圓片的缺口都固定為同一個(gè)方向(從上向下看:開(kāi)口槽朝向晶圓料盒底部)，當(dāng)機(jī)械手臂從晶圓料盒取出晶圓圓片后，將晶圓圓片傳送放到預(yù)對(duì)準(zhǔn)工作臺(tái)上時(shí)，圓片缺口正好位于預(yù)對(duì)準(zhǔn)臺(tái)上方激光掃描缺口裝置正下方。使得晶圓圓片缺口在第一次激光掃描時(shí)就可以確認(rèn)位置。
[0027]本實(shí)用新型在晶圓料盒的底部設(shè)置有用于對(duì)所述晶圓的缺口進(jìn)行定向的定向裝置，使得放置各槽的晶圓圓片的缺口都固定為同一個(gè)方向。即解決翹曲圓片預(yù)對(duì)準(zhǔn)臺(tái)通過(guò)率問(wèn)題，又能縮短圓片在預(yù)對(duì)位工作臺(tái)缺口對(duì)位時(shí)的時(shí)間，提高設(shè)備生產(chǎn)效率。
[0028]最后應(yīng)說(shuō)明的是:以上實(shí)施例僅用以說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，而非對(duì)其限制；盡管參照前述實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解:其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實(shí)用新型各實(shí)施例技術(shù)方案的精神和范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種晶圓料盒，包括盒體，所述盒體相對(duì)的兩側(cè)壁上分別設(shè)置有相互平行的隔板，每?jī)上噜徦龈舭逯g形成用于容納晶圓的槽，其特征在于，所述盒體的底部設(shè)置有用于對(duì)所述晶圓的缺口進(jìn)行定向的定向裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓料盒，其特征在于，所述定向裝置包括位于所述盒體底部中間的直桿，所述直桿垂直于所述隔板。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓料盒，其特征在于，所述直桿的垂直于軸線的橫截面為三角形。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓料盒，其特征在于，所述三角形的一個(gè)頂點(diǎn)朝向所述盒體頂部的開(kāi)口。
5.根據(jù)權(quán)利要求2或3或4所述的晶圓料盒，其特征在于，所述直桿的兩端均設(shè)置有固定桿，所述直桿通過(guò)所述固定桿固定于所述盒體的底部。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶圓料盒，其特征在于，所述固定桿與所述直桿相互垂直。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶圓料盒，其特征在于，兩所述固定桿相互平行。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶圓料盒，其特征在于，所述固定桿的軸線與所述隔板平行。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓料盒，其特征在于，所述容納晶圓的槽的數(shù)目為13槽。
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種晶圓料盒，包括盒體，所述盒體相對(duì)的兩側(cè)壁上分別設(shè)置有相互平行的隔板，每?jī)上噜徦龈舭逯g形成用于容納晶圓的槽，所述盒體的底部設(shè)置有用于對(duì)所述晶圓的缺口進(jìn)行定向的定向裝置。所述定向裝置包括位于所述盒體底部中間的直桿，所述直桿垂直于所述隔板。通過(guò)在晶圓料盒底部設(shè)置有用于對(duì)所述晶圓的缺口進(jìn)行定向的定向裝置，使得放置各槽的晶圓圓片的缺口都固定為同一個(gè)方向。即解決翹曲晶圓圓片預(yù)對(duì)準(zhǔn)臺(tái)通過(guò)率問(wèn)題，又能縮短晶圓圓片在預(yù)對(duì)位工作臺(tái)缺口對(duì)位時(shí)的時(shí)間，提高設(shè)備生產(chǎn)效率。
【IPC分類】B65D25-04, B65D85-30
【公開(kāi)號(hào)】CN204383940
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201420753773
【發(fā)明人】秦樂(lè)
【申請(qǐng)人】南通富士通微電子股份有限公司
【公開(kāi)日】2015年6月10日
【申請(qǐng)日】2014年12月3日